JP2017131909A - レーザ加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】Ｘ，Ｙ軸方向に移動自在なワーク移動位置決め装置及びレーザ加工ヘッドをそれぞれ移動するためのボールネジの発熱による伸びを容易に補正することができるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】板状のワークＷをＸ軸、Ｙ軸方向へ移動位置決め自在なワーク移動位置決め装置１１を備えると共に、前記ワークＷのレーザ加工を行うレーザ加工ヘッド３１を、Ｙ軸方向へ移動位置決め自在に備えたレーザ加工装置であって、前記レーザ加工ヘッド３１をＹ軸方向へ移動するためのボールネジ３３と前記ワークをＹ軸方向へ移動するためのボールネジ１９とを平行に備え、前記各ボールネジ３３，１９を回転するための各サーボモータ３５，２３を、前記各ボールネジ３３，１９のＹ軸方向の逆方向の端部側にそれぞれ備え、前記ワーク移動位置決め装置１１に備えた撮像ターゲット３９を撮像するための撮像手段３７を、前記レーザ加工ヘッド３１と一体的に備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、板状のワークのレーザ加工を行うレーザ加工ヘッドをＹ軸方向に移動位置決め自在に備えると共に、ワークをＸ軸、Ｙ軸方向へ移動位置決め自在なワーク移動位置決め装置を備えたレーザ加工装置に関する。さらに詳細には、ワーク移動位置決め装置をＸ軸、Ｙ軸方向に移動するボールネジの伸びを補正することができ、またレーザ加工ヘッドをＹ軸方向に移動するボールネジの伸びを補正することができるレーザ加工装置に関する。

板状のワークのレーザ加工を行うレーザ加工装置には、レーザ加工ヘッドをＹ軸方向へ移動位置決めし、ワークをＸ軸、Ｙ軸方向へ移動位置決めする形式のレーザ加工装置がある（例えば特許文献１参照）。

特開２０１４−１７２０４９号公報

前記特許文献１に記載の構成は、サーボモータによって回転駆動されるＹ軸方向のボールネジによってレーザ加工ヘッドをＹ軸方向に移動位置決めする構成である。そして、ワークをＸ軸、Ｙ軸方向に移動位置決めするワーク移動位置決め装置は、サーボモータによって回転駆動されるＸ軸方向のボールネジ及びＹ軸方向のボールネジによってＸ軸、Ｙ軸方向に移動位置決めされる構成である。

上述のごとき構成において、レーザ加工ヘッドの移動位置決め及びワーク移動位置決め装置の移動位置決めを低速で行う場合には、ボールネジ自身の発熱量は小さく、ボールネジの伸びが問題になることは少ないものである。しかし、レーザ加工ヘッド及びワークの位置決めを高速で行うべく、ボールネジを高速回転すると、摩擦熱による発熱量が大きくなる。したがって、ボールネジの伸びを検出して補正する必要がある。

ボールネジの発熱による伸びを検出する先行例として、例えば特開昭６２−２７８３６０号公報がある。この先行例に記載の構成は、ボールネジの両端側にそれぞれフランジを設けると共に、各フランジに対応して微小変位センサを備えた構成である。

したがって、前記先行例に記載の構成を、前述したごときレーザ加工装置に適用しようとすると、レーザ加工ヘッドをＹ軸方向に移動するためのボールネジ及びワーク移動位置決め装置をＸ軸、Ｙ軸方向に移動するための各ボールネジに適用することになる。よって、レーザ加工ヘッドやワーク移動位置決め装置の移動位置を検出する位置検出センサとは別個に微小変位センサを備えることになり、センサ数が増加するものである。

本発明は、前述のごとき問題に鑑みてなされたもので、板状のワークをＸ軸、Ｙ軸方向へ移動位置決め自在なワーク移動位置決め装置を備えると共に、前記ワークのレーザ加工を行うレーザ加工ヘッドを、Ｙ軸方向へ移動位置決め自在に備えたレーザ加工装置であって、前記レーザ加工ヘッドをＹ軸方向へ移動するためのボールネジと前記ワークをＹ軸方向へ移動するためのボールネジとを平行に備え、前記各ボールネジを回転するための各サーボモータを、前記各ボールネジのＹ軸方向の逆方向の端部側にそれぞれ備え、前記ワーク移動位置決め装置に備えた撮像ターゲットを撮像するための撮像手段を、前記レーザ加工ヘッドと一体的に備えていることを特徴とするものである。

