JP2017097108A - 光偏向器ケース及びその製造方法、並びに光偏向器パッケージ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 光偏向器に負荷を与えることなくガラスを固着することができ、且つ、揺動する光偏向器を収納することができる光偏向器ケース及びその製造方法、並びに光偏向器パッケージ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 光偏向器パッケージ2は、光偏向器ケース3、光偏向器ケース3の内部に収納される光偏向器4、光偏向器ケース3に固着されたガラスリッド5を備える。光偏向器ケース3の本体部3aには、第1凹部3b〜第3凹部3dが形成され、第2凹部3cには、光偏向器4が収納され固定されている。第3凹部3dは、光偏向器4の揺動時のワークスペースとなる。光偏向器ケース3の表面3eには、熱処理によりフリットガラス8が形成されている。ガラスリッド5は、レーザ照射器36からのレーザ光36aにより溶融及び固化されるフリットガラス8により、光偏向器ケース3の表面3eに固着されている。
【選択図】 図6
【解決手段】 光偏向器パッケージ2は、光偏向器ケース3、光偏向器ケース3の内部に収納される光偏向器4、光偏向器ケース3に固着されたガラスリッド5を備える。光偏向器ケース3の本体部3aには、第1凹部3b〜第3凹部3dが形成され、第2凹部3cには、光偏向器4が収納され固定されている。第3凹部3dは、光偏向器4の揺動時のワークスペースとなる。光偏向器ケース3の表面3eには、熱処理によりフリットガラス8が形成されている。ガラスリッド5は、レーザ照射器36からのレーザ光36aにより溶融及び固化されるフリットガラス8により、光偏向器ケース3の表面3eに固着されている。
【選択図】 図6
Description
本発明は、光を走査する光偏向器を収納する光偏向器ケース及びその製造方法、並びに光偏向器パッケージ及びその製造方法に関する。
レーザ等の光源からの光を走査する揺動可能な光偏向器と、この光偏向器を揺動可能に収納する光偏向器ケースと、光偏向器を覆ように光偏向器ケースの開口面に固着されたガラスとを備えた光偏向器パッケージがある。このような光偏向器パッケージは、超小型レーザプロジェクタ、車載用ヘッドアップディスプレイ等に搭載される。
光偏向器パッケージでは、例えば熱硬化樹脂や紫外線硬化樹脂によりガラスを固着している。このような樹脂による固着では、ガスバリア性、耐透湿性が低く、水蒸気や酸素が光偏向器パッケージ内部に侵入することがある。水蒸気や酸素が侵入すると、光偏向器が故障することがあるため、光偏向器パッケージでは、高い気密性が求められている。
パッケージの高い気密性を得るための技術として、例えば、特許文献1のシーム溶接封止用パッケージでは、ケースとしてのセラミックパッケージの開口縁に、金属製のシールリングを介して金属蓋をシーム溶接することにより封止し、且つ溶接時に、金属蓋の抵抗値よりシールリングの抵抗値の方が小さくなるようにすることで、金属蓋の発熱に起因した金属粉のパッケージ本体内への飛散を防止している。
また、特許文献2のMEMS素子パッケージでは、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)層が形成され、このMEMS層に接続される第1,第2電極が配置されたガラス製の素子基板と、ガラス製の封止基板との間にガラスフリットを配置し、さらに、ガラスフリットと素子基板との間に金属酸化物膜を配置することで、封止基板を固着するためにガラスフリットにレーザ光を照射した場合にも、金属酸化物膜により、レーザ光から第1,第2電極を保護している。
しかしながら、特許文献1のシーム溶接封止用パッケージでは、セラミックパッケージ上にシールリングを取り付ける必要があり、コストアップし、パッケージのサイズも大型化する。さらに、特許文献1のシーム溶接封止用パッケージを用いて光偏向器を密閉した場合には、溶接時の金属粉の飛散や衝撃等の負荷により、光偏向器が故障することがある。
また、特許文献2のMEMS素子パッケージでは、素子基板と封止基板との間に隙間を設けることができないため、1mmΦ位のマイクロミラーが揺動する光偏向器を収納することができない。
本発明は、光偏向器に負荷を与えることなく開口面にガラスを固着することができ、且つ、マイクロミラーが揺動する光偏向器を収納することができる光偏向器ケース及びその製造方法、並びに光偏向器パッケージ及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明の光偏向器ケースは、光偏向器を揺動可能に収納するための凹部が形成された箱状の本体部を備え、前記凹部の開口を覆うように前記本体部に透明なガラスが固着されるセラミック製の光偏向器ケースであって、前記本体部の前記ガラスが固着される固着面には、融着されることで前記ガラスを固着するためのフリットガラスが熱処理により形成されていることを特徴とする。
