JP2017135936A5 - - Google Patents
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| JP2016015706A JP6693150B2 (ja) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンド、送液ポンプ及び圧電アクチュエーターの調整方法 |
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| JP2016015706A JP6693150B2 (ja) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンド、送液ポンプ及び圧電アクチュエーターの調整方法 |
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| JP2023085718A (ja) * | 2021-12-09 | 2023-06-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、およびロボット |
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