JP2017143185A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 半田
3 表面導体層
4 基板
5 耐高電界樹脂層
6 アノード電極
7 金属ワイヤ
8 密着樹脂層
10 シリコーンゲル
12 ターミネーション領域
13 絶縁膜
14 裏面導体層
15 カソード電極
17 SiCウエハ
18 スクライブライン
19 ディスペンサー
20 耐高電界樹脂材
24 ダイサーブレード
25 塗布ノズル
32 樹脂ケース
33 IGBTチップ
34 ベースプレート
35 外部電極端子
37 不純物領域
38 下地層
39 チャネルストッパ
40 ワイヤ補強樹脂
41 MOSFETチップ
42 ゲート電極パッド
43 ゲートパターン
44 共通ソース回路パターン
45 共通ソース主端子コンタクト
46 共通ドレイン主端子コンタクト
47 ゲート電極パッド
Claims (15)
- ワイドギャップ半導体からなり、アクティブ領域と、前記アクティブ領域の周辺部に位置するターミネーション領域と、を有する半導体チップと、
前記半導体チップを搭載する基板と、
前記半導体チップの表面に接合される配線導体と、
前記半導体チップを封止する封止樹脂と、
を備える半導体装置において、
前記半導体チップは、
前記ターミネーション領域を覆い、前記半導体チップの端面側における前記ターミネーション領域の端部の上で終端する第1樹脂層と、
前記第1樹脂層の表面上から前記半導体チップの端面の表面上にかけて位置する第2樹脂層と、
を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第2樹脂層は、前記基板の上まで延在することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第2樹脂層は、前記半導体チップの表面と前記配線導体の接合部まで延在することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第2樹脂層は、前記第1樹脂層の表面上で終端することを特徴とする半導体装置。 - 請求項4に記載の半導体装置において、さらに、
前記半導体チップの表面と前記配線導体の接合部を覆う第3樹脂層を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第1樹脂層は、前記半導体チップの端面側において、前記半導体チップの表面に対して略垂直な終端面を備えることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第1樹脂層は、前記アクティブ領域と前記ターミネーション領域との境界部から、前記半導体チップの内側へ向かって厚さが減少していくテーパー形状を備えることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第1樹脂層は、ターミネーション上の最小厚さが20〜80μmであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、さらに、
前記ターミネーション領域の表面上と、前記第1樹脂層との間において、前記ターミネーション領域を覆う、絶縁膜を備え、
前記第1樹脂層の厚さは、前記絶縁膜の厚さよりも大きいことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第1樹脂層は、ポリアミドイミド、ポリエーテルアミドイミド、ポリエーテルアミドの内の一種類あるいは複数種類からなることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第2樹脂層が、ポリイミド、ポリアミドイミドの内の一種類あるいは両方からなることを特徴とする半導体装置。 - ワイドギャップ半導体からなる半導体チップを備える半導体装置の製造方法において、
半導体ウエハ上において、第1樹脂層を形成する第1工程と、
前記第1工程の後、前記半導体ウエハを複数の半導体チップに分割する第2工程と、
前記第2工程の後、前記半導体チップを基板上に接合する第3工程と、
前記第3工程の後、前記第1樹脂層の表面上から前記半導体チップの端面の表面上にかけて第2樹脂層を形成する第4工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項12に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1工程では、前記半導体ウエハのスクライブラインに沿って前記第1樹脂層が形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項12に記載の半導体装置の製造方法において、さらに、
前記第3工程と前記第4工程の間に、前記半導体チップに配線導体を接合する工程を含み、
前記第4工程においては、前記第2樹脂層を形成するための樹脂材が前記半導体チップの全体に塗布されることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項12に記載の半導体装置の製造方法において、さらに、
前記第4工程の後に、前記半導体チップに配線導体を接合する第5工程を含み、
前記第4工程においては、前記第2樹脂層を形成するための樹脂材を塗布する領域が前記第1樹脂の表面上で終端することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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