本発明によれば、本体部の凹部に光偏向器を揺動可能に収納することができる。また、本体部の固着面には、融着されることでガラスを固着するためのフリットガラスが熱処理により形成されているので、フリットガラスを融着させるだけで、凹部に収納した光偏向器に負荷を与えることなく、容易にガラスを本体部に固着することができる。
本発明において、前記セラミックは、焼結アルミナであり、前記固着面は、表面粗さがPV(Peak to Valley)値で10μm以下であることが好ましい。
セラミックは、焼結アルミナであり、固着面は、表面粗さがPV値で10μm以下であるので、光偏向器ケースとフリットガラスとの気密性を向上することができる。これにより、ガラスを本体部に固着した場合に、光偏向器ケースとガラスとの気密性を向上することができる。
本発明の光偏向器ケースの製造方法は、光偏向器を揺動可能に収納するための凹部が形成された箱状の本体部を備え、前記凹部の開口を覆うように前記本体部に透明なガラスが固着されるセラミック製の光偏向器ケースの製造方法であって、前記本体部の前記ガラスが固着される固着面に、溶融及び固化することで前記ガラスを固着するためのフリットガラスを熱処理により形成する熱処理工程を含むことを特徴とする。
本発明によれば、光偏向器を揺動可能に収納する本体部の固着面に、溶融及び固化することでガラスを固着するためのフリットガラスを形成した光偏向器ケースを製造することができる。
本発明において、前記熱処理工程の前に、前記固着面にフリットガラスペーストを形成するフリットガラスペースト形成工程を含み、前記熱処理工程は、前記フリットガラスペーストを加熱して乾燥させる乾燥工程と、前記乾燥工程後に、前記フリットガラスペーストを加熱して前記フリットガラスペーストの有機物を分解する脱バインダー工程と、前記脱バインダー工程後に、窒素雰囲気中で前記フリットガラスペーストを加熱して溶融させることで表面を平滑にして前記フリットガラスを形成するグレーズ処理工程と、を含むことが好ましい。
熱処理として、固着面に形成したフリットガラスペーストを加熱して乾燥し、フリットガラスペーストを加熱してフリットガラスペーストの有機物を分解し、窒素雰囲気中でフリットガラスペーストを加熱して溶融させることで表面を平滑にしてフリットガラスを形成するので、熱処理後のフリットガラスは安定しており、フリットガラスが形成された光偏向器ケースを、製品として流通させることができる。
本発明の光偏向器パッケージは、光偏向器と、前記光偏向器を揺動可能に収納するための凹部が形成された箱状の本体部を有するセラミック製の光偏向器ケースと、前記凹部の開口を覆うように前記本体部に固着された透明なガラスと、前記本体部の前記ガラスが固着される固着面に形成されたフリットガラスと、を備え、前記フリットガラスは融着されており、該融着により前記ガラスが固着されていることを特徴とする。
本発明によれば、本体部の凹部に光偏向器を揺動可能に収納することができる。また、本体部の固着面に形成されたフリットガラスが融着されて、ガラスが固着されているので、凹部に収納した光偏向器には固着時に負荷が与えられておらず、故障や性能低下が抑制されている。
本発明において、前記光偏向器パッケージからのヘリウムリーク速度は、1.5×10−10Pa・m3/s以下であることが好ましい。
光偏向器パッケージからのヘリウムリーク速度は、1.5×10−10Pa・m3/s以下であるので、十分な気密性を確保することができる。これにより、気密性が低いことによる光偏向器の性能低下を抑制することができる。
本発明において、前記セラミックは、焼結アルミナであり、前記固着面は、表面粗さがPV値で10μm以下であり、前記ガラスの線熱膨張係数は、7〜10ppm/Kであることが好ましい。
セラミックは、焼結アルミナであり、固着面は、表面粗さがPV値で10μm以下であり、ガラスの線熱膨張係数は、7〜10ppm/Kであるので、光偏向器ケースとフリットガラスとの気密性を向上することができる。これにより、光偏向器ケースとガラスとの気密性を向上することができる。
本発明において、前記ガラスの厚みは0.5mm以上であることが好ましい。
ガラスの厚みは0.5mm以上であるので、0.5mm未満、例えば0.2mm程度のガラスに比べて、耐気圧性を向上することができ、2気圧程度の圧力印加でガラスが破損することを防止することができる。
本発明におけるもう一つの実施形態として、前記ガラスは、少なくとも2つの斜面を有する立体部と、前記固着面に固着される平面状の平面部とを備えることが好ましい。
