JP2017083259A - 光学的距離計測装置 - Google Patents
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Abstract
Description
光源から照射される照射光を変調する変調素子と、
照射光を2次元走査する2次元走査素子と、
照射光の光軸方向に対して垂直な方向を境界線として何れかの片側にずれて位置し、かつ、測定対象物を経由した照射光を受光して光電変換する受光素子と、
該受光素子で光電変換された信号及び変調素子の変調を指示する信号により測定対象物の位相情報を得ると共に、この位相情報に基づき測定対象物についての計測値を得る計測部と、を含む。
本発明においては、コヒーレントな照射光が光源から照射されると共に、変調素子がこのコヒーレントな照射光を変調するだけでなく、この照射光を2次元走査素子が2次元走査して走査ビームとして測定対象物に送る。また、照射光の光軸方向に対して垂直な方向を境界線として何れかの片側にずれて位置する1つの受光素子が、測定対象物を経由した照射光を受光して光電変換する。
さらに、本発明を透過型の顕微鏡に適用した場合、生物や細胞を生きたままかつ蛍光着色せず高い分解能で高速度に観察、計測できる。このため、細胞等を不活性化して計測する電子顕微鏡にはない大きな特徴を有することとなる。
請求項1の変調素子が光源の動作を操作して光源に加える変調信号を例えば正弦波的な単一周波数の信号とする替わりに、実質的に2つの正弦波の和で変調したことに相当するようなDSB変調による変調信号を採用することができる。この場合、これら2つの正弦波のビート信号に相当する周波数で検波すれば、上記した信号処理を同様に行うことができる。
この各受光素子29A、29B及び、レーザー光源21の動作を操作する前述のドライブ回路23は、信号比較器33にそれぞれ接続されている。これに伴って、信号比較器33が各受光素子29A、29Bからの信号及びドライブ回路23からの信号により測定対象物G1の位相情報を得ることになる。そして、この信号比較器33が、最終的にデータを処理して測定対象物G1のプロフィル等の計測値を得るデータ処理部34に繋がっている。このため、本実施例では、これら信号比較器33及びデータ処理部34が計測部とされている。
図3は、本実施例に係る透過光学系の装置を示すブロック図である。主要な光学系は前記反射光学系の装置と同じなので説明を割愛するが、この透過光学系の装置では、実施例1と比較して対物レンズ31で集光された光が測定対象物G2を透過することになる。
説明を簡単にするために、試料である測定対象物が高さhでピッチdの正弦波状の形状をしているものとすれば、光学的な位相θが以下の式で表される。
θ=2π(h/λ)sin(2πx/d−θ0)・・・・・(1)式
測定対象物から回折された光の振幅Eは、焦点距離fだけ離れた面においては、(1)式のフーリエ変換と対物レンズ31の開口とのコンボリューションとして、与えられるので、以下のように表される。ただし、(1)式の位相のフーリエ変換であるベッセル関数は±1次まで取るものとする。
I∝2M0M1cos(θ0) ・・・・・(7)式
Q∝2M0M1sin(θ0) ・・・・・(8)式
θoは0次回折光に対する1次回折光の位相差なので、θoとγよりΘoを求める。
さらに、Θo=(2π/λ)nhより、光学的距離nhを求めることができる。上記(3)式、(4)式はMo>M1とした近似であるので、厳密な考察を行うと多少複雑な式になるが、煩雑になるので割愛する。ただし、基本的には光軸Lを境界とした片側の領域の情報を取得し演算することに関しては、同様である。
走査ビームは、所定の走査速度で移動しつつ測定対象物G1、G2に照射される。これに伴い、受光素子群29で検出されて光電変換された走査ビームは、測定対象物G1、G2の空間周波数に比例した電気的な変調を受けていることになる。
この図6に示すように、本実施例においても、実施例1とほぼ同様の光学系とされている。具体的には、実施例1と同様に、レーザー光源21、コリメーターレンズ22、瞳伝達レンズ系25、2次元走査デバイス26、ビームスプリッター27等が順に配置されている。
22 コリメーターレンズ
23 ドライブ回路(変調素子)
25 瞳伝達レンズ系
26 2次元走査デバイス(2次元走査素子)
27 ビームスプリッター
28 受光素子群
28A、28B 受光素子
29 受光素子群
29A〜29D 受光素子
30 瞳伝達レンズ系
31 対物レンズ
33 信号比較器(計測部)
34 データ処理部(計測部)
43 音響光学素子(変調素子)
44 AODドライバー(変調素子)
G1、G2 測定対象物
L 光軸
S 境界線
Claims (7)
- コヒーレントな照射光を照射する光源と、
光源から照射される照射光を変調する変調素子と、
照射光を2次元走査する2次元走査素子と、
照射光の光軸方向に対して垂直な方向を境界線として何れかの片側にずれて位置し、かつ、測定対象物を経由した照射光を受光して光電変換する受光素子と、
