JP2017108115A5 - - Google Patents

Description

本明細書に示された上述の説明および具体的な実施形態は、単に本発明およびその原理の例示であり、本発明の精神および範囲から逸脱することなく当業者によって変形および追加が容易になさうるため、本発明は添付の特許請求の範囲によってのみ限定されることを理解されたい。本発明は以下の適用例としても実現できる。
［適用例１］
ウエハ形状物品を処理するための回転チャックであって、
一連のグリップピンを有するチャック本体を備え、前記一連のグリップピンは、前記グリップピンが相対的に前記チャック本体内に後退した第１位置から、前記グリップピンが相対的に前記チャック本体から突き出して、所定の直径のウエハ形状物品を支持するように配置される第２位置へ、水平方向に、前記チャック本体と協調的に移動可能である、
回転チャック。
［適用例２］
適用例１に記載の回転チャックであって、
前記グリップピンの各々は、前記チャック本体内に取り付けられた近位部分と、前記チャック本体から外向きに突出した遠位部分とを備え、前記遠位部分は、前記第１位置および前記第２位置の間で移動する際に前記チャック本体のそれぞれの開口部を通して摺動する、回転チャック。
［適用例３］
適用例２に記載の回転チャックであって、
前記遠位部分は、前記第１位置から前記第２位置へ移動する際に、前記チャック本体の中心に向かって前記それぞれの開口部を通して水平方向に摺動する、回転チャック。
［適用例４］
適用例２に記載の回転チャックであって、
前記遠位部分の各々は、ウエハ形状物品が前記回転チャックによって保持された時に前記ウエハ形状物品の周縁部に接触して支持するように構成されたそれぞれの遠位端を備え、前記遠位端は、前記一連のグリップピンの前記第１および第２位置で互いに向かい合う、回転チャック。
［適用例５］
適用例４に記載の回転チャックであって、
前記遠位端の各々は、水平ノッチを備える、回転チャック。
［適用例６］
適用例１に記載の回転チャックであって、
前記チャック本体は、リング形状であり、回転中心軸に関して回転されるように適合されている、回転チャック。
［適用例７］
適用例６に記載の回転チャックであって、
前記リング形状のチャック本体は、前記所定の直径以上の内径を有する、回転チャック。
［適用例８］
適用例６に記載の回転チャックであって、
前記グリップピンの各々は、前記チャック本体内に取り付けられた近位部分と、前記チャック本体から外向きに突出した遠位部分とを備え、前記遠位部分は、前記第１位置から前記第２位置へ移動する際に前記回転中心軸に向かって前記チャック本体のそれぞれの開口部を通して水平方向に摺動する、回転チャック。
［適用例９］
適用例６に記載の回転チャックであって、
さらに、前記チャック本体と相対的に制限された回転をするように前記チャック本体内に同軸で取り付けられた駆動リングを備え、前記駆動リングは、一連のカム面を備え、前記一連のカム面の各々は、前記駆動リングと前記チャック本体との相対回転中に前記一連のグリップピンのそれぞれと係合して、前記一連のグリップピンを前記第２位置から前記第１位置へ移動させる、回転チャック。
［適用例１０］
適用例９に記載の回転チャックであって、
前記一連のカム面の各々は、前記駆動リングに形成された対応するスロットに含まれ、各前記スロットは、前記回転中心軸に向かって斜めに伸びており、前記一連のグリップピンの各々の近位部分が、前記スロットの内の対応するスロット内に配置されている、回転チャック。
［適用例１１］
適用例９に記載の回転チャックであって、
前記駆動リングは、前記駆動リングが前記チャック本体の回転に関して静止して保持されることを可能にすることにより、前記一連のグリップピンを前記第２位置から前記第１位置へ移動させるために、少なくとも１つの永久磁石を取り付けられている、回転チャック。
［適用例１２］
適用例１に記載の回転チャックであって、
前記回転チャックは、所定の直径Ｄ２のウエハ形状物品を保持するように構成され、前記チャック本体は、直径Ｄ１を有する中央開口部を規定し、Ｄ１≧Ｄ２−１０ｍｍであることにより、直径Ｄ２のウエハ形状物品の周囲領域と前記回転チャックとの重なりが最大５ｍｍである、回転チャック。
［適用例１３］
適用例１に記載の回転チャックであって、
前記チャック本体は、周りの磁気ステータによって接触なしに回転駆動されるように適合された磁気リングロータである、回転チャック。
［適用例１４］
