JP2017183611A - プラズマ処理方法、およびプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】炭化シリコンを含みダメージが発生している表面領域を除去することができ、且つ、表面領域を除去した際に露出する下層にダメージが発生するのを抑制することができるプラズマ処理方法、およびプラズマ処理装置を提供することである。
【解決手段】実施形態に係るプラズマ処理方法は、炭化シリコンを含む基板の、ダメージが発生している表面領域を除去するプラズマ処理方法である。
前記プラズマ処理方法は、前記基板を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、プラズマを用いて水素ラジカルを生成し、前記表面領域に前記水素ラジカルを供給する第1の処理工程と、前記基板を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、前記プラズマを用いてフッ素ラジカルを生成し、前記水素ラジカルが供給された前記表面領域に前記フッ素ラジカルを供給する第2の処理工程と、を備えている。
【選択図】図3
【解決手段】実施形態に係るプラズマ処理方法は、炭化シリコンを含む基板の、ダメージが発生している表面領域を除去するプラズマ処理方法である。
前記プラズマ処理方法は、前記基板を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、プラズマを用いて水素ラジカルを生成し、前記表面領域に前記水素ラジカルを供給する第1の処理工程と、前記基板を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、前記プラズマを用いてフッ素ラジカルを生成し、前記水素ラジカルが供給された前記表面領域に前記フッ素ラジカルを供給する第2の処理工程と、を備えている。
【選択図】図3
Description
本発明の実施形態は、プラズマ処理方法、およびプラズマ処理装置に関する。
スイッチング損失の低減や、高温領域における電気特性の向上などのために、シリコン(Si)に代えて炭化シリコン(SiC)を用いた半導体装置が提案されている。
シリコンを用いた半導体装置と同様に、炭化シリコンを用いた半導体装置においても、RIE(Reactive Ion Etching)によりトレンチや孔が形成される。
RIEにより、イオンを基板に打ち込めば、アスペクト比の高いトレンチを形成することができる。
シリコンを用いた半導体装置と同様に、炭化シリコンを用いた半導体装置においても、RIE(Reactive Ion Etching)によりトレンチや孔が形成される。
RIEにより、イオンを基板に打ち込めば、アスペクト比の高いトレンチを形成することができる。
ところが、トレンチを形成する際に、トレンチの側面や底面などのようにレジストマスクやハードマスクで覆われていない部分にイオンが打ち込まれると、表面荒れや結晶欠陥などのダメージが発生する場合がある。
また、プラズマを用いてイオンやラジカルなどのプラズマ生成物を生成した際に発生した光には、波長の短い紫外線が含まれている。紫外線が、基板の、レジストマスクやハードマスクで覆われていない部分に入射すると、紫外線が基板に吸収されてダメージが発生する場合がある。
また、プラズマを用いてイオンやラジカルなどのプラズマ生成物を生成した際に発生した光には、波長の短い紫外線が含まれている。紫外線が、基板の、レジストマスクやハードマスクで覆われていない部分に入射すると、紫外線が基板に吸収されてダメージが発生する場合がある。
イオンや紫外線によるダメージは、半導体装置の電気特性を悪化させる要因となる。そのため、シリコンを用いた半導体装置の場合には、ダメージの発生の少ないラジカルを用いた処理を施すことで、ダメージが発生している表面領域を除去するとともに、表面領域を除去した際に露出する下層にダメージが発生するのを抑制している。
また、炭化シリコンを用いた半導体装置の場合にも、ラジカルを用いた処理を施すことで、ダメージが発生している表面領域を除去することが提案されている(例えば、特許文献1を参照)。
また、炭化シリコンを用いた半導体装置の場合にも、ラジカルを用いた処理を施すことで、ダメージが発生している表面領域を除去することが提案されている(例えば、特許文献1を参照)。
ところが、炭化シリコンは、シリコンに比べて元素間の結合強度が高い。そのため、単に、ラジカルを用いた処理を施すだけでは、ダメージが発生している表面領域を除去することが困難であった。
本発明が解決しようとする課題は、炭化シリコンを含みダメージが発生している表面領域を除去することができ、且つ、表面領域を除去した際に露出する下層にダメージが発生するのを抑制することができるプラズマ処理方法、およびプラズマ処理装置を提供することである。
実施形態に係るプラズマ処理方法は、炭化シリコンを含む基板の、ダメージが発生している表面領域を除去するプラズマ処理方法である。
前記プラズマ処理方法は、前記基板を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、プラズマを用いて水素ラジカルを生成し、前記表面領域に前記水素ラジカルを供給する第1の処理工程と、前記基板を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、前記プラズマを用いてフッ素ラジカルを生成し、前記水素ラジカルが供給された前記表面領域に前記フッ素ラジカルを供給する第2の処理工程と、を備えている。
前記プラズマ処理方法は、前記基板を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、プラズマを用いて水素ラジカルを生成し、前記表面領域に前記水素ラジカルを供給する第1の処理工程と、前記基板を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、前記プラズマを用いてフッ素ラジカルを生成し、前記水素ラジカルが供給された前記表面領域に前記フッ素ラジカルを供給する第2の処理工程と、を備えている。
本発明の実施形態によれば、炭化シリコンを含みダメージが発生している表面領域を除去することができ、且つ、表面領域を除去した際に露出する下層にダメージが発生するのを抑制することができるプラズマ処理方法、およびプラズマ処理装置が提供される。
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
(第1の実施形態)
本実施の形態に係るプラズマ処理方法により処理される基板100は、炭化シリコンを含んでいる。基板100は、例えば、半導体装置の製造において用いられるSiCウェーハなどとすることができる。ただし、基板100は、SiCウェーハに限定されるわけではなく、少なくとも表面に炭化シリコンからなる層が露出したものであればよい。
本実施の形態に係るプラズマ処理方法により処理される基板100は、炭化シリコンを含んでいる。基板100は、例えば、半導体装置の製造において用いられるSiCウェーハなどとすることができる。ただし、基板100は、SiCウェーハに限定されるわけではなく、少なくとも表面に炭化シリコンからなる層が露出したものであればよい。
ここで、例えば、シリコンを用いた半導体装置と同様に、炭化シリコンを用いた半導体装置においても、RIEによりトレンチや孔が形成される。
例えば、半導体装置がパワー半導体装置である場合には、トレンチゲート構造が採用される場合がある。トレンチゲート構造においては、基板100の表面に形成されたトレンチの内部にゲート電極が設けられる。
一般的に、トレンチは、RIEにより形成される。
図1は、トレンチ110の形成を例示するための模式断面図である。
トレンチ110の形成工程は以下の通りである。
まず、基板100の上に、ハードマスク101を形成する。
ハードマスク101は、例えば、シリコン窒化膜(SiN膜)とすることができ、CVD(Chemical Vapor Deposition)や熱酸化法などにより形成することができる。
図1は、トレンチ110の形成を例示するための模式断面図である。
トレンチ110の形成工程は以下の通りである。
まず、基板100の上に、ハードマスク101を形成する。
