JP2017105701A - 高温運転用の物品 - Google Patents

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Abstract

【課題】セラミック基複合材料及び関連する保護コーティングを含む物品、並びにこれらの物品を作成するための方法を提供する。
【解決手段】物品は、セラミック基複合材料を含む基材、基材の上に配置された第1の層(第1の層は、互いに接合した第1のシリサイド、及び第2の相を含む)、並びに第1の層の上に配置された第2の層(第2の層は、第1のシリサイドと物質移動連通した第2のシリサイドを含む)を備える。
【選択図】図1

Description

本開示は、一般に、例えば、ターボ機械などの高温用途での運用のための材料及び物品に関する。より具体的には、本開示は、セラミック基複合材料及び関連する保護コーティングを含む物品、並びにこれらの物品を作成するための方法に関する。
セラミック基複合(CMC)材料は、セラミック材料の固有の高温材料特性のために、金属合金材料よりも高い運転温度をもたらす可能性がある。ガスタービン組立体などの用途において、この能力は、冷却要件の減少に置き換えられることがあり、それは次に、より高い出力、より高い効率、及び/又は機械からの排出物の減少をもたらすことがある。しかし、かなりの量のケイ素含有材料、例えば炭化ケイ素などを含むCMC材料は、高い運用温度で水蒸気による攻撃及び急速な減肉の影響を受けやすい。環境バリアコーティング(EBC)は、この分解機構を抑制するために開発された。
例えばケイ素含有材料に適用されるEBCは、高温の水蒸気を含む環境で化学的に比較的安定しているように設計されている。1つの実例となる従来のEBC系(米国特許第6410148号に記載)は、ケイ素含有基材に適用された、ケイ素又はシリカのボンド層(本明細書において「ボンドコート」とも呼ばれる)、ボンド層の上に堆積させた、ムライト又はムライトとアルカリ土類アルミノケイ酸塩との混合物を含む中間層、及び中間層の上に堆積させた、アルカリ土類アルミノケイ酸塩を含む上層を含む。別の例の米国特許第6296941号では、上層は、アルミノケイ酸塩ではなくケイ酸イットリウム層である。
上記の皮膜系は、要求の厳しい環境で物品に適した保護を提供することができるが、コーティング性能を改善する機会は存在する。例えば、遊離ケイ素がボンド層に存在すると、ケイ素の溶融と結果として生じるボンド層の機械的不安定性を避けるために、コーティングされた成分について材料の最大定格温度が制限されることがある。設計された構造材料、例えばケイ素含有セラミックス及びセラミック基複合材料などの品質の改善により、これらの材料の高温性能は、EBCボンド層のケイ素の融点が高温構造用途でのかかる材料の使用の制限要因となるほど向上した。
そのため、当技術分野では、従来のボンド層を上回る温度性能をもつEBCボンド層に対する必要性がなおある。また、その高温性能を高めるために、改良したボンド層を組み込む皮膜系を用いる機械構成部品も必要とされている。
米国特許出願公開第2014/0272197号明細書
本発明の実施形態は、これ及びその他の必要を満たすために提供される。一実施形態は、物品である。この物品は、セラミック基複合材料を含む基材、基材の上に配置された第1の層(第1の層は、互いに接合した第1のシリサイド、及び第2の相を含む)、並びに第1の層の上に配置された第2の層(第2の層は、第1のシリサイドと物質移動連通した第2のシリサイドを含む)を備える。
別の実施形態は、物品である。この物品は、セラミック基複合材料を含む基材、基材の上に配置された第1の層(第1の層は、互いに接合した第1のシリサイド相、及び第2の相を含み、第2の相は、炭化ケイ素を含み、第1の層中のシリサイドの体積分率は、約10%〜約40%の範囲内である)、第1の層の上に配置された第2の層(第2の層は、第1のシリサイドと物質移動連通した第2のシリサイドを含む)、並びに第2の層の上に配置された上層(上層は、酸化物を含む)を備える。
別の実施形態は、物品である。この物品は、セラミック基複合材料を含む基材、基材の上に配置された第1の層(第1の層は、互いに接合した第1のシリサイド相、及び第2の相を含み、第2の相は、窒化ケイ素を含み、第1の層中のシリサイドの体積分率は、約10%〜約50%の範囲内である)、並びに第1の層の上に配置された第2の層(第2の層は、第1のシリサイドと物質移動連通した第2のシリサイドを含む)、並びに第2の層の上に配置された上層(上層は、酸化物を含む)を備える。
別の実施形態は、物品である。この物品は、セラミック基複合材料を含む基材、基材の上に配置された第1の層(第1の層は、互いに接合した第1のシリサイド相、及び第2の相を含み、第2の相は、希土類二ケイ酸塩を含み、第1の層中のシリサイドの体積分率は、約10%〜約40%の範囲内である)、第1の層の上に配置された第2の層、(第2の層は、第1のシリサイドと物質移動連通した第2のシリサイドを含む)、並びに第2の層の上に配置された上層(上層は、酸化物を含む)を備える。
本発明のこれら及びその他の特徴、態様及び利点は、同様の文字が同様の部分を表す添付の図面を参照して以下の詳細な説明を読むと、より良く理解されるであろう。
本発明の一実施形態の断面図を示す図である。 別の実施形態の断面図を示す図である。 本発明の別の実施形態の断面図を示す図である。
本明細書において明細書及び特許請求の範囲の全体を通して使用される近似を表す語は、その関連する基本機能を変えることなく許容範囲内で変化しうる任意の量的表現を修飾するために適用されてよい。したがって、「約」、及び「実質的に」などの1以上の用語によって修飾された値は、特定される正確な値に限定されない。一部の例では、近似を表す語は、値を測定するための計測器の正確さに相当しうる。本明細書で、そして明細書の特許請求の範囲の全体を通して、範囲の限界は、組み合わされ、かつ/又は交換されてよく、文脈又は語が別に指定する場合を除いて、そのような範囲は特定され、その中に含まれるすべての下位範囲を含む。
以下の明細書及び特許請求の範囲において、単数形「1つの(a)」、「1つの(an)」、及び「この(the)」には、文脈上明らかに指示されている場合を除いて複数形への言及が含まれる。本明細書において、用語「又は」は、排他的であることを意味するものではなく、存在している言及される成分の少なくとも1つを指し、文脈上明らかに指示されている場合を除いて、言及される成分の組合せが存在している可能性のある場合を含む。
