JP2017181272A - 検出素子及び放射線検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数の層を有する絶縁部材、絶縁部材の第1面に配置され第1の方向に延在する複数の開口部を有する複数の第1電極、絶縁部材の層間である第2面に配置され第2の方向に延在し複数の開口部に配置される貫通孔から第1面に露出する複数の第2電極、及び第1面に配置され複数の第2電極がそれぞれ接続される複数の第2接続端子を備える検出素子と、第2の方向の一端側に配置された第2接続端子と第1電極との間に、一端が配置されたドリフトケージと、を備えることを特徴とする放射線検出装置。
【選択図】図3A
Description
記第2の方向の一端側に配置された第2接続端子と第1電極の間と、第2の方向の他端側に配置された第2接続端子と第1電極の間とに、それぞれ一端が配置されたドリフトケージと、を備えることを特徴とする放射線検出装置が提供される。
特許文献2に開示されている放射線検出装置(以下「従来の放射線検出装置」という。)においては、ピクセル型電極のアノード電極パターンはビア(貫通孔)を介して表層の接続端子に接続されている。ピクセル型電極の外周部に設けられた接続端子と外部回路(以降、中継基板という)の端子は、ワイヤーボンディングで接続されている。
[放射線検出装置の概要]
図1を用いて、本発明の一実施形態に係る放射線検出装置100の構造の概要を説明する。
カソード電極の幅:350μm
カソード電極のピッチ:400μm
アノード電極の幅:300μm
アノード電極のピッチ:X方向及びY方向に400μm
アノード電極の個数:256×256=65536個
カソード電極とアノード電極との間隔:およそ100μm
図2を用いて、本発明の一実施形態に係る放射線検出装置の動作原理を説明する。図1で示す放射線検出装置100の構成は、アルゴンやキセノンなどの希ガスとエタン、メタンなどの分子性気体の混合ガスで封入されたチャンバー140内に配置する。放射線検出装置100は、ピクセル電極1とドリフト電極110の間に入射した放射線を検出する。
本発明に係る放射線検出装置が有する検出素子とドリフトケージについて、より詳細に説明する。
第1実施形態ではカソード電極104の接続端子104aはドリフトケージ111の内側に、アノード電極106の接続端子106aはドリフトケージ111の外側に配置したが、第2実施形態ではカソード電極104の接続端子104aとアノード電極106の接続端子106aとをドリフトケージ111の外側に配置する。なお第1実施形態と同様である部分は、その詳しい説明を省略する。
図4A〜図4Cを用いて、本発明に係る放射線検出装置が有する検出素子とドリフトケージについて、詳細に説明する。図4Aは本発明の一実施形態に係る検出素子10とドリフトケージ111を示す上面図である。図4Bおよび図4Cは本発明の一実施形態に係る検出素子10とドリフトケージ111を示す断面図である。図4Bには図4AのB−B’線における断面図を、図4Cには図4AのC−C’線における断面図を示す。
第1実施形態では、接続端子104aはカソード電極104が延在するX方向の一端側に、接続端子106aはアノード電極106が延在するY方向の一端側に配置したが、第3実施形態では、接続端子104aはカソード電極104が延在するX方向の両端に、接続端子106aはアノード電極106が延在するY方向の両端に交互に配置する。なお第1実施形態と同様である部分は、その詳しい説明を省略する。
図5を用いて、本発明に係る放射線検出装置が有する検出素子とドリフトケージについて、詳細に説明する。図5は本発明の一実施形態に係る検出素子10とドリフトケージ111を示す上面図である。
第2実施形態では、接続端子104aはカソード電極104が延在するX方向の一端側に、接続端子106aはアノード電極106が延在するY方向の一端側に配置したが、第3実施形態では、接続端子104aはカソード電極104が延在するX方向の両端に、接続端子106aはアノード電極106が延在するY方向の両端に交互に配置する。なお第2実施形態と同様である部分は、その詳しい説明を省略する。
図6を用いて、本発明に係る放射線検出装置が有する検出素子とドリフトケージについて、詳細に説明する。図6は本発明の一実施形態に係る検出素子10とドリフトケージ111を示す上面図である。
10:検出素子
100:放射線検出装置
102:絶縁部材
104:カソード電極
104a:カソード電極104の接続端子
