JP2017147211A - 異方導電性フィルム及び接続構造体 - Google Patents
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- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 253
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000010408 film Substances 0.000 description 96
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 58
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 58
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 25
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 12
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 10
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 10
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 8
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 7
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 7
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 5
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 5
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 4
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 4
- -1 acrylate compound Chemical class 0.000 description 3
- 238000010538 cationic polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 1,2-Divinylbenzene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1C=C MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 2
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 2
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- 238000010539 anionic addition polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 2
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 2
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 2
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 2
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 description 2
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 2
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 2
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 2
- 239000007870 radical polymerization initiator Substances 0.000 description 2
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 2
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 2
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 2
- GZVHEAJQGPRDLQ-UHFFFAOYSA-N 6-phenyl-1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 GZVHEAJQGPRDLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical class S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001449 anionic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000003712 anti-aging effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical compound [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
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Abstract
Description
そのため、特許文献1に記載の異方導電性フィルムは導通信頼性に問題があった。
・アスペクト比
本発明の異方導電性フィルムでは、導電粒子2のアスペクト比(平均長軸長/平均短軸長)が1.2以上、好ましくは1.3以上、より好ましくは3以上であり、また、15以下、好ましくは10以下、より好ましくは5以下である。アスペクト比が小さすぎると異方導電性接続時に端子における導電粒子の捕捉性を向上させることができず、反対に大きすぎると端子間スペースの幅によってはショートが発生し易くなる。また導電粒子2の材質によっては取り扱いが困難になるため、異方性導電フィルムの製造コスト上昇の要因になる。
導電粒子2の形状は、上述のアスペクト比を有し、且つその横断面形状が円、楕円等の外形が曲線で形成される形状であることが望ましい。これにより、異方導電性接続時の熱押圧ツールによる押圧力を良好に分散させることができるので、片当たりが生じた場合でも導通抵抗の上昇を抑制することができる。