本明細書において、用語「ことがある」及び「であってよい」とは、一組の状況下で物事が起こる可能性、指定された性質、特性又は機能を有する可能性を示し、かつ/或いは限定された動詞に関連する1以上の能力、性能又は可能性を表現することによって、その別の動詞を限定する。したがって、「ことがある」及び「であってよい」の使用は、修飾された用語が示された能力、機能又は使用に対して明らかに好適であるか、可能であるか、又は適していることを示すが、一部の状況では、修飾される用語が時には好適でも、可能でも、又は適してもないことがあることも考慮される。
本明細書に記載される技術は、元素のケイ素よりも実質的に高い融解温度を有するが、従来のケイ素ボンドコートと同様の方法で酸化環境の存在下で保護シリカ層を形成する能力を有するシリサイド材料の使用によって、従来のケイ素ボンドコートの上記の温度限界に取り組む。しかし、シリサイドは、目的の基材材料、例えば炭化ケイ素、窒化ケイ素、及びこれらの1以上に基づくCMCなどよりもかなり高い熱膨張率を有する傾向がある。この熱膨張率の不一致は、高い熱応力が原因でシリサイドコーティングの破砕をもたらすことがある。シリサイドの厚さを減らすと熱応力はある程度低下するが、そのような低下は基材を保護するために利用できる材料の量を減らし、許容されない耐用年数をもたらす。
本発明の実施形態は、優れた高温酸化抵抗性を維持する一方で、シリサイド(比較的高い熱膨張率)と窒化ケイ素などの比較的低い熱膨張率の化合物との混合物の使用によって熱膨張の不一致を軽減するコーティング構造を用い、シリサイド材料を適用することによって酸化の問題に対処するように設計されている。
図1を参照すると、一実施形態は、基材101、基材101の上に配置された第1の層110、及び第1の層110の上に配置された第2の層120を備える物品100である。一部の実施形態では、1以上の上層130が、第2の層120の上に配置されている。非常に一般的に言えば、そして以下でさらに詳細に説明するように、高温酸化条件下での運用で、ケイ素はかなりの部分が第1の層110の材料成分から供給され、第2の層120を通って第2の層120の表面140に拡散し、そこで環境由来の酸化種と反応して酸化物の保護層150を形成する。この酸化物の層150は、一般にシリカが豊富であり、多くの場合、当技術分野において「熱成長酸化物」又は「TGO」と呼ばれる。
基材101は、任意の適した材料、例えばセラミック又は金属間化合物材料などから作成されてよい。基材は、一実施形態では、セラミック、例えば酸化物、窒化物、又は炭化物を含む。特定の実施形態では、基材101は、ケイ素を含む材料、例えば窒化ケイ素、又は炭化ケイ素などを含む。この材料は、一部の実施形態では、セラミックマトリックス複合(CMC)材料、例えばマトリックス相及び強化相から作成される材料などを含む。マトリックス相、強化相、又はこれらの相の両方は、特定の実施形態では、ケイ素を含有するセラミック、例えば炭化ケイ素(SiC)又は窒化ケイ素などを含む。一実施形態では、物品100は、ガスタービン組立体、例えば、燃焼器ライナ、トランジションピース、シュラウド、ベーン、又はブレードなどの構成部品である。
第1の層110は、2以上の材料:第1のシリサイド、及び第2の相を含む。第2の相は、第1のシリサイドよりも低い熱膨張率を有する材料を含み、特定の実施形態では、炭化ケイ素の熱膨張率以下の熱膨張率を有する。この低膨張材料を第1の層110の第2の相として含めることにより、層110の有効熱膨張率が低下し、シリサイド材料の存在によって生じることになる熱応力が軽減される。そのような低膨張材料の例としては、セラミック材料、例えば炭素を含むもの、例えば、炭化物(例えば、炭化ケイ素)、窒素を含むもの、例えば窒化物(例えば、窒化ケイ素)など、酸素を含むもの、例えば酸化物(例えば、チタン酸塩、希土類二ケイ酸塩をはじめとする希土類ケイ酸塩)など、及びこれらの元素の1以上を含むもの、例えばオキシ窒化物など(例えば、SiAlON)などが挙げられる。
第1の層110はまた、上に述べたように第1のシリサイドを含む。用語「第1のシリサイド」の使用は、第2の層120に存在するシリサイド材料と第1の層110に存在するシリサイド材料を線引きすることだけを目的とすることに留意する必要がある。材料の組成に対する制限は意味しない。実際に、下に記載される一部の実施形態では、「第1のシリサイド」には、2以上のシリサイド組成(例えば同じ金属元素のシリサイドであるがケイ素含有レベルの異なるシリサイドなど)が含まれ、一部の実施形態では、第1の層110中のシリサイドは、第2の層120に存在するシリサイドと名目上同一である。
第1のシリサイド、つまり第1の層110に存在するどんなシリサイド材料も、運用中に2以上の機能を提供することができる。第1のシリサイドは、第2の層120の表面140への輸送のためのケイ素源を提供して、保護TGO150の形成に関与することができる。
その上に、そして重要なことに、第1のシリサイドは、第1の層110の内部でケイ素源材料から遊離したケイ素に、第1の層110の内部から第2の層120へ迅速に拡散するための経路を提供する。このため、第1のシリサイドは、第1の層110からのケイ素に、第1のシリサイドを通して第2の層120への固相拡散による実質的に連続的な輸送経路を提供する形態で第1の層110の内部に通常位置している。この形態は、本明細書において「互いに接合した第1のシリサイド」とも呼ばれ、シリサイドを通してケイ素の連続拡散経路を提供しない配列、例えば第2の相の内部に分散したシリサイドの別個の連続していない粒子などとそれを区別する。しかし、「互いに接合した」第1のシリサイドが完全に互いに接合している必要はない。例えば、第1のシリサイドの複数の網状組織が、1つの完全に接合した網状組織の代わりに存在してもよい。さらに、例として、第1の層110の断面を通して広がるように配置された第1のシリサイドの一連の平行なプレートも、プレート間隔及びその他の要因に応じて、ケイ素に必要なレベルの物質輸送を提供することができる。これらの配列、及び、第1のシリサイドを介して第1の層110を通る実質的に連続した物質輸送経路を提供するどんな他の配列も、この説明の目的において用語「互いに接合した」の範囲内にある。
第1のシリサイド及び第2の相の相対量の選択は、競合する要因を考慮した結果行われる。第1のシリサイドを通る第1の層110から第2の層120へのケイ素の物質輸送は、層の内部のシリサイドの形態に応じて、比較的高いレベルのシリサイド含有量を好む傾向のある第1のシリサイドの網状組織の枝間に、より高いレベルの接合性を有することによっていっそう容易に促進される。これに反して、第1の層中の第1のシリサイドの量が多すぎる場合は、第1の層110の有効熱膨張率は、熱応力を軽減するのに望ましいレベルを上回ることがある。明らかに、比較的低い熱膨張率を有する第2の相材料、例えば窒化ケイ素などを使用するほうが、高い熱膨張率を有する第2の相を使用するよりも高いシリサイド含有量の使用を可能にすることができる。一実施形態では、第1のシリサイドは、第1の層110に約10体積%〜約70体積%の範囲で存在し、特定の実施形態では、この範囲は約20体積%〜約40体積%である。