また、前記レーザ加工装置において、当該レーザ加工装置の始動初期に、前記レーザ加工ヘッドにおけるＹ軸方向の基準位置に位置決めした前記レーザ加工ヘッドの下方位置へ前記撮像ターゲットを位置決めし、前記撮像手段によって撮像した撮像ターゲットのＸ軸、Ｙ軸方向の座標位置を記憶する第１メモリと、
レーザ加工装置の始動時から所定時間経過後に、Ｙ軸方向の前記基準位置に位置決めした前記レーザ加工ヘッドの下方位置へ位置決めした前記撮像ターゲットを前記撮像手段によって撮像したときの前記撮像ターゲットのＸ軸、Ｙ軸方向の座標位置を記憶する第２メモリと、
前記第１メモリに記憶した座標位置データと前記第２メモリに記憶した座標位置データとに基づいて、ワーク移動位置決め手段におけるＸ軸、Ｙ軸方向の誤差を演算する演算手段と、
前記演算手段による演算結果を参照して、前記ワーク移動位置決め手段によるワークの移動位置決め時に、Ｘ軸、Ｙ軸方向の位置決め誤差を補正する補正手段と、
を備えていることを特徴とするものである。

また、前記レーザ加工装置において、
当該レーザ加工装置の始動初期に、前記ワーク移動位置決め装置におけるＹ軸方向の基準位置に位置決めした前記撮像ターゲットの上方位置へ前記レーザ加工ヘッドを位置決めし、前記撮像手段によって撮像した撮像ターゲットのＹ軸方向の座標位置を記憶する第３メモリと、
レーザ加工装置の始動時から所定時間経過後に、前記ワーク移動位置決め装置におけるＹ軸方向の前記基準位置に位置決めした前記撮像ターゲットの上方位置へ前記レーザ加工ヘッドを位置決めし、前記撮像手段に撮像した撮像ターゲットのＹ軸方向の座標位置を記憶する第４メモリと、
前記第３メモリに記憶した座標位置データと前記第４メモリに記憶した座標位置データとに基づいて、前記レーザ加工ヘッドにおけるＹ軸方向の誤差を演算する前記演算手段と、
前記演算手段による演算結果を参照して、前記レーザ加工ヘッドのＹ軸方向への移動位置決め時に、レーザ加工ヘッドのＹ軸方向の位置決め誤差を補正する補正手段と、
を備えていることを特徴とするものである。

本発明によれば、レーザ加工ヘッドに撮像手段を備え、ワーク移動位置決め装置に、前記撮像手段によって撮像される撮像ターゲットを備えた簡単な構成でもって、ボールネジの発熱に起因するボールネジの伸びを検出することができる。したがって、ボールネジの伸びを補正することができ、レーザ加工をより高精度に行うことができるものである。

レーザ加工機の全体的構成を概念的、概略的に示した正面説明図である。 上記レーザ加工機におけるワークテーブル部分及びワーク移動位置決め装置の部分を示す平面説明図である。 機能ブロック図である。

図１，２を参照するに、本発明の実施形態に係るレーザ加工装置１は、レーザ加工機とパンチプレスとを複合化したレーザ・パンチ複合加工機として例示してある。

すなわち、本発明の実施形態に係るレーザ加工装置１は本体フレーム３を備えている。この本体フレーム３は、上下に離隔した上部フレーム３Ｕと下部フレーム３Ｌとを一体化して備えた構成である。前記上部フレーム３Ｕには、複数のパンチＰを備えた上部タレット５Ｕが水平に回転自在に備えられている。前記下部フレーム３Ｌには、前記上部タレット５Ｕに対応した下部タレット５Ｌが水平に回転自在に備えられている。この下部タレット５Ｌには、複数の前記パンチＰに対応する複数のダイＤが備えられている。

そして、前記上部フレーム３Ｕには、加工位置に割出し位置決めされたパンチＰを打圧自在なストライカ７が上下動自在に備えられている。さらに、前記本体フレーム３における下部フレーム３Ｌには、前記加工装置に対してＸ軸、Ｙ軸方向へ移動位置決めされる板状のワークＷを移動自在に支持するワークテーブル９が備えられている。前記加工位置に割出し位置決めされたパンチＰ、ダイＤに対して前記ワークＷをＸ軸、Ｙ軸方向に移動位置決めするためのワーク移動位置決め装置１１が備えられている。

