JP2017137103A - 開封装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、図面を参照して、本発明の第一の実施形態について詳しく説明する。図1は、本発明の実施形態に係る開封装置1の例を示す斜視図(概略図)である(ウェーハ保持容器2に保持されているウェーハWは不図示)。また、図2は、開封装置1においてガイド枠30の化粧パネル34を取り外した状態の内部構造を示す斜視図(概略図)である(構造を分かり易く示すため、ウェーハ保持容器2および包装袋3は不図示)。また、図3は、開封装置1においてガイド枠30の化粧パネル34を取り外した状態の内部構造を示す正面図(概略図)である(装置の上部は不図示)。ここで、包装袋3に関しては表示する図中において二点鎖線で示している。なお、実施形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。
続いて、本発明の第二の実施形態に係る開封装置1について説明する。本実施形態に係る開封装置1は、前述の第一の実施形態と基本的な構成は同様であるが、特に、包装袋の切断を行う切断機構において相違点を有する。以下、当該相違点を中心に本実施形態について説明する。
2 ウェーハ保持容器
3 包装袋
10 テーブル
12 スライド機構
14 制御部
16 規制板
20 注入管
22 駆動機構
30 ガイド枠
32、32A、32B 吸着盤
38、39 切断機構
40 カッター
40a 切欠き溝
42 熱線
44 熱線移動機構
45 駆動機構
46 熱線ガイド
50 移動機構
52 チェーン
54A、54B ギヤ
56 テンショナー
60 開封機構
62 バー
64 昇降駆動機構
W ウェーハ
Claims (9)
- ウェーハ保持容器が内部に収容された状態で包装された包装袋の開封を行う開封装置であって、
前記包装袋を載置するテーブルと、
前記テーブルをスライド移動させるスライド機構と、
前記テーブル上の前記包装袋を囲う位置に配設されるガイド枠と、
前記テーブル上の前記包装袋に挿入させて気体を注入する注入管と、
前記注入管を前記包装袋に対して前進および後退させる駆動機構と、
前記ガイド枠に配設されており、前記注入管により気体が注入されて膨張した状態の前記包装袋の外周面を吸着して該ガイド枠に保持する吸着盤と、
前記ガイド枠に保持された状態の前記包装袋の切断を行う切断機構と、
を備えること
を特徴とする開封装置。 - 昇降移動可能に設けられたバーを有し、該バーで前記切断機構により切断された状態の前記包装袋を押し下げて開封する開封機構を備えること
を特徴とする請求項1記載の開封装置。 - 前記切断機構は、前記包装袋の切断を行うカッターとして、固定刃カッター、回転刃カッター、もしくは、熱溶融カッターを有し、
前記カッターを、前記包装袋の全周もしくはその一部に沿って移動させる移動機構をさらに備えること
を特徴とする請求項1または請求項2記載の開封装置。 - 前記移動機構として、少なくとも前記包装袋の一側面、上面、および他側面に沿う周回軌道を有するチェーンもしくはベルトと、該チェーンもしくはベルトの駆動および支持を行うギヤもしくはプーリーとが、前記ガイド枠に保持されて設けられており、
前記カッターは、前記チェーンもしくはベルトに固定されていること
を特徴とする請求項3記載の開封装置。 - 前記吸着盤は、前記周回軌道に沿って前記カッターを挟み込むように二列で配設されていること
を特徴とする請求項4記載の開封装置。 - 前記二列に配設されたそれぞれの前記吸着盤は、前記周回軌道に沿う方向において複数の吸着部に仕切られていること
を特徴とする請求項5記載の開封装置。 - 前記切断機構は、前記包装袋の切断を行うカッターとして、固定刃カッターを有し、
前記固定刃カッターは、長手方向の両端にV字状の切欠き溝を有し、少なくとも該切欠き溝の端部寄りの一辺が切断用の刃として形成されると共に、該一辺の上端縁が切り込み用の尖った刃先として形成されており、全体として長手方向において対称な形状に形成されていること
を特徴とする請求項1または請求項2記載の開封装置。 - 前記切断機構は、前記包装袋の切断を行う熱線を有し、
前記熱線は、少なくとも前記包装袋の一側面、上面、および他側面を囲うように張設されており、
前記熱線の内径を縮径させて前記包装袋に当接させる熱線移動機構をさらに備えること
を特徴とする請求項1または請求項2記載の開封装置。 - 前記テーブルのスライド移動方向における前方もしくは後方の少なくとも一方に配設されており、前記注入管により気体が注入されて膨張した状態の前記包装袋の外周面が当接してさらに膨張することを規制する規制板を備えること
を特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の開封装置。
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