第2の相が炭化ケイ素を含む場合、一部の実施形態では第1のシリサイドの体積分率は、望ましくは、必ずしもそうではないが、約10%〜約40%の範囲に維持される。第2の相が、炭化ケイ素よりも熱膨張率の低い窒化ケイ素を含む場合、一部の実施形態では第1のシリサイドの体積分率は、望ましくは、必ずしもそうではないが、約10%〜約50%の範囲に維持される。窒化ケイ素の熱膨張率が低いために、炭化ケイ素の例と比較して多少高い体積分率がここでは可能でありうる。第2の相が希土類二ケイ酸塩である場合、一部の実施形態では第1のシリサイドの体積分率は、望ましくは、必ずしもそうではないが、約10%〜約40%の範囲に維持される。
特定の実施形態では、第1の層110に選択される材料及び量は、第1の層110が約6ppm/℃よりも低い有効熱膨張率を有するような材料及び量である。そのような値は、例えば炭化ケイ素を含有するCMC基材上で熱応力を実用的なレベルに維持するために望ましい。CMC基材にかなりの量の窒化ケイ素が含まれる場合、窒化ケイ素の熱膨張率は炭化ケイ素よりも低いので、第1の層の有効係数はこれよりもさらに低くなるように設計すればよい。
第1の層110で使用するシリサイド材料の選択は、いくつかの要因に一部依存する。例えば、シリサイドは、高い融解温度と、ガスタービン構成部品の運用条件に固有の高温で、第2の相との、あっても最小限の反応性を有するべきである。また、第1の層110中のシリサイドは、これらの高温での固相拡散を介してケイ素を容易に輸送するべきである。第1の層110での使用に適しうるシリサイドの例としては、モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブ、チタン、及びルテニウムのシリサイドと、これらの元素の1以上の組合せを含むシリサイドが挙げられる。
第1の層110に含めてよいシリサイドの種類の例示的な例としては、ジシリサイド化合物、例えばモリブデンジシリサイド(MoSi2)など、低級シリサイド化合物(つまり、ジシリサイドよりもケイ素含有量が少ないMo5Si3などのシリサイド)、及びジシリサイドと低級シリサイドの組合せが挙げられる。先に述べたように、「第1のシリサイド」という用語は、本明細書において、1つのシリサイド化合物だけが第1の層110に存在する実施形態だけでなく、第1のシリサイドが2以上のシリサイド化合物の組合せを含む実施形態も包含するために使用される。低級シリサイドよりもケイ素含有レベルが高いジシリサイドは、低級シリサイド及びケイ素への分解によってケイ素の即時供給源(a ready source)を提供することができる。低級シリサイドは、一部の例では、それらの対応するジシリサイドよりも低い熱膨張率を有することがあり、熱応力を考慮して高級シリサイド、例えばジシリサイドなどに見込まれるよりも厚い層及び/又は高い、第1の層110中のシリサイド含量を使用できる可能性をもたらす。一部の実施形態では、第1のシリサイドには、1以上の金属元素のジシリサイド、及び同じ1以上の金属元素の低級シリサイドが含まれる、そのような混合物中にシリサイドの同じファミリーを使用することにより、第1のシリサイドの2つの化合物間に良好な化学安定性をもたらすことができる。用語「第1のシリサイド」は、第1の層110に最初にそしてそれ以降いつも存在するシリサイド材料を包含し、それには1つのシリサイドを異なるシリサイドに変える第1の層110の内部の化学変化の結果として生じるシリサイドが含まれる。
第1の層110の厚さは、基材101、並びに第1の層110の第1のシリサイド及び第2の相の材料選択に一部依存する。これらの材料の熱膨張特性は、第1の層110の内部で発生する熱応力の一因となる。一般に、第1の層110の有効熱膨張率と基材101との間の不一致が大きいほど、順応することのできる層は薄くなる。一部の実施形態では、第1の層は、約25μm〜約500μmの範囲内の厚さを有する。ある種の実施形態ではこの範囲は約25μm〜約250μmであり、特定の実施形態ではそれは約25μm〜約100μmである。
2以上の材料を含む層である第1の層110は、当技術分野で利用できる技術を用いて作製されてよい。作製方法は、互いに接合した第1のシリサイドの内部に第2の相を配置して、上記の構造に達するようにする。例えば、比較的高いシリサイド含量(例えば25体積%以上など)が許容される場合は、層110は、例として、第2の層120へのケイ素の十分な物質輸送を提供するシリサイド材料の適した程度の相互接合を予想して、液体注入プラズマ溶射技術をはじめとするプラズマ溶射によって作製されてよい。シリサイド及び第2の相の供給原料の粒度分布などの溶射パラメータを最適化することにより、一部の条件下で25体積%よりもなお低いシリサイドレベルの接合性を得ることができる。しかし、シリサイドレベルが低下するにつれて、プラズマ溶射技術は、第1の層110において望ましいレベルのシリサイド接合性を提供することができないことがある。さらに、例として窒化ケイ素は通常、溶融する前に分解するので、プラズマ溶射は、窒化物を堆積させるための有効な手段をもたらさないことがある。
プラズマ溶射技術の代替法として、マスキングと組合せた蒸着技術を適用して、第1のシリサイドの十分な接合性を確実にしてもよい。例えば、化学気相成長法(CVD)、又はスパッタリングなどの物理蒸着(PVD)法を適用して、第2の相材料、例えば炭化ケイ素又は窒化ケイ素などを基材101の上に堆積させてよい。堆積は、第2の相材料を堆積させる領域と、領域間、例えばグリッドパターン又は一連の平行線間などの隣接する空間とを有するパターンを作り出すマスクによって実施されてよい。これらの空間は次にシリサイドで、この場合もやはりCVD法又はPVD法を用いて充填されてよい。堆積させる材料の望ましい厚さ及び/又は体積に応じて、マスクをこの段階で適用して、空間内部にシリサイドの選択的な堆積を許容する。次に、第2の層120を、完成した第1の層110の上に適用してよい。
