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  1. 流体システムを流れる流体の絶対圧力および差圧を測定するための方法であって、
    第1の圧力タップおよび第2の圧力タップを含むように前記流体システムを構成するステップであって、前記第1および第2の圧力タップは、流れの方向において前記第2の圧力タップが前記第1の圧力タップの下流になるように互いに間隔を置かれる、ステップと、
    絶対圧力検知エレメントを提供して、前記第1または第2の圧力タップの一方に対する前記絶対圧力検知エレメントの第1の流体的結合を行うステップであって、前記絶対圧力検知エレメントは、流体的に結合されたそれぞれの前記圧力タップにおいて前記流れる流体を表す絶対圧力を測定する、ステップと、
    差圧検知エレメントを提供して、前記第1および第2の圧力タップの各々に対する前記差圧検知エレメントの第2の流体的結合を行うステップであって、前記差圧検知エレメントは、前記第1および第2の圧力タップの間の前記流れる流体の差圧を測定する、ステップと、を含み、
    前記第1および第2の流体的結合を行うステップは、それぞれの前記絶対圧力および差圧検知エレメントと、それぞれの前記第1および第2の圧力タップとの間に非圧縮性媒体を配するステップをさらに含む、方法。
  2. 前記第1の流体的結合を行うステップは、前記第1の圧力タップの場所における前記流れる流体を表す絶対圧力を測定するために、前記絶対圧力検知エレメントを前記第1の圧力タップと流体的に結合するステップをさらに含む、
    請求項1に記載の方法。
  3. 前記第2の圧力タップと前記差圧検知エレメントとの間に流体チャネルを提供するステップであって、前記流体チャネルは前記非圧縮性媒体を含有し、前記流体チャネルは、前記第2の圧力タップの場所における前記流れる流体を表す第2の圧力を前記差圧検知エレメントに伝達するように構成されて配置される、ステップと、前記第1の圧力タップの場所における前記流れる流体を表す第1の圧力を前記差圧検知エレメントに伝達するステップと、をさらに含む、請求項に記載の方法。
  4. 前記第1および第2の圧力タップの間に配される前記流体システム内の制限圧力デバイスを、前記第1の圧力タップが前記第2の圧力タップよりも高圧になるように置くステップをさらに含み、前記制限圧力デバイスは制限ベンチュリ、オリフィス、またはスロットルプレートの1つである、請求項1に記載の方法。
  5. 少なくとも1つのデジタル処理機構を提供するステップをさらに含み、
    前記少なくとも1つのデジタル処理機構の各々は、前記絶対圧力検知エレメントの動作を制御するため、および前記差圧検知エレメントの動作を制御するために構成されて配置され、
    前記少なくとも1つのデジタル処理機構の各々は、測定された前記絶対圧力を表す出力を提供するため、および測定された前記差圧を表す出力を提供するために構成されて配置され、
    前記少なくとも1つのデジタル処理機構の各々は、ASICであり、
    少なくとも1つのデジタル処理機構を提供する前記ステップは、第1のデジタル処理機構および第2のデジタル処理機構を提供するステップを含み、前記第1のデジタル処理機構は、前記絶対圧力検知エレメントの動作を制御するため、および測定された前記絶対圧力を表す出力を提供するために構成されて配置され、前記第2のデジタル処理機構は、前記差圧検知エレメントの動作を制御するため、および測定された前記差圧を表す出力を提供するために構成されて配置される、請求項1に記載の方法。
  6. 前記流れる流体はガスであり、
    前記方法は、温度検知デバイスを提供して、前記温度検知デバイスが前記流れるガスの温度を測定して前記測定された温度の出力を提供するように前記流体システムを構成するステップをさらに含み、前記絶対圧力検知エレメントは前記測定された絶対圧力の出力を提供し、前記差圧検知エレメントは前記測定された差圧の出力を提供し、
    前記方法は、前記流体システムにおける前記流れるガスの質量流量を定めるために、前記測定された温度、絶対圧力および差圧の前記出力を用いるステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
  7. 前記絶対圧力検知エレメントおよび前記差圧検知エレメントの各々はMEM検知エレメントを含み、前記流れる流体は、排気ガス再循環システムの排気ガスまたは吸気システムの吸気空気の1つである、請求項1に記載の方法。
  8. 流体システムを流れるガスの質量流量を定めるための方法であって、
    第1の圧力タップ、第2の圧力タップ、制限圧力デバイス、および温度検知デバイスを含むように前記流体システムを構成するステップであって、
    前記第1および第2の圧力タップは、流れの方向において前記第2の圧力タップが前記第1の圧力タップの下流になるように互いに間隔を置かれ、
    前記制限圧力デバイスは、前記第1の圧力タップが前記第2の圧力タップよりも高圧になるように前記第1および第2の圧力タップの間に配され、
    前記温度検知デバイスは、前記温度検知デバイスが前記流れる流体の温度を測定して前記測定された温度の出力を提供するように、前記流体システムに結合および配置される、ステップと、