ハードマスク101は、例えば、シリコン窒化膜(SiN膜)とすることができ、CVD(Chemical Vapor Deposition)や熱酸化法などにより形成することができる。
次に、ハードマスク101の上に、パターン102aを有するレジストマスク102を形成する。
レジストマスク102は、例えば、フォトリソグラフィ法などにより形成することができる。
レジストマスク102は、例えば、フォトリソグラフィ法などにより形成することができる。
次に、レジストマスク102をエッチングマスクとして、ハードマスク101および基板100を順次エッチングして、トレンチ110を形成する。
なお、ハードマスク101の形成、レジストマスク102の形成、トレンチ110の形成には、既知の技術を適用することができるので詳細な説明は省略する。
なお、ハードマスク101の形成、レジストマスク102の形成、トレンチ110の形成には、既知の技術を適用することができるので詳細な説明は省略する。
ここで、RIEによりイオンを基板100に打ち込めば、異方性の高いエッチングを行うことができる。そのため、アスペクト比の高いトレンチ110を容易に形成することができる。ところが、トレンチ110の壁面(側面および底面)にイオンが打ち込まれると、表面荒れや結晶欠陥などのダメージが発生する場合がある。
また、RIEでの処理において処理ガスを励起させ、イオンやラジカルなどのプラズマ生成物を生成した際に発生した光には、波長の短い紫外線が含まれている。紫外線がトレンチ110の壁面に入射すると、紫外線がトレンチ110の壁面に吸収されてトレンチ110の壁面にダメージが発生する場合がある。
トレンチ110の壁面のように、基板100の、レジストマスク102やハードマスク101で覆われていない部分に、イオンや紫外線が入射すると、同様のダメージが発生する場合がある。
トレンチ110の壁面は、トレンチの内部にゲート電極を形成する際にゲート絶縁膜となる酸化膜が形成される界面となる。そのため、トレンチ110の壁面にダメージが発生している表面領域があれば、半導体装置としての電気特性を悪化させる要因となる。
トレンチ110の壁面は、トレンチの内部にゲート電極を形成する際にゲート絶縁膜となる酸化膜が形成される界面となる。そのため、トレンチ110の壁面にダメージが発生している表面領域があれば、半導体装置としての電気特性を悪化させる要因となる。
ここで、CDE(Chemical Dry Etching)などのように、ダメージの発生の少ないラジカルを用いた処理を施すことで、ダメージが発生している表面領域100aを除去すれば、表面領域100aを除去した際に露出する下層にダメージが発生するのを抑制することができる。これにより、ダメージが発生している表面領域100aを除去し、ダメージのないピュアなSiC基板の表面を形成することができる。
ところが、ラジカルを用いた処理は、被エッチング物である表面領域100aとの化学反応によりエッチングを行う処理であるのに加えて炭化シリコンは、シリコンに比べて元素間の結合強度が高いので、単に、ラジカルを用いた処理を施すだけでは、ダメージが発生している表面領域100aを除去することが困難であった。
なお、表面領域100aを除去した際に露出する下層とは、例えば、炭化シリコンからなる基板100が露出したトレンチ110の壁面である。
ところが、ラジカルを用いた処理は、被エッチング物である表面領域100aとの化学反応によりエッチングを行う処理であるのに加えて炭化シリコンは、シリコンに比べて元素間の結合強度が高いので、単に、ラジカルを用いた処理を施すだけでは、ダメージが発生している表面領域100aを除去することが困難であった。
なお、表面領域100aを除去した際に露出する下層とは、例えば、炭化シリコンからなる基板100が露出したトレンチ110の壁面である。
そこで、本実施の形態に係るプラズマ処理方法においては、以下の様にしてダメージが発生している表面領域100aを除去するようにしている。
まず、炭化シリコンを含む基板100の、ダメージが発生している表面領域100aに対して、水素ラジカルを供給する。
まず、炭化シリコンを含む基板100の、ダメージが発生している表面領域100aに対して、水素ラジカルを供給する。
例えば、基板100を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、プラズマPを用いて水素ラジカルを生成し、表面領域100aに水素ラジカルを供給する処理工程(第1の処理工程)を実行する。
例えば、表面領域100aに対して、水素原子を含むガスG1を用いたリモートプラズマ処理を施す。
ガスG1は、例えば、水素ガス、水蒸気などとすることができる。
また、ガスG1は、水素ガスにさらに酸素ガスを加えた混合ガスとすることができる。この場合、表面領域100aには水素ラジカルに加え、酸素ラジカルも供給される。
ガスG1を用いたプラズマ処理は、後述するガスG2を用いたプラズマ処理の前に行うことができる。
ガスG1を用いたプラズマ処理は、後述するガスG2を用いたプラズマ処理とともに行うこともできる。例えば、ガスG1とガスG2を用いたプラズマ処理を行うようにしてもよい。
例えば、表面領域100aに対して、水素原子を含むガスG1を用いたリモートプラズマ処理を施す。
ガスG1は、例えば、水素ガス、水蒸気などとすることができる。
また、ガスG1は、水素ガスにさらに酸素ガスを加えた混合ガスとすることができる。この場合、表面領域100aには水素ラジカルに加え、酸素ラジカルも供給される。
ガスG1を用いたプラズマ処理は、後述するガスG2を用いたプラズマ処理の前に行うことができる。
ガスG1を用いたプラズマ処理は、後述するガスG2を用いたプラズマ処理とともに行うこともできる。例えば、ガスG1とガスG2を用いたプラズマ処理を行うようにしてもよい。
次に、基板100を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、プラズマPを用いてフッ素ラジカルを生成し、水素ラジカルが供給された表面領域100aにフッ素ラジカルを供給する処理工程(第2の処理工程)を実行する。
すなわち、基板100を載置する雰囲気から離隔された雰囲気においてプラズマPを用いてガスG2からフッ素ラジカルを生成し、フッ素ラジカルを基板100が載置された雰囲気に輸送し、輸送されたフッ素ラジカルにより、表面領域100aを除去する。
すなわち、基板100を載置する雰囲気から離隔された雰囲気においてプラズマPを用いてガスG2からフッ素ラジカルを生成し、フッ素ラジカルを基板100が載置された雰囲気に輸送し、輸送されたフッ素ラジカルにより、表面領域100aを除去する。
ガスG2は、少なくともフッ素原子を含むガスを含む。
フッ素原子を含むガスは、例えば、CHF3、CF4、C4F8などとすることができる。ただし、フッ素原子を含むガスは、例示をしたものに限定されるわけではない。フッ素原子を含むガスは、フッ素ラジカルを生成することができるものであればよい。
また、ガスG2は、フッ素原子を含むガスと酸素ガスとを含むガスとすることもできる。
酸素ガスは、フッ素ラジカルの寿命を延ばすために添加される。酸素ガスは、必ずしも必要となるものではない。
なお、フッ素原子を含むガスと酸素ガスは、混合された状態でプラズマPを発生させる領域に供給してもよいし、別々にプラズマPを発生させる領域に供給してもよい。
フッ素原子を含むガスは、例えば、CHF3、CF4、C4F8などとすることができる。ただし、フッ素原子を含むガスは、例示をしたものに限定されるわけではない。フッ素原子を含むガスは、フッ素ラジカルを生成することができるものであればよい。
また、ガスG2は、フッ素原子を含むガスと酸素ガスとを含むガスとすることもできる。
酸素ガスは、フッ素ラジカルの寿命を延ばすために添加される。酸素ガスは、必ずしも必要となるものではない。
なお、フッ素原子を含むガスと酸素ガスは、混合された状態でプラズマPを発生させる領域に供給してもよいし、別々にプラズマPを発生させる領域に供給してもよい。
また、本実施の形態に係るプラズマ処理方法は、例えば、表面領域100aに水を付着する工程を備えた処理工程(第3の処理工程)を備えることもできる。
水の付着方法には特に限定はない。