第2の層120は第2のシリサイドを含み、この第2のシリサイドは、第1のシリサイド(すなわち、第1の層110に見出されるシリサイド材料)と物質移動連通して配置される。「物質移動連通」とは、本明細書において、ケイ素の第1のシリサイドを通って第2のシリサイドへの固相拡散を許容するように材料が位置していることを意味する。一般に、これは、材料が互いに物理的に接触して配置されていることを意味するが、介在層のケイ素の拡散速度が第1のシリサイド及び第2のシリサイドよりも実質的に低くないのであれば、物質移動連通は、材料の介在層を通して維持されてもよい。用語「第2のシリサイド」は、本明細書において、第1の層110に存在するシリサイド材料と第2の層120に存在するシリサイド材料を線引きするためだけに使用される。材料の組成に対する制限は意味しない。実際に、下に記載される一部の実施形態では、「第2のシリサイド」には、2以上のシリサイド組成が含まれ、一部の実施形態では、第1の層110中のシリサイド(「第1のシリサイド」)は、第2の層120に存在するシリサイド(「第2のシリサイド」)と名目上同一である。さらに、用語「第2のシリサイド」は、第2の層120に最初にそしてそれ以降いつも存在するシリサイド材料を包含し、それには1つのシリサイドを異なるシリサイドに変える第2の層120の内部の化学変化の結果として生じるシリサイドが含まれる。第2の層120は、少なくとも約80体積%の第2のシリサイド、特定の実施形態では、少なくとも約95体積%の第2のシリサイドを含む。ある種の実施形態では、第2の層120は、第2のシリサイドから本質的になる。このことは、第2の層120が第2のシリサイドを含み、本明細書に記載される機能を行う第2の層120の能力を大幅に変えるその他の材料を含まないことを意味する。
第2の層120中のシリサイド、つまり、第2のシリサイドは、2以上の機能を行う。第1に、それは第1の層110の第2の相を運用環境から拡散する酸化種から隔離する、そのことは第2の相の過度かつ潜在的に有害な酸化を防ぐ。シリサイドと第2の低熱膨張相との混合物を含む層を使用するとする、前の提案されるコーティングには、本明細書に記載される第2の層120に類似するものの使用は何も記載されていないことに留意する必要がある。その層がないと、これらの提案される系は、環境による劣化に弱くなり、有効性の実質的な低下を受けやすくなる。第2に、第2の層120中のシリサイドは、表面140に拡散するための経路をケイ素に提供し、その結果ケイ素は保護シリカTGO150の形成に関与するために利用できる。また、使用する特定の材料に応じて、第2のシリサイドは、TGO形成反応を供給するためのケイ素源としても役立ちうる。限定されない例として、第2のシリサイド及び第1のシリサイドが同一のジシリサイドである場合、第2のシリサイドは、第2の層120のすべてのジシリサイドが低級シリサイドに変換されるまで、低級シリサイドに変換されてケイ素をTGO反応に供給する。下でより詳細に説明されるように、適正な材料選択により、第2の層120に、膜自体は構造的に消費されずに、ケイ素がTGO形成のためにそれを通って表面140に拡散する「膜」として役立つ優れた能力をもたらすことができる。
第2のシリサイドに選択される1以上の材料は、望ましくは、物品100の適切な使用範囲の温度、例えばガスタービン構成部品の例では1200℃以上の温度などで化学的に安定している。さらに、そのような温度では、第2のシリサイドは第1の層110の第2の相と実質に反応しないことが望ましい。一部の実施形態では、第2のシリサイドには、金属元素、例えばモリブデン、タンタル、タングステン、ニオブ、チタン、ルテニウム又はこれらの1以上の元素を含む組合せなどが含まれる。一般に、シリサイドを通るケイ素の拡散速度は、潜在的にあまり望ましくない金属酸化物形成よりも表面140で望ましいケイ素の酸化を促進するために、運用温度(例えば1200℃よりも高い温度など)で、シリサイドを同じ温度で通る1以上の構成金属元素の拡散速度よりも大きいことが望ましい。
さらに、シリサイドは、再び適切な運用温度でシリサイドを通るケイ素の拡散が、シリカを通じて酸素が拡散する速度を上回るように一般に選択される。一部の例ではこの違いは10倍以上であることがあり、さらに特定の例ではそれは100倍超異なることがある。第2のシリサイドを通るケイ素輸送のこの比較的急速な速度は、第2のシリサイドを実質的に消費する(つまり、完全に酸化する)ことなく保護TGO150を生成する優れた能力を可能にする。なぜなら、第1の層110のケイ素は境界面140に素早く移動して、酸素がTGOを通じて浸透して第2の層120を実質的に攻撃する前に、TGO形成反応を供給することができるためである。第1の層110はしたがって固相拡散によって第1の層110中の第1のシリサイド及び第2の層120中の第2のシリサイドを通じて移動して表面140に到達し、そこでTGO150の形成に関与する、ケイ素の「リザーバー」として働く。第2の層120は運用中に実質的に消費されないので、それは比較的薄い層として配置されてよく、そのシリサイドが基材101と比較して熱膨張率のかなり大きな不一致を有する場合でさえ、望ましくないレベルの熱応力を生成しない。
第2のシリサイドは、1つのシリサイド構成要素を含んでもよいし、それは2以上のシリサイド構成要素を含んでよい。一実施形態では、第2のシリサイドには、ジシリサイド、例えばモリブデン、タンタル、タングステン、ニオブ、チタン、ルテニウムのジシリサイドなど、或いはこれらの元素の1以上を含む組合せが含まれる。先に述べたように、ジシリサイドは、TGO150の形成で使用されるケイ素の源を有利に提供することができるが、その代わり基材101との熱膨張率の不一致のレベルは高くなる。一部の実施形態では、第2のシリサイドは、本明細書において「低級シリサイド」と呼ばれるジシリサイドよりも低いケイ素含有量を有するシリサイド、例えば所与ジシリサイドと化学平衡状態で存在する低級シリサイド、すなわち、所与ケイ素−金属元素平衡系に安定なシリサイドの降順のリストでジシリサイドの次のシリサイドを含む。特定の実施形態では、第2のシリサイドは、1以上のそのような低級シリサイドから本質的になる。そのような低級シリサイドの例としては、限定されるものではないが、TiSi、RuSi、及びZ5Si3が挙げられ、ここでZは、例として、モリブデン、ニオブ、タンタル、及び/又はタングステンである。先に述べたように、低級シリサイドは、それらの対応するジシリサイド(つまり、同じ金属元素のジシリサイド)よりも小さい熱膨張計数を有する傾向があり、炭化ケイ素又は窒化ケイ素を含有するCMCなどの低膨張CMC基材と良好に熱膨張が一致する。低膨張材料を使用することにより、より厚い第2の層120を使用することができ、それは高温で作用する機構、例えば経時的に薄いコーティングに損傷を与えうるオストワルド熟成(Oswaldt ripening)などにより良好に耐える、より頑丈なコーティングをもたらすことができる。一部の実施形態では、第2の層120の厚さは最大約250μmである。一般に、第2の層120の厚さは、望ましい耐用年数の間これらの作用する損傷機構に耐えるために必要な厚さ以下であるよう設計される。したがって、特定の実施形態では、この厚さは約1μm〜約50μmの範囲内である。薄い層が望ましい場合、第2の層は約1μm〜約25μmの範囲内であってよく、特定の実施形態では、この範囲は約1μm〜約5μmである。