ガラスは、少なくとも2つの斜面を有する立体部と、固着面に固着される平面状の平面部とを備えるので、部品を追加することなく、容易にガラス表面で反射した迷光が光偏向器に入射しないようにすることができる。
本発明の光偏向器パッケージの製造方法は、光偏向器と、前記光偏向器を揺動可能に収納するための凹部が形成された箱状の本体部を有するセラミック製の光偏向器ケースと、前記凹部の開口を覆うように前記本体部に固着された透明なガラスとを備えた光偏向器パッケージの製造方法であって、前記本体部の前記ガラスが固着される固着面に、溶融及び固化することで前記ガラスを固着するためのフリットガラスを熱処理により形成する熱処理工程と、前記熱処理工程後に、前記光偏向器を前記光偏向器ケースに収納して固定する収納工程と、前記収納工程後に、前記フリットガラスの幅以下の径の第1レーザ光を、前記ガラスを通して前記フリットガラスに照射して、前記フリットガラスを溶融及び固化させて前記ガラスを前記光偏向器ケースに固着する固着工程と、を含むことを特徴とする。
本発明によれば、本体部のガラスが固着される固着面に、フリットガラスを熱処理により形成し、光偏向器を光偏向器ケースに収納して固定し、フリットガラスの幅以下の径の第1レーザ光を、ガラスを通してフリットガラスに照射して、フリットガラスを溶融及び固化させてガラスを光偏向器ケースに固着するので、本体部の凹部に光偏向器を揺動可能に収納することができ、さらに、凹部に収納した光偏向器に負荷を与えることなく、ガラスを固着することができる。
本発明において、前記固着工程は、前記フリットガラスを溶融させる前記第1レーザ光を照射する第1照射工程と、前記第1照射工程後に、前記フリットガラスを溶融状態から緩やかに固化させる第2レーザ光を照射する第2照射工程と、を含むことが好ましい。
フリットガラスを溶融させる第1レーザ光を照射し、その後に、フリットガラスを溶融状態から緩やかに固化させる第2レーザ光を照射するので、フリットガラスが急激に冷却されて固化されるものに比べて、クラックの発生を抑制することができる。
[第1実施形態]
図1に示すように、光偏向器パッケージ2は、光偏向器ケース3と、この光偏向器ケース3の内部に収納されて固定されたMEMSデバイスとしての光偏向器4と、光偏向器ケース3に固着された透明なガラスリッド5とを備える。光偏向器パッケージ2は、超小型レーザプロジェクタ、車載用ヘッドアップディスプレイ等に搭載される。
図1に示すように、光偏向器パッケージ2は、光偏向器ケース3と、この光偏向器ケース3の内部に収納されて固定されたMEMSデバイスとしての光偏向器4と、光偏向器ケース3に固着された透明なガラスリッド5とを備える。光偏向器パッケージ2は、超小型レーザプロジェクタ、車載用ヘッドアップディスプレイ等に搭載される。
図2及び図3に示すように、光偏向器ケース3は、セラミック、例えばアルミナを融点(2050°C)に近い高温で焼結させた焼結アルミナ(線熱膨張係数CTE:7.0ppm/K)製で、箱状の本体部3aを備える。本体部3aには、第1凹部3b〜第3凹部3dが形成され、本体部3aは、第1凹部3b〜第3凹部3dにより1面が開口されている。
第1凹部3bには、一端が光偏向器4に接続された接続ワイヤ7の他端が接続されている。第2凹部3cには、光偏向器4が収納され固定されている。第3凹部3dは、光偏向器4の揺動(駆動)時のワークスペースである。なお、図1では、接続ワイヤ7の図示を省略し、図2及び図3では、光偏向器4を簡略化して図示している。
ガラスリッド5は、厚さ0.5mmのB270(線熱膨張係数CTE:7.0ppm/K)により構成され、詳しくは後述するように、光偏向器ケース3の表面(固着面)3eの全周に亘って形成されたフリットガラス8により、光偏向器ケース3の表面3eに固着されている。なお、ガラスリッド5の素材及び厚みは、適宜変更可能である。
光偏向器ケース3は、その製造時の最終工程において、表面3eが研磨されて、表面粗さがPV(Peak to Valley)値で10μm以下となっている。
光偏向器4は、例えば、MEMSスキャナである。光偏光器の駆動方式には大別して圧電方式、静電方式、電磁方式があるが、いずれの方式であってもよい。本実施形態では、圧電方式の光偏光器を代表して説明する。
図4に示すように、光偏向器4は、2軸型光偏向器であり、半導体プロセスやMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を利用して作製され、一定の方向から入射する光を回転揺動するマイクロミラーとしての光偏向ミラー10で反射し、反射光(レーザ光)として出射する。
光偏向器4は第1支持部11を備え、この第1支持部11は、光偏向ミラー10、半環状圧電アクチュエータ13a,13b、及びトーションバー14a,14b等からなる。光偏向器4に入射した光は光偏向ミラー10で反射され、反射光が走査される。