    絶対圧力検知エレメントを提供して、前記第1または第2の圧力タップの一方に対する前記絶対圧力検知エレメントの第1の流体的結合を行うステップであって、前記絶対圧力検知エレメントは、流体的に結合されたそれぞれの前記圧力タップにおける前記流れる流体を表す絶対圧力を測定してその出力を提供する、ステップと、
    差圧検知エレメントを提供して、前記第1および第2の圧力タップの各々に対する前記差圧検知エレメントの第2の流体的結合を行うステップであって、前記差圧検知エレメントは、前記第1および第2の圧力タップの間の前記流れるガスの差圧を測定してその出力を提供する、ステップと、を含み、
    前記第1および第2の流体的結合を行うステップは、それぞれの前記絶対圧力および差圧検知エレメントと、それぞれの前記第1および第2の圧力タップとの間に非圧縮性媒体を配するステップをさらに含み、
    前記方法は、前記流体システムにおける前記流れるガスの質量流量を定めるために、前記測定された温度、絶対圧力および差圧の前記出力を用いるステップをさらに含む、方法。
  9. 前記流れるガスは、内燃機関の排気ガス再循環システムの排気ガスまたは内燃機関の吸気システムの吸気空気の一方である、請求項8に記載の方法。
  10. 流体システムを流れる流体の絶対圧力および差圧を測定するための装置であって、
    間隔を置かれた関係において前記流体システムと流体的に結合されることによって前記流れる流体と流体的に結合される複数のキャビティを含むハウジングと、
    前記ハウジングに装着された検知モジュールと、を含み、
    前記検知モジュールは、
    前記複数のキャビティの1つと第1の流体的結合をされる絶対圧力検知エレメントであって、前記絶対圧力検知エレメントは、前記1つのキャビティが流体的に結合された前記流れる流体を表す絶対圧力を測定する、絶対圧力検知エレメントと、
    前記1つのキャビティおよび前記複数のキャビティのうちの別のものと第2の流体的結合をされる差圧検知エレメントであって、前記差圧検知エレメントは、前記第1のキャビティおよび別のキャビティが流体的に結合された前記流れる流体の差圧を測定する、差圧検知エレメントと、
    前記1つのキャビティおよび前記別のキャビティ内に配される非圧縮性媒体であって、前記非圧縮性媒体は、前記検知エレメントが前記流れる流体の前記圧力に応答できるようにする一方で、前記流れる流体から前記検知エレメントを分離するために、それぞれの前記絶対圧力および差圧検知エレメントと前記流れる流体との間に位置する、非圧縮性媒体と、を含む、装置。
  11. 前記検知モジュールは、前記別のキャビティと前記差圧検知エレメントとの間に流体的に結合されるように配置された流体チャネルをさらに含み、前記流体チャネルは前記非圧縮性媒体を含有し、前記流体チャネルは、前記別のキャビティの場所における前記流れる流体を表す第2の圧力を、前記差圧検知エレメントに伝達するように構成されて配置される、請求項10に記載の装置。
  12. 記絶対圧力検知エレメントおよび前記差圧検知エレメントは前記1つのキャビティ内に配される、請求項10に記載の装置。
  13. 前記流体システムは制限圧力デバイスを含み、前記ハウジングは、前記1つのキャビティおよび前記別のキャビティが前記流れる流体の方向において前記制限圧力デバイスの上流および下流に配されるように配置され、前記制限圧力デバイスは制限ベンチュリ、オリフィス、またはスロットルプレートの1つである、請求項10に記載の装置。
  14. 少なくとも1つのデジタル処理機構をさらに含み、
    前記少なくとも1つのデジタル処理機構の各々は、前記絶対圧力検知エレメントの動作を制御するため、および前記差圧検知エレメントの動作を制御するために構成されて配置され、
    前記少なくとも1つのデジタル処理機構の各々は、測定された前記絶対圧力を表す出力を提供するため、および測定された前記差圧を表す出力を提供するために構成されて配置される、請求項10に記載の装置。
  15. 前記少なくとも1つのデジタル処理機構の各々は、ASICであり、前記ハウジングに結合された温度検知デバイスであって、前記温度検知デバイスは前記流れる流体の温度を測定して前記測定された温度の出力を提供する、温度検知デバイスをさらに含む、請求項14に記載の装置。
  16. 前記流れる流体はガスであり、
    前記装置は、第3のデジタル処理デバイスであって、前記第1および第2のデジタル処理機構の各々ならびに前記温度検知デバイスは第3のデジタル処理デバイスに動作的に結合され、前記第3のデジタル処理デバイスは、前記測定された温度、絶対圧力および差圧の前記出力が前記流体システムにおける前記流れるガスの質量流量を定めるために用いられるように構成されて配置される、第3のデジタル処理デバイス、をさらに含み、
    前記絶対圧力検知エレメントおよび前記差圧検知エレメントの各々はMEM検知エレメントを含み、前記流れる流体は、排気ガス再循環システムの排気ガスまたは吸気システムの吸気空気の1つである、請求項14に記載の装置。
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