ウエハ形状物品を処理するための装置であって、
処理チャンバと、前記処理チャンバ内に配置された回転チャックと、を備え、前記回転チャックは、一連のグリップピンを有するチャック本体を備え、前記一連のグリップピンは、前記グリップピンが相対的に前記チャック本体内に後退した第１位置から、前記グリップピンが相対的に前記チャック本体から突き出して、所定の直径のウエハ形状物品を支持するように配置される第２位置へ、水平方向に、前記チャック本体と協調的に移動可能である、
装置。
［適用例１５］
適用例１４に記載の装置であって、
前記グリップピンの各々は、前記チャック本体内に取り付けられた近位部分と、前記チャック本体から外向きに突出した遠位部分とを備え、前記遠位部分は、前記第１位置および前記第２位置の間で移動する際に前記チャック本体のそれぞれの開口部を通して摺動する、装置。
［適用例１６］
適用例１５に記載の装置であって、
前記遠位部分は、前記第１位置から前記第２位置へ移動する際に、前記チャック本体の中心に向かって前記それぞれの開口部を通して水平方向に摺動する、装置。
［適用例１７］
適用例１５に記載の装置であって、
前記遠位部分の各々は、ウエハ形状物品が前記回転チャックによって保持された時に前記ウエハ形状物品の周縁部に接触して支持するように構成されたそれぞれの遠位端を備え、前記遠位端は、前記一連のグリップピンの前記第１および第２位置で互いに向かい合う、装置。
［適用例１８］
適用例１４に記載の装置であって、
前記チャック本体は、リング形状であり、回転中心軸に関して回転されるように適合されており、前記装置は、さらに、前記チャック本体と相対的に制限された回転をするように前記チャック本体内に同軸で取り付けられた駆動リングを備え、前記駆動リングは、一連のカム面を備え、前記一連のカム面の各々は、前記駆動リングと前記チャック本体との相対回転中に前記一連のグリップピンのそれぞれと係合して、前記一連のグリップピンを前記第２位置から前記第１位置へ移動させる、装置。
［適用例１９］
適用例１８に記載の装置であって、
前記駆動リングは、前記駆動リングが前記チャック本体の回転に関して静止して保持されることを可能にすることにより、前記一連のグリップピンを前記第２位置から前記第１位置へ移動させるために、少なくとも１つの永久磁石を取り付けられている、装置。
［適用例２０］
適用例１４に記載の装置であって、
前記チャック本体は、磁気リングロータであり、前記処理チャンバは、前記処理チャンバの外面に取り付けられて前記磁気リングロータを取り囲む磁気ステータを備え、前記処理チャンバの円筒壁が前記磁気ステータと前記磁気リングロータとの間に配置される、装置。

Claims (14)

1. ウエハ形状物品を処理するための回転チャックであって、
   一連のグリップピンを有するチャック本体であって、各グリップピンは、前記チャック本体内に規定されたそれぞれの斜めに向かって伸びるスロットによって受け入れられ、各グリップピンは、前記グリップピンが相対的に前記チャック本体内に後退した第１位置から、前記グリップピンが相対的に前記チャック本体から突き出して、所定の直径のウエハ形状物品を支持するように配置される第２位置へ、水平方向に、前記チャック本体と協調的に移動可能であり、前記チャック本体は、リング形状であり、回転中心軸に関して回転されるように適合されている、チャック本体と、
   前記チャック本体と相対的に制限された回転をするように前記チャック本体内に同軸で取り付けられた駆動リングであって、前記駆動リングは、一連のカム面を備え、前記一連のカム面の各々は、前記駆動リングと前記チャック本体との相対回転中に前記一連のグリップピンのそれぞれと係合して、前記一連のグリップピンを前記第２位置から前記第１位置へ移動させ、前記駆動リングは、前記駆動リングが前記チャック本体の回転に関して静止して保持されることを可能にして、前記一連のグリップピンを前記第２位置から前記第１位置へ移動させるために、少なくとも１つの永久磁石を取り付けられている、駆動リングと、
   を備える、回転チャック。
2. 請求項１に記載の回転チャックであって、
   前記グリップピンの各々は、前記チャック本体内に取り付けられた近位部分と、前記チャック本体から外向きに突出した遠位部分とを備え、前記遠位部分は、前記第１位置および前記第２位置の間で移動する際に前記チャック本体のそれぞれの開口部を通して摺動する、回転チャック。
3. 請求項２に記載の回転チャックであって、
