JP2017098450A - ペリクルフレーム収納容器の梱包体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下トレイ2と、上トレイ3と、を有し、下トレイ2の水平フランジ部2gには、係合突起2hが上面に形成され、下トレイ2の底板2aには、規制突部2bが外面に形成され、上トレイ3の水平フランジ部3gには、下トレイ2の係合突起2hと互いに係合する係合溝3hが下面に形成され、上トレイ3の天板3aには、下トレイ2の規制突部2bと互いに係合可能な規制突部3bが外面に形成され、下トレイ2及び上トレイ3の収容部は、ペリクルフレーム収納容器10の動きを規制する幅狭部分2d,3dと、ペリクルフレーム収納容器10を出し入れするための幅広部分2f,3fとが側壁2c,3cで形成されている、ペリクルフレーム収納容器10の梱包体1である。
【選択図】 図1
Description
図3−7に示される下トレイ2は、底板2aを備えた平面視四角形をした形状である。底板2aは、ペリクルフレーム収納容器10を収容可能な大きさに形成されている。底板2aには、底板2aの外面から外方に突出する規制突部(第1の位置規制部)2bが4か所等間隔に形成されている。
図8−12に示される上トレイ3は、天板3aを備えた平面視四角形をした形状である。なお、ここで上トレイ3は、開口を上向きにした状態で図示されているが、使用時には開口が下向きとなり下トレイ2の開口と相対向するようにして嵌合される。天板3aは、ペリクルフレーム収納容器10を収容可能な大きさに形成されている。
ペリクルフレーム収納容器10を下トレイ2及び上トレイ3に収容し、梱包体1とする手順について説明する。
フランジ部の係合部は、上記実施形態の形状に限らず、互いに係合できるような形状であれば、どのような形状でもよい。また、フランジ部の係合部の配置も、上記実施形態の配置に限らず、互いに係合できるように配置されればよい。例えば、係合突起を上トレイに、係合溝を下トレイにそれぞれに配置してもよいし、あるいは、係合突起及び係合溝を、一方のトレイに係合突起と係合溝とを交互に配置して、他方のトレイに係合溝と係合突起とを交互に配置して、これらを係合させてもよい。係合突起及び係合溝の個数は、2つ以上設けられればよい。係合突起及び係合溝の位置は、コーナー部付近以外に設けてもよい。
2 下トレイ
2a 底板、2b 規制突部(第1の位置規制部)、2c 側壁、2d 幅狭部分、
2e 逃がし部、2f 幅広部分、2g 水平フランジ部、
2h 係合突起(第1の係合部)、2i 折返しフランジ
3 上トレイ
3a 天板、3b 規制突部(第2の位置規制部)、3c 側壁、3d 幅狭部分、
3e 逃がし部、3f 幅広部分、3g 水平フランジ部、
3h 係合溝(第2の係合部)、3i 折返しフランジ
10 ペリクルフレーム収納容器
10a 容器本体、10b 蓋体
11 クリップ
Claims (5)
- ペリクルフレームを収納したペリクルフレーム収納容器の梱包体であって、
下トレイと、上トレイと、を有し、
前記下トレイ及び前記上トレイは、開口と、底板又は天板と、側壁の内面とでそれぞれ収容部を形成し、
前記下トレイ及び前記上トレイのそれぞれの前記側壁には、開口側の端部から水平方向外側に張り出すフランジ部が備えられ、
前記下トレイ及び前記上トレイのそれぞれの前記フランジ部には、互いに係合する第1の係合部又は第2の係合部がそれぞれの開口側の面に形成され、
前記下トレイ及び前記上トレイのそれぞれの前記収容部は、前記ペリクルフレーム収納容器の動きを規制する幅狭部分と、前記ペリクルフレーム収納容器を出し入れするための幅広部分と、がそれぞれの前記側壁で形成され、
前記下トレイの前記底板には、第1の位置規制部が外面に形成され、
前記上トレイの前記天板には、前記下トレイの前記第1の位置規制部と互いに係合可能な第2の位置規制部が外面に形成されている
ことを特徴とするペリクルフレーム収納容器の梱包体。 - 前記第1の位置規制部と前記第2の位置規制部との係合は、X−Yの2方向の位置を規制するものである
ことを特徴とする請求項1に記載のペリクルフレーム収納容器の梱包体。 - 前記梱包体は、一の梱包体の前記上トレイの前記第2の位置規制部と、他の梱包体の前記下トレイの前記第1の位置規制部とを係合させて積み重ねられている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のペリクルフレーム収納容器の梱包体。 - 前記ペリクルフレーム収納容器は、容器本体と、蓋体とを備えており、
ペリクルフレーム収納容器には、蓋体を容器本体に係止するクリップが取り付けられており、
前記下トレイ及び前記上トレイのそれぞれの前記収容部は、クリップ用の逃がし部が形成されている
ことを特徴とする請求項1から3までのいずれか1項に記載のペリクルフレーム収納容器の梱包体。 - 前記ペリクルフレーム収納容器は、複数段に積層されている
ことを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載のペリクルフレーム収納容器の梱包体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107464770A (zh) * | 2017-08-28 | 2017-12-12 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种掩模板存储装置 |
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-
2015
- 2015-11-26 JP JP2015230397A patent/JP6508653B2/ja active Active
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