CN113496938A - 夹持组件和晶片夹持装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及半导体技术领域，公开了一种夹持组件和晶片夹持装置。其中，夹持组件包括：套筒、夹持臂、以及限位机构；套筒具有中空内腔，套筒的两端设有开口，开口与中空内腔连通；夹持臂包括连接轴和与连接轴连接的夹持件，连接轴贯穿中空内腔和开口，夹持件凸设于开口且沿连接轴的径向方向延伸；限位机构设置在套筒与连接轴之间以使得连接轴相对套筒在中空内腔中按预设运动路径运动。这样，通过将连接轴套设在套筒内，限位机构限位机构设置在套筒与连接轴之间，连接轴与夹持件连接，驱动连接轴，使得连接轴在套筒内按预设运动路径运动时带动夹持件运动，从而使得夹持件实现夹持固定的目的，且结构简单、操作简便。

Description

夹持组件和晶片夹持装置

技术领域

本申请涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种夹持组件和晶片夹持装置。

背景技术

在晶片转移过程中，通过将晶片放置于料盘上，从而通过晶片吸附装置将一个料盘上的晶片转移至另一个料盘上。但是在转移的过程中，由于通过晶片吸附装置对晶片进行吸附转移，有可能会导致承载晶片的料盘发生微小的位移，进而导致料盘的定位不准确，降低了晶片转移的准确度。

发明内容

本申请提供了一种夹持组件和晶片夹持装置，以解决相关技术中料盘易发生位移从而导致定位不准确的问题。

第一方面，本申请提供了一种夹持组件，包括：套筒、夹持臂、以及限位机构；

所述套筒具有中空内腔，所述套筒的两端设有开口，所述开口与所述中空内腔连通；

所述夹持臂包括连接轴和与所述连接轴连接的夹持件，所述连接轴贯穿所述中空内腔和所述开口，所述夹持件凸设于所述开口且沿所述连接轴的径向方向延伸；

所述限位机构设置在所述套筒与所述连接轴之间以使得所述连接轴相对所述套筒在所述中空内腔中按预设运动路径运动。

可选地，所述限位机构包括导向槽和销轴；所述导向槽凹设在所述套筒的周侧，所述导向槽与所述中空内腔连通；所述销轴凸设在所述连接轴上，所述销轴可滑动地设于所述导向槽内。

可选地，所述限位机构包括导向槽和销轴；所述导向槽凹设所述连接轴的周侧；所述销轴凸设于所述套筒的内侧，所述销轴可滑动地设于所述导向槽内。

可选地，所述导向槽沿所述夹持组件的轴向螺旋延伸。

可选地，所述销轴位于所述导向槽远离所述夹持件的一侧时，所述夹持件与所述套筒之间具有间隔间距。

可选地，所述套筒包括筒状部和设于所述筒状部一侧的延伸部，所述延伸部设于所述筒状部的外周缘且沿所述筒状部的外周缘向外延伸，所述连接轴贯穿所述筒状部和所述延伸部。

可选地，所述夹持臂还包括凸缘件，所述凸缘件设置在所述连接轴远离所述夹持件的一侧，所述凸缘件的最大径长大于所述中空内腔的最大径长。

可选地，所述夹持件靠近所述套筒的一侧凸设有凸台，所述凸台靠近所述套筒的一侧为平面。

可选地，所述夹持组件还包括螺旋弹簧，所述螺旋弹簧套设于所述连接轴的周侧。

第二方面，本申请提供了一种晶片夹持装置，包括：套筒、夹持臂、限位机构、以及驱动件；

所述套筒具有中空内腔，所述套筒的两端设有开口，所述开口与所述中空内腔连通；

所述夹持臂包括连接轴和与所述连接轴连接的夹持件，所述连接轴贯穿所述中空内腔和所述开口，所述夹持件凸设于所述开口且沿所述连接轴的径向方向延伸以用于固定晶片；

所述驱动件与所述连接轴驱动连接；所述限位机构设置在所述套筒与所述连接轴之间以使得所述连接轴相对所述套筒在所述中空内腔中按预设运动路径运动。

本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：

本申请实施例提供的夹持组件和晶片夹持装置，其中，夹持组件包括：套筒、夹持臂、以及限位机构；所述套筒具有中空内腔，所述套筒的两端设有开口，所述开口与所述中空内腔连通；所述夹持臂包括连接轴和与所述连接轴连接的夹持件，所述连接轴贯穿所述中空内腔和所述开口，所述夹持件凸设于所述开口且沿所述连接轴的径向方向延伸；所述限位机构设置在所述套筒与所述连接轴之间以使得所述连接轴相对所述套筒在所述中空内腔中按预设运动路径运动。这样，通过将连接轴套设在套筒内，限位机构所述限位机构设置在所述套筒与所述连接轴之间，连接轴与夹持件连接，驱动连接轴，使得连接轴在套筒内按预设运动路径运动时带动夹持件运动，从而使得夹持件实现夹持固定的目的，且结构简单、操作简便。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1和图2均为本申请实施例提供的夹持组件的结构示意图。

