JP2017107179A - 少なくとも1つのマニピュレータを含む投影露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
は、いわゆるフリンジ選別に従ってZjで表記され、この場合に、cjは、それぞれのゼルニケ多項式(「ゼルニケ関数」とも呼ぶ)に割り当てられるゼルニケ係数である。フリンジ選別は、例えば、H.Gross著「光学系ハンドブック(Handbook of Optical Systems)」、第2巻、Wiley−VCH Verlag GmbH & Co.KGaA、ドイツ国ヴァインハイム、2005年の215ページにある表20−2に例示されている。投影レンズの像平面内の一点での波面偏差W(ρ,Φ)は、瞳平面内の極座標(ρ,Φ)に基づいて次式のように展開される。
は、チコノフ正則化によるメリット関数であり、主要項として
をかついわゆるペナルティ項として
を含む。この場合に、
はユークリッドノルムを表している。上述のように、チコノフ正則化に基づく最適化アルゴリズムは、時間最適化によるものであり、すなわち、これらのアルゴリズムは、従来の最適化アルゴリズムと比較して高速の最適化結果を生じる。最適化アルゴリズム70によって発生される近似行程指令74の行程は、この実施形態では図1に記載の完全能動マニピュレータM1からM4に割り当てられた行程設定値x1からx4であるベクトル成分を有する行程ベクトルxによって表される。現在の状態特徴付け64又は64aは、状態ベクトルbによって表される。一実施形態変形により、状態変化の場合のマニピュレータMi、本事例ではマニピュレータM1からM4の自由度に関するこれらのマニピュレータの感受性は、感受性行列Mを用いて表される。この場合に、感受性行列Mは、標準行程xi 0によるマニピュレータMiの調節と、得られる投影レンズ22の状態ベクトルbの変化との間の関係を表している。
ここで、
である。
10 投影露光装置
12 露光放射線源
14 露光放射線
16 照明系
18 マスク
20 マスク選択指示
22 投影レンズ
24 基板
26 基板変位台
28 読取デバイス
30 中央制御ユニット
32 用途特定構造情報
34 マニピュレータコントローラ
36 照明モード指示
38 マスク構造指示
40 行程確立デバイス
50 行程指令
50a 最終行程指令
50b 最終行程指令
52 波面測定ユニット
54 状態発生器
56 メモリ
58 シミュレーションユニット
60 圧力センサ
62 現在の照射強度
64 測定状態特徴付け
64a 外挿状態特徴付け
70 第1の最適化アルゴリズム
72 メリット関数
74 近似行程指令
76 第2の最適化アルゴリズム
78 メリット関数
80 第1の最適化アルゴリズム
82 メリット関数
84 近似行程指令
86 第2の最適化アルゴリズム
88 メリット関数
90 制約
92 制約
94 アルゴリズム発生器
E1〜E18 光学要素
M1〜M6 マニピュレータ
b 状態ベクトル
x 行程ベクトル
G 重み行列
x1〜x6 行程設定値
40 行程確立デバイス
70 第1の最適化アルゴリズム
72 メリット関数
74 近似行程指令
Claims (17)
- マイクロリソグラフィ投影露光装置(10)であって、
少なくとも1つの光学要素(E1〜E18)及び少なくとも1つのマニピュレータ(M1〜M6)を含み、露光放射線(14)を用いてマスク構造を結像するための投影レンズ(22)と、
前記投影レンズへの入射時に前記露光放射線の角度分布の少なくとも1つの特性を定める用途特定構造情報(32)を読み取るための読取デバイス(28)と、
前記少なくとも1つの光学要素の光学効果に行程に沿った前記少なくとも1つのマニピュレータによる該光学要素の特性の操作によって行われる変化を定める行程指令(50)を確立するために少なくとも2段の最適化で該行程指令を確立するように構成された行程確立デバイス(40)と、
を含み、
前記最適化の第1の段が、前記投影レンズへの入射時に前記露光放射線の予め定められた標準角度分布に基づく第1の最適化アルゴリズム(70,80)を用いて該投影レンズの状態特徴付け(64,64a)から前記行程指令の近似(74,84)を確立するように構成され、
前記最適化の第2の段が、前記用途特定構造情報(32)を考慮して前記行程指令の前記近似(74,84)から第2の最適化アルゴリズム(76,86)を用いて該行程指令の最適化結果(50a,50b)を確立するように構成される、
ことを特徴とする投影露光装置(10)。 - 前記用途特定構造情報(32)は、前記マスク構造の前記結像中に使用される照明モードに関する指示(36)及び/又は該マスク構造の構造タイプに関する指示(38)を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の投影露光装置。 - 前記行程指令(50)は、前記少なくとも1つのマニピュレータ(M1〜M6)の複数のマニピュレータ自由度に割り当てられた行程設定値(x1〜x6)を含み、該マニピュレータ自由度の第1のセット(x1〜x4;x1〜x6)に割り当てられた行程設定値が、前記最適化の前記第1の段における最適化変数として機能し、該マニピュレータ自由度の第2のセット(x3〜x4;x1〜x4)に割り当てられた該行程設定値は、該最適化の前記第2の段における最適化変数として機能する、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の投影露光装置。 - 前記マニピュレータ自由度の前記第1のセット(x1〜x4;x1〜x6)及び該マニピュレータ自由度の前記第2のセット(x3〜x4;x1〜x4)は、互いに素である、