光偏向器4を駆動する場合には、制御装置(図示せず)から光偏向器4に制御信号を送信する。当該制御信号により光偏向器4の半環状圧電アクチュエータ13a,13bが駆動され、半環状圧電アクチュエータ13a,13bと結合したトーションバー14a,14bがねじれることで、光偏向ミラー10を回動させる。
本実施形態では、2軸直交座標系において、円形の光偏向ミラー10の中心を通る水平方向の回転軸をX軸、垂直方向の回転軸をY軸と定義する。また、図5においては、X軸を左右方向、Y軸を上下方向、光偏向ミラー20の厚み方向を前後方向としている。
光偏向器4は矩形環状の第2支持部12を備え、この第2支持部12の中央に第1支持部11が配設されている。また、第1支持部11の中心を通るY軸に対して線対称に、蛇腹状の圧電アクチュエータ21a,21bが配設され、第1支持部11の辺部下端及び第2支持部12を結合している。
圧電アクチュエータ21a,21bは、複数のカンチレバーを長手方向が隣り合う向きに並べて、上下方向端部で折り返して直列結合したミアンダ構造に形成されている。詳細は後述するが、上記制御信号により圧電アクチュエータ21a,21bを駆動させることで、第1支持部11が水平方向、すなわち、図中の光偏向ミラー10の中心を通るX軸線回りを往復回動する。
また、上述したように、半環状圧電アクチュエータ13a,13bを駆動させることにより、光偏向ミラー10がトーションバー14a,14bの軸と一致し、図中の光偏向ミラー10の中心を通るY軸線回りを往復回動する。
この結果、光偏向器4は、レーザ光を光偏向ミラー10で反射する際、光を光偏向器4の前方に出射して、さらにX軸方向とY軸方向の2方向に走査することができる。
第2支持部12の下方には、電極パッド22a〜22e(以下、電極パッド22という)と、電極パッド23a〜23e(以下、電極パッド23という)とが配設されている。電極パッド22、23は、圧電アクチュエータ21a,21b及び半環状圧電アクチュエータ13a,13bの各電極に駆動電圧を印加できるように電気的に接続されている。
なお、圧電アクチュエータ21a,21bの部分がなくても光偏向器として機能させることができる。この場合、第1支持部11の部分が支持体の役割を果たし、光偏向ミラー10がY軸線回りを往復回動する1軸型光偏向器を構成する。
次に、図5を参照して、圧電アクチュエータ21aを例に動作を説明する。上述したように、光偏向器4は、圧電アクチュエータ21a,21bを動作させることにより、光偏向ミラー10のX軸線回りの往復回動を可能としている。
図5Aは、光偏向器4を表側から見たとき、左側に配設される圧電アクチュエータ21aを切り出した図である。圧電アクチュエータ21aは、圧電カンチレバーを4つ並べた形状であり、第1支持部11から離れた方より順に、圧電カンチレバー21a(1)、21a(2)、21a(3)、21a(4)である。
例えば、圧電アクチュエータ21aにおいて、奇数番目の圧電カンチレバー21a(1)、21a(3)に第1の電圧を印加する。また、偶数番目の圧電カンチレバー21a(2)、21a(4)に、第1の電圧とは逆位相の第2の電圧を印加する。
このように電圧を印加することで、図5Bに示すように、奇数番目の圧電カンチレバー21a(1)、21a(3)を図5B中の上方向に屈曲変位させ、偶数番目の圧電カンチレバー21a(2)、21a(4)を図5B中の下方向に屈曲変位させることができる。
圧電アクチュエータ21bは、圧電アクチュエータ21aと同様に4個の圧電カンチレバーから構成され、第1支持部21に近い方より順に、1番目,2番目,3番目,4番目の圧電カンチレバーであり、奇数番目の2個の圧電カンチレバーを図5中の下方向に屈曲変位させ、偶数番目の2個の圧電カンチレバーを図5中の上方向に屈曲変位させることができる。
これにより、光偏向ミラー10の図4中の上側(トーションバー14b側)より光偏向ミラー10の図4中の下側(トーションバー14a側)が図4中の前側になる(上側が図5中のU方向に動く)ように、光偏向ミラー10を変位させることができる。
また、奇数番目の圧電カンチレバー21a(1)、21a(3)に第2の電圧を印加し、偶数番目の圧電カンチレバー21a(2)、21a(4)に、第1の電圧を印加することで、光偏向ミラー10の上側(トーションバー14a側)より光偏向ミラー10の下側(トーションバー14b側)が図4中の前側になるように、光偏向ミラー10を変位させることができる。これらの制御を連続して行うことで、光偏向ミラー10をX軸線回りに回動(揺動)させることができる。
図6に示すように、光偏向器パッケージ2を製造する場合、光偏向器ケース3の表面3eの全周に亘って、幅600μm、厚み20μm、粘度100Pa・sのフリットガラスペーストの環状シールパターンを、スクリーン印刷により形成するフリットガラスペースト形成工程を行い、その後、フリットガラスペーストに対して熱処理を施す。
