JP2017102043A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017102043A JP2017102043A JP2015236299A JP2015236299A JP2017102043A JP 2017102043 A JP2017102043 A JP 2017102043A JP 2015236299 A JP2015236299 A JP 2015236299A JP 2015236299 A JP2015236299 A JP 2015236299A JP 2017102043 A JP2017102043 A JP 2017102043A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sensor
- base body
- gasket
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
【課題】簡単かつ低コストで腐食性流体にも対応できるようにする。【解決手段】全周に外側に開いた溝35aを有する樹脂製(例えば、フッ素樹脂)のガスケット35を導圧ポート21−2の導圧路30の開口縁面30bに落とし込み、受圧ダイアフラム22が溶接されたベースボディ21−1の凸部21−11をガスケット35の上面に圧接させることにより、受圧ダイアフラム22の外周縁面22aと導圧ポート21−2の導圧路30の開口縁面30bとでガスケット35を挾圧した状態とし、この状態でベースボディ21−1の下側端面21−1aと導圧ポート21−2の上側端面21−2aとの溶接を行う。【選択図】 図1
Description
本発明は、一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを用いた圧力センサに関する。
従来より、工業用の圧力センサとして、一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを用いた圧力センサが用いられている(例えば、特許文献1参照)。
この圧力センサは、受圧ダイアフラムに加えられる被測定流体の圧力をシリコーンオイル等の圧力伝達媒体(封入液)によってセンサダイアフラムの一方の面に導き、他方の面との圧力差により生じるセンサダイアフラムの歪みを例えば歪抵抗ゲージの抵抗値変化として検出し、この抵抗値変化を電気信号に変換して取り出すように構成されている。
図3に従来の圧力センサの要部の構成を示す。同図において、1は金属製のボディ、2は受圧ダイアフラム、3はボディ1の内部に形成された封入室、4は封入室3に設けられたセンサチップ、5は電極ピンである。
この圧力センサ100において、ボディ1はベースボディ(上ボディ)1−1と導圧ポート(下ボディ)1−2とから構成され、封入室3には基台6を介してオイルスペーサ7が設けられている。オイルスペーサ7には連通路3−2が設けられ、この連通路3−2と連通するオイルスペーサ7内の空間がセンサ室3−3とされている。このセンサ室3−3にセンサチップ4が台座8を挟んで基台6に接合されている。センサチップ4内にはセンサダイアフラム4−1が設けられている。
受圧ダイアフラム2は、ベースボディ1−1の下面に台座面として形成されたリング状の凸部1−11にその外周縁面2aを溶接して接合されており、この受圧ダイアフラム2の背面に受圧室3−1が形成され、この受圧室3−1が連通路3−2を通してセンサ室3−3と連通している。この受圧室3−1と連通路3−2とセンサ室3−3とから構成される封入室3には封入液9が封入されている。
導圧ポート1−2は、受圧ダイアフラム2へ被測定流体を導く導圧路10を備えており、導圧路10の被測定流体の導出口10aは少し広げられ、内段面として開口縁面10bが形成されている。ベースボディ1−1は、受圧ダイアフラム2が溶接されたベースボディ1−1の凸部1−11を導圧ポート1−2の導出口10aに嵌め込み、この凸部1−11の外側に位置するベースボディ1−1の下側の端面(下側端面)1−1aと導出口10aの外側に位置する導圧ポート1−2の上側の端面(上側端面)1−2aとを当接させ、この下側端面1−1aと上側端面1−2aとを溶接することによって、導圧ポート1−2に接合されている。この場合、ベースボディ1−1の下側端面1−1aと導圧ポート1−2の上側端面1−2aとの溶接は、その溶接箇所を溶接部1aとして黒く塗りつぶして示すように、受圧ダイアフラム2の受圧面に沿う方向(横方向)から全周にわたって行われている。
なお、11は溶接リング、12は封入室3の封入液9を封止する封止ボール、13はセンサチップ4と電極ピン5とを電気的に接続するワイヤ、14はベースボディ1−2と電極ピン5との間の電気的絶縁および封入液9の漏洩を防止するためのシール材である。また、受圧ダイアフラム2の外周縁面2aのベースボディ1−1の凸部(台座面)1−11への溶接は、受圧ダイアフラム2の外周縁面2aの上面に溶接リング11を重ね、この重ねた溶接リング11の上から行われている。