附图标记：

100、夹持组件；110、套筒；120、夹持臂；130、螺旋弹簧；140、限位机构；

111、开口；112、筒状部；113、延伸部；1131、安装孔；

121、连接轴；122、夹持件；1221、凸台；123、凸缘件；

141、导向槽；142、销轴。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

如图1和图2所示，本申请实施例提供了一种夹持组件100，其中，夹持组件100包括：套筒110、夹持臂120、以及限位机构140；套筒110具有中空内腔，套筒110的两端设有开口111，开口111与中空内腔连通；夹持臂120包括连接轴121和与连接轴121连接的夹持件122，连接轴121贯穿中空内腔和开口111，夹持件122凸设于开口111且沿连接轴121的径向方向延伸；限位机构140设置在套筒110与连接轴121之间以使得连接轴121相对套筒110在中空内腔中按预设运动路径运动。这样，通过将连接轴121套设在套筒110内，限位机构140限位机构140设置在套筒110与连接轴121之间，连接轴121与夹持件122连接，驱动连接轴121，使得连接轴121在套筒110内按预设运动路径运动时带动夹持件122运动，从而使得夹持件122实现夹持固定的目的，且结构简单、操作简便。

预设运动路径可以设置为连接轴121相对套筒110做升降运动或直线往复运动，也可以使得连接轴121相对套筒110做螺旋上升运动或旋转运动。预设运动路径可以根据实际的使用需求进行结合，例如将升降运动与旋转运动结合，从而使得连接轴121相对于套筒110上升且旋转，这样夹持件122可以更方便的进行夹持固定。比如在连接轴121相对于套筒110做升降运动时，夹持件122跟随连接轴121做升降运动，以使得夹持件122可以对物品进行夹紧或松开。在连接轴121相对于套筒110做旋转运动时，夹持件122跟随连接轴121做旋转运动，从而可以移开夹持件122，改变夹持件122的夹持方位。

连接轴121和夹持件122可以为一体成型结构，也可以设置为可拆卸结构。将连接轴121和夹持件122设置为一体成型结构，使得夹持臂120在使用过程中更加牢固，不易松脱。连接轴121和夹持件122之间可拆卸连接，包括通过卡合进行连接，或者通过螺钉螺栓进行连接，或者通过磁吸连接。这样当夹持件122发生磨损或损坏时，可以通过更换夹持件122，从而节省成本。当然，在对料盘进行固定夹持时，也可以改变夹持件122的形状或对夹持件122增加负压吸附装置，通过负压吸附和物理夹持，提高夹持件122对料盘的固定效果。

在本申请一个实施例中，限位机构140包括导向槽141和销轴142；导向槽141设置在套筒110的周侧，导向槽141与中空内腔连通；销轴142凸设在连接轴121上，销轴142可滑动地设于导向槽141内。套筒110的周侧设置有导向槽141，导向槽141与中空内腔连通；连接轴121上凸设有销轴142，销轴142可滑动地设于导向槽141内。导向槽141的延伸形状为销轴142的运动路径，销轴142可以在导向槽141内滑动，从而改变销轴142在导向槽141的位置，进而使得连接轴121相对于套筒110运动。销轴142可以贯穿套筒110的侧壁并凸设于侧壁外，也可以与套筒110的外侧壁齐平。

具体地，可以设置导向槽141沿夹持组件100的轴向螺旋延伸。导向槽141沿着套筒110的周侧自远离夹持件122的一侧向靠近夹持件122的另一侧弯曲延伸，使得导向槽141的开口111形状呈螺纹状弯曲。这样，在连接轴121带动夹持件122做升降运动的同时，连接轴121也可以带动夹持件122做旋转运动。一方面，连接轴121可以驱动夹持件122进行夹紧或松开，另一方面，连接轴121也可以驱动夹持件122摆动，从而便于转移物品，而不会与夹持件122进行碰撞或损坏夹持件122。

在本申请另一实施例中，限位机构140包括导向槽和销轴；导向槽凹设在连接轴121的周侧；销轴凸设于套筒110的内侧，销轴可滑动地设于导向槽内。

连接轴121的周侧凹设有导向槽；套筒110的内侧凸设有销轴，销轴可滑动地设于导向槽内。在驱动连接轴121运动时，导向槽相对于销钉运动，从而根据导向槽上的运动路径运动，进而带动连接轴121沿预设的运动路径运动，而连接轴121带动夹持件122运动，从而使得夹持件122实现夹持固定。