熱処理としては、加熱器(図示せず)によりフリットガラスペーストを120°Cで30min加熱して乾燥させる乾燥工程を行い、乾燥工程後に、加熱器により350°Cで10min加熱してフリットガラスペーストの有機物を分解する脱バインダー工程を行い、脱バインダー工程後に、窒素雰囲気中で加熱器により500°Cで10min加熱して溶融させてフリットガラスペーストの表面を平滑にするグレーズ処理工程を行う。
図6Aに示すように、上記の3工程からなる熱処理により、光偏向器ケース3の表面3eの全周に亘って厚み5μm、幅600μmのフリットガラス8が形成される。本実施形態では、フリットガラス8の線熱膨張係数CTEが7.0ppm/K程度となるように、フリットガラスペーストの材料を選択し、熱処理を行う。この工程までが、光偏向器ケース3の製造方法である。なお、図2及び図6では、フリットガラス8の厚みを誇張して描いている。
グレーズ処理工程後のフリットガラス8は安定しているので、表面3eの全周に亘ってフリットガラス8が形成された光偏向器ケース3を、製品として流通させることができる。
次に、図6Bに示すように、ディスペンサにより熱硬化剤31(例えば、エポキシ樹脂系のダイアタッチ剤)を、光偏向器ケース3の第2凹部3cの全周に亘って塗布した後、コレットにより吸着した光偏向器4を、第2凹部3cの熱硬化剤31上の所定の位置に所定の荷重でマウントする。そして、光偏向器4が熱硬化剤31上にマウントされた光偏向器ケース3を、電気オーブン内で150°Cで60min加熱して、熱硬化剤31を硬化させる。これにより、光偏向器4が光偏向器ケース3に固定される。
図6Cに示すように、光偏向器4の固定後、200°Cに加熱されたエリアにて、接続ワイヤ7の一端を光偏向器4に接続し、接続ワイヤ7の他端を光偏向器ケース3の第1凹部3bに設けられた接続部33に接続する。接続部33は、光偏向器ケース3の内部を通る導線(図示せず)を介して、光偏向器ケース3の底面に設けられた接続部(図示せず)に接続される。接続ワイヤ7は、複数設けられている。
図6D及び図7に示すように、接続ワイヤ7の接続後、ガラスリッド5をフリットガラス8の上にマウントする。そして、ガラスリッド5に加圧機等を用いて所定の荷重(例えば、9.8N)を加えながら、レーザ照射器36を駆動し、レーザ照射器36からのレーザ光(第1レーザ光)36aを、ガラスリッド5を通してフリットガラス8に照射する。本実施形態では、レーザ照射器36は、フリットガラス8に対して均一な輝度の光が照射されるように、トップハット型のレーザ光36aを照射する。なお、図7では、接続ワイヤ7の図示を省略し、光偏向器4を簡略化して図示している。
さらに、レーザ照射器36からのレーザ光36aが、フリットガラス8の全周に亘って所定速度(例えば、20mm/sec)で照射されるように、レーザ照射器36を図7の矢印方向に1周移動させる。このとき、レーザ照射器36からのレーザ光36aがフリットガラス8のみに照射されるように移動させる。
レーザ照射器36は、フリットガラス8を溶融温度(本実施形態では、600°C)以上の温度にして溶融させるレーザ光36a(例えば、波長804nm、出力20W、ビーム径600μm)を照射する。なお、レーザ光36aのビーム径は、フリットガラス8の幅以下であればよい。
本実施形態では、フリットガラス8は、レーザ光を吸収するためのフィラーとして、CuO、Bi2O3、ZnO等の金属酸化物が添加されている。これらの金属酸化物は、近赤外線波長である波長800nm付近に吸収帯を有するので、レーザ照射器36から波長804nmのレーザ光36aが照射された場合に、レーザ光36aを効率よく吸収し、フリットガラス8の溶融温度である600°C以上の温度に瞬時に上昇する。これにより、フリットガラス8が溶融される。
レーザ光36aにより溶融されたフリットガラス8は、レーザ光36aの照射範囲から外れると冷却されて固化する。このフリットガラス8の固化により、ガラスリッド5が光偏向器ケース3に固着される(図2参照)。
本実施形態では、レーザ照射器36からのレーザ光36aをフリットガラス8のみに照射するので、余計な光が光偏向器4に入射することがなく、光偏向器4の温度上昇を10〜20°C程度に抑えることができる。また、レーザ光36aをフリットガラス8のみに照射するので、フリットガラス8から外れたレーザ光36aが光偏向器ケース3に入射することがなく、レーザ光36aによる光偏向器ケース3の熱膨張を抑制することができる。
レーザ光36aをフリットガラス8のみに照射するので、余計な光がガラスリッド5に入射することがなく、ガラスリッド5のクラックの発生を抑制することができる。これにより、例えば厚さ0.5mmのガラスリッド5を光偏向器ケース3に固着することができる。なお、本発明の方法によれば、厚さ0.7mmのガラスリッドも、光偏向器ケースに固着することができる。
