JP2017156354A - 液体吐出ノズルの間隔検出方法および液体吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体吐出装置は、液体吐出ノズルのノズル先端部の実像2b1および鏡像2b2を撮像し、これらの間の距離G1に基づき、実際のノズルギャップを検出する。鏡像2b2が不鮮明で画像認識できない場合等においては、液体吐出ノズルのノズル先端縁から離れた位置に形成した間隔検出用のインジケーターの実像31aおよび鏡像31bの間の距離G3を測定し、この距離G3に基づきノズルギャップを検出する。
【選択図】図5
Description
液体吐出ノズルのノズル先端部の実像と、当該液体吐出ノズルに対峙する液体吐出対象物の対象面に映る前記ノズル先端部の鏡像とを撮像し、
撮像した前記ノズル先端部のノズル先端縁の実像および鏡像の間の距離に基づき、前記ノズル先端縁と前記対象面の間の間隔を検出し、
前記液体吐出ノズルから吐出される吐出液体が障害となって、撮像した前記ノズル先端部のノズル先端縁を画像解析により識別できない場合には、
前記ノズル先端部のノズル先端縁の実像および鏡像の間の距離の代わりに、前記液体吐出ノズルにおけるノズル先端縁から外れた位置に形成されている間隔検出用のインジケーターの実像および鏡像の間の距離を測定し、
前記距離に基づき、前記ノズル先端縁と前記対象面との間の間隔を検出することを特徴としている。
液体吐出ノズルと、
前記液体吐出ノズルにおけるノズル先端縁から離れた部位に形成したインジケーターと、
液体吐出対象の対象面を備えた対象物を、前記対象面が前記液体吐出ノズルに対峙する状態に載せるワークテーブルと、
前記ワークテーブルに載せた前記対象物の前記対象面および当該対象面に対峙する前記液体吐出ノズルに対して、前記対象面および前記液体吐出ノズルのノズル中心軸線の双方に対して斜めの方向から照明光を照射する斜め照明光学系と、
前記照明光によって照射された前記液体吐出ノズルの前記インジケーターの像および、前記対象面に映る前記インジケーターの鏡像を観察するノズル観察光学系と、
前記ノズル観察光学系によって観察される前記インジケーターの実像および鏡像の間の距離を測定し、当該距離に基づき、前記液体吐出ノズルのノズル先端縁から前記対象面までの間隔を検出する第1画像処理部とを有していることを特徴としている。
図1は本発明の参考例に係る液体吐出装置の基本構成を示す概略構成図であり、図2は当該液体吐出装置の主要部を示す概略構成図である。液体吐出装置は、例えば、カラーフィルタ基板、半導体基板等の基板(吐出対象物)の基板表面(対象面)に形成されている配線パターンの欠陥等を補修するために用いられる。
対象面である基板表面5aが、ノズル2のノズル先端面2aに対して所定の間隔(以下、これを「ノズルギャップ」と呼ぶ場合もある。)で対峙する。本例では、基板表面5aが水平となるように基板5が配置され、ノズル2はそのノズル中心軸線2Aが垂直となるように配置されている。
1の光軸に沿った方向に偏向され、吐出液体観察光学系11の対物レンズ12を介して基板表面5a上に所定径の光スポットSとして結像する。
次に、図4は本発明の実施の形態に係る液体吐出装置1Aの主要部を示す概略構成図である。液体吐出装置1Aは、上記の参考例に係る液体吐出装置1において、マーカー光結像照射光学系22を配置する代わりに、図4に示すように、ノズル2の外周面にノズルギャップ検出用のインジケーター31を付けてある。
図6は上記の液体吐出装置1、1Aの変形例を示す概略構成図である。この図に示す液体吐出装置1Bは、ノズル観察光学系18に入射する反射光Lrと照明光L1を分離し、鮮明な像をノズル観察光学系18において撮像できるようにしたものである。
2 液体吐出ノズル
2a ノズル先端面
2a1 ノズル先端面の実像
2a2 ノズル先端面の鏡像
2b ノズル先端部
2b1 ノズル先端部の実像
2b2 ノズル先端部の鏡像
2A ノズル中心軸線