ことを特徴とする請求項3に記載の投影露光装置。 - 前記第2のセット(x3〜x4)は、前記第1のセット(x1〜x4)よりも少ないマニピュレータ自由度を含む、
ことを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の投影露光装置。 - 前記第2のマニピュレータ自由度セットは、オーバーレイ自由度のうちの1つに沿った又は複数のオーバーレイ自由度の組合せに沿った前記少なくとも1つのマニピュレータを用いた操作が前記投影レンズ(22)のオーバーレイ収差の変化をもたらすように選択された該投影レンズのオーバーレイ自由度(x3,x4)を含む、
ことを特徴とする請求項3から請求項5のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記投影レンズ(22)の前記状態特徴付け(64,64a)は、該投影レンズの前記結像の品質を特徴付ける収差パラメータを含み、前記最適化の前記第2の段は、各場合に該投影レンズのオーバーレイ収差に関連する要素を有する該収差パラメータの部分集合に基づいて達成される、
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記第1の最適化アルゴリズム(70)は、重み付けパラメータを用いて説明される暗黙制約を含有するチコノフ正則化におけるメリット関数に基づいており、
前記重み付けパラメータの値が、前記第1の最適化アルゴリズムが実行される時に変化しないままに残される、
ことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記行程確立デバイス(40)は、前記行程指令(50a)を1秒未満で確立するように構成される、
ことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記行程確立デバイス(40)は、保守調節の関連では前記2段最適化を実施し、かつ用途特定構造情報(32)の異なる項目に対して各場合に前記行程指令の前記近似(84)から進めて該最適化の前記第2の段を実行するように構成される、
ことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記マニピュレータ自由度(x1〜x6)の各々には、前記投影レンズ(22)の寿命にわたって性能を発揮することができる関連の該マニピュレータ自由度(x1〜x6)に沿った予想最大行程調節回数を指定する予想寿命性能が割り当てられ、該マニピュレータ自由度は、少なくとも1つの部分能動マニピュレータ自由度(x5,x6)と少なくとも1つの完全能動マニピュレータ自由度(x1〜x4)とを含み、
前記完全能動マニピュレータ自由度の前記寿命性能は、前記部分能動マニピュレータ自由度(x5,x6)の該寿命性能よりも少なくとも100倍高く、
前記少なくとも1つの部分能動マニピュレータ自由度は、前記マニピュレータ自由度の前記第1のセット(x1〜x6)によって含まれ、かつ該マニピュレータ自由度の前記第2のセット(x1〜x4)によっては含まれない、
ことを特徴とする請求項3に記載の投影露光装置。 - 前記用途特定構造情報(32)に基づいて前記第2の最適化アルゴリズム(86)を発生させるように構成されたアルゴリズム発生器(94)を更に含む、
ことを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記第2の最適化アルゴリズム(86)は、少なくとも1つの暗黙制約(Hf,Hovl,Hrms,Hbf)を含有するメリット関数(88)に基づいている、
ことを特徴とする請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の投影露光装置。 - 前記少なくとも1つの暗黙制約は、1つのリソグラフィ像収差又は複数のリソグラフィ像収差の組合せに対する制限を含有し、
リソグラフィ像収差が、前記投影レンズを用いてリソグラフィで発生された前記マスク構造の少なくとも1つの像に基づいて決定可能である、
ことを特徴とする請求項13に記載の投影露光装置。 - マスク構造を結像するために少なくとも1つの光学要素(E1〜E18)と少なくとも1つのマニピュレータ(M1〜M6)とを含む投影レンズ(22)を含むマイクロリソグラフィ投影露光装置(10)を制御する方法であって、
前記投影レンズへの入射時の露光放射線の角度分布の少なくとも1つの特性を定める用途特定構造情報(32)を読み取る段階と、
少なくとも2段の最適化において、前記少なくとも1つの光学要素の光学効果に行程に沿った前記少なくとも1つのマニピュレータによる該光学要素の特性の操作によって行われる変化を定める行程指令(50)を確立する段階と、
を含み、
前記最適化の第1の段において、前記行程指令の近似(74,84)が、前記投影レンズへの入射時の前記露光放射線の予め定められた標準角度分布に基づく第1の最適化アルゴリズム(70,80)を用いて該投影レンズの状態特徴付け(64,64a)から確立され、
前記最適化の第2の段において、第2の最適化アルゴリズム(76,86)を用いて、前記行程指令の最適化結果(50a,50b)が、前記用途特定構造情報(32)を考慮して該行程指令の前記近似(74,84)から確立される、
ことを特徴とする方法。 - 前記2段最適化は、標準設定の関連では少なくとも1週間の時間間隔で繰り返される、
ことを特徴とする請求項15に記載の方法。 - 前記2段最適化の繰り返しの前に、該最適化の前記第2の段は、少なくとも一度個別に実施される、
ことを特徴とする請求項15又は請求項16に記載の方法。
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