また、レーザ照射器36からのレーザ光36aのビーム径を、フリットガラス8の幅と同じにしているので、容易にレーザ光36aをフリットガラス8のみに照射することができる。
本実施形態では、レーザ照射器36からトップハット型のレーザ光36aを照射してフリットガラス8を溶融させているので、中心の輝度が最も高く、中心から外側に向かうにつれて輝度が低くなるガウシアン分布となるレーザ光を照射してフリットガラス8を溶融させるものに比べて、レーザ出力を均一に照射することができる。これにより、フリットガラス8が溶融後に固化する際のガラスリッド5とフリットガラス8との剥離や、固着後のガラスリッド5のクラックの発生を抑制することができる。
さらに、光偏向器ケース3、ガラスリッド5及びフリットガラス8の線熱膨張係数CTEを同じ数値(7.0ppm/K)としているので、フリットガラス8が溶融後に固化する際の応力によって、ガラスリッド5の剥離やクラックが発生することを抑制することができる。なお、光偏向器ケース3、ガラスリッド5及びフリットガラス8の線熱膨張係数CTEを7〜10ppm/Kで同じ数値とした場合にも、同様の効果を得ることができる。
光偏向器ケース3の表面3eは、研磨により表面粗さがPV値で10μm以下となっているので、光偏向器ケース3とフリットガラス8との気密性を向上することができる。これにより、光偏向器ケース3とガラスリッド5との気密性を向上することができる。
[実験]
露点温度−40°Cの窒素が充填され、湿度をほぼゼロにした環境下で上記のようにガラスリッド5を光偏向器ケース3に固着して気密封止をし、周知のヘリウムリーク実験を行った。この実験の結果、リーク速度は、1.0×10−10Pa・m3/sであり、良好な気密性を得ることができた。なお、リーク速度は、1.5×10−10Pa・m3/s以下であれば、良好な気密性を得ることができる。
露点温度−40°Cの窒素が充填され、湿度をほぼゼロにした環境下で上記のようにガラスリッド5を光偏向器ケース3に固着して気密封止をし、周知のヘリウムリーク実験を行った。この実験の結果、リーク速度は、1.0×10−10Pa・m3/sであり、良好な気密性を得ることができた。なお、リーク速度は、1.5×10−10Pa・m3/s以下であれば、良好な気密性を得ることができる。
また、本実施形態の光偏向器パッケージ2を用いて、85°C、85%RHの環境下で光偏向器4の駆動実験を行った。比較例として、従来の樹脂により封止された光偏向器パッケージでも同様の実験を行った。
比較例では、500時間を過ぎた辺りから、光偏向器の振れ角の減少が発生し、1000時間経過後の振れ角は、実験開始時の約70%まで低下した。
これに対して、本実施形態の光偏向器パッケージ2では、1000時間経過後の振れ角は、実験開始時の97%であった。
[第2実施形態]
図8に示す実施形態では、レーザ照射器36に加えて、レーザ照射器41からのレーザ光41aをフリットガラス8に照射する。なお、上記実施形態と同様の構成部材には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図8に示す実施形態では、レーザ照射器36に加えて、レーザ照射器41からのレーザ光41aをフリットガラス8に照射する。なお、上記実施形態と同様の構成部材には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
レーザ照射器41は、レーザ照射器36の後に続けてフリットガラス8にレーザ光(第2レーザ光)41aを照射するように配置されている。なお、図8では、接続ワイヤ7の図示を省略し、光偏向器4を簡略化して図示している。
レーザ照射器41は、フリットガラス8を溶融温度(本実施形態では、600°C)未満で、例えば溶融温度より50°C〜300°C程度低い温度(例えば、400°C)とし、溶融したフリットガラス8を緩やかに固化させるレーザ光41a(例えば、波長804nm、出力15W、ビーム径600μm)を照射する。なお、本実施形態では、レーザ照射器41は、トップハット型のレーザ光41aを照射する。
レーザ光36aにより溶融されたフリットガラス8は、レーザ光36aの照射範囲から外れると冷却されて固化が開始される。この冷却及び固化が急激に行われると、固化後にフリットガラス8等にクラックが発生することがある。本実施形態では、レーザ光36aにより溶融されたフリットガラス8は、レーザ光36aの照射範囲から外れた後も、暫くの間はレーザ照射器41からのレーザ光41aの照射により400°C程度に保たれる。これにより、緩やかに冷却及び固化が行われるので、冷却及び固化が急激に行われるものに比べて、クラックの発生を抑制することができる。