3 液体供給管
4 ワークテーブル
5 基板
5a 基板表面
6 Zステージ
7 Zステージコントローラ
8 第1画像処理部
9 第2画像処理部
10 制御部
11 吐出液体観察光学系
12 対物レンズ
13 観察カメラ
14 第3画像処理部
15 照明光学系
16 ビームスプリッター
17 偏向ミラー
18 ノズル観察光学系
19 対向ミラー
20 対物レンズ
21 観察カメラ
22 マーカー光結像照射光学系
23 光源
24 ビームスプリッター
25 移動ステージ
31 インジケーター
31a 実像
31b 鏡像
41 第1偏光子
42 1/4波長板
43 第2偏光子
51 光学系ユニット
52 旋回機構
L1 照明光
Lr 回帰反射光
L2 マーカー光
S 光スポット
S1 光スポットの実像
G ノズルギャップ
G1、G2、G3 距離
P 液滴
Claims (5)
- 液体吐出ノズルのノズル先端部の実像と、当該液体吐出ノズルに対峙する液体吐出対象の対象面に映る前記ノズル先端部の鏡像とを撮像し、
撮像した前記ノズル先端部のノズル先端縁の実像および鏡像の間の距離に基づき、前記ノズル先端縁と前記対象面の間の間隔を検出し、
前記液体吐出ノズルから吐出される吐出液体が障害となって、撮像した前記ノズル先端部のノズル先端縁を画像解析により識別できない場合には、
前記ノズル先端部のノズル先端縁の実像および鏡像の間の距離の代わりに、前記液体吐出ノズルにおけるノズル先端縁から外れた位置に形成されている間隔検出用のインジケーターの実像および鏡像の間の距離を測定し、
前記距離に基づき、前記ノズル先端縁と前記対象面との間の間隔を検出する、
ことを特徴とする液体吐出ノズルの間隔検出方法。 - 液体吐出ノズルと、
前記液体吐出ノズルにおけるノズル先端縁から離れた部位に形成したインジケーターと、
液体吐出対象の対象面を備えた対象物を、前記対象面が前記液体吐出ノズルに対峙する状態に載せるワークテーブルと、
前記ワークテーブルに載せた前記対象物の前記対象面および当該対象面に対峙する前記液体吐出ノズルに対して、前記対象面および前記液体吐出ノズルのノズル中心軸線の双方に対して斜めの方向から照明光を照射する斜め照明光学系と、
前記照明光によって照射された前記液体吐出ノズルの前記インジケーターの像および、前記対象面に映る前記インジケーターの鏡像を観察するノズル観察光学系と、
前記ノズル観察光学系によって観察される前記インジケーターの実像および鏡像の間の距離を測定し、当該距離に基づき、前記液体吐出ノズルのノズル先端縁から前記対象面までの間隔を検出する第1画像処理部と、
を有していることを特徴とする液体吐出装置。 - 請求項2において、
前記斜め照明光学系によって前記対象面に照射された照明光の正反射光成分を回帰反射させる対向ミラーを有し、
前記斜め照明光学系と前記ノズル観察光学系は同軸上に配置されている、
液体吐出装置。 - 請求項2または3において、
前記ノズル観察光学系によって観察される前記ノズル先端縁の実像および鏡像の間の距離を測定し、当該距離に基づき、前記ノズル先端縁と前記対象面の間の間隔を検出する第2画像処理部と、
前記間隔の算出を、前記第1画像処理部および前記第2画像処理部のうちの少なくともいずれか一方によって行なわせる制御部と、を有している液体吐出装置。 - 請求項2ないし4のうちのいずれか一つの項において、
前記液体吐出ノズルのノズル中心軸線を中心光軸とし、前記対象面に吐出された液体の状態を観察する吐出液体観察光学系を有している、
液体吐出装置。
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JP2013083482A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-09 | Azbil Corp | 状態検出装置 |
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