導電粒子の表面には突起が形成されていてもよい。例えば、特開2015-8129号公報等に記載の導電粒子を使用することができる。このような突起が形成されることで、異方性接続時に端子に設けられている保護膜を突き破ることができる。突起の形成は導電粒子の表面に均等に存在することが好ましいが、異方導電性フィルムの製造工程のうち導電粒子を配列させるために導電粒子を型に充填する工程において、突起の一部に欠損が生じてもよい。突起の高さは、一例として10〜500nm、又は粒子短軸長の10%以下とすることができる。
導電粒子2の材質としては、例えば、柱状のガラスの表面に無電解メッキ、CVD等の手法により導電層を形成したものを使用することができる。導電層としては、金、銀、ニッケル、銅、ITO等の薄膜を例示することができる。導電層の厚みは、通常5nm以上であり、好ましくは10〜800nm、より好ましくは100〜500nmである。このような導電性柱状ガラス粒子を使用する場合、異方導電性接続時に導電粒子に過度の押圧力が負荷されても導電性柱状ガラス粒子自体の破砕により応力を緩和することができ、しかも異方性導電接続後にバンプの圧痕を確認する際の検査が容易になる。また、熱による膨張収縮の影響を受けにくく、金属イオンによる腐食や金属イオンのマイグレーションも生じない。更に、紫外線硬化型の絶縁性接着剤を使用した際に、紫外線をある程度透過するため、硬化不足が起こりにくい。
本発明の異方導電性フィルムでは、平面視で導電粒子2同士が非接触に分散しており、任意の導電粒子2aと該導電粒子2aに最近接した導電粒子2bとの平面視における距離(即ち、平面視における最近接距離)L3が、該導電粒子2aの短軸長L2の0.5倍以上であることが好ましく(図1A、図2A)、あるいは、任意の導電粒子2aと該導電粒子2aに最近接した導電粒子2bが、異方導電性フィルムの長手方向には重畳しないことが好ましい(図2A)。これにより異方導電性接続した端子でショートを起こりにくくすることができる。
本発明の異方導電性フィルムにおいて、導電粒子2の個数密度は、接続対象の端子幅や端子ピッチに応じて導通信頼性の確保上適切な範囲に調整することができる。通常、一組の対向する端子に3個以上、好ましくは10個以上の導電粒子が捕捉されれば良好な導通特性を得られる。実用上、100個/mm2以上であれば端子幅が広い(一例として100〜200μm程度)ものを十分に接続することができ、500個/mm2以上あれば好ましく、1000個/mm2以上あればより好ましい。また、ファインピッチ(一例として端子幅および端子間スペースがそれぞれ30μm以下)のものは、導電粒子が捕捉されない端子を発生させることなく、またショート発生を防止するために50000個/mm2以下が好ましく、30000個/mm2以下であることがより好ましい。
導電粒子2を絶縁接着剤層3に所定の配列で固定する方法としては、導電粒子2の配列に対応した凹みを有する型を機械加工やレーザー加工、フォトリソグラフィなど公知の方法で作製し、その型に導電粒子2を入れ、その上に絶縁接着剤層形成用組成物を充填し、型から取り出すことにより絶縁接着剤層3に導電粒子2を転写すればよい。このような型から、更に剛性の低い材質で型を作成しても良い。
本発明において異方導電性フィルムは、種々の層構成をとることができる。例えば、導電粒子2を単層の絶縁接着剤層3上に配置し、その導電粒子2を絶縁接着剤層の層内に押し込むことにより、前述の異方性導電フィルム1Aのように導電粒子2を絶縁接着剤層3の界面から一定の深さで存在させてもよい。
絶縁接着剤層3は、公知の異方性導電性フィルムで使用される絶縁性接着剤から当該異方導電性フィルムの用途などに応じて適宜選択して形成することができる。好ましい絶縁性接着剤としては、(メタ)アクリレート化合物、エポキシ化合物等の重合性樹脂と熱重合開始剤又は光重合開始剤とを含むペースト状又はフィルム状の樹脂をあげることができる。ここで光重合開始剤としては、光ラジカル重合開始剤、光カチオン重合開始剤、光アニオン重合開始剤をあげることができ、熱重合開始剤としては、熱ラジカル重合開始剤、熱カチオン重合開始剤、熱アニオン重合開始剤をあげることができる。特に、アクリレート化合物と光ラジカル重合開始剤とを含む光ラジカル重合性樹脂、アクリレート化合物と熱ラジカル重合開始剤とを含む熱ラジカル重合性樹脂、エポキシ化合物と熱カチオン重合開始剤とを含む熱カチオン重合性樹脂、エポキシ化合物と熱アニオン重合開始剤とを含む熱アニオン重合性樹脂、エポキシ化合物と光カチオン重合開始剤とを含む光カチオン重合性樹脂等をあげることができる。これらの樹脂は併用することができる。またこれらの樹脂は、必要に応じて、それぞれ重合したものとすることができる。
異方導電性フィルムの厚さ(即ち、絶縁接着剤層3の厚さ)は、好ましくは3μm以上50μm以下、より好ましくは5μm以上20μm以下である。この範囲であれば、実用上問題なく使用可能である。
本発明の異方導電性フィルムは、FPC、ICチップ、ICモジュールなどの第1電子部品と、FPC、リジッド基板、セラミック基板、ガラス基板、プラスチック基板などの第2電子部品とを熱又は光により異方導電性接続する際に好ましく適用することができる。また、ICチップやICモジュールをスタックして第1電子部品同士を異方導電性接続することもできる。このようにして得られる接続構造体も本発明の一部である。
実施例1〜3、比較例1〜3
(1)異方導電性フィルムの製造
導電粒子Aとして、表面に0.3μm厚のニッケルメッキ(下地)とその表面に0.1μm厚の金メッキ(表層)が施された導電性円柱状ガラス粒子(日本電気硝子株式会社、PF−39SSSCA)(平均長軸長14μm、平均短軸長3.9μm))を用意した。
また、導電粒子Aを割り、分級することにより、表1に示したサイズの導電性円柱状ガラス粒子B(平均長軸長8μm、平均短軸長3.9μm)及び導電性円柱状ガラス粒子C(平均長軸長5.2μm、平均短軸長3.9μm)を得た。また、導電性球状ガラス粒子D(積水化学工業株式会社、AUL704、粒径4μm)を用意した。
各実施例及び比較例の異方導電性フィルムに対し、(a)初期導通特性、(b)ショート発生率、(c)導電粒子捕捉効率を次のように評価した。結果を表1に示す。
各実施例及び比較例の異方導電性フィルムを、初期導通および導通信頼性の評価用ICとガラス基板との間に挟み、加熱加圧(180℃、20MPa、5秒)して各評価用接続物を得た。この場合、異方導電性フィルムの長手方向とバンプの短手方向を合わせた。そして、評価用接続物の導通抵抗を測定し、5Ω以下をOK、5Ωを超える場合をNGとした。
外形 0.7×20mm
厚み 0.2mm
バンプ仕様 金メッキ、高さ12μm、サイズ15×100μm、バンプ間距離15μm 端子数1300個(IC外形長辺に、それぞれ650個)
