JP2017108379A - 圧電振動子 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明による第1の実施形態について図面を参照しながら説明する。本実施形態における高安定水晶振動子1(以下、水晶振動子1と略記)は、図1に示すように一対のリード端子を有するベース3と、前記一対のリード端子の一端側に取り付けられた金属サポートに導電性接着剤Sを介して電気機械的に接続される水晶振動板2と、水晶振動板2を気密に封止してなる金属製の蓋4とで構成されている。本実施形態では、水晶振動子1の正面から見た外形寸法は幅10mm×高さ11mmとなっている。なお水晶振動子1の発振周波数は3倍波振動モードで10〜20MHzとなっている。以下、前記各構成部材について説明する。
図5乃至6に本発明の第2の実施形態を示す。なお前述した本発明の第1の実施形態と同一の構成については同一の番号を付して、その説明は割愛する。なお、後述する本発明の第3乃至5の実施形態において水晶振動板は、本発明の第1の実施形態と同様に全て平面視略円形のSCカットであり、水晶振動板のZ´軸方向の両端側には本発明の第1の実施形態と同じ形態からなる切り込み部OF,OFが形成されている。また前記水晶振動子の一主面側は断面視凸レンズ状であり、その他主面側は平坦面となっている。つまり、本発明の第3乃至5の実施形態の全てにおいて水晶振動板はプラノコンベックス形状となっている。
本発明の第3の実施形態を図7に示す。本実施形態ではプラノコンベックス形状の水晶振動板7の平坦面側である他主面701に、複数のスリットSL,SL,・・・,SLが形成されている。複数のスリットSL,SL,・・・,SLは、切り込み部OFの縁部から平面視略円形の水晶振動板7の中心(図示省略)に向かう方向に、互いに平行な状態で伸長形成されている。これらのスリットは同一の幅および同一の深さで形成されている。このようなスリットSLは例えばフォトリソグラフィ技術およびウエットエッチング法を用いることによって成形することができる。
本発明の第4の実施形態を図8に示す。本実施形態では2つの薄肉部C4,C4が、水晶振動板8の他主面801であって2つの切り込み部OF,OFにその開口部分が面するように形成されている。そして本実施形態では薄肉部C4は平面視台形状となっている。すなわち、薄肉部C4は平面視略円形の水晶振動板の中心に近づくほど、その開口幅が拡大する平面視形状となっている。
一方、図9に示す本発明の第5の実施形態のように、第4の実施形態における平面視台形状の薄肉部を180度反転させたような平面視形状の薄肉部C5を、水晶振動板9の他主面901に形成してもよい。すなわち、薄肉部C5は平面視略円形の水晶振動板の中心に近づくほど、その開口幅が縮小する平面視形状となっている。
本発明の第6の実施形態を図10に示す。本実施形態では複数の薄肉部C6が、水晶振動板10の他主面1001の周縁部(水晶振動板の外周端縁から当該振動板の中心方向に僅かに離間した領域)においてドット状に形成されている。具体的には、図10に示すように複数の薄肉部C6,C6,・・・,C6は2つの切り込み部OF,OFに沿って、切り込み部OFの近傍の領域に整列して形成されている。
2、5、6、7、8、9、10 水晶振動板
3 ベース
4 蓋
31 リード端子
32 金属サポート
C1 面取り部
C2、C3、C4、C5、C6 薄肉部
S 導電性接着剤
Claims (2)
- 圧電振動板が、ベースを貫通する一対のリード端子の各々に接続された板状の金属サポートに、導電性接着剤を介して導電接合された圧電振動子であって、
一対からなる前記金属サポートは、その圧電振動板との接合面同士が対向するように前記一対のリード端子の各々の先端部に接続されてなり、
前記圧電振動板は、その側面が前記一対の金属サポートの各々の圧電振動板との接合面に対面した状態で、導電性接着剤を介して一対の金属サポートの間に挟持され、
前記圧電振動板は、その一主面側のみがコンベックス加工またはベベル加工されているとともにその他主面側は平坦面であり、
圧電振動板の前記他主面の周縁部のうち、少なくとも前記金属サポートの圧電振動板との接合面に対応する領域において圧電振動板が薄肉化または面取り加工されてなり、
前記圧電振動板は、導電性接着剤の一部が前記薄肉化または面取り加工された領域に及んだ状態で金属サポートと接合されていることを特徴とする圧電振動子。 - 前記圧電振動板の他主面の周縁部の全周が面取り加工され、圧電振動板は、導電性接着剤の一部が前記面取り加工がされた領域に及んだ状態で金属サポートと接合されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動子。
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JP2016186667A Pending JP2017108379A (ja) | 2015-11-27 | 2016-09-26 | 圧電振動子 |
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JP2007158566A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP2010177976A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Daishinku Corp | 水晶振動子 |
JP2014011601A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Daishinku Corp | 水晶振動子 |
JP2014236301A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶デバイス |
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2016
- 2016-09-26 JP JP2016186667A patent/JP2017108379A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007158566A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP2010177976A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Daishinku Corp | 水晶振動子 |
JP2014011601A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Daishinku Corp | 水晶振動子 |
JP2014236301A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶デバイス |
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