より詳細には、前記ワーク移動位置決め装置１１は、図２に示すように、Ｘ軸方向に長いキャリッジベース１３を備えている。このキャリッジベース１３上には、前記ワークＷを把持自在な複数のワーククランプ１５を備えたキャリッジ１７がＸ軸方向へ移動自在に備えられている。そして、前記キャリッジベース１３をＹ軸方向へ移動位置決めするために、前記上部フレーム３Ｕには、Ｙ軸方向に長いＹ軸ボールネジ１９が水平にかつ回転自在に備えられている。そして、前記Ｙ軸ボールネジ１９に移動自在に螺合したナット部材２１が前記キャリッジベース１３と連結してある。前記Ｙ軸ボールネジ１９を回転駆動するＹ軸サーボモータ２３は、前記ワーク移動位置決め装置１１におけるＹ軸方向の基準位置側に備えられている。

前記キャリッジベース１３に対して前記キャリッジ１７をＸ軸方向に移動するためのＸ軸ボールネジ２５は、前記キャリッジベース１３上においてＸ軸方向に長くかつ回転自在に備えられている。そして、このＸ軸ボールネジ２５に移動自在に螺合したナット部材２７は前記キャリッジ１７と連結してある。前記Ｘ軸ボールネジ２５を回転駆動するＸ軸サーボモータ２９は前記キャリッジベース１３上に装着してあって、Ｘ軸ボールネジ２５の適宜一端部と連結してある。

前記構成により、制御装置（図１，２には図示省略）の制御の下に、前記Ｙ軸サーボモータ２３及びＸ軸サーボモータ２９を適宜に回転駆動すると、Ｙ軸ボールネジ１９及びＸ軸ボールネジ２５が回転される。したがって、前記ワーククランプ１５に把持されたワークＷをＸ軸、Ｙ軸方向へ移動でき、ワークＷの加工すべき位置を、前記加工位置に移動位置決めすることができる。よって、ワークＷの加工すべき位置は、加工位置に割出し位置決めされたパンチＰ、ダイＤによって加工されるものである。

なお、ワークＷをＸ軸、Ｙ軸方向へ移動した位置は、位置検出手段として各サーボモータに備えた、例えばロータリーエンコーダによって検出することができるものである。

前記ワーク移動位置決め装置１１によってＸ軸、Ｙ軸方向へ移動位置決めされるワークＷのレーザ加工を行うために、前記上部フレーム３Ｕにはレーザ加工ヘッド３１が備えられている。より詳細には、前記上部フレーム３ＵにはＹ軸方向に長いレーザ加工ヘッド用のＹ軸ボールネジ３３が回転自在に備えられている。このＹ軸ボールネジ３３を回転駆動するサーボモータ３５は、レーザ加工ヘッド３１におけるＹ軸方向の基準位置側において前記Ｙ軸ボールネジ３３に連結してある。

ところで、前記ワーク移動位置決め装置１１におけるＹ軸方向の基準位置は、前記上下のタレット５Ｕ，５Ｌから離隔した位置であって、図１，２において右側に設定してある。そして、前記レーザ加工ヘッド３１のＹ軸方向の基準位置は、前記上下のタレット５Ｕ，５Ｌに近接した位置であって、図１，２において左側に設定してある。したがって、Ｙ軸方向に長く互に平行に備えたＹ軸ボールネジ１９，３３を回転駆動するための各サーボモータ２３，３５は、互にＹ軸方向の逆方向の端部側に備えられているものである。

換言すれば、Ｙ軸ボールネジ１９，３３において、Ｙ軸ボールネジ１９，３３の発熱に起因して伸びる自由端側は、Ｙ軸方向の反対側にそれぞれ備えられているものである。したがって、ワーク移動位置決め装置１１をＸ軸、Ｙ軸方向に移動位置決めすべく、Ｙ軸ボールネジ１９を回転駆動したときの、ナット部材２１との摩擦による発熱に起因するＹ軸ボールネジ１９のＹ軸方向の伸び（膨張）は、図１において左方向に生じるものである。そして、前記レーザ加工ヘッド３１をＹ軸方向に移動位置決めする際の摩擦熱に起因するＹ軸ボールネジ３３のＹ軸方向の伸び（膨張）は、図１において右方向に生じるものである。