この圧力センサ100では、導圧ポート1−2の導圧路10を通して導かれてくる被測定流体(流体、ガス)からの圧力P1を受圧ダイアフラム2が受け、この受圧ダイアフラム2が受けた被測定流体の圧力P1が封入室3内の封入液9に伝わり、受圧室3−1,連通路3−2およびセンサ室3−3を経てセンサチップ4内のセンサダイアフラム4−1の一方の面に導かれる。センサダイアフラム4−1の他方の面は大気に解放されている。あるいは、被測定流体(第1の被測定流体)の圧力P1とは別の被測定流体(第2の被測定流体)の圧力P2が導かれる。
これにより、センサダイアフラム4−1に歪みが生じ、このセンサダイアフラム4−1の歪みが歪抵抗ゲージの抵抗値変化として検出され、この抵抗値変化が電気信号(圧力差に応じた信号)に変換され、ワイヤ13を通して電極ピン5より取り出される。
しかしながら、この圧力センサ100では、受圧ダイアフラム2が被測定流体からの圧力P1を受ける際に、受圧ダイアフラム2のベースボディ1−1との溶接部にも被測定流体からの圧力P1を受ける。すなわち、受圧ダイアフラム2のベースボディ1−1との溶接部が接液する。被測定流体が腐食性流体である場合には、この溶接部から応力腐食割れを発生する虞がある。このため、従来の圧力センサ100では、腐食性流体の使用は不可とされる。
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、簡単かつ低コストで、腐食性流体にも対応することが可能な圧力センサを提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを備えたセンサチップと、センサチップを収容したベースボディと、センサダイアフラムの一方の面への被測定流体からの圧力を受ける受圧ダイアフラムと、受圧ダイアフラムへ被測定流体を導く導圧路を備えた導圧ポートと、全周に外側に開いた溝を有するリング状のガスケットとを備え、受圧ダイアフラムは、その外周縁面がベースボディに溶接によって接合され、ガスケットは、受圧ダイアフラムの外周縁面と導圧ポートの導圧路の開口縁面との間に設けられ、ベースボディは、受圧ダイアフラムの外周縁面と導圧ポートの導圧路の開口縁面とでガスケットを挾圧した状態で導圧ポートに溶接によって接合されていることを特徴とする。
この発明において、ベースボディに溶接接合された受圧ダイアフラムの外周縁面と導圧ポートの導圧路の開口縁面との間には、リング状のガスケットが設けられる。このガスケットは全周に外側に開いた溝を有している。ベースボディは、受圧ダイアフラムの外周縁面と導圧ポートの導圧路の開口縁面とでガスケットを挾圧した状態で、導圧ポートに溶接によって接合される。これにより、ガスケットに外側に開いた溝が押しつぶされる方向への力が加わり、このガスケットの上下面がシール面となって、受圧ダイアフラムの外周縁面と導圧ポートの導圧路の開口縁面との隙間が塞がれる。これにより、受圧ダイアフラムとベースボディとの溶接部の接液が防がれ、腐食性流体への対応が可能となる。
本発明では、リング状のガスケットの全周に外側に開いた溝を設けることで、上下方向への圧縮面圧が低下する。ここで、ガスケットを例えば樹脂とし、溝をわずかに押しつぶすようにすると、樹脂のクリープ変形を低減させることができる。これにより、耐久性がアップし、ガスケットを交換不能な構造であっても、長期間の継続使用が可能となる。
また、本発明において、被測定流体の圧力がかかるときには、ガスケットは外方向に押し付けられることでセルフシールされる。また、ガスケットは全周に外側に開いた溝を有しているので、被測定流体の圧力の印加時にも変形し易く、シール性を向上させる効果もある。
本発明によれば、ベースボディに溶接接合された受圧ダイアフラムの外周縁面と導圧ポートの導圧路の開口縁面との間に全周に外側に開いた溝を有するリング状のガスケットを設け、受圧ダイアフラムの外周縁面と導圧ポートの導圧路の開口縁面とでガスケットを挾圧した状態でベースボディを導圧ポートに溶接接合するようにしたので、ガスケットに外側に開いた溝が押しつぶされる方向への力が加わり、このガスケットの上下面がシール面となって、受圧ダイアフラムとベースボディとの溶接部の接液が防がれ、簡単かつ低コストで、腐食性流体にも対応することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
〔実施の形態1〕
図1は、本発明の実施の形態に係る圧力センサ(実施の形態1の圧力センサ)の要部の構成を示す図ある。同図において、21は金属製のボディ、22は受圧ダイアフラム、23はボディ21の内部に形成された封入室、24は封入室23に設けられたセンサチップ、25は電極ピンである。
図1は、本発明の実施の形態に係る圧力センサ(実施の形態1の圧力センサ)の要部の構成を示す図ある。同図において、21は金属製のボディ、22は受圧ダイアフラム、23はボディ21の内部に形成された封入室、24は封入室23に設けられたセンサチップ、25は電極ピンである。