ガラス材質 コーニング社製
外径 30×50mm
厚み 0.5mm
電極 ITO配線
ショート発生率は、(a)で得た評価用接続物において、任意に抽出したバンプ間スペース200個の金属顕微鏡による観察から、隣接するバンプ間に連結した導電粒子の凝集もしくは連結体を確認することで求めた。ショート発生率の評価は、このような凝集もしくは連結体がないものをOK、1個以上でも存在するものをNGとした。
各実施例及び比較例の(a)で得た評価用接続物において、バンプ100個における粒子捕捉数の計測から、バンプ1個当たりに捕捉された導電粒子の面積の端子面積に対する割合により次の基準で評価した。
A:捕捉された導電粒子の面積の総和が端子面積に対して8%以上
B:捕捉された導電粒子の面積の総和が端子面積に対して5%以上8%未満
C:捕捉された導電粒子の面積の総和が端子面積に対して5%未満
2 導電粒子
3 絶縁接着剤層
4 第2絶縁性樹脂層
5 第1絶縁性樹脂層
10 端子
A 導電粒子の長手方向
P 導電粒子の配列軸
S フィルム面
Claims (10)
- 絶縁接着剤層に導電粒子を含有する異方導電性フィルムであって、導電粒子のアスペクト比が1.2以上であり、平面視で導電粒子同士が非接触で分散しており、異方導電性フィルムのフィルム面と導電粒子の長手方向とのなす角度が40°未満である異方導電性フィルム。
- 任意の導電粒子と該導電粒子に最近接した導電粒子との平面視における距離が、該導電粒子の短軸長の0.5倍以上である請求項1記載の異方導電性フィルム。
- 任意の導電粒子と該導電粒子に最近接した導電粒子が、異方導電性フィルムの長手方向で重畳しない請求項1又は2記載の異方導電性フィルム。
- 異方導電性フィルムのフィルム面と導電粒子の長手方向とのなす角度が15°以内である請求項1〜3のいずれかに記載の異方導電性フィルム。
- 導電粒子の長軸方向が、平面視で異方導電性フィルムの長手方向に対して平行又は斜交して揃っている請求項1〜4のいずれかに記載の異方導電性フィルム。
- 導電粒子が平面視で規則配列している請求項1〜5のいずれかに記載の異方導電性フィルム。
- 平面視で導電粒子が格子状に配列している、請求項6記載の異方導電性フィルム。
- フィルム短手方向の配列軸上の導電粒子において、任意の導電粒子のフィルム短手方向の外接線が、該導電粒子に隣接する導電粒子のフィルム短手方向の外接線と一致する請求項7記載の異方導電性フィルム
- フィルム短手方向の配列軸上の導電粒子において、任意の導電粒子のフィルム短手方向の外接線が、該導電粒子に隣接する導電粒子を貫く請求項7記載の異方導電性フィルム
- 請求項1〜9のいずれかに記載の異方導電性フィルムを用いて第1電子部品の接続端子と第2電子部品の接続端子とを異方導電性接続した接続構造体。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016030518A JP6746942B2 (ja) | 2016-02-20 | 2016-02-20 | 異方導電性フィルム及び接続構造体 |
CN201680014149.2A CN107431294A (zh) | 2015-03-20 | 2016-03-18 | 各向异性导电性膜及连接构造体 |
PCT/JP2016/058753 WO2016152791A1 (ja) | 2015-03-20 | 2016-03-18 | 異方導電性フィルム及び接続構造体 |
CN202210176664.8A CN114582545A (zh) | 2015-03-20 | 2016-03-18 | 各向异性导电性膜及连接构造体 |
US15/546,150 US20180022968A1 (en) | 2015-03-20 | 2016-03-18 | Anisotropic conductive film and connection structure |
KR1020177014948A KR102018042B1 (ko) | 2015-03-20 | 2016-03-18 | 이방 도전성 필름 및 접속 구조체 |
HK18104541.6A HK1245509A1 (zh) | 2015-03-20 | 2018-04-06 | 各向異性導電性膜及連接構造體 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016030518A JP6746942B2 (ja) | 2016-02-20 | 2016-02-20 | 異方導電性フィルム及び接続構造体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017147211A true JP2017147211A (ja) | 2017-08-24 |
JP6746942B2 JP6746942B2 (ja) | 2020-08-26 |
Family
ID=59681512
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016030518A Active JP6746942B2 (ja) | 2015-03-20 | 2016-02-20 | 異方導電性フィルム及び接続構造体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6746942B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6386783A (ja) * | 1987-07-10 | 1988-04-18 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 異方導電熱接着性フィルム |
JPH09312176A (ja) * | 1996-05-23 | 1997-12-02 | Hitachi Chem Co Ltd | 接続部材および該接続部材を用いた電極の接続構造並びに接続方法 |
JP4985700B2 (ja) * | 2008-04-28 | 2012-07-25 | 日立化成工業株式会社 | 接着剤リール |
JP2015026584A (ja) * | 2013-07-29 | 2015-02-05 | デクセリアルズ株式会社 | 導電性接着フィルムの製造方法、導電性接着フィルム、接続体の製造方法 |
-
2016
- 2016-02-20 JP JP2016030518A patent/JP6746942B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP6746942B2 (ja) | 2020-08-26 |
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