具体地，可以设置导向槽沿夹持组件100的轴向螺旋延伸。导向槽沿着连接轴121的周侧自远离夹持件122的一侧向靠近夹持件122的另一侧弯曲延伸，使得导向槽的开口111形状呈螺纹状弯曲。

当然，也可以设置导向槽的开口111形状为沿与夹持组件100的轴向平行的矩形，或者与夹持组件100的轴向垂直的圆环形。可以根据实际的使用需求进行设置导向槽的开口111形状。

应当理解的是，为了避免销轴142和导向槽141之间脱离，导向槽141为封闭型导向槽，导向槽141围合形成一个封闭的运动路径。

销轴142位于导向槽141远离夹持件122的一侧时，夹持件122与套筒110之间具有间隔间距。具体地，当销轴142位于导向槽141远离夹持件122的一侧时，夹持件122与延伸部113之间具有间隔间距。这样，便于夹持件122对料盘进行夹持固定。间隔间距的范围介于1cm至3cm之间，当然，也可以设置间隔间距的范围介于1.5cm至2.5cm之间。

套筒110包括筒状部112和设于筒状部112一侧的延伸部113，延伸部113设于筒状部112的外周缘且沿筒状部112的外周缘向外延伸，连接轴121贯穿筒状部112和延伸部113。筒状部112具有中空内腔，延伸部113具有开口111，延伸部113上的开口111与筒状部112的中空内腔连通。筒状部112和延伸部113可以设置为一体成型结构，也可以设置为可拆卸结构。将筒状部112和延伸部113设置为一体成型结构可以提高套筒110的结构稳定性，增强套筒110的使用寿命。

筒状部112的外部轮廓为圆形或矩形。筒状部112的中空内腔设置为圆柱形，相应的，连接轴121也设置为柱形结构，这样便于连接轴121在中空内腔中转动，且设置为柱形结构可以减少摩擦力，增强连接轴121转动的连续性。

延伸部113沿筒状部112的外周缘径向向外延伸，延伸部113可以实现夹持组件100的固定，例如将夹持组件100安装在机台的旁侧或者安装在载台上时，延伸部113可以与机台或载台进行卡合，从而实现夹持组件100的固定。延伸部113向外延伸的距离可以设置为1cm至3cm，一方面可以使得延伸部113起到固定夹持组件100的作用，另一方面也可以避免延伸部113对夹持件122造成妨碍，提高夹持固定的效果。当然，也可以设置延伸部113向外延伸的距离为1.5cm至2.5cm。

参考图2，延伸部113上设有至少一个安装孔1131，安装孔1131可以便于对夹持组件100进行安装，通过扳手对安装孔1131进行夹紧，从而将夹持组件100安装在机台或载台上。具体地，安装孔1131的数量可以为三个，三个安装孔1131沿开口111的外周缘间隔设置。这样，利用扳手对套筒110进行旋转安装，从而提高夹持组件100的安装效率。

夹持臂120还包括凸缘件123，凸缘件123设置在连接轴121远离夹持件122的一侧，凸缘件123的外部轮廓可以为圆形或矩形，也可以设置为梯形或六边形等。凸缘件123的作用是对连接轴121相对于套筒110的运动距离进行限位，避免连接轴121在相对于套筒110的运动过程中从套筒110中穿出，提高夹持组件100的稳定性和延长夹持组件100的使用寿命。而为了进一步的提高凸缘件123的限位作用，可以设置凸缘件123的最大径长大于中空内腔的最大径长。这样，凸缘件123无法穿入到套筒110内的中空内腔中，凸缘件123在套筒110的外周缘进行限位。当然，也可以设置凸缘件123穿入到套筒110的中空内腔中，在套筒110的周侧上开设凹槽，凸缘件123的部分容置于中空内腔中，且可以相对于中空内腔运动，凸缘件123的另一部分凸设于凹槽外，可以沿凹槽进行滑动，从而对连接轴121相对于套筒110的运动距离进行限位。

夹持件122靠近套筒110的一侧凸设有凸台1221，凸台1221靠近套筒110的一侧为平面。凸台1221可以提高夹持件122对料盘的夹持力度，同时也可以减少连接轴121位移的距离。设置凸台1221靠近套筒110的一侧为平面，可以避免在夹持件122对料盘进行夹持固定时对料盘造成损坏，提高料盘使用的寿命。同时还可以使得夹持件122对料盘的夹持更加平稳。

在本申请一个实施例中，夹持组件100还包括螺旋弹簧130，螺旋弹簧130套设于连接轴121的周侧。螺旋弹簧130可以使得连接轴121的运动更加平稳，避免对料盘造成损伤。螺旋弹簧130的部分也可以套设于套筒110的周侧。设置螺旋弹簧130的径长大于套筒110的筒状部112的径长，螺旋弹簧130的径长小于延伸部113的径长，螺旋弹簧130的径长小于凸缘件123的径长。这样可以使得螺旋弹簧130固定在凸缘件123和延伸部113之间，提高连接轴121传动的稳定性。