本実施形態でも、ヘリウムリーク実験、及び光偏向器4の駆動実験を行ったところ、上記第1実施形態と同様の結果を得ることができた。
[第3実施形態]
図9に示す実施形態では、光偏向器パッケージ50は、立体的なガラスリッド51が光偏向器ケース3に固着されている。なお、上記実施形態と同様の構成部材には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図9に示す実施形態では、光偏向器パッケージ50は、立体的なガラスリッド51が光偏向器ケース3に固着されている。なお、上記実施形態と同様の構成部材には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
ガラスリッド51は、例えば、厚さ0.5mmで、モールド性に優れたD263(線熱膨張係数CTE:7.2ppm/K)により構成され、2つの斜面からなる立体部51aと、平面状の平面部51bとを備える。ガラスリッド51の平面部51bは、上記第1実施形態又は上記第2実施形態と同様の方法で、光偏向器ケース3に固着されている。
ガラスリッド51は、以下のように製造される。先ず、ガラス転移点557°Cのガラス板を、ガラス転移点557°C以上の600°C程度に加熱した2個の金型の間に挿入してプレス成型する。このプレス成型時には、ガラスリッド51のフリットガラス8に載せる平面部51bの平坦性が、プレス成型前のガラス板から出来るだけ変化しないように、金型形状や、金型の加熱を調整する。そして、プレス成型後のガラスリッド51の立体部51aの両面に、光学多膜層からなる反射防止膜をコーティングする。
本実施形態でも、ヘリウムリーク実験、及び光偏向器4の駆動実験を行ったところ、上記第1実施形態と同様の結果を得ることができた。
ガラスリッドを通して光偏向器にレーザ光を入射させる光偏向器パッケージでは、ガラスリッド表面で入射光が反射して迷光となることがある。この迷光対策として、ガラスリッドを光偏向器に対して傾けて配置することが考えられる。ガラスリッドを光偏向器に対して傾けるためには、ガラスリッドにスペーサを溶着し、このスペーサを光偏向器ケースにシーム溶接する必要があり、この場合、光偏向器ケースに溶接用のリングを設けたり、スペーサにも溶接するためのつばを設ける必要があり、コストアップし、サイズも大型化してしまう。
本実施形態では、ガラスリッド51は、光偏向器4に対して傾斜した立体部51aと、平面状の平面部51bとを備えているので、平面部51bにより容易に光偏向器ケース3に固着することができ、さらに、立体部51aにより迷光が光偏向器4に入射するのを防止することができる。これにより、光偏向器4を介して投影する二次元像を、迷光の入っていない綺麗な二次元像にすることができる。
2,50…光偏向器パッケージ、3…光偏向器ケース、4…光偏向器、5,51…ガラスリッド、7…接続ワイヤ、8…フリットガラス、10…光偏向ミラー、11,12…第1,第2支持部、13a,13b…半環状圧電アクチュエータ、14a、14b…トーションバー、21a,21b…圧電アクチュエータ、22a〜22e…電極パッド、23a〜23e…電極パッド、31…熱硬化剤、33…接続部、36,41…レーザ照射器、36a,41a…レーザ光
Claims (11)
- 光偏向器を揺動可能に収納するための凹部が形成された箱状の本体部を備え、前記凹部の開口を覆うように前記本体部に透明なガラスが固着されるセラミック製の光偏向器ケースであって、
前記本体部の前記ガラスが固着される固着面には、融着されることで前記ガラスを固着するためのフリットガラスが熱処理により形成されていることを特徴とする光偏向器ケース。 - 請求項1に記載の光偏向器ケースにおいて、
前記セラミックは、焼結アルミナであり、
前記固着面は、表面粗さがPV値で10μm以下であることを特徴とする光偏向器ケース。 - 光偏向器を揺動可能に収納するための凹部が形成された箱状の本体部を備え、前記凹部の開口を覆うように前記本体部に透明なガラスが固着されるセラミック製の光偏向器ケースの製造方法であって、
前記本体部の前記ガラスが固着される固着面に、溶融及び固化することで前記ガラスを固着するためのフリットガラスを熱処理により形成する熱処理工程を含むことを特徴とする光偏向器ケースの製造方法。 - 請求項3に記載の光偏向器ケースの製造方法において、
前記熱処理工程の前に、前記固着面にフリットガラスペーストを形成するフリットガラスペースト形成工程を含み、
前記熱処理工程は、
前記フリットガラスペーストを加熱して乾燥させる乾燥工程と、
前記乾燥工程後に、前記フリットガラスペーストを加熱して前記フリットガラスペーストの有機物を分解する脱バインダー工程と、