前述のように、Ｙ軸ボールネジ１９，３３に、発熱に起因して伸びが生じると、前記ワーク移動位置決め装置１１及びレーザ加工ヘッド３１の移動決め時に誤差を生じることになる。そこで、本実施形態においては、Ｙ軸ボールネジ１９，３３の伸びに起因する誤差を補正する手段が講じられている。

より詳細には、前記レーザ加工ヘッド３１には、当該レーザ加工ヘッド３１と一体的にＹ軸方向に移動するＣＣＤカメラなどのごとき撮像手段３７が備えられている。そして、前記キャリッジ１７の適宜位置には、前記撮像手段３７によって撮像される穴やクロスターゲットなどのごとき撮像ターゲット３９（図２参照）が備えられている。したがって、前記レーザ加工ヘッド３１が、レーザ加工ヘッド３１におけるＹ軸方向の基準位置に（図１に示す左側の位置）に位置するときに、前記ワーク移動位置決め装置１１におけるキャリッジ１７に備えた撮像ターゲット３９を、前記基準位置に位置する撮像手段３７の下方位置に位置決めすることができる。この際、ワーク移動位置決め装置１１は、Ｙ軸ボールネジ１９の先端側（伸びの自由端側）に位置するものである。

また、前記ワーク移動位置決め装置１１が、ワーク移動位置決め装置１１におけるＹ軸方向の基準位置（図１に示す右側の位置）に位置するときに、前記撮像ターゲット３９を、前記レーザ加工ヘッド３１に備えた撮像手段３７のＹ軸方向への移動軌跡（移動経路）の下方位置に位置決めすることができる。したがって、前記ワーク移動位置決め装置１１が、Ｙ軸方向の基準位置に位置するときに、前記撮像ターゲット３９の上方位置（図１において右側の位置）へレーザ加工ヘッド３１を移動位置決めすることができるものである。この際、レーザ加工ヘッド３１は、Ｙ軸ボールネジ３３の先端側（伸びの自由端側）に位置するものである。

既に理解されるように、レーザ加工ヘッド３１が自身のＹ軸方向の基準位置に位置するときに、ワーク移動位置決め装置１１をＸ軸、Ｙ軸方向に動して、レーザ加工ヘッド３１に備えた撮像手段３７の下方位置へ撮像ターゲット３９を移動位置決めすることができる。また、ワーク移動位置決め装置１１がＹ軸方向の基準位置に位置するときに、レーザ加工ヘッド３１をＹ軸方向に移動して、レーザ加工ヘッド３１に備えた撮像手段３７を、撮像ターゲット３９の上方位置に移動位置決めすることができるものである。

さて、前記レーザ加工装置１の動作を制御するための制御装置４１（図３参照）は、例えばＮＣ装置から構成してある。そして、前記Ｙ軸ボールネジ１９、Ｘ軸ボールネジ２５及びＹ軸ボールネジ３３の発熱に起因する伸び（膨張）を補正する機能を備えている。

すなわち、レーザ加工装置１の始動初期に、レーザ加工ヘッド３１におけるＹ軸方向の基準位置に位置決めした状態のレーザ加工ヘッド３１に備えた撮像手段３７の下方位置へ撮像ターゲット３９を位置決めする。そして、前記撮像手段３７によって撮像して求めた撮像ターゲット３９のＸ軸、Ｙ軸方向の座標位置を記憶する第１メモリ４３が制御装置４１に備えられている。

また、レーザ加工装置１の始動時から予め設定された所定時間経過後に、Ｙ軸方向の基準位置に予め位置決めされたレーザ加工ヘッド３１に備えた撮像手段３７の下方位置へ前記撮像ターゲット３９を再び移動位置決めする。そして、撮像手段３７によって再度撮像して求めた撮像ターゲット３９のＸ軸、Ｙ軸方向の座標位置を記憶する第２メモリ４５が備えられている。

前述のように、レーザ加工ヘッド３１のＹ軸方向の基準位置にレーザ加工ヘッド３１を位置決めして、撮像手段３７によって撮像ターゲット３９を撮像し、撮像ターゲット３９のＸ軸、Ｙ軸方向の座標位置を取得するとき、レーザ加工ヘッド３１は、Ｙ軸ボールネジ３３をサーボモータ３５に連結した基端部側に位置するものである。Ｙ軸ボールネジ３３の発熱に起因してＹ軸ボールネジ３３に伸びが生じるとしても、Ｙ軸ボールネジ３３の先端部側が伸びの影響を受けるものであって、Ｙ軸ボールネジ３３の基端部側は伸びの影響が少ないものである。すなわち、Ｙ軸ボールネジ３３の発熱による伸びの小さな位置（Ｙ軸方向の基準位置）にレーザ加工ヘッド３１を位置決めして、前記撮像ターゲット３９の撮像を行うものである。