この実施の形態1の圧力センサ200(200A)において、ボディ21はベースボディ(上ボディ)21−1と導圧ポート(下ボディ)21−2とから構成され、封入室23には基台26を介してオイルスペーサ27が設けられている。オイルスペーサ27には連通路23−2が設けられ、この連通路23−2と連通するオイルスペーサ27内の空間がセンサ室23−3とされている。このセンサ室23−3にセンサチップ24が台座28を挟んで基台26に接合されている。センサチップ24内にはセンサダイアフラム24−1が設けられている。
受圧ダイアフラム22は、ベースボディ21−1の下面に台座面として形成されたリング状の凸部21−11にその外周縁面22aを溶接して接合されており、この受圧ダイアフラム22の背面に受圧室23−1が形成され、この受圧室23−1が連通路23−2を通してセンサ室23−3と連通している。この受圧室23−1と連通路23−2とセンサ室23−3とから構成される封入室23には封入液29が封入されている。
導圧ポート21−2は、受圧ダイアフラム22へ被測定流体を導く導圧路30を備えており、導圧路30の被測定流体の導出口30aは少し広げられ、内段面として開口縁面30bが形成されている。ベースボディ21−1は、受圧ダイアフラム22が溶接されたベースボディ21−1の凸部21−11を導圧ポート21−2の導出口30aに嵌め込み、この凸部21−11の外側に位置するベースボディ21−1の下側の端面(下側端面)21−1aと導出口30aの外側に位置する導圧ポート21−2の上側の端面(上側端面)21−2aとを当接させ、この下側端面21−1aと上側端面21−2aとを溶接することによって、導圧ポート21−2に接合されている。このベースボディ21−1の下側端面21−1aと導圧ポート21−2の上側端面21−2aとの溶接は、その溶接箇所を溶接部21aとして黒く塗りつぶして示すように、受圧ダイアフラム22の受圧面に沿う方向(横方向)から全周にわたって行われている。
なお、31は溶接リング、32は封入室23の封入液29を封止する封止ボール、33はセンサチップ24と電極ピン25とを電気的に接続するワイヤ、34はベースボディ21−1と電極ピン25との間の電気的絶縁および封入液29の漏洩を防止するためのシール材である。また、受圧ダイアフラム22の外周縁面22aのベースボディ21−1の凸部(台座面)21−11への溶接は、受圧ダイアフラム22の外周縁面22aの上面に溶接リング31を重ね、この重ねた溶接リング31の上から行われている。また、ベースボディ21−1に溶接接合された受圧ダイアフラム22の外周縁面22aと導圧ポート21−2の導圧路30の開口縁面30bとの間には、リング状のガスケット35が設けられている。このリング状のガスケット35については後述する。
この圧力センサ200Aでは、導圧ポート21−2の導圧路30を通して導かれてくる被測定流体(流体、ガス)からの圧力P1を受圧ダイアフラム22が受け、この受圧ダイアフラム22が受けた被測定流体の圧力P1が封入室23内の封入液29に伝わり、受圧室23−1,連通路23−2およびセンサ室23−3を経てセンサチップ24内のセンサダイアフラム24−1の一方の面に導かれる。センサダイアフラム24−1の他方の面は大気に解放されている。あるいは、被測定流体(第1の被測定流体)の圧力P1とは別の被測定流体(第2の被測定流体)の圧力P2が導かれる。
これにより、センサダイアフラム24−1に歪みが生じ、このセンサダイアフラム24−1の歪みが歪抵抗ゲージの抵抗値変化として検出され、この抵抗値変化が電気信号(圧力差に応じた信号)に変換され、ワイヤ33を通して電極ピン25より取り出される。
この圧力センサ200Aの従来の圧力センサ100(図3)と異なる点は、ベースボディ21−1に溶接接合された受圧ダイアフラム22の外周縁面22aと導圧ポート21−2の導圧路30の開口縁面30bとの間にリング状のガスケット35を設け、このガスケット35を受圧ダイアフラム22の外周縁面22aと導圧ポート21−2の導圧路30の開口縁面30bとで挾圧した状態で、ベースボディ21−1と導圧ポート21−2との溶接を行っている点にある。
すなわち、この圧力センサ200Aでは、全周に外側に開いた溝35aを有する樹脂製(例えば、フッ素樹脂)のガスケット35を導圧ポート21−2の導圧路30の開口縁面30bに落とし込み、受圧ダイアフラム22が溶接されたベースボディ21−1の凸部21−11をガスケット35の上面に圧接させることにより、受圧ダイアフラム22の外周縁面22aと導圧ポート21−2の導圧路30の開口縁面30bとでガスケット35を挾圧した状態とし、この状態でベースボディ21−1の下側端面21−1aと導圧ポート21−2の上側端面21−2aとの溶接を行っている。