該受光素子で光電変換された信号及び変調素子の変調を指示する信号により測定対象物の位相情報を得ると共に、この位相情報に基づき測定対象物についての計測値を得る計測部と、
を含む光学的距離計測装置。 - 前記受光素子が、境界線に対して照射光の光軸上で交差する交差境界線とこの境界線とで区画された何れかの領域内に位置する請求項1に記載の光学的距離計測装置。
- 前記変調素子が、光源の動作を操作して変調信号を加えることとし、この変調信号を単一周波数の信号またはDSB変調による信号とする請求項1又は請求項2に記載の光学的距離計測装置。
- 前記受光素子が境界線を挟んで少なくとも2つ存在し、
照射光をこれら2つの受光素子がそれぞれ受光する請求項1から請求項3の何れかに記載の光学的距離計測装置。 - 前記受光素子が、測定対象物を反射することで測定対象物を経由した照射光を受光する請求項1から請求項4の何れかに記載の光学的距離計測装置。
- 前記光源と測定対象物との間にビームスプリッターを配置し、
このビームスプリッターが測定対象物から戻ってきた照射光を反射して前記受光素子に送る請求項5に記載の光学的距離計測装置。 - 前記受光素子が、測定対象物を透過することで測定対象物を経由した照射光を受光する請求項1から請求項4の何れかに記載の光学的距離計測装置。
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---|---|---|---|---|
CN107144219A (zh) * | 2017-06-01 | 2017-09-08 | 成都茵普精密机械有限公司 | 一种共聚焦激光测量方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5371588A (en) * | 1993-11-10 | 1994-12-06 | University Of Maryland, College Park | Surface profile and material mapper using a driver to displace the sample in X-Y-Z directions |
JPH0773502A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-03-17 | Ricoh Co Ltd | 微小変位測定装置及び光ピックアップ装置 |
JPH0861920A (ja) * | 1994-08-19 | 1996-03-08 | Ricoh Co Ltd | 変位測定装置および光ピックアップ |
JP2014020784A (ja) * | 2012-07-12 | 2014-02-03 | Astro Design Inc | 電磁波計測システム |
JP2014081417A (ja) * | 2012-10-15 | 2014-05-08 | Astro Design Inc | レーザー走査顕微鏡装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0773502A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-03-17 | Ricoh Co Ltd | 微小変位測定装置及び光ピックアップ装置 |
US5371588A (en) * | 1993-11-10 | 1994-12-06 | University Of Maryland, College Park | Surface profile and material mapper using a driver to displace the sample in X-Y-Z directions |
JPH0861920A (ja) * | 1994-08-19 | 1996-03-08 | Ricoh Co Ltd | 変位測定装置および光ピックアップ |
JP2014020784A (ja) * | 2012-07-12 | 2014-02-03 | Astro Design Inc | 電磁波計測システム |
JP2014081417A (ja) * | 2012-10-15 | 2014-05-08 | Astro Design Inc | レーザー走査顕微鏡装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107144219A (zh) * | 2017-06-01 | 2017-09-08 | 成都茵普精密机械有限公司 | 一种共聚焦激光测量方法 |
CN107144219B (zh) * | 2017-06-01 | 2019-08-20 | 成都茵普精密机械有限公司 | 一种共聚焦激光测量方法 |
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