一部の実施形態では、第2のシリサイドは低級シリサイドを含み、そのことにより熱膨張率の高いシリサイド、例えばジシリサイドなどを使用した場合よりも厚い第2の層120を適用することができる。この種の特定の実施形態では、第1のシリサイドと第2のシリサイドの金属元素成分は同一である、つまり、第1のシリサイドと第2のシリサイドは、同じ金属元素の化合物であり、これは層内の熱力学的不安定性の問題を軽減することがある。
第2の層120は、任意の適したコーティング技術を用いて、例えばプラズマ溶射、CVD、及び/又はPVD技術などによって第1の層の上に堆積させることができる。
その他のコーティング層が物品100に存在してもよい。図2に示されるように、一部の実施形態では、シリカを含む追加の層201が、第2の層120と上層130との間に配置される。このシリカ含有層201は、物品の耐用年数の初期に起こりうる一時的な酸化プロセスの問題を避けるのに役立つことがある。例えば、第2の層120の金属シリサイド上で生じる第1の酸化物は、シリカと、シリサイド中に存在する特定の1以上の金属元素の酸化物を含む可能性が高い。比較的低い温度、例えば約800℃などで、シリカの成長率は低く、金属酸化物の形成をシリカの形成とかなり競合させる。このことは、関与する1以上の金属元素及び温度に応じて、急速な酸化及びペスティング(pesting)までももたらすことがある。先に述べたように、第2のシリサイドが急速なケイ素の拡散を促進するその能力で選択される場合に(これは、シリカを通る酸素輸送速度よりも急速であり、シリサイドを通る金属元素の拡散よりも急速である)、層201の存在は、金属酸化物の形成を抑制することができる。このことは、反応域へのケイ素の優先輸送を促進し、金属が酸化反応に関与するために利用できる程度を軽減する。追加の層201の厚さは大きい必要はなく、連続層は、その記載される機能を達成するのに十分でありうる。一部の実施形態では、追加の層201の厚さは約1μm〜約10μmの範囲であり、十分に化学気相成長法(CVD)、物理蒸着(PVD)、及びその他の適したコーティング方法などのコーティングプロセスの能力の範囲内である。
物品100に存在する随意の層の別の例は、TGO(150、図1)の結晶化の問題に取り組む。それは約1200℃を上回る温度への長期間露出によって問題となりうる。シリカ系TGOは一般に非晶形で生じるが、結晶化シリカ(クリストバライト)は冷却時に相変化を経験する。そして相変化に関連する結晶学的変化は、シリカ膜の割れ及び破砕を誘導しえ、ケイ素化合物の酸化を加速させ、下にある基材に対する外側のコーティング層の付着力を低下させる。本願出願人の2015年8月18日出願の国際出願PCT/US15/045593号に記載されるように、アルミニウム源をTGOに供給することにより、TGOがアルミニウムでドープされ、TGO中のアルミノケイ酸塩組成を促進し、非晶構造を安定化させ、記載される相変態に起因する早期破損をこのように軽減することができる。
第2の層120をアルミニウムでドープすることは、TGOへのアルミニウム取込みを促進する1つの手段でありうるが、第2の層120に存在する第2のシリサイドは、TGO形成によって実質的に消費されないので、これは効率的ではないであろう。図3に示されるように、一実施形態では、中間層301が第2の層120と上層130との間に配置される。中間層301にはアルミニウムが含まれ、TGO内に取り込まれてよいアルミニウム源を運用中に供給してその非晶構造を安定化させる。一実施形態では、中間層301には、アルミノケイ酸塩ガラスが含まれる。もう一実施形態では、層301は、ムライトを含み、特定の実施形態では、ムライトから本質的になる。ムライトは、上層130に含まれうる二ケイ酸イットリウムなどの材料とともに熱力学的に安定しており、TGO形成においてケイ素系ボンドコートの上にアルミノケイ酸塩ガラスの形成を促進することが見出されている。その他のアルミニウム含有材料、例えばイットリウム・アルミニウム・ガーネット(YAG)などは、上層130及び物品100の他の構成部品の特定の材料選択によって、中間層301中のムライトの代替材料として適していることがある。プラズマ溶射技術は、ムライト及びYAGなどの材料の堆積に適し、当技術分野でそのような材料に広く使用されている。その他のコーティング技術、例えばスラリーに基づく技術又は蒸着技術なども同様に用いられてよい。
層201、301について上に記載される様々な機能の組合せも本明細書の範囲に含まれる。例えば、一部の実施形態では、シリカを含む層201(図2)は、TGO150(図1)の内部で結晶化を抑制する働きをする1以上のドーパントをさらに含む。先に述べたように、アルミニウムはそのようなドーパントの一例である。その他の元素、例えばホウ素、ナトリウム及びカリウムなどのアルカリ金属、並びにカルシウム、マグネシウム、及びストロンチウムなどのアルカリ土類金属などは、例として、アルミニウムに加えて、又はアルミニウムの代わりに含まれてよい。その他の実施形態では、層301は、ここに記載されるこれらなどのドーパントを、この層301に含まれるアルミニウム源に加えて含む。ドーパントが含められる場所(層201か又は層301か(又は両方存在する場合、これらの両方)のいずれか)にかかわらず、層201で用いるために選択されるこれらのドーパントの量は、通常、性質のバランスを考慮して選択される。例えば、ドーパントは、融点、酸素輸送速度、及び/又はTGO粘度などの性質などの性質に悪影響を及ぼすことがあるので、シリカの結晶化への有害作用が有利な効果を上回ることを避けるために、各ドーパントには許容可能な濃度の上限があることがある。