この圧力センサ200Aでは、ガスケット35に外側に開いた溝35aが押しつぶされる方向への力が加わり、ガスケット35の上下面がシール面となって、受圧ダイアフラム22の外周縁面22aと導圧ポート21−2の導圧路30の開口縁面30bとの隙間が塞がれる。これにより、受圧ダイアフラム22とベースボディ21−1との溶接部の接液が防がれ、簡単かつ低コストで、腐食性流体への対応が可能となる。
また、この圧力センサ200Aでは、ガスケット35に設けられた溝35aによって上下方向への圧縮面圧が低下し、この溝35aをわずかに押しつぶすことによって、樹脂のクリープ変形が低減される。これにより、耐久性がアップし、ガスケット35を交換不能な構造(埋め殺しの構造)であっても、長期間(例えば、10年以上)の継続使用が可能となる。
また、この圧力センサ200Aにおいて、被測定流体の圧力P1がかかるときには、ガスケット35は外方向に押し付けられることでセルフシールされる。また、ガスケット35は全周に外側に開いた溝35aを有しているので、被測定流体の圧力P1の印加時にも変形し易く、シール性を向上させる効果もある。
〔実施の形態2〕
実施の形態1の圧力センサ200Aでは、ベースボディ21−1の凸部21−11をガスケット35の上面に圧接させることにより、受圧ダイアフラム22の外周縁面22aと導圧ポート21−2の導圧路30の開口縁面30bとでガスケット35を挾圧した状態としている。この場合、ガスケット35の溝35aのつぶれ代は、すなわちガスケット35に加わる面圧は、受圧ダイアフラム22および溶接リング31の厚みを含むベースボディ21−1の凸部1−11の寸法hによって規定される。このため、ガスケット35に加わる面圧(シール性能)を制御することができない。
実施の形態1の圧力センサ200Aでは、ベースボディ21−1の凸部21−11をガスケット35の上面に圧接させることにより、受圧ダイアフラム22の外周縁面22aと導圧ポート21−2の導圧路30の開口縁面30bとでガスケット35を挾圧した状態としている。この場合、ガスケット35の溝35aのつぶれ代は、すなわちガスケット35に加わる面圧は、受圧ダイアフラム22および溶接リング31の厚みを含むベースボディ21−1の凸部1−11の寸法hによって規定される。このため、ガスケット35に加わる面圧(シール性能)を制御することができない。
そこで、実施の形態2の圧力センサ200(200B)では、図2に示すように、ベースボディ21−1全体を導圧ポート21−2に嵌め込むような構造とし、受圧ダイアフラム22の受圧面に直交する方向(縦方向)からベースボディ21−1を導圧ポート21−2に溶接するようにしている。
すなわち、この実施の形態2の圧力センサ200Bでは、実施の形態1の圧力センサ200Aと同様に受圧ダイアフラム22が溶接接合されたベースボディ21−1の凸部21−11をガスケット35の上面に圧接させるが、ベースボディ21−1の高さ位置を調整することによってガスケット35の溝35aのつぶれ代を変え、このベースボディ21−1の高さ位置を調整した状態でベースボディ21−1の外周面21−1bと導圧ポート21−2の内周面21−2bとを溶接することによって、ガスケット35に加わる面圧(シール性能)を制御できるようにしている。この場合、ベースボディ21−1の外周面21−1bと導圧ポート21−2の内周面21−2bとの溶接は、その溶接箇所を溶接部21bとして黒く塗りつぶして示すように、全周にわたって縦方向(受圧ダイアフラム22の受圧面に直交する方向)から行う。
なお、上述した実施の形態では、ガスケット35の溝35aの断面形状を「コ」字状としているが、外側に広がる台形状とするなどしてもよい。また、上述した実施の形態では、ガスケット35を樹脂製としたが、樹脂製に限られるものでもない。
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
本発明は、工業用の圧力センサとして利用することができる。
21…ボディ、21−1…ベースボディ(上ボディ)、21−11…凸部、21−1a…下側端面、21−1b…外周面、21−2…導圧ポート(下ボディ)、21−2a…上側端面、21−2b…内周面、21a,21b…溶接部、22…受圧ダイアフラム、22a…外周縁面、23…封入室、24…センサチップ、24−1…センサダイアフラム、29…封入液、30…導圧路、30a…導出口、30b…開口縁面、35…ガスケット、35a…溝、200(200A,200B)…圧力センサ。
Claims (3)
- 一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを備えたセンサチップと、
前記センサチップを収容したベースボディと、
前記センサダイアフラムの一方の面への被測定流体からの圧力を受ける受圧ダイアフラムと、
前記受圧ダイアフラムへ前記被測定流体を導く導圧路を備えた導圧ポートと、
全周に外側に開いた溝を有するリング状のガスケットとを備え、
前記受圧ダイアフラムは、
その外周縁面が前記ベースボディに溶接によって接合され、
前記ガスケットは、