既に理解されるように、前記第１メモリ４３に格納された撮像ターゲット３９のＸ軸、Ｙ軸方向の座標位置データは、始動初期の座標位置データであるから、Ｙ軸ボールネジ１９及びＸ軸ボールネジ２５の伸びのない状態の座標位置データである。そして、前記第２メモリ４５に格納された撮像ターゲット３９のＸ軸、Ｙ軸方向の座標位置データは、前記Ｙ軸ボールネジ１９及びＸ軸ボールネジ２５の発熱に起因して伸びを生じたときの座標位置データである。

したがって、前記第１メモリ４３に格納（記憶）した座標位置データと前記第２メモリ４５に記憶した座標位置データに基づいて、前記制御装置４１に備えた演算手段４７によって差を演算することにより、Ｘ軸、Ｙ軸方向の位置決め誤差、すなわちＸ軸ボールネジ２５、Ｙ軸ボールネジ１９の伸びを演算することができる。よって、前記Ｘ軸、Ｙ軸方向の誤差を、前記制御装置４１に備えた補正手段４９によって前記差を補うように補正する。そして、モータ駆動手段５１，５３によってＹ軸サーボモータ２３，Ｘ軸サーボモータ２９を駆動して、ワーク移動位置決め装置１１のＸ軸、Ｙ軸方向への移動位置決めを行うことにより、Ｘ軸ボールネジ２５、Ｙ軸ボールネジ１９の発熱に起因する伸びを補正して、正確な位置決めを行うことができるものである。

さらに、前記制御装置４１には、第３メモリ５５、第４メモリ５７が備えられている。そして、レーザ加工装置１の始動初期に、ワーク移動位置決め装置１１におけるＹ軸方向の基準位置（Ｙ軸ボールネジ１９の発熱に起因する伸びの少ない位置）にワーク移動位置決め装置１１を位置決めする。この基準位置に位置するワーク移動位置決め装置１１に備えた撮像ターゲット３９の上方位置へレーザ加工ヘッド３１を移動する。そして、レーザ加工ヘッド３１に備えた撮像手段３７によって撮像ターゲット３９を撮像し、撮像ターゲット３９のＸ軸、Ｙ軸方向の位置データを取得する。この取得したＸ軸、Ｙ軸方向の撮像ターゲット３９の座標位置を、前記第３メモリ５５に記憶し格納する。

また、レーザ加工装置１の始動時から予め設定された所定時間経過後に、Ｙ軸方向の基準位置に予め位置決めされたワーク移動位置決め装置１１に備えた撮像ターゲット３９の上方位置にレーザ加工ヘッド３１を移動位置決めする。そして、レーザ加工ヘッド３１に備えた撮像手段３７によって前記撮像ターゲット３９を撮像し、撮像ターゲット３９のＸ軸、Ｙ軸方向の座標位置を取得する。この取得した座標位置データは、第４メモリ５７に格納する。

そして、前記第３メモリ５５、第４メモリ５７に格納された座標位置データに基づいて、前記Ｙ軸ボールネジ３３の伸び（誤差）を演算する。なお、レーザ加工ヘッド３１はＹ軸方向にのみ移動位置決めされるものであるから、Ｘ軸方向の誤差は零である。上述のように、Ｙ軸ボールネジ３３の発熱に起因するＹ軸ボールネジ３３の伸びを演算した後、この伸びによる誤差を、前記補正手段４９によって補うように補正する。そして、モータ駆動手段５９によってサーボモータ３５を駆動して、レーザ加工ヘッド３１のＹ軸方向への移動位置決めを行うことにより、前記Ｙ軸ボールネジ３３の発熱による伸びを補正して位置決めされるものである。