   前記遠位部分は、前記第１位置から前記第２位置へ移動する際に、前記チャック本体の中心に向かって前記それぞれの開口部を通して水平方向に摺動する、回転チャック。
4. 請求項２に記載の回転チャックであって、
   前記遠位部分の各々は、ウエハ形状物品が前記回転チャックによって保持された時に前記ウエハ形状物品の周縁部に接触して支持するように構成されたそれぞれの遠位端を備え、前記遠位端は、前記一連のグリップピンの前記第１および第２位置で互いに向かい合う、回転チャック。
5. 請求項４に記載の回転チャックであって、
   前記遠位端の各々は、水平ノッチを備える、回転チャック。
6. 請求項１に記載の回転チャックであって、
   前記リング形状のチャック本体は、前記所定の直径以上の内径を有する、回転チャック。
7. 請求項１に記載の回転チャックであって、
   前記グリップピンの各々は、前記チャック本体内に取り付けられた近位部分と、前記チャック本体から外向きに突出した遠位部分とを備え、前記遠位部分は、前記第１位置から前記第２位置へ移動する際に前記回転中心軸に向かって前記チャック本体のそれぞれの開口部を通して水平方向に摺動する、回転チャック。
8. 請求項１に記載の回転チャックであって、
   前記回転チャックは、所定の直径Ｄ２のウエハ形状物品を保持するように構成され、前記チャック本体は、直径Ｄ１を有する中央開口部を規定し、Ｄ１≧Ｄ２−１０ｍｍであることにより、直径Ｄ２のウエハ形状物品の周囲領域と前記回転チャックとの重なりが最大５ｍｍである、回転チャック。
9. 請求項１に記載の回転チャックであって、
   前記チャック本体は、周りの磁気ステータによって接触なしに回転駆動されるように適合された磁気リングロータである、回転チャック。
10. ウエハ形状物品を処理するための装置であって、
    処理チャンバと、
    前記処理チャンバ内に配置された回転チャックであって、前記回転チャックは、一連のグリップピンを有するチャック本体を備え、各グリップピンは、前記チャック本体内に規定されたそれぞれの斜めに向かって延びるスロットによって受け入れられ、各グリップピンは、前記グリップピンが相対的に前記チャック本体内に後退した第１位置から、前記グリップピンが相対的に前記チャック本体から突き出して、所定の直径のウエハ形状物品を支持するように配置される第２位置へ、水平方向に、前記チャック本体と協調的に移動可能であり、前記チャック本体は、リング形状であり、回転中心軸に関して回転されるように適合されている、回転チャックと、
    前記チャック本体と相対的に制限された回転をするように前記チャック本体内に同軸で取り付けられた駆動リングであって、前記駆動リングは、一連のカム面を備え、前記一連のカム面の各々は、前記駆動リングと前記チャック本体との相対回転中に前記一連のグリップピンのそれぞれと係合して、前記一連のグリップピンを前記第２位置から前記第１位置へ移動させ、前記駆動リングは、前記駆動リングが前記チャック本体の回転に関して静止して保持されることを可能にして、前記一連のグリップピンを前記第２位置から前記第１位置へ移動させるために、少なくとも１つの永久磁石を取り付けられている、駆動リングと、
    を備える装置。
11. 請求項１０に記載の装置であって、
    前記グリップピンの各々は、前記チャック本体内に取り付けられた近位部分と、前記チャック本体から外向きに突出した遠位部分とを備え、前記遠位部分は、前記第１位置および前記第２位置の間で移動する際に前記チャック本体のそれぞれの開口部を通して摺動する、装置。
12. 請求項１１に記載の装置であって、
    前記遠位部分は、前記第１位置から前記第２位置へ移動する際に、前記チャック本体の中心に向かって前記それぞれの開口部を通して水平方向に摺動する、装置。
13. 請求項１１に記載の装置であって、
    前記遠位部分の各々は、ウエハ形状物品が前記回転チャックによって保持された時に前記ウエハ形状物品の周縁部に接触して支持するように構成されたそれぞれの遠位端を備え、前記遠位端は、前記一連のグリップピンの前記第１および第２位置で互いに向かい合う、装置。
14. 請求項１０に記載の装置であって、
    前記チャック本体は、磁気リングロータであり、前記処理チャンバは、前記処理チャンバの外面に取り付けられて前記磁気リングロータを取り囲む磁気ステータを備え、前記処理チャンバの円筒壁が前記磁気ステータと前記磁気リングロータとの間に配置される、装置。