105:開口部
106:アノード電極
106a:アノード電極106の接続端子
106b:層間接続部
106c:アノード電極パターン
110:ドリフト電極
111:ドリフトケージ
112:第1グランド電極
113:第2グランド電極
114:第3グランド電極
115:第4グランド電極
120:ワイヤーボンディング
130:中継基板
140:チャンバー
Claims (8)
- 複数の層を有する絶縁部材と、
前記絶縁部材の第1面に配置され、第1の方向に延在する複数の開口部を有する複数の第1電極と、
前記絶縁部材の層間である第2面に配置され、第2の方向に延在し、前記複数の開口部に配置される貫通孔から前記第1面に露出する複数の第2電極と、
前記第1面に配置され、前記複数の第2電極がそれぞれ接続される複数の第2接続端子と、を備える検出素子であって、
前記第2の方向の一端側に配置された前記第2接続端子と前記第1電極との間にドリフトケージの一端が配置されることを特徴とする検出素子。 - 複数の層を有する絶縁部材、前記絶縁部材の第1面に配置され、第1の方向に延在する複数の開口部を有する複数の第1電極、前記絶縁部材の層間である第2面に配置され、第2の方向に延在し、前記複数の開口部に配置される貫通孔から前記第1面に露出する複数の第2電極、及び前記第1面に配置され、前記複数の第2電極がそれぞれ接続される複数の第2接続端子を備える検出素子と、
前記第2の方向の一端側に配置された前記第2接続端子と前記第1電極との間に、一端が配置されたドリフトケージと、
を備えることを特徴とする放射線検出装置。 - 前記第1面に配置され、前記複数の第1電極がそれぞれ接続される複数の第1接続端子をさらに備える検出素子と、
前記第1の方向の一端側に配置された前記第1接続端子と前記第1電極との間に、一端が配置されたドリフトケージと、
をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載の放射線検出装置。 - 複数の層を有する絶縁部材と、
絶縁部材の第1面に配置され、第1の方向に延在する複数の開口部を有する複数の第1電極、前記絶縁部材の層間である第2面に配置され、第2の方向に延在し、前記複数の開口部に配置される貫通孔から前記第1面に露出する複数の第2電極、及び前記第1面の前記第2の方向の一端側と、前記第2の方向の一端側と向かい合う前記第2の方向の他端側とに交互に配置され、前記複数の第2電極がそれぞれ接続される複数の第2接続端子を備える検出素子と、
前記第2の方向の一端側に配置された前記第2接続端子と前記第1電極の間と、前記第2の方向の他端側に配置された前記第2接続端子と前記第1電極の間とに、それぞれ一端が配置されたドリフトケージと、
を備えることを特徴とする放射線検出装置。 - 前記第1面の前記第1の方向の一端側と、前記第1の方向の一端側と向かい合う前記第1の方向の他端側とに交互に配置され、前記複数の第1電極がそれぞれ接続される複数の第1接続端子をさらに備える検出素子と、
前記第1の方向の一端側に配置された前記第1接続端子と前記第1電極の間と、前記第1の方向の他端側に配置された前記第1接続端子と前記第1電極の間とに、それぞれ一端が配置されたドリフトケージと、
をさらに備えることを特徴とする請求項4に記載の放射線検出装置。 - 前記第1面と前記ドリフトケージの一端との間に第1グランド電極を備えることを特徴とする検出素子を備える請求項2乃至5の何れか1項に記載の放射線検出装置。
- 前記第2接続端子と前記第1グランド電極との間の距離は400μm以上であることを特徴とする検出素子を備える請求項6に記載の放射線検出装置。
- 前記絶縁部材の第3面および/または第4面に第2および/または第3グランド電極を備えることを特徴とする検出素子を備える請求項2乃至7の何れか1項に記載の放射線検出装置。
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JP2017181285A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 大日本印刷株式会社 | 検出素子及び放射線検出装置 |
CN111771143A (zh) * | 2018-02-28 | 2020-10-13 | 大日本印刷株式会社 | 检测元件、检测元件的制造方法以及检测装置 |
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