水の付着方法は、例えば、回転する基板100に水を供給するスピンコーティング法、基板100に水を噴霧するスプレー法、基板100を水に浸漬させる浸漬法などとすることができる。または、RIEにてトレンチや孔を形成した後に、エッチング残渣(デポ物)やパーティクルを除去するために洗浄処理を行うが、基板100を洗浄した後、乾燥工程を経ずに、または乾燥を行っても完全に乾燥させない状態にすることで、水を付着させた状態とすることができる。
また、水を付着させた後、基板100を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、プラズマPを用いて不活性ガスからラジカルを生成し、水が付着した表面領域100aにラジカルを供給する処理工程を備えることもできる。
不活性ガスは、例えば、Ar、He、Xeなどの希ガスや、窒素ガスなどとすることができる。
水の付着方法には特に限定はない。
水の付着方法は、例えば、回転する基板100に水を供給するスピンコーティング法、基板100に水を噴霧するスプレー法、基板100を水に浸漬させる浸漬法などとすることができる。または、RIEにてトレンチや孔を形成した後に、エッチング残渣(デポ物)やパーティクルを除去するために洗浄処理を行うが、基板100を洗浄した後、乾燥工程を経ずに、または乾燥を行っても完全に乾燥させない状態にすることで、水を付着させた状態とすることができる。
また、水を付着させた後、基板100を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、プラズマPを用いて不活性ガスからラジカルを生成し、水が付着した表面領域100aにラジカルを供給する処理工程を備えることもできる。
不活性ガスは、例えば、Ar、He、Xeなどの希ガスや、窒素ガスなどとすることができる。
次に、基板100を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、プラズマPを用いてフッ素ラジカルを生成し、第3の処理工程において水が供給された表面領域100aにフッ素ラジカルを供給する(第4の処理工程)。
すなわち、基板100を載置する雰囲気から離隔された雰囲気においてプラズマPを用いてガスG2からフッ素ラジカルを生成し、フッ素ラジカルを基板100が載置された雰囲気に輸送し、輸送されたフッ素ラジカルにより、表面領域100aを除去する。
すなわち、基板100を載置する雰囲気から離隔された雰囲気においてプラズマPを用いてガスG2からフッ素ラジカルを生成し、フッ素ラジカルを基板100が載置された雰囲気に輸送し、輸送されたフッ素ラジカルにより、表面領域100aを除去する。
本発明者の得た知見によれば、第1の処理工程によってダメージが発生している表面領域100aに、水素ラジカルを供給すると、第2の処理工程においてフッ素ラジカルによる表面反応を促進させることができる。
あるいは、第3の処理工程のように、ダメージが発生している表面領域100aに水を供給すると、第4の処理工程においてフッ素ラジカルによる表面反応を促進させることができる。
フッ素ラジカルによる表面反応を促進させることができれば、シリコンに比べて元素間の結合強度が高い炭化シリコンが、表面領域100aに含まれていても、後述するフッ素ラジカルを用いた表面領域100aの除去(エッチング)が容易となる。
あるいは、第3の処理工程のように、ダメージが発生している表面領域100aに水を供給すると、第4の処理工程においてフッ素ラジカルによる表面反応を促進させることができる。
フッ素ラジカルによる表面反応を促進させることができれば、シリコンに比べて元素間の結合強度が高い炭化シリコンが、表面領域100aに含まれていても、後述するフッ素ラジカルを用いた表面領域100aの除去(エッチング)が容易となる。
この場合、表面領域100aに水素ラジカルを供給すれば、表面領域100aにおけるSi−C結合をSi−H結合に変えることができる。水素は質量が小さいので、Si−C結合をSi−H結合に変えることができれば表面領域100aの除去が容易となる。
このように、第1の処理工程または第3の処理工程を行うと、フッ素ラジカルによる表面反応を促進させることができる。そのため、シリコンに比べて元素間の結合強度が高い炭化シリコンが表面領域100aに含まれていても、フッ素ラジカルにより表面領域100aを容易に除去することができる。
一方、表面領域100aの下層は、表面領域100aが除去されるまで、前述した第1の処理工程または第3の処理工程時には露出していないため、SiとCの結合強度が高いままとなっているので、フッ素ラジカルにより除去されにくい。そのため、オーバーエッチングによりトレンチ孔径などの寸法が不必要に大きくなるのを抑制することができる。
一方、表面領域100aの下層は、表面領域100aが除去されるまで、前述した第1の処理工程または第3の処理工程時には露出していないため、SiとCの結合強度が高いままとなっているので、フッ素ラジカルにより除去されにくい。そのため、オーバーエッチングによりトレンチ孔径などの寸法が不必要に大きくなるのを抑制することができる。
以上に説明した第1の処理工程および第2の処理工程は、1回ずつ行うこともできるし、繰り返し行うこともできる。
第3の処理工程および第4の処理工程は、1回ずつ行うこともできるし、繰り返し行うこともできる。
第3の処理工程および第4の処理工程は、1回ずつ行うこともできるし、繰り返し行うこともできる。
図2(a)は、本実施の形態に係るプラズマ処理方法の効果を例示するためのグラフ図である。
なお、図2(a)中のA1、A2は、フッ素ラジカルを用いたプラズマ処理のみを行った場合である。
図2(a)中のB1、B2は、第1の処理工程および第2の処理工程を行った場合である。
この場合、ガスG1は、水蒸気としている。
図2(a)中のC1、C2は、第3の処理工程および第4の処理工程を行った場合である。
なお、図2(a)中のA1、A2は、フッ素ラジカルを用いたプラズマ処理のみを行った場合である。
図2(a)中のB1、B2は、第1の処理工程および第2の処理工程を行った場合である。
この場合、ガスG1は、水蒸気としている。
図2(a)中のC1、C2は、第3の処理工程および第4の処理工程を行った場合である。
図2(b)は、トレンチ110における位置を例示するための模式断面図である。
すなわち、A1、B1、およびC1は、トレンチ110における開口部の位置である。 A2、B2、およびC2は、トレンチ110における底部の位置である。
すなわち、A1、B1、およびC1は、トレンチ110における開口部の位置である。 A2、B2、およびC2は、トレンチ110における底部の位置である。
図2(a)中のB1、B2、C1、C2からも明らかなように、第1の処理工程および第2の処理工程、第3の処理工程および第4の処理工程を行うことで、トレンチ110における開口と底部のエッチングレートが向上していることが分かる。特に、B2、C2とA2を比較すると、ラジカルが届きにくいトレンチ110における底部もエッチングレートが向上していることが分かる。
図2(a)から分かるように、本実施の形態に係るプラズマ処理方法によれば、エッチングレートを向上させることができる。
このことは、シリコンに比べて元素間の結合強度が高い炭化シリコンが表面領域100aに含まれていても、表面領域100aを容易に除去することができることを意味する。
また、ダメージの発生の少ないフッ素ラジカルを用いて、表面領域100aを除去するので、表面領域100aを除去した際に露出する下層にダメージが発生するのを抑制することができる。
図2(a)から分かるように、本実施の形態に係るプラズマ処理方法によれば、エッチングレートを向上させることができる。
このことは、シリコンに比べて元素間の結合強度が高い炭化シリコンが表面領域100aに含まれていても、表面領域100aを容易に除去することができることを意味する。
また、ダメージの発生の少ないフッ素ラジカルを用いて、表面領域100aを除去するので、表面領域100aを除去した際に露出する下層にダメージが発生するのを抑制することができる。
またさらに、イオンやラジカルなどのプラズマ生成物を生成した際に発生した光には、波長の短い紫外線が含まれている。
