JP2017149605A - 導電性dlc構造体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材層と、基材層の表面に設けられた導電性DLC層と、を含む、導電性DLC構造体。基材層と、基材層の表面に設けられた導電性DLC層と、導電性DLC層と基材層との間に介在し、導電性DLCと基材層を構成する材料とが混在するミキシング層と含む、導電性DLC構造体。基材表面に高分子材料を含む高分子膜を形成する工程(X)と、基材表面に形成された高分子膜に、該高分子膜を透過可能な加速エネルギーを有するイオンビームを、照射量3×1015/cm2〜1×1018/cm2の範囲で照射し、導電性DLC層を有する構造体を得る工程(Y)と、を含む、導電性DLC構造体の製造方法。
【選択図】なし
Description
ecR9l)。該電子顕微鏡写真は、まさにグラファイトの多結晶が柱状に成長した構造を示している。このような構造では粒界にピンホールが発生し易くなり、用途として例えば固体高分子型燃料電池用金属セパレータ保護膜のような用途には適さないし、そもそもDLCを特徴づけるに充分な高硬度(HV900以上)と化学的な安定性を有するとは考え難い。
(1)基材層と、基材層の表面に設けられた導電性DLC層と、を含む、導電性DLC構造体。
(2)導電性DLC層と基材層との間に介在し、導電性DLC層を構成する導電性DLCと基材層を構成する材料とが混在するミキシング層をさらに含む、上記(1)の導電性DLC構造体。
(3)ミキシング層は、導電性DLC構造体の厚み方向に、導電性DLCの含有量が連続的又は段階的に変化する濃度勾配を有する、上記(2)の導電性DLC構造体。
(4)基材層が金属材料からなる、上記(1)〜(3)のいずれかの導電性DLC構造体。
(5)金属材料がアルミニウムである、上記(4)の導電性DLC構造体。
(6)基材の表面に高分子材料を含む高分子膜を形成する工程Xと、基材の表面に形成された高分子膜に、該高分子膜を透過可能な加速エネルギーを有するイオンビームを、照射量3×1015/cm2〜1×1018/cm2の範囲で照射し、該高分子膜を導電性DLC層に変換し、導電性DLC層を有する構造体を得る工程Yと、を含む、導電性DLC構造体の製造方法。
(7)工程Yにおける、高分子膜に照射するイオンビームのエネルギー密度が0.2W/cm2以上である、上記(6)の導電性DLC構造体の製造方法。
(8)工程Xと、工程Yと、を交互に繰返し実施する、上記(6)又は(7)の導電性DLC構造体の製造方法。
(9)工程Xにおいて、高分子膜が高分子材料の硬化層である、上記(6)〜(8)のいずれかの導電性DLC構造体の製造方法。
(10)基材が金属材料からなり、かつ基材の平坦度がシリコンウエハの平坦度よりも相対的に低い、上記(6)〜(9)のいずれかの導電性DLC構造体の製造方法。
(11)上記(1)〜(5)のいずれかの導電性DLC構造体からなる、固体高分子型燃料電池セパレータ。
酸化層(SiO2層)100nmを表面に持つシリコン基板上に、ポリビニルピロリドン(商品名:Polyvinylpyrolidone K−90、ナカライテスク(株)製)の約0.5重量%メチルアルコール溶液をスピンコータで塗布し、メチルアルコールを乾燥により除去し、厚さ約200nmのポリビニルピロリドン膜(高分子膜)を形成し、試料Aとした。
導電性DLC構造体の表面に形成されたDLC層の抵抗率(mΩ・cm)を、抵抗率計(商品名:ロレスタ、四探針法、三菱化学アナリテック(株)製)により評価した。結果を図2、図3及び図4に示す。図2は、試料A及び試料Bにおいて導電性DLC構造体の表面に形成されたDLC層の抵抗率とイオンビーム照射量との関係を示すグラフである。この時のイオン照射のエネルギー密度はArビームが1.4W/cm2、Nビームが0.44W/cm2であった。イオンビーム照射量と表面に形成されたDLC層の抵抗率の関係を示すが、同時にNイオン、Arイオンといったイオン種の影響、PVP、PSといった高分子材料の影響は小さく、どの組合せでも抵抗率が10mΩ・cm以下となり得ることを示している。図3、図4は、試料Aから作製された導電性DLC構造体の表面に形成されたDLC層の抵抗率とイオンビーム照射時のエネルギー密度との関係を示すグラフである。図3は、Nイオンをエネルギー50keV、25keV、15keVで3×1016/cm2照射した時のDLC層の抵抗率とエネルギー密度との関係を、図4は、Nイオンをエネルギー50keV、25keV、15keVで1×1017/cm2照射した時のDLC層の抵抗率とエネルギー密度との関係を示す。図3及び図4に示されているように、所定の加速エネルギーを有するイオンビームを所定の照射量、所定のエネルギー密度で高分子膜に照射することにより、抵抗率が10mΩ・cmの水準又はそれを下回り、良好な導電性を有するDLC層が形成されることが判る。