以上のごとき説明から理解されるように、本実施形態によれば、ワーク移動位置決め装置１１をＸ軸、Ｙ軸方向に移動位置決めするためのＸ軸ボールネジ２５、Ｙ軸ボールネジ１９およびレーザ加工ヘッド３１をＹ軸方向に移動位置決めするためのＹ軸ボールネジ３３の発熱に起因する伸びを容易に検出することができる。そして、上記伸びによるワーク移動位置決め装置１１及びレーザ加工ヘッド３１の位置決め誤差を容易に補正することができる。

１ レーザ加工装置
１１ ワーク移動位置決め装置
１３ キャリッジベース
１７ キャリッジ
１９ Ｙ軸ボールネジ
２３ Ｙ軸サーボモータ
２５ Ｘ軸ボールネジ
２９ Ｘ軸サーボモータ
３１ レーザ加工ヘッド
３３ Ｙ軸ボールネジ
３５ サーボモータ
３７ 撮像手段
３９ 撮像ターゲット
４１ 制御装置
４３ 第１メモリ
４５ 第２メモリ
４７ 演算手段
４９ 補正手段
５１ モータ駆動手段
５３ モータ駆動手段
５５ 第３メモリ
５７ 第４メモリ
５９ モータ駆動手段

Claims (3)

1. 板状のワークをＸ軸、Ｙ軸方向へ移動位置決め自在なワーク移動位置決め装置を備えると共に、前記ワークのレーザ加工を行うレーザ加工ヘッドを、Ｙ軸方向へ移動位置決め自在に備えたレーザ加工装置であって、前記レーザ加工ヘッドをＹ軸方向へ移動するためのボールネジと前記ワークをＹ軸方向へ移動するためのボールネジとを平行に備え、前記各ボールネジを回転するための各サーボモータを、前記各ボールネジのＹ軸方向の逆方向の端部側にそれぞれ備え、前記ワーク移動位置決め装置に備えた撮像ターゲットを撮像するための撮像手段を、前記レーザ加工ヘッドと一体的に備えていることを特徴とするレーザ加工装置。
2. 請求項１に記載のレーザ加工装置において、当該レーザ加工装置の始動初期に、前記レーザ加工ヘッドにおけるＹ軸方向の基準位置に位置決めした前記レーザ加工ヘッドの下方位置へ前記撮像ターゲットを位置決めし、前記撮像手段によって撮像した撮像ターゲットのＸ軸、Ｙ軸方向の座標位置を記憶する第１メモリと、
   レーザ加工装置の始動時から所定時間経過後に、Ｙ軸方向の前記基準位置に位置決めした前記レーザ加工ヘッドの下方位置へ位置決めした前記撮像ターゲットを前記撮像手段によって撮像したときの前記撮像ターゲットのＸ軸、Ｙ軸方向の座標位置を記憶する第２メモリと、
   前記第１メモリに記憶した座標位置データと前記第２メモリに記憶した座標位置データとに基づいて、ワーク移動位置決め手段におけるＸ軸、Ｙ軸方向の誤差を演算する演算手段と、
   前記演算手段による演算結果を参照して、前記ワーク移動位置決め手段によるワークの移動位置決め時に、Ｘ軸、Ｙ軸方向の位置決め誤差を補正する補正手段と、
   を備えていることを特徴とするレーザ加工装置。
3. 請求項１又は２に記載のレーザ加工装置において、
   当該レーザ加工装置の始動初期に、前記ワーク移動位置決め装置におけるＹ軸方向の基準位置に位置決めした前記撮像ターゲットの上方位置へ前記レーザ加工ヘッドを位置決めし、前記撮像手段によって撮像した撮像ターゲットのＹ軸方向の座標位置を記憶する第３メモリと、
   レーザ加工装置の始動時から所定時間経過後に、前記ワーク移動位置決め装置におけるＹ軸方向の前記基準位置に位置決めした前記撮像ターゲットの上方位置へ前記レーザ加工ヘッドを位置決めし、前記撮像手段に撮像した撮像ターゲットのＹ軸方向の座標位置を記憶する第４メモリと、
   前記第３メモリに記憶した座標位置データと前記第４メモリに記憶した座標位置データとに基づいて、前記レーザ加工ヘッドにおけるＹ軸方向の誤差を演算する前記演算手段と、
   前記演算手段による演算結果を参照して、前記レーザ加工ヘッドのＹ軸方向への移動位置決め時に、レーザ加工ヘッドのＹ軸方向の位置決め誤差を補正する補正手段と、
   を備えていることを特徴とするレーザ加工装置。
   
   

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