ダメージが発生している表面領域100aに紫外線が照射されると、紫外線が表面領域100aにある炭化シリコンに吸収されてSiとCの結合が励起される。SiとCの結合が励起されると、SiとCの結合が弱まるので、フッ素ラジカルを用いた表面領域100aの除去がさらに容易となる。
ダメージが発生している表面領域100aに紫外線が照射されると、紫外線が表面領域100aにある炭化シリコンに吸収されてSiとCの結合が励起される。SiとCの結合が励起されると、SiとCの結合が弱まるので、フッ素ラジカルを用いた表面領域100aの除去がさらに容易となる。
また、ダメージが発生している表面領域100aに、イオンを打ち込めば、フッ素ラジカルを用いた表面領域100aの除去がさらに容易となる。
この場合、表面領域100aに紫外線やイオンが供給されると、表面領域100aにダメージが発生することになる。しかしながら、表面領域100aは、後述するフッ素ラジカルを用いた処理により除去されるので問題はない。
そのため、第1の処理工程または第3の処理工程において、生成された紫外線およびイオンの少なくともいずれかが表面領域100aに供給されるようにすることが好ましい。
この場合、表面領域100aに紫外線やイオンが供給されると、表面領域100aにダメージが発生することになる。しかしながら、表面領域100aは、後述するフッ素ラジカルを用いた処理により除去されるので問題はない。
そのため、第1の処理工程または第3の処理工程において、生成された紫外線およびイオンの少なくともいずれかが表面領域100aに供給されるようにすることが好ましい。
ここで、フッ素ラジカルが生成される際に、イオンや紫外線も生成される。
生成されたイオンや紫外線が基板100の表面に到達すると、表面領域100aを除去した際に露出する下層にダメージが発生するおそれがある。
そのため、ダメージが発生している表面領域100aを除去する際には、イオンや紫外線は基板100の表面に到達しないようにする。
生成されたイオンや紫外線が基板100の表面に到達すると、表面領域100aを除去した際に露出する下層にダメージが発生するおそれがある。
そのため、ダメージが発生している表面領域100aを除去する際には、イオンや紫外線は基板100の表面に到達しないようにする。
例えば、リモートプラズマ処理装置などのように、基板100を載置する雰囲気(例えば、後述する処理空間10c)から離隔された雰囲気(例えば、後述する放電管11a内)においてプラズマ生成物を生成し、生成されたプラズマ生成物を基板100を載置する雰囲気に輸送するようにすればよい。この様にすれば、寿命の短いイオンが基板100を載置する雰囲気に到達しないようにすることができる。また、紫外線が基板100を載置する雰囲気に到達しないようにすることができる。この場合、イオンよりも寿命の長いフッ素ラジカルは、基板100を載置する雰囲気に到達することができる。
すなわち、第2の処理工程または第4の処理工程において、生成された紫外線およびイオンの基板100への供給が抑制されるようにすることが好ましい。
すなわち、第2の処理工程または第4の処理工程において、生成された紫外線およびイオンの基板100への供給が抑制されるようにすることが好ましい。
(第2の実施形態)
図3は、第2の実施形態に係るプラズマ処理装置1を例示するための模式断面図である。
図4は、他の実施形態に係る接続管14aを例示するための模式断面図である。
プラズマ処理装置1は、前述したプラズマ処理方法を実行することができる。
図3に例示をしたプラズマ処理装置1は、リモートプラズマ処理装置の一種であるCDE装置である。
図3は、第2の実施形態に係るプラズマ処理装置1を例示するための模式断面図である。
図4は、他の実施形態に係る接続管14aを例示するための模式断面図である。
プラズマ処理装置1は、前述したプラズマ処理方法を実行することができる。
図3に例示をしたプラズマ処理装置1は、リモートプラズマ処理装置の一種であるCDE装置である。
図3に示すように、プラズマ処理装置1には、処理容器10、プラズマ発生部11、減圧部12、ガス供給部13、接続管14、移動部15、および制御部16が設けられている。
処理容器10は、大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能な気密構造を有している。 処理容器10には、図示しない搬入搬出口が設けられ、図示しない搬入搬出口を介して基板100の搬入と搬出が行えるようになっている。
処理容器10は、大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能な気密構造を有している。 処理容器10には、図示しない搬入搬出口が設けられ、図示しない搬入搬出口を介して基板100の搬入と搬出が行えるようになっている。
処理容器10の内部には、基板100を載置する載置部10aが設けられている。載置部10aには、図示しない静電チャックを内蔵させることができる。また、載置部10aには、基板100の温度を制御するための図示しない加熱装置などを設けることができる。
処理容器10の内部であって、載置部10aの上方には整流板10bが設けられている。整流板10bは、接続管14から導入されるラジカルを含んだガスの流れを整流し、基板100の上方におけるラジカルの量が均一となるようにする。整流板10bと載置部10aの上面(載置面)との間の領域が、基板100に対するエッチング処理が行われる処理空間10cとなる。
処理容器10の内部であって、載置部10aの上方には整流板10bが設けられている。整流板10bは、接続管14から導入されるラジカルを含んだガスの流れを整流し、基板100の上方におけるラジカルの量が均一となるようにする。整流板10bと載置部10aの上面(載置面)との間の領域が、基板100に対するエッチング処理が行われる処理空間10cとなる。
プラズマ発生部11には、放電管11a、導入導波管11b、およびマイクロ波発生部11cが設けられている。
放電管11aは、内部にプラズマPを発生させる領域を有し、処理容器10から離隔された位置に設けられている。放電管11aは管状を呈し、マイクロ波Mに対する透過率が高くエッチングされにくい材料から形成されている。例えば、放電管11aは、アルミナや石英などの誘電体から形成することができる。
放電管11aは、内部にプラズマPを発生させる領域を有し、処理容器10から離隔された位置に設けられている。放電管11aは管状を呈し、マイクロ波Mに対する透過率が高くエッチングされにくい材料から形成されている。例えば、放電管11aは、アルミナや石英などの誘電体から形成することができる。
導入導波管11bは、マイクロ波発生部11cから放射されたマイクロ波Mを伝播させて、プラズマPを発生させる領域にマイクロ波Mを導入する。
導入導波管11bは、筒状を呈している。マイクロ波発生部11cから放射されたマイクロ波Mは、導入導波管11bの内部の空間を伝播する。
導入導波管11bの一方の端部にはマイクロ波発生部11cが接続されている。導入導波管11bの他方の端部は、遮蔽部11b1を介して放電管11aと接続されている。また、導入導波管11bと遮蔽部11b1との接続部分には、環状のスロット11b2が設けられている。導入導波管11bの内部を伝播してきたマイクロ波Mは、スロット11b2を介して放電管11aの内部に導入される。
導入導波管11bは、筒状を呈している。マイクロ波発生部11cから放射されたマイクロ波Mは、導入導波管11bの内部の空間を伝播する。
導入導波管11bの一方の端部にはマイクロ波発生部11cが接続されている。導入導波管11bの他方の端部は、遮蔽部11b1を介して放電管11aと接続されている。また、導入導波管11bと遮蔽部11b1との接続部分には、環状のスロット11b2が設けられている。導入導波管11bの内部を伝播してきたマイクロ波Mは、スロット11b2を介して放電管11aの内部に導入される。
マイクロ波発生部11cは、所定の周波数(例えば2.75GHz)のマイクロ波Mを発生させ、導入導波管11bに向けて放射する。
減圧部12は、処理容器10の内部を所定の圧力まで減圧する。
減圧部12は、例えば、ターボ分子ポンプなどとすることができる。減圧部12は、圧力制御部(Auto Pressure Controller:APC)12aを介して処理容器10と接続されている。
減圧部12は、処理容器10の内部を所定の圧力まで減圧する。