上層130は、様々な下層(sub−layers)を含んでよい。用語「上層」の使用は、層130が物品100の最外層でなければならないことを意味するものではないが、一部の実施形態では上層は最も外側である。上層130は、一般に酸化物材料の何らかの形態を含み、断熱(遮熱コーティング)、環境保護(環境バリアコーティング)、又はこれらの機能の組合せをもたらすように配置されてよい。適した材料の選択は、物品が曝される環境の種類、下にあるコーティング及び基材の組成、加工コスト、及びその他の要因に依存することになる。上層130は、限定されるものではないが、ケイ酸塩(例えばアルミノケイ酸塩又は希土類ケイ酸塩など)、及びイットリア安定化ジルコニアを含むセラミック材料であってよい。上層130には、希土類一ケイ酸塩及び/又は希土類二ケイ酸塩が含まれてよい。上層130は、外層が希土類一ケイ酸塩であり内層が希土類二ケイ酸塩である、二重層コーティングであってよい。これらの一ケイ酸塩及び二ケイ酸塩材料と結合する希土類元素としては、例えば、1以上のイットリウム、イッテルビウム、ルテチウム、及びスカンジウムが挙げられる。一実施形態では、上層130の外層は一ケイ酸イットリウムを含み、上層130の内層は希土類二ケイ酸塩(例えば二ケイ酸イットリウムなど)を含む。
様々な技術のいずれかが上層130の作製に用いられてよく、当技術分野の専門家には周知であろう。プラズマ溶射、ゾルゲル、電気泳動、及びスラリーに基づく堆積技術は、この種類のコーティングを適用するために一般に使用される方法の限定されない例である。
以下の実施例は、本発明の限定されない実施形態をさらに説明するために示される。
本発明の実施形態の1つの実例は、セラミック基複合材料、例えば炭化ケイ素を含むCMCなどを含む基材101を含む物品100である。第1の層110は、基材101の上に配置され、この層110は第1のシリサイド及び第2の相を含む。第1のシリサイドは、互いに接合した形態を有するように配置され、第2の相は炭化ケイ素を含む。第1の層110中のシリサイドの体積分率は、例として、約10%〜約40%の範囲内、例えば約20%などである。第2の層120は、第1の層110の上に配置されている。第2の層120は、第2のシリサイドを含む。この第2のシリサイドは、第1のシリサイドと物質移動連通して配置されている。上層130は、例えば、一又は二ケイ酸塩又はイットリア安定化ジルコニアなどの酸化物を含み、第2の層120の上に配置されている。
本発明の実施形態のもう1つの実例は、セラミック基複合材料、例えば炭化ケイ素を含むCMCなどを含む基材101を含む物品100である。第1の層110は、基材101の上に配置され、この層110は第1のシリサイド及び第2の相を含む。第1のシリサイドは、互いに接合した形態を有するように配置され、第2の相は窒化ケイ素を含む。第1の層110中のシリサイドの体積分率は、例として、約10%〜約50%の範囲内、例えば約30%などである。第2の層120は、第1の層110の上に配置されている。第2の層120は、第2のシリサイドを含む。この第2のシリサイドは、第1のシリサイドと物質移動連通して配置されている。上層130は、例えば、一又は二ケイ酸塩又はイットリア安定化ジルコニアなどの酸化物を含み、第2の層120の上に配置されている。
本発明の実施形態のもう1つの実例は、セラミック基複合材料、例えば炭化ケイ素を含むCMCなどを含む基材101を含む物品100である。第1の層110は、基材101の上に配置され、この層110は第1のシリサイド及び第2の相を含む。第1のシリサイドは、互いに接合した形態を有するように配置され、第2の相は希土類二ケイ酸塩を含む。第1の層110中のシリサイドの体積分率は、例として、約10%〜約40%の範囲内、例えば約20%などである。第2の層120は、第1の層110の上に配置されている。第2の層120は、第2のシリサイドを含む。この第2のシリサイドは、第1のシリサイドと物質移動連通して配置されている。上層130は、例えば、一又は二ケイ酸塩又はイットリア安定化ジルコニアなどの酸化物を含み、第2の層120の上に配置されている。
本発明の特定の特徴だけが本明細書に例示され、記載されたが、多くの修正及び変更が当業者に思い浮かぶであろう。そのため、添付される特許請求の範囲は、本発明の真の精神の範囲内にあるすべてのそのような修正及び変更に及ぶことが意図されることは理解される。
[実施態様1]
物品(100)でであって、
セラミック基複合材料を含む基材(101)と、
基材(101)の上に配置された第1の層(110)であって、第1の層(110)が、互いに接合した第1のシリサイド、及び第2の相を含む、第1の層(110)と、
第1の層(110)の上に配置された第2の層(120)であって、第2の層(120)が、第1のシリサイドと物質移動連通した第2のシリサイドを含む、第2の層(120)と
を備える物品(100)。
[実施態様2]
第2の層(120)が、第2のシリサイドから本質的になる、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様3]
第1のシリサイド及び第2のシリサイドが名目上同一の材料である、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様4]
第2のシリサイドが低級シリサイドを含む、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様5]
第1のシリサイド及び第2のシリサイドが同じ金属元素の化合物である、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様6]
第2のシリサイドが、モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブ、チタン、ルテニウム又はこれらの1以上の元素を含む組合せのシリサイドを含む、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様7]
第2のシリサイドが、ジシリサイド、低級シリサイド、又はこれらの組合せを含む、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様8]
第2のシリサイドが金属元素を含み、シリサイドを通るケイ素の拡散速度が、約1200℃を上回る所与温度で金属元素よりも速い、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様9]
約1200℃を上回る所与温度に関して、第2のシリサイドを通るケイ素の拡散が、酸素がシリカを通じて拡散する速度を上回る、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様10]
第2の層(120)の厚さが、約1μm〜約25μmの範囲内である、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様11]
第1の層(110)の第2の相の熱膨張率が、炭化ケイ素の熱膨張率以下である、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様12]