試料Aに、加速エネルギー50keVのNイオンビームを照射量1×1016/cm2、3×1016/cm2又は1×1017/cm2で照射し、3種の抵抗率の異なる導電性DLC層を形成した。これらの試料の抵抗率はそれぞれ224mΩ・cm、8.6mΩ・cm、4.8mΩ・cmであった。得られた各導電性DLC層のラマン散乱スペクトルを、ラマン分光光度計(商品名:Labram HR−CNT、ホリバ・ジョバンイボン社製)により測定した。結果を図5及び図6に示す。図5は、本発明の導電性DLC層のラマン散乱スペクトルを示すグラフである。図6は、図5に示すラマン散乱スペクトルをさらに詳しく解析するために、GバンドとDバンド以外に観測された1150/cm付近のピークと1500/cm付近のピークを書き加えたものである。
試料Aを用い、イオンビームの元素種、及びイオンビーム照射時の電流密度を下記表1のように変更し、導電性DLC層を形成し、導電性DLC層の硬度と、イオンビーム照射量との関係を求めた。なお、導電性DLC層の硬度は、ナノインデンター(商品名:ENT−1100、(株)エリオニクス製)を用いて測定した。結果を図7に示す。図7は、導電性DLC層の硬度とイオンビーム照射量との関係を示すグラフである。
試料C:基材(SUS316、表面研磨品)上に、スピンコータでPVPの0.5重量%メチルアルコール溶液を塗布し、得られた塗膜を乾燥させ、厚さ約100nmのPVP膜を形成した。
試料D:基材(アルミニウム5052)上に、スピンコータでPVPの0.5重量%メチルアルコール溶液塗布し、得られた塗膜を乾燥させ、厚さ約100nmのPVP膜を形成した。
表面に導電性DLC層が形成された試料Cを、X線光電子分光分析装置(商品名:Quantera SXM、アルバック・ファイ(株)製)により、導電性DLC層の表面を始点として、Arビームスパッタリングでエッチングしながら深さ方向の組成分析を行なった。結果を図8に示す。図8は、本発明の導電性DLC構造体の組成分布をXPSによる深さ分析結果を示すグラフである。
アルミニウム5052上にスピンコータで0.5重量%PVPの0.5重量%メチルアルコール溶液を塗布し、得られた塗膜を乾燥し、厚さ約100nmのPVP膜を形成し、これをオーブンにて250℃で30分間熱処理し、試料Eとした。
上記で得られた導電性DLC構造体E1及びE2において、導電性DLC層はいずれも抵抗率が10mΩ・cm以下で導電性を示し、そのラマン散乱スペクトルも図5とほぼ同様のものであった。
Claims (11)
- 基材層と、前記基材層の表面に設けられた導電性DLC層と、を含む、導電性DLC構造体。
- 前記導電性DLC層と前記基材層との間に介在し、導電性DLCと前記基材層を構成する材料とが混在するミキシング層をさらに含む、請求項1に記載の導電性DLC構造体。
- 前記ミキシング層は、前記導電性DLC構造体の厚み方向に、前記導電性DLCの含有量が連続的又は段階的に変化する濃度勾配を有する、請求項2に記載の導電性DLC構造体。
- 前記基材層が金属材料からなる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の導電性DLC構造体。
- 前記金属材料がアルミニウムである、請求項4に記載の導電性DLC構造体。
- 基材の表面に高分子材料を含む高分子膜を形成する工程Xと、
前記基材の表面に形成された前記高分子膜に、該高分子膜を透過可能な加速エネルギーを有するイオンビームを、照射量3×1015/cm2〜1×1018/cm2の範囲で照射し、導電性DLC層を有する構造体を得る工程Yと、を含む、導電性DLC構造体の製造方法。 - 前記工程Yにおける、前記高分子膜に照射する前記イオンビームのエネルギー密度が0.2W/cm2以上である、請求項6に記載の導電性DLC構造体の製造方法。
- 前記工程Xと、前記工程Yと、を交互に繰返し実施する、請求項6又は7に記載の導電性DLC構造体の製造方法。
- 前記工程Xにおいて、前記高分子膜が前記高分子材料の硬化層である、請求項6〜8のいずれか1項に記載の導電性DLC構造体の製造方法。
- 前記基材が金属材料からなり、かつ前記基材の平坦度がシリコンウエハの平坦度よりも相対的に低い、請求項6〜9のいずれか1項に記載の導電性DLC構造体の製造方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の導電性DLC構造体からなる、固体高分子型燃料電池セパレータ。
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