減圧部12は、例えば、ターボ分子ポンプなどとすることができる。減圧部12は、圧力制御部(Auto Pressure Controller:APC)12aを介して処理容器10と接続されている。
ガス供給部13は、ガス供給源13a1、13a2、13a3、および、流量制御部13b1、13b2、13b3を有する。
ガス供給部13は、プラズマPを発生させる領域にガスG1〜G3を適宜供給する。すなわち、ガス供給部13は、放電管11aの内部にガスG1〜3を適宜供給する。
ガス供給部13は、プラズマPを発生させる領域にガスG1〜G3を適宜供給する。すなわち、ガス供給部13は、放電管11aの内部にガスG1〜3を適宜供給する。
ガス供給源13a1は、前述したガスG1をプラズマPを発生させる領域に供給する。ガス供給源13a1は、例えば、ガスG1を収納した高圧ボンベや工場配管などとすることができる。
流量制御部13b1は、ガスG1の供給量を制御する。流量制御部13b1は、例えば、MFC(Mass Flow Controller)などとすることができる。
流量制御部13b1は、ガスG1の供給量を制御する。流量制御部13b1は、例えば、MFC(Mass Flow Controller)などとすることができる。
ガス供給源13a2は、前述したガスG2をプラズマPを発生させる領域に供給する。ガス供給源13a2は、例えば、ガスG2を収納した高圧ボンベや工場配管などとすることができる。
流量制御部13b2は、ガスG2の供給量を制御する。流量制御部13b2は、例えば、MFCなどとすることができる。
流量制御部13b2は、ガスG2の供給量を制御する。流量制御部13b2は、例えば、MFCなどとすることができる。
ガス供給源13a3は、ガスG3をプラズマPを発生させる領域に供給する。ガス供給源13a3は、例えば、ガスG3を収納した高圧ボンベや工場配管などとすることができる。
流量制御部13b3は、ガスG3の供給量を制御する。流量制御部13b3は、例えば、MFCなどとすることができる。
ガスG3は、例えば、Ar、He、Xeなどの希ガスや、窒素ガスなどの不活性ガスとすることができる。ガスG3は、水が付着した表面領域100aに対して不活性ガスを用いたプラズマ処理を施す場合などに用いられる。
流量制御部13b3は、ガスG3の供給量を制御する。流量制御部13b3は、例えば、MFCなどとすることができる。
ガスG3は、例えば、Ar、He、Xeなどの希ガスや、窒素ガスなどの不活性ガスとすることができる。ガスG3は、水が付着した表面領域100aに対して不活性ガスを用いたプラズマ処理を施す場合などに用いられる。
なお、ガス供給部13の構成は、例示をしたものに限定されるわけではない。ガス供給部13の構成は、実行するプラズマ処理により適宜変更することができる。
例えば、前述したガスG1を用いたプラズマ処理と、ガスG2を用いたプラズマ処理を行う場合には、ガス供給源13a3および流量制御部13b3を省くことができる。
また、水が付着した表面領域100aに対して不活性ガスを用いたプラズマ処理を施す場合には、ガス供給源13a1および流量制御部13b1を省くことができる。
例えば、前述したガスG1を用いたプラズマ処理と、ガスG2を用いたプラズマ処理を行う場合には、ガス供給源13a3および流量制御部13b3を省くことができる。
また、水が付着した表面領域100aに対して不活性ガスを用いたプラズマ処理を施す場合には、ガス供給源13a1および流量制御部13b1を省くことができる。
接続管14は、放電管9と処理容器10とを接続する。
接続管14の一方の端部は、放電管11aの、ガス供給部13側とは反対側の端部に接続されている。接続管14の他方の端部は、処理容器10と接続されている。
なお、接続管14は必ずしも必要ではない。例えば、放電管11aと処理容器10が接続されるようにしてもよい。
接続管14の一方の端部は、放電管11aの、ガス供給部13側とは反対側の端部に接続されている。接続管14の他方の端部は、処理容器10と接続されている。
なお、接続管14は必ずしも必要ではない。例えば、放電管11aと処理容器10が接続されるようにしてもよい。
また、処理容器10における接続管14の配設位置には特に限定はないが、載置部10aの真上とすることが好ましい。また、接続管14の形状には特に限定はないが、直線状、すなわち真っ直ぐな筒状体とすることが好ましい。この様にすれば、生成したラジカルを効率よく基板100に供給することができる。
また、前述した、表面領域100aに対する紫外線やイオンの供給を行うことが容易となる。
また、前述した、表面領域100aに対する紫外線やイオンの供給を行うことが容易となる。
また、図4に例示をしたように、屈曲した接続管14aとすれば、表面領域100aを除去した際に露出する下層に紫外線やイオンが供給されるのを抑制することができる。例えば、前述した表面領域100aに対する紫外線やイオンの供給を行わない場合には、屈曲した接続管14aとすることが好ましい。
移動部15は、放電管9に対する導入導波管11bの位置を移動させる。すなわち、移動部15は、プラズマPの位置を変化させる。
例えば、移動部15は、放電管11aに沿って、遮蔽部11b1、スロット11b2、導入導波管11b、およびマイクロ波発生部11cを移動させる。
移動部15は、放電管11aに沿って、遮蔽部11b1、スロット11b2、および、導入導波管11bを移動させるものとすることもできる。この場合、マイクロ波発生部11cと導入導波管11bの間には、可撓性を有する筒状体を設けることができる。
移動部15は、例えば、サーボモータなどの制御モータ、直動軸受けなどの案内機構、ボールネジなどの伝導機構を備えたものとすることができる。
例えば、移動部15は、放電管11aに沿って、遮蔽部11b1、スロット11b2、導入導波管11b、およびマイクロ波発生部11cを移動させる。
移動部15は、放電管11aに沿って、遮蔽部11b1、スロット11b2、および、導入導波管11bを移動させるものとすることもできる。この場合、マイクロ波発生部11cと導入導波管11bの間には、可撓性を有する筒状体を設けることができる。
移動部15は、例えば、サーボモータなどの制御モータ、直動軸受けなどの案内機構、ボールネジなどの伝導機構を備えたものとすることができる。
移動部15を設ける様にすれば、プラズマPと表面領域100aとの間の距離を制御することが容易となる。
例えば、紫外線やイオンを表面領域100aに供給する際には、プラズマPと表面領域100aとの間の距離が短くなるようにする。この様にすれば、表面領域100aへの紫外線やイオンの供給が容易となるので、フッ素ラジカルによる表面領域100aの除去が容易となる。
基板100への紫外線やイオンの供給を抑制する際には、プラズマPと表面領域100aとの間の距離が長くなるようにする。この様にすれば、表面領域100aを除去した際に露出する下層に紫外線やイオンが供給されるのが抑制されるので、下層にダメージが発生するのを抑制することができる。
例えば、紫外線やイオンを表面領域100aに供給する際には、プラズマPと表面領域100aとの間の距離が短くなるようにする。この様にすれば、表面領域100aへの紫外線やイオンの供給が容易となるので、フッ素ラジカルによる表面領域100aの除去が容易となる。
基板100への紫外線やイオンの供給を抑制する際には、プラズマPと表面領域100aとの間の距離が長くなるようにする。この様にすれば、表面領域100aを除去した際に露出する下層に紫外線やイオンが供給されるのが抑制されるので、下層にダメージが発生するのを抑制することができる。
また、プラズマPと表面領域100aとの間の距離は、プラズマPの拡がりを変えることで変化させることができる。
例えば、プラズマPの拡がりを大きくすれば、プラズマPと表面領域100aとの間の距離を短くすることができる。
プラズマPの拡がりを小さくすれば、プラズマPと表面領域100aとの間の距離を長くすることができる。
例えば、プラズマPの拡がりを大きくすれば、プラズマPと表面領域100aとの間の距離を短くすることができる。
プラズマPの拡がりを小さくすれば、プラズマPと表面領域100aとの間の距離を長くすることができる。
プラズマPの拡がりは、処理圧力、マイクロ波などのパワー、ガスの組成などにより変化させることができる。