前記受圧ダイアフラムの外周縁面と前記導圧ポートの導圧路の開口縁面との間に設けられ、
前記ベースボディは、
前記受圧ダイアフラムの外周縁面と前記導圧ポートの導圧路の開口縁面とで前記ガスケットを挾圧した状態で前記導圧ポートに溶接によって接合されている
ことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1に記載された圧力センサにおいて、
前記受圧ダイアフラムの受圧面に沿う方向を横方向とした場合、
前記ベースボディは、
前記導圧ポートに横方向から溶接されている
ことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1に記載された圧力センサにおいて、
前記受圧ダイアフラムの受圧面に直交する方向を縦方向とした場合、
前記ベースボディは、
前記導圧ポートに縦方向から溶接されている
ことを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015236299A JP2017102043A (ja) | 2015-12-03 | 2015-12-03 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015236299A JP2017102043A (ja) | 2015-12-03 | 2015-12-03 | 圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017102043A true JP2017102043A (ja) | 2017-06-08 |
Family
ID=59017560
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015236299A Pending JP2017102043A (ja) | 2015-12-03 | 2015-12-03 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017102043A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7486541B2 (ja) | 2021-04-29 | 2024-05-17 | ブランパン・エス アー | 深度計シール |
-
2015
- 2015-12-03 JP JP2015236299A patent/JP2017102043A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7486541B2 (ja) | 2021-04-29 | 2024-05-17 | ブランパン・エス アー | 深度計シール |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3128305B1 (en) | A hermetic pressure sensor | |
JP6002010B2 (ja) | 圧力センサチップ | |
JP5926858B2 (ja) | 圧力検出器の取付け構造 | |
JP6265987B2 (ja) | 医療流体投薬デバイス内の流体圧力を決定するための圧力測定ユニット | |
JP6106004B2 (ja) | 圧力センサ | |
CN107430040A (zh) | 压力传感器 | |
JP6034819B2 (ja) | 圧力センサチップ | |
KR101941350B1 (ko) | 2 차 배터리 및 2 차 배터리의 제조 방법 | |
JP6034818B2 (ja) | 圧力センサチップ | |
CN103712729B (zh) | 非焊接密封压力传感器 | |
JP2013228268A (ja) | 圧力検出装置及びその生産方法 | |
JP2017102043A (ja) | 圧力センサ | |
KR20140034692A (ko) | 압력 센서 | |
CN110068417A (zh) | 一种平膜压力传感器 | |
JP2020134420A (ja) | 差圧検出装置 | |
CN105283746B (zh) | 用于过程流体压力变送器的抗腐蚀的压力模块 | |
JP2011226498A (ja) | 分岐継手 | |
JP2017116457A (ja) | 圧力センサ | |
CN110779654A (zh) | 压力传感器芯片 | |
KR101529481B1 (ko) | 메탈시트 볼 밸브용 이중 패킹형 메탈시트 밀봉장치 | |
JP6040736B2 (ja) | リーク検査治具及びリーク検査装置 | |
JP2015194343A (ja) | 差圧発信器 | |
JP2022034154A (ja) | 圧力センサ | |
CN104797867A (zh) | 密封环和具有至少一个此密封环的压力测量换能器 | |
KR20190114610A (ko) | 압력 센서 |