本申请实施例还提供了一种晶片夹持装置，包括：套筒110、夹持臂120、限位机构140、以及驱动件；套筒110具有中空内腔，套筒110的两端设有开口111，开口111与中空内腔连通；夹持臂120包括连接轴121和与连接轴121连接的夹持件122，连接轴121贯穿中空内腔和开口111，夹持件122凸设于开口111且沿连接轴121的径向方向延伸以用于固定晶片；驱动件与连接轴121驱动连接；限位机构140设置在套筒110与连接轴121之间以使得连接轴121相对套筒110在中空内腔中按预设运动路径运动。

在晶片转移的过程中，一般通过晶片吸附装置对晶片进行吸附，晶片放置于料盘上，从而使得晶片从一个料盘转移至另一个料盘，或者从晶圆上转移至料盘中。此时，料盘的固定性往往就会影响晶片转移的准确性。所以需要对料盘进行固定，以提高晶片转移的效率和准确度。

利用本申请实施例提供的晶片夹持装置，通过夹持件122对料盘进行夹持固定，连接轴121与夹持件122连接，连接轴121运动时带动夹持件122运动，提高晶片转移的效率和准确度。

驱动件可以为直线电机、伺服电机或气缸等驱动装置，只要能够驱动连接轴121运动即可。夹持臂120的一端与驱动件驱动连接，驱动件产生的动力传送到连接轴121上以使得连接轴121能沿着导向槽141运动，以实现夹持件122的夹持固定。

需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本发明的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种夹持组件，其特征在于，包括：套筒、夹持臂、以及限位机构；

所述套筒具有中空内腔，所述套筒的两端设有开口，所述开口与所述中空内腔连通；

所述夹持臂包括连接轴和与所述连接轴连接的夹持件，所述连接轴贯穿所述中空内腔和所述开口，所述夹持件凸设于所述开口且沿所述连接轴的径向方向延伸；

所述限位机构设置在所述套筒与所述连接轴之间以使得所述连接轴相对所述套筒在所述中空内腔中按预设运动路径运动。

2.根据权利要求1所述的夹持组件，其特征在于，所述限位机构包括导向槽和销轴；所述导向槽凹设在所述套筒的周侧，所述导向槽与所述中空内腔连通；所述销轴凸设在所述连接轴上，所述销轴可滑动地设于所述导向槽内。

3.根据权利要求1所述的夹持组件，其特征在于，所述限位机构包括导向槽和销轴；所述导向槽凹设在所述连接轴的周侧；所述销轴凸设于所述套筒的内侧，所述销轴可滑动地设于所述导向槽内。

4.根据权利要求2或3所述的夹持组件，其特征在于，所述导向槽沿所述夹持组件的轴向螺旋延伸。

5.根据权利要求2或3所述的夹持组件，其特征在于，所述销轴位于所述导向槽远离所述夹持件的一侧时，所述夹持件与所述套筒之间具有间隔间距。

6.根据权利要求1所述的夹持组件，其特征在于，所述套筒包括筒状部和设于所述筒状部一侧的延伸部，所述延伸部设于所述筒状部的外周缘且沿所述筒状部的外周缘向外延伸，所述连接轴贯穿所述筒状部和所述延伸部。

7.根据权利要求1所述的夹持组件，其特征在于，所述夹持臂还包括凸缘件，所述凸缘件设置在所述连接轴远离所述夹持件的一侧，所述凸缘件的最大径长大于所述中空内腔的最大径长。

8.根据权利要求1所述的夹持组件，其特征在于，所述夹持件靠近所述套筒的一侧凸设有凸台，所述凸台靠近所述套筒的一侧为平面。

9.根据权利要求1所述的夹持组件，其特征在于，所述夹持组件还包括螺旋弹簧，所述螺旋弹簧套设于所述连接轴的周侧。

10.一种晶片夹持装置，包括：套筒、夹持臂、限位机构、以及驱动件；

所述套筒具有中空内腔，所述套筒的两端设有开口，所述开口与所述中空内腔连通；

所述夹持臂包括连接轴和与所述连接轴连接的夹持件，所述连接轴贯穿所述中空内腔和所述开口，所述夹持件凸设于所述开口且沿所述连接轴的径向方向延伸以用于固定晶片；

所述驱动件与所述连接轴驱动连接；所述限位机构设置在所述套筒与所述连接轴之间以使得所述连接轴相对所述套筒在所述中空内腔中按预设运动路径运动。

Images