第2の相が、炭素、窒素、酸素、又はこれらの組合せを含むセラミック材料を含む、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様13]
セラミック材料が、炭化物、窒化物、酸化物、又はこれらの組合せを含む、実施態様12に記載の物品(100)。
[実施態様14]
第2の相が炭化ケイ素を含む、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様15]
第2の相が窒化ケイ素を含む、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様16]
第2の相が希土類二ケイ酸塩を含む、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様17]
第2の相がSiAlONを含む、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様18]
第1の層(110)有効熱膨張率が、約6ppm/℃よりも低い、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様19]
第1の層(110)中のシリサイドの体積分率が、約10%〜約70%の範囲内である、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様20]
第1の層(110)中のシリサイドの体積分率が、約20%〜約40%の範囲内である、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様21]
第1のシリサイドがジシリサイドを含む、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様22]
第1のシリサイドがジシリサイド及び低級シリサイドを含む、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様23]
第1のシリサイドが、モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブ、チタン、ルテニウム又はこれらの1以上の元素を含む組合せのシリサイドを含む、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様24]
第2の層(120)の上に配置された上層(130)をさらに含み、上層(130)が酸化物を含む、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様25]
酸化物が、ケイ酸塩、アルミノケイ酸塩、イットリア安定化ジルコニア、又は前述のいずれかを含む組合せを含む、実施態様24に記載の物品(100)。
[実施態様26]
第2の層(120)と上層(130)との間に配置された追加の層(201)をさらに含み、追加の層(201)がシリカを含む、実施態様24に記載の物品(100)。
[実施態様27]
追加の層(201)がドーパントをさらに含む、実施態様26に記載の物品(100)。
[実施態様28]
ドーパントが、アルミニウム、ホウ素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、或いはこれらの1以上を含むいずれかの組合せを含む、実施態様27に記載の物品(100)。
[実施態様29]
第2の層(120)と上層(130)との間に配置された中間層(301)をさらに含み、中間層(301)がアルミニウムを含む、実施態様24に記載の物品(100)。
[実施態様30]
第2の層(120)と上層(130)との間に配置された中間層(301)をさらに含み、中間層(301)が、アルミニウム、ホウ素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、或いはこれらの1以上を含むいずれかの組合せを含む、実施態様24に記載の物品(100)。
[実施態様31]
中間層(301)がムライトを含む、実施態様29に記載の物品(100)。
[実施態様32]
物品が、ガスタービン組立体用の燃焼器ライナ、ガスタービン組立体用のトランジションピース、ガスタービン組立体用のシュラウド、ガスタービン組立体用のベーン、又はガスタービン組立体用のブレードである、実施態様1に記載の物品(100)。
[実施態様33]
物品(100)でであって、
セラミック基複合材料を含む基材(101)と、
基材(101)の上に配置された第1の層(110)であって、第1の層(110)が、互いに接合した第1のシリサイド相、及び第2の相を含み、第2の相が、炭化ケイ素を含み、第1の層(110)中のシリサイドの体積分率が、約10%〜約40%の範囲内である、第1の層(110)と、
第1の層(110)の上に配置された第2の層(120)であって、第2の層(120)が、第1のシリサイドと物質移動連通した第2のシリサイドを含む、第2の層(120)と、
第2の層(120)の上に配置された上層(130)であって、上層(130)が酸化物を含む、上層(130)と
を備える、物品(100)。
[実施態様34]
物品(100)でであって、
セラミック基複合材料を含む基材(101)と、
基材(101)の上に配置された第1の層(110)であって、第1の層(110)が、互いに接合した第1のシリサイド相、及び第2の相を含み、第2の相が、窒化ケイ素を含み、第1の層(110)中のシリサイドの体積分率が、約10%〜約50%の範囲内である、第1の層(110)と、
第1の層(110)の上に配置された第2の層(120)であって、第2の層(120)が、第1のシリサイドと物質移動連通した第2のシリサイドを含む、第2の層(120)と、
第2の層(120)の上に配置された上層(130)であって、上層(130)が酸化物を含む、上層(130)と
を備える、物品(100)。
[実施態様35]
物品(100)でであって、
セラミック基複合材料を含む基材(101)と、
基材(101)の上に配置された第1の層(110)であって、第1の層(110)が、互いに接合した第1のシリサイド相、及び第2の相を含み、第2の相が、希土類二ケイ酸塩を含み、第1の層(110)中のシリサイドの体積分率が、約10%〜約40%の範囲内である、第1の層(110)と、
第1の層(110)の上に配置された第2の層(120)であって、第2の層(120)が、第1のシリサイドと物質移動連通した第2のシリサイドを含む、第2の層(120)と、
第2の層(120)の上に配置された上層(130)であって、上層(130)が酸化物を含む、上層(130)と
を備える、物品(100)。
100 物品
101 基材
110 第1の層
120 第2の層
130 上層
