JP2017080658A - ノズル洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズルをドライ洗浄する一方で、ノズルから除去した除去物の回収を良好に行うことができ、メンテナンスも容易なノズル洗浄装置を提供する。
【解決手段】ノズル洗浄装置８は洗浄装置本体３０を含む。この洗浄装置本体３０は、第２ヘッド２１の可動範囲内に配置され、塗布ノズル２１ａが挿入される挿入孔３１を備えた中空の洗浄部３２と、挿入孔３１に挿入された塗布ノズル２１ａに対してその周囲からエアを吹き付けるエア吐出部３４と、洗浄部３２の内部に配置されて、エアの圧力により塗布ノズル２１ａから除去された除去物を受け入れるカップ３６とを備えている。洗浄部３２は、カップ３６の出し入れ口を備えた洗浄部本体４０と、出し入れ口を開閉可能な蓋部材４１とを備えている。
【選択図】図４

Description

本発明は、部品の実装に先立ち、プリント基板等の基板に接着剤やクリームはんだ等の塗布液を塗布する塗布装置に適用されるノズル洗浄装置に関するものである。

従来から、移動可能なヘッドを備え、このヘッドによりプリント基板等の基板上に、接着剤やクリームはんだ等の塗布液を塗布する塗布装置が知られている。

この種の塗布装置は、ヘッドに設けられたノズルの先端から基板上に塗布液を塗布するため、ノズル先端、特にノズルの外周面に不要な塗布液が付着していると、その後の作業に支障をもたらす虞がある。そのため、例えば特許文献１に開示されるようなノズル洗浄装置を塗布装置内に設け、所定のタイミングでノズル先端を洗浄することが行われている。

特許文献１に開示されるノズル洗浄装置は、ノズルの差し込み口を備えた中空状の洗浄部を有し、この洗浄部にノズルを差し込んだ状態で当該ノズルに洗浄液を吹き付けて付着物を除去し、その後、ノズルにエアを吹き付けて液滴を除去、乾燥させるものである。なお、ノズル洗浄に用いられた洗浄液や除去物（付着物）は、洗浄部に設けられた排出部（ドレン）からドレイホースを通じて回収タンクに回収される。

特開平５−３０９３０９号公報

しかし、精密機器を取り扱うこの種の技術分野では、液漏れ等のトラブル回避の観点から、洗浄液を用いてノズルを洗浄するウエット洗浄に否定的なユーザも少なくない。

そこで、洗浄液を用いることなく、ノズルに高圧エアを吹き付けて付着物を除去するドライ洗浄が考えられるが、この場合には、除去物が洗浄装置の内部に付着し易くなる。そのため、例えば特許文献１に記載されるように、洗浄部に設けられた排出部からドレイホースを通じて回収タンクに除去物を回収する構造では、除去物が排出部やドレンホース内に残り、除去物の回収や廃棄が困難になるばかりでなく、ノズル洗浄装置のメンテナンスにも手間が掛かることとなる。

本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、ノズルをドライ洗浄する一方で、ノズルから除去した除去物の回収を良好に行うことができ、メンテナンスも容易なノズル洗浄装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明は、先端にノズルを具備した移動可能なヘッドを備え、所定の塗布液を前記ノズルから基板上に塗布する塗布装置に搭載されて、前記ノズルを洗浄するノズル洗浄装置であって、前記ヘッドの可動範囲内に配置され、前記ノズルが挿入される挿入孔を備えた中空の洗浄部と、前記挿入孔に挿入された前記ノズルに対してその周囲からエアを吹き付けるエア吐出部と、前記洗浄部の内部に配置されて、前記ノズルから除去された除去物を受け入れるカップとを備え、前記洗浄部は、前記カップの出し入れ口を備えた洗浄部本体と、前記出し入れ口を開閉可能な蓋部材とを備えているものである。

この洗浄装置では、挿入孔に挿入されたノズルにエアが吹き付けることにより付着物が除去され、その除去物がカップ内に回収される。そのため、除去物が洗浄部内の各所に付着することが抑制される。しかも、蓋部材を洗浄部本体から取り外し、カップを洗浄又は交換すれば、回収した除去物を容易に廃棄することができる。そのため、ノズルをドライ洗浄する一方で、除去物の回収を良好に行うことができ、また、メンテナンスも容易に行うことが可能となる。