前記脱バインダー工程後に、窒素雰囲気中で前記フリットガラスペーストを加熱して溶融させることで表面を平滑にして前記フリットガラスを形成するグレーズ処理工程と、を含むことを特徴とする光偏向器ケースの製造方法。 - 光偏向器と、
前記光偏向器を揺動可能に収納するための凹部が形成された箱状の本体部を有するセラミック製の光偏向器ケースと、
前記凹部の開口を覆うように前記本体部に固着された透明なガラスと、
前記本体部の前記ガラスが固着される固着面に形成されたフリットガラスと、
を備え、
前記フリットガラスは融着されており、該融着により前記ガラスが固着されていることを特徴とする光偏向器パッケージ。 - 請求項5に記載の光偏向器パッケージにおいて、
前記光偏向器パッケージからのヘリウムリーク速度は、1.5×10−10Pa・m3/s以下であることを特徴とする光偏向器パッケージ。 - 請求項5又は6に記載の光偏向器パッケージにおいて、
前記セラミックは、焼結アルミナであり、
前記固着面は、表面粗さがPV値で10μm以下であり、
前記ガラスの線熱膨張係数は、7〜10ppm/Kであることを特徴とする光偏向器パッケージ。 - 請求項5〜7のいずれか1項に記載の光偏向器パッケージにおいて、
前記ガラスの厚みは0.5mm以上であることを特徴とする光偏向器パッケージ。 - 請求項5〜8のいずれか1項に記載の光偏向器パッケージにおいて、
前記ガラスは、少なくとも2つの斜面を有する立体部と、前記固着面に固着される平面状の平面部とを備えることを特徴とする光偏向器パッケージ。 - 光偏向器と、前記光偏向器を揺動可能に収納するための凹部が形成された箱状の本体部を有するセラミック製の光偏向器ケースと、前記凹部の開口を覆うように前記本体部に固着された透明なガラスとを備えた光偏向器パッケージの製造方法であって、
前記本体部の前記ガラスが固着される固着面に、溶融及び固化することで前記ガラスを固着するためのフリットガラスを熱処理により形成する熱処理工程と、
前記熱処理工程後に、前記光偏向器を前記光偏向器ケースに収納して固定する収納工程と、
前記収納工程後に、前記フリットガラスの幅以下の径の第1レーザ光を、前記ガラスを通して前記フリットガラスに照射して、前記フリットガラスを溶融及び固化させて前記ガラスを前記光偏向器ケースに固着する固着工程と、
を含むことを特徴とする光偏向器パッケージの製造方法。 - 請求項10に記載の光偏向器パッケージの製造方法において、
前記固着工程は、
前記フリットガラスを溶融させる前記第1レーザ光を照射する第1照射工程と、
前記第1照射工程後に、前記フリットガラスを溶融状態から緩やかに固化させる第2レーザ光を照射する第2照射工程と、
を含むことを特徴とする光偏向器パッケージの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015227882A JP2017097108A (ja) | 2015-11-20 | 2015-11-20 | 光偏向器ケース及びその製造方法、並びに光偏向器パッケージ及びその製造方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021029946A1 (en) * | 2019-08-12 | 2021-02-18 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Substrate for scanning mirror system |
JP7405693B2 (ja) | 2020-05-21 | 2023-12-26 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
-
2015
- 2015-11-20 JP JP2015227882A patent/JP2017097108A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2021029946A1 (en) * | 2019-08-12 | 2021-02-18 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Substrate for scanning mirror system |
US11175492B2 (en) | 2019-08-12 | 2021-11-16 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Substrate for scanning mirror system |
CN114270242A (zh) * | 2019-08-12 | 2022-04-01 | 微软技术许可有限责任公司 | 扫描镜系统的衬底 |
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