140 表面、境界面
150 酸化物の保護層(TGO)
201 追加の層
301 中間層

Claims (25)

  1. 物品(100)でであって、
    セラミック基複合材料を含む基材(101)と、
    基材(101)の上に配置された第1の層(110)であって、第1の層(110)が、互いに接合した第1のシリサイド、及び第2の相を含む、第1の層(110)と、
    第1の層(110)の上に配置された第2の層(120)であって、第2の層(120)が、第1のシリサイドと物質移動連通した第2のシリサイドを含む、第2の層(120)と
    を備える物品(100)。
  2. 第2の層(120)が、第2のシリサイドから本質的になる、請求項1に記載の物品(100)。
  3. 第2のシリサイドが、モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブ、チタン、ルテニウム又はこれらの1以上の元素を含む組合せのシリサイドを含む、請求項1に記載の物品(100)。
  4. 第2のシリサイドが、ジシリサイド、低級シリサイド、又はこれらの組合せを含む、請求項1に記載の物品(100)。
  5. 第2のシリサイドが金属元素を含み、シリサイドを通るケイ素の拡散速度が、約1200℃を上回る所与温度で金属元素よりも速い、請求項1に記載の物品(100)。
  6. 約1200℃を上回る所与温度に関して、第2のシリサイドを通るケイ素の拡散が、酸素がシリカを通じて拡散する速度を上回る、請求項1に記載の物品(100)。
  7. 第1の層(110)の第2の相の熱膨張率が、炭化ケイ素の熱膨張率以下である、請求項1に記載の物品(100)。
  8. 第2の相が、炭素、窒素、酸素、又はこれらの組合せを含むセラミック材料を含む、請求項1に記載の物品(100)。
  9. 第2の相が炭化ケイ素を含む、請求項1に記載の物品(100)。
  10. 第2の相が窒化ケイ素を含む、請求項1に記載の物品(100)。
  11. 第2の相が希土類二ケイ酸塩を含む、請求項1に記載の物品(100)。
  12. 第2の相がSiAlONを含む、請求項1に記載の物品(100)。
  13. 第1の層(110)有効熱膨張率が、約6ppm/℃よりも低い、請求項1に記載の物品(100)。
  14. 第1のシリサイドがジシリサイドを含む、請求項1に記載の物品(100)。
  15. 第1のシリサイドがジシリサイド及び低級シリサイドを含む、請求項1に記載の物品(100)。
  16. 第1のシリサイドが、モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブ、チタン、ルテニウム又はこれらの1以上の元素を含む組合せのシリサイドを含む、請求項1に記載の物品(100)。
  17. 第2の層(120)の上に配置された上層(130)をさらに含み、上層(130)が酸化物を含む、請求項1に記載の物品(100)。
  18. 第2の層(120)と上層(130)との間に配置された追加の層(201)をさらに含み、追加の層(201)がシリカを含む、請求項17に記載の物品(100)。
  19. 追加の層(201)がドーパントをさらに含む、請求項18に記載の物品(100)。
  20. ドーパントが、アルミニウム、ホウ素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、或いはこれらの1以上を含むいずれかの組合せを含む、請求項19に記載の物品(100)。
  21. 第2の層(120)と上層(130)との間に配置された中間層(301)をさらに含み、中間層(301)が、アルミニウム、ホウ素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、或いはこれらの1以上を含むいずれかの組合せを含む、請求項17に記載の物品(100)。
  22. 物品が、ガスタービン組立体用の燃焼器ライナ、ガスタービン組立体用のトランジションピース、ガスタービン組立体用のシュラウド、ガスタービン組立体用のベーン、又はガスタービン組立体用のブレードである、請求項1に記載の物品(100)。
  23. 物品(100)でであって、
    セラミック基複合材料を含む基材(101)と、
    基材(101)の上に配置された第1の層(110)であって、第1の層(110)が、互いに接合した第1のシリサイド相、及び第2の相を含み、第2の相が、炭化ケイ素を含み、第1の層(110)中のシリサイドの体積分率が、約10%〜約40%の範囲内である、第1の層(110)と、
    第1の層(110)の上に配置された第2の層(120)であって、第2の層(120)が、第1のシリサイドと物質移動連通した第2のシリサイドを含む、第2の層(120)と、
    第2の層(120)の上に配置された上層(130)であって、上層(130)が酸化物を含む、上層(130)と
    を備える、物品(100)。
  24. 物品(100)でであって、
    セラミック基複合材料を含む基材(101)と、
    基材(101)の上に配置された第1の層(110)であって、第1の層(110)が、互いに接合した第1のシリサイド相、及び第2の相を含み、第2の相が、窒化ケイ素を含み、第1の層(110)中のシリサイドの体積分率が、約10%〜約50%の範囲内である、第1の層(110)と、
    第1の層(110)の上に配置された第2の層(120)であって、第2の層(120)が、第1のシリサイドと物質移動連通した第2のシリサイドを含む、第2の層(120)と、
    第2の層(120)の上に配置された上層(130)であって、上層(130)が酸化物を含む、上層(130)と
    を備える、物品(100)。
  25. 物品(100)でであって、
    セラミック基複合材料を含む基材(101)と、
    基材(101)の上に配置された第1の層(110)であって、第1の層(110)が、互いに接合した第1のシリサイド相、及び第2の相を含み、第2の相が、希土類二ケイ酸塩を含み、第1の層(110)中のシリサイドの体積分率が、約10%〜約40%の範囲内である、第1の層(110)と、
    第1の層(110)の上に配置された第2の層(120)であって、第2の層(120)が、第1のシリサイドと物質移動連通した第2のシリサイドを含む、第2の層(120)と、
    第2の層(120)の上に配置された上層(130)であって、上層(130)が酸化物を含む、上層(130)と
    を備える、物品(100)。
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