この洗浄装置において、前記洗浄部は、その内部に、前記除去物を前記カップの内部に導くスリーブ部を備えているのが好適である。

この構成によれば、除去物がカップ内に円滑に導かれるので、カップ内への除去物の回収をより確実に行うことが可能となる。

この場合、例えば、前記洗浄部本体は、前記カップの配置空間を内部に備えた上下方向に延びる筒状を成し、前記蓋部材は、前記挿入孔および前記エア吐出部を含み、かつ前記洗浄部本体の前記出し入れ口を開閉する蓋本体部と、この蓋本体部の下面から下向きに延びて前記カップの内側に至る前記スリーブ部とを含む構成とすることができる。

この構成によれば、簡素な構造で、ノズルから付着物を除去しつつ、当該除去物をカップ内に導いて回収することが可能となる。

また、上記の洗浄装置において、前記洗浄部は、前記カップを位置決めした状態で保持するカップホルダを備えているのが好適である。

この構成によれば、カップの位置ずれに起因して除去物がカップから漏れて、洗浄部内の各所に付着することを抑制することが可能となる。

なお、上記の洗浄装置においては、前記洗浄部を備える洗浄装置本体と、前記洗浄装置本体に洗浄用のエアを供給するエア供給装置と、前記塗布装置および前記エア供給装置を制御し、前記ノズルを前記挿入孔に挿入して前記エア吐出部からエアを吐出させることにより所定のノズル洗浄動作を実行する制御装置とを備え、前記制御装置は、所定の入力操作により前記ノズル洗浄動作を実行するタイミングを設定することが可能なタイミング設定部と、前記タイミング設定部を介して設定された洗浄タイミングを記憶する記憶部と、この記憶部に記憶された洗浄タイミングに基づき前記ノズル洗浄動作を実行する実行部とを含むものであるのが好適である。

この洗浄装置によれば、ノズル洗浄を自動化するとともに、適切なタイミングでノズル洗浄を行うことが可能となる。

なお、この場合、前記洗浄装置本体の前記蓋部材は、前記挿入孔と当該挿入孔を認識するためのマークとを備え、前記塗布装置は、前記ヘッドと共に移動して前記マークを撮像する撮像装置を備え、前記実行部は、前記ノズル洗浄動作に先立ち、前記撮像装置により前記マークを撮像してその画像の位置に基づき前記挿入孔の位置を求め、当該挿入孔の位置を前記記憶部に記憶する挿入孔検知動作を実行し、前記ノズル洗浄動作では、前記記憶部に記憶された挿入孔の位置に基づき前記塗布装置を制御するものであるのが好適である。

つまり、蓋部材に挿入孔が設けられている場合には、メンテナンス（カップ交換）時に洗浄部本体に対して蓋部材が脱着されると、挿入孔の位置がずれて、その後のノズル洗浄動作においてノズルが蓋部材に衝突することが考えられる。しかし、上記構成によれば、ノズル洗浄動作に先立ち、マークの画像認識に基づき挿入孔の位置が検知され、この挿入孔の位置に基づきノズル洗浄動作が実行されるため、上記のような不都合を未然に回避することが可能となる。

以上説明したように、本発明の洗浄装置によれば、ノズルをドライ洗浄する一方で、ノズルから除去した除去物の回収を良好に行うことができ、メンテナンスも容易なものとなる。

本発明のノズル洗浄装置が適用された部品実装装置（塗布装置兼部品実装装置）の平面図である。 部品実装装置の正面図である。 洗浄装置本体（ノズル塗布装置）を示す斜視図である。 洗浄装置本体の断面図（蓋部材を装着した状態）である。 洗浄装置本体の断面図（蓋部材およびカップを取り外した状態）である。 ノズル洗浄前の洗浄装置本体の要部断面図である。 ノズル洗浄時の洗浄装置本体の要部断面図である。

以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の一形態について詳述する。

［部品実装装置の全体構成］
図１及び図２は、本発明に係るノズル洗浄装置が適用される部品実装装置を示しており、図１は平面図で、図２は正面図で、それぞれ部品実装装置１を示している。なお、図面中には、各図の方向関係を明確にするために、ＸＹＺ直角座標軸を示している。Ｘ方向は水平面と平行な方向であり、Ｙ方向は水平面上でＸ方向と直交する方向であり、Ｚ方向はＸ、Ｙ両方向に直交する方向である。なお、Ｚ方向は、適宜上下方向ともいう。

部品実装装置１は、プリント配線板等の基板Ｐに部品