例えば、処理圧力を低くすればプラズマPの拡がりを大きくすることができる。処理圧力を高くすればプラズマPの拡がりを小さくすることができる。
マイクロ波などのパワーを高くすればプラズマPの拡がりを大きくすることができる。マイクロ波などのパワーを低くすればプラズマPの拡がりを小さくすることができる。
ガスG1またはガスG2を供給する際に、ガスG3を添加すれば、プラズマPの拡がりを大きくすることができる。
例えば、処理圧力を低くすればプラズマPの拡がりを大きくすることができる。処理圧力を高くすればプラズマPの拡がりを小さくすることができる。
マイクロ波などのパワーを高くすればプラズマPの拡がりを大きくすることができる。マイクロ波などのパワーを低くすればプラズマPの拡がりを小さくすることができる。
ガスG1またはガスG2を供給する際に、ガスG3を添加すれば、プラズマPの拡がりを大きくすることができる。
なお、プラズマPの拡がりを変えることでプラズマPと表面領域100aとの間の距離を変化させる場合には、移動部15を省くこともできる。
また、移動部15によるプラズマPの位置制御と、減圧部12やガス供給部13などによるプラズマPの拡がりの制御とを行う様にすることもできる。
なお、プラズマPと表面領域100aとの間の適切な距離は、実験やシミュレーションを行うことで適宜決定することができる。
また、移動部15によるプラズマPの位置制御と、減圧部12やガス供給部13などによるプラズマPの拡がりの制御とを行う様にすることもできる。
なお、プラズマPと表面領域100aとの間の適切な距離は、実験やシミュレーションを行うことで適宜決定することができる。
制御部16は、CPU(Central Processing Unit)などの演算部と、メモリなどの記憶部とを備えている。
制御部16は、記憶部に格納されている制御プログラムに基づいて、プラズマ処理装置1に設けられた各要素の動作を制御する。なお、各要素の動作を制御する制御プログラムには既知の技術を適用することができるので、詳細な説明は省略する。
制御部16は、記憶部に格納されている制御プログラムに基づいて、プラズマ処理装置1に設けられた各要素の動作を制御する。なお、各要素の動作を制御する制御プログラムには既知の技術を適用することができるので、詳細な説明は省略する。
また、制御部16は、以下の制御を行うことができる。
制御部16は、移動部15を制御して、プラズマPの位置制御を行う。
制御部16は、移動部15を制御して、プラズマPと表面領域100aとの間の距離を短くすることで、紫外線とイオンが表面領域100aに供給される様にする。
また、制御部16は、移動部15を制御して、プラズマPと表面領域100aとの間の距離を長くすることで、紫外線とイオンが表面領域100aが除去された際に露出する下層に供給されないようにする。
制御部16は、移動部15を制御して、プラズマPの位置制御を行う。
制御部16は、移動部15を制御して、プラズマPと表面領域100aとの間の距離を短くすることで、紫外線とイオンが表面領域100aに供給される様にする。
また、制御部16は、移動部15を制御して、プラズマPと表面領域100aとの間の距離を長くすることで、紫外線とイオンが表面領域100aが除去された際に露出する下層に供給されないようにする。
制御部16は、減圧部12、マイクロ波発生部11c、およびガス供給部13の少なくともいずれかを制御して、プラズマPの拡がりの制御を行う。
制御部16は、減圧部12を制御して、処理圧力を低くすることでプラズマPの拡がりを大きくして、紫外線とイオンが表面領域100aに供給される様にする。
制御部16は、減圧部12を制御して、処理圧力を高くすることでプラズマPの拡がりを小さくして、紫外線とイオンが表面領域100aが除去された際に露出する下層に供給されないようにする。
制御部16は、減圧部12を制御して、処理圧力を低くすることでプラズマPの拡がりを大きくして、紫外線とイオンが表面領域100aに供給される様にする。
制御部16は、減圧部12を制御して、処理圧力を高くすることでプラズマPの拡がりを小さくして、紫外線とイオンが表面領域100aが除去された際に露出する下層に供給されないようにする。
制御部16は、マイクロ波発生部11cを制御して、出力を高くすることでプラズマPの拡がりを大きくして、紫外線とイオンが表面領域100aに供給される様にする。
制御部16は、マイクロ波発生部11cを制御して、出力を低くすることでプラズマPの拡がりを小さくして、紫外線とイオンが表面領域100aが除去された際に露出する下層に供給されないようにする。
制御部16は、マイクロ波発生部11cを制御して、出力を低くすることでプラズマPの拡がりを小さくして、紫外線とイオンが表面領域100aが除去された際に露出する下層に供給されないようにする。
制御部16は、ガス供給部13を制御して、ガスG1またはガスG2にガスG3を添加することで、プラズマPの拡がりを大きくして、紫外線とイオンが表面領域100aに供給される様にする。
プラズマ処理装置1は、水供給部17をさらに備えることができる。
水供給部17は、処理容器10の外部に設けられている。水供給部17は、収納容器200の内部に設けることができる。水供給部17は、表面領域100aに水を付着することができるものであれば特に限定はない。水供給部17は、例えば、回転する基板100に水を供給するスピンコーティング法、基板100に水を噴霧するスプレー法、基板100を水に浸漬させる浸漬法などを実行可能なものとすることができる。または、RIEにてトレンチや孔を形成した後に、エッチング残渣(デポ物)やパーティクルを除去するために洗浄処理を行うが、基板100を洗浄した後、乾燥工程を経ずに、または乾燥を行っても完全に乾燥させない状態にすることで、基板100の表面領域100aに水を付着させた状態とすることができる。なお、スピンコーティング法、スプレー法、および浸漬法などを実行可能な装置には既知の技術を適用することができるので、詳細な説明は省略する。
水供給部17は、処理容器10の外部に設けられている。水供給部17は、収納容器200の内部に設けることができる。水供給部17は、表面領域100aに水を付着することができるものであれば特に限定はない。水供給部17は、例えば、回転する基板100に水を供給するスピンコーティング法、基板100に水を噴霧するスプレー法、基板100を水に浸漬させる浸漬法などを実行可能なものとすることができる。または、RIEにてトレンチや孔を形成した後に、エッチング残渣(デポ物)やパーティクルを除去するために洗浄処理を行うが、基板100を洗浄した後、乾燥工程を経ずに、または乾燥を行っても完全に乾燥させない状態にすることで、基板100の表面領域100aに水を付着させた状態とすることができる。なお、スピンコーティング法、スプレー法、および浸漬法などを実行可能な装置には既知の技術を適用することができるので、詳細な説明は省略する。
収納容器200は、水密構造を有している。収納容器200には、図示しない搬入搬出口が設けられ、図示しない搬入搬出口を介して基板100の搬入と搬出が行えるようになっている。
収納容器200の内部には、基板100を載置する載置部200aなどを設けることができる。
収納容器200の内部には、基板100を載置する載置部200aなどを設けることができる。
プラズマ処理装置1は、例えば、以下の様にして、ダメージが発生している表面領域100aを除去する。
まず、図示しない搬送装置により、基板100が載置部10aの上に載置される。
次に、ガス供給源13a1から流量制御部13b1を介して所定流量のガスG1が放電管11a内に供給される。一方、マイクロ波発生部11cから所定のパワーのマイクロ波Mが導入導波管11b内に放射される。放射されたマイクロ波Mは導入導波管11b内を伝播して、スロット11b2を介して放電管11aに向けて放射される。
まず、図示しない搬送装置により、基板100が載置部10aの上に載置される。
次に、ガス供給源13a1から流量制御部13b1を介して所定流量のガスG1が放電管11a内に供給される。一方、マイクロ波発生部11cから所定のパワーのマイクロ波Mが導入導波管11b内に放射される。放射されたマイクロ波Mは導入導波管11b内を伝播して、スロット11b2を介して放電管11aに向けて放射される。
放電管11aに向けて放射されたマイクロ波Mは、放電管11aの表面を伝搬して、放電管11a内に放射される。このようにして放電管11a内に放射されたマイクロ波Mのエネルギーにより、プラズマPが発生する。そして、発生したプラズマP中の電子密度が、放電管11aを介して供給されるマイクロ波Mを遮蔽できる密度(カットオフ密度)以上になると、マイクロ波Mは放電管11aの内壁面から放電管11a内の空間に向けて一定距離(スキンデプス)だけ入るまでの間に反射されるようになる。そのため、このマイクロ波Mの反射面とスロット11b2の下面との間にはマイクロ波Mの定在波が形成されることになる。その結果、マイクロ波Mの反射面がプラズマ励起面となって、このプラズマ励起面で安定的にプラズマPが励起、発生するようになる。このプラズマ励起面で励起、発生したプラズマP中において、ガスG1が励起、活性化されて水素ラジカル、イオンなどのプラズマ生成物が生成される。
生成されたプラズマ生成物を含むガスは、接続管14、14aを介して処理容器10内に搬送される。この際、寿命の短いイオンなどは処理容器10にまで到達できず、寿命の長い水素ラジカルのみが処理容器10に到達することになる。処理容器10内に導入された水素ラジカルを含むガスは、整流板10bで整流されて表面領域100aに供給される。
なお、ガスG1は、水素ガスにさらに酸素ガスを加えた混合ガスとすることができる。この場合、表面領域100aには水素ラジカルに加え、酸素ラジカルも供給される。
この様にすることで、次に行うフッ素ラジカルによる表面反応を促進させることができる。
なお、ガスG1は、水素ガスにさらに酸素ガスを加えた混合ガスとすることができる。この場合、表面領域100aには水素ラジカルに加え、酸素ラジカルも供給される。
この様にすることで、次に行うフッ素ラジカルによる表面反応を促進させることができる。
次に、ガス供給源13a2から流量制御部13b2を介して所定流量のガスG2が放電管11a内に供給される。
前述したものと同様にしてプラズマPを発生させ、ガスG2を励起、活性化させてフッ素ラジカル、酸素ラジカル、イオンなどのプラズマ生成物を生成する。
そして、前述したものと同様にして、フッ素ラジカルと酸素ラジカルのみを表面領域100aに供給する。前述した処理を行うことで、フッ素ラジカルによる表面反応が促進されるので、シリコンに比べて元素間の結合強度が高い炭化シリコンが表面領域100aに含まれていても、表面領域100aを容易に除去することができる。
また、ダメージの発生の少ないフッ素ラジカルにより表面領域100aを除去するので、表面領域100aを除去した際に露出する下層にダメージが発生するのを抑制することができる。
前述したものと同様にしてプラズマPを発生させ、ガスG2を励起、活性化させてフッ素ラジカル、酸素ラジカル、イオンなどのプラズマ生成物を生成する。
そして、前述したものと同様にして、フッ素ラジカルと酸素ラジカルのみを表面領域100aに供給する。前述した処理を行うことで、フッ素ラジカルによる表面反応が促進されるので、シリコンに比べて元素間の結合強度が高い炭化シリコンが表面領域100aに含まれていても、表面領域100aを容易に除去することができる。
また、ダメージの発生の少ないフッ素ラジカルにより表面領域100aを除去するので、表面領域100aを除去した際に露出する下層にダメージが発生するのを抑制することができる。
また、表面領域100aに水を付着させ、水が付着した表面領域100aに対してプラズマ処理を行う場合には以下のようにすることができる。
まず、水供給部17により、表面領域100aに水を付着させる。
次に、図示しない搬送装置により、水が付着した基板100が載置部10aの上に載置される。
次に、ガス供給源13a3から流量制御部13b3を介して所定流量のガスG3が放電管11a内に供給される。
前述したものと同様にしてプラズマPを発生させ、ガスG3励起、活性化させてプラズマ生成物を生成する。
そして、前述したものと同様にして、ラジカルのみを表面領域100aに供給する。表面領域100aに付着した水とラジカルにより、次に行うフッ素ラジカルによる表面反応が促進されるようにすることができる。
まず、水供給部17により、表面領域100aに水を付着させる。
次に、図示しない搬送装置により、水が付着した基板100が載置部10aの上に載置される。
次に、ガス供給源13a3から流量制御部13b3を介して所定流量のガスG3が放電管11a内に供給される。
前述したものと同様にしてプラズマPを発生させ、ガスG3励起、活性化させてプラズマ生成物を生成する。
そして、前述したものと同様にして、ラジカルのみを表面領域100aに供給する。表面領域100aに付着した水とラジカルにより、次に行うフッ素ラジカルによる表面反応が促進されるようにすることができる。
次に、ガス供給源13a2から流量制御部13b2を介して所定流量のガスG2が放電管11a内に供給される。
前述したものと同様にしてプラズマPを発生させ、ガスG2を励起、活性化させてフッ素ラジカル、酸素ラジカル、イオンなどのプラズマ生成物を生成する。
そして、前述したものと同様にして、フッ素ラジカルと酸素ラジカルのみを表面領域100aに供給する。前述した処理を行うことで、フッ素ラジカルによる表面反応が促進されるので、シリコンに比べて元素間の結合強度が高い炭化シリコンが表面領域100aに含まれていても、表面領域100aを容易に除去することができる。
また、ダメージの発生の少ないフッ素ラジカルにより表面領域100aを除去するので、表面領域100aを除去した際に露出する下層にダメージが発生するのを抑制することができる。
前述したものと同様にしてプラズマPを発生させ、ガスG2を励起、活性化させてフッ素ラジカル、酸素ラジカル、イオンなどのプラズマ生成物を生成する。
そして、前述したものと同様にして、フッ素ラジカルと酸素ラジカルのみを表面領域100aに供給する。前述した処理を行うことで、フッ素ラジカルによる表面反応が促進されるので、シリコンに比べて元素間の結合強度が高い炭化シリコンが表面領域100aに含まれていても、表面領域100aを容易に除去することができる。
また、ダメージの発生の少ないフッ素ラジカルにより表面領域100aを除去するので、表面領域100aを除去した際に露出する下層にダメージが発生するのを抑制することができる。
また、前述したように、プラズマ生成物を生成した際に発生した紫外線やイオンを表面領域100aに供給するようにしてもよい。
例えば、移動部15により、プラズマPと表面領域100aとの間の距離を短くすることで、紫外線やイオンが表面領域100aに供給されるようにする。
また、減圧部12、マイクロ波発生部11c、およびガス供給部13の少なくともいずれかにより、プラズマPの拡がりを大きくすることで、紫外線やイオンが表面領域100aに供給されるようにする。
なお、プラズマPの位置制御、およびプラズマPの拡がりの制御は、前述したものと同様とすることができるので詳細な説明は省略する。
例えば、移動部15により、プラズマPと表面領域100aとの間の距離を短くすることで、紫外線やイオンが表面領域100aに供給されるようにする。
また、減圧部12、マイクロ波発生部11c、およびガス供給部13の少なくともいずれかにより、プラズマPの拡がりを大きくすることで、紫外線やイオンが表面領域100aに供給されるようにする。
なお、プラズマPの位置制御、およびプラズマPの拡がりの制御は、前述したものと同様とすることができるので詳細な説明は省略する。
また、これとは逆に、フッ素ラジカルにより表面領域100aを除去する際に、紫外線やイオンが表面領域100aに供給されないようにすることもできる。
例えば、移動部15により、プラズマPと表面領域100aとの間の距離を長くすることで、紫外線やイオンが表面領域100aに供給されないようにする。
また、減圧部12、マイクロ波発生部11c、およびガス供給部13の少なくともいずれかにより、プラズマPの拡がりを小さくすることで、紫外線やイオンが表面領域100aに供給されないようにする。
例えば、移動部15により、プラズマPと表面領域100aとの間の距離を長くすることで、紫外線やイオンが表面領域100aに供給されないようにする。
また、減圧部12、マイクロ波発生部11c、およびガス供給部13の少なくともいずれかにより、プラズマPの拡がりを小さくすることで、紫外線やイオンが表面領域100aに供給されないようにする。
以上、実施の形態について例示をした。しかし、本発明はこれらの記述に限定されるものではない。
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、または、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
例えば、プラズマ処理装置1が備える各要素の形状、寸法、材質、配置、数などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、または、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
例えば、プラズマ処理装置1が備える各要素の形状、寸法、材質、配置、数などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
1 プラズマ処理装置、10 処理容器、10a 載置部、11 プラズマ発生部、11a 放電管、11b 導入導波管、11c マイクロ波発生部、12 減圧部、13 ガス供給部、14 接続管、15 移動部、16 制御部、17 水供給部、100 基板、100a 表面領域、G ガス、M マイクロ波、P プラズマ
Claims (12)
- 炭化シリコンを含む基板の、ダメージが発生している表面領域を除去するプラズマ処理方法であって、
前記基板を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、プラズマを用いて水素ラジカルを生成し、前記表面領域に前記水素ラジカルを供給する第1の処理工程と、
前記基板を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、前記プラズマを用いてフッ素ラジカルを生成し、前記水素ラジカルが供給された前記表面領域に前記フッ素ラジカルを供給する第2の処理工程と、
を備えたプラズマ処理方法。 - 前記第1の処理工程において、水素ガス、および水蒸気の少なくともいずれかが、プラズマを発生させる領域に供給される請求項1記載のプラズマ処理方法。
- 前記第1の処理工程において、前記プラズマを発生させる領域に酸素ガスをさらに供給し、前記表面領域に酸素ラジカルも供給することを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理方法。
- 前記第1の処理工程において、生成された紫外線およびイオンの少なくともいずれかが前記表面領域に供給される請求項1〜3のいずれか1つに記載のプラズマ処理方法。
- 炭化シリコンを含む基板の、ダメージが発生している表面領域を除去するプラズマ処理方法であって、
前記表面領域に水を付着させる第3の処理工程と、
前記基板を載置する雰囲気から離隔された雰囲気において、前記プラズマを用いてフッ素ラジカルを生成し、前記水が付着した前記表面領域に前記フッ素ラジカルを供給する第4の処理工程と、
を備えたプラズマ処理方法。 - 前記第3の処理工程において、生成された紫外線およびイオンの少なくともいずれかが前記表面領域に供給される請求項5記載のプラズマ処理方法。
- 前記第4の処理工程において、生成された紫外線およびイオンの前記基板への供給が抑制される請求項5または6に記載のプラズマ処理方法。
- 大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能な処理容器と、
前記処理容器の内部を所定の圧力まで減圧する減圧部と、
前記処理容器の内部に設けられ、基板を載置する載置部と、
内部にプラズマを発生させる領域を有し、前記処理容器から離隔された位置に設けられた放電管と、
マイクロ波を発生させるマイクロ波発生部と、
前記マイクロ波を伝播させて、前記プラズマを発生させる領域に前記マイクロ波を導入する導入導波管と、
前記プラズマを発生させる領域にガスを供給するガス供給部と、
を備え、
前記基板は、炭化シリコンを含み、ダメージが発生している表面領域を有し、
前記ガス供給部が、水素ガス、および水蒸気の少なくともいずれかを前記プラズマを発生させる領域に供給することで、前記プラズマを発生させる領域において発生させたプラズマにより水素ラジカルが生成され、前記生成された前記水素ラジカルが、前記表面領域に供給され、
前記ガス供給部が、フッ素原子を含むガスを前記プラズマを発生させる領域に供給することで、前記プラズマを発生させる領域において前記発生させたプラズマによりフッ素ラジカルが生成され、前記生成された前記フッ素ラジカルが、前記水素ラジカルが供給された前記表面領域に供給されるプラズマ処理装置。 - 前記プラズマを発生させる領域に前記水素ガスの供給とともに、酸素ガスをさらに供給し、前記表面領域に酸素ラジカルも供給することを特徴とする請求項8記載のプラズマ処理装置。
- 前記プラズマにより前記水素ラジカルが生成された際に生成された紫外線およびイオンの少なくともいずれかが前記表面領域に供給される請求項8記載のプラズマ処理装置。
- 大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能な処理容器と、
前記処理容器の内部を所定の圧力まで減圧する減圧部と、
前記処理容器の内部に設けられ、基板を載置する載置部と、
内部にプラズマを発生させる領域を有し、前記処理容器から離隔された位置に設けられた放電管と、
マイクロ波を発生させるマイクロ波発生部と、
前記マイクロ波を伝播させて、前記プラズマを発生させる領域に前記マイクロ波を導入する導入導波管と、
前記プラズマを発生させる領域にガスを供給するガス供給部と、
前記処理容器の外部に設けられ、前記基板のダメージが発生している表面領域に水を付着させる水供給部と、
を備え、
前記基板は、炭化シリコンを含み、
前記ガス供給部が、フッ素原子を含むガスを前記プラズマを発生させる領域に供給することで、前記プラズマを発生させる領域において前記発生させたプラズマによりフッ素ラジカルが生成され、前記生成された前記フッ素ラジカルが、前記水が付着した前記表面領域に供給されるプラズマ処理装置。 - 前記プラズマにより前記ラジカルが生成された際に生成された紫外線およびイオンの少なくともいずれかが前記表面領域に供給される請求項11記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016071355A JP2017183611A (ja) | 2016-03-31 | 2016-03-31 | プラズマ処理方法、およびプラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2016071355A JP2017183611A (ja) | 2016-03-31 | 2016-03-31 | プラズマ処理方法、およびプラズマ処理装置 |
Publications (1)
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---|---|
JP2017183611A true JP2017183611A (ja) | 2017-10-05 |
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ID=60008638
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JP2016071355A Pending JP2017183611A (ja) | 2016-03-31 | 2016-03-31 | プラズマ処理方法、およびプラズマ処理装置 |
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Country | Link |
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-
2016
- 2016-03-31 JP JP2016071355A patent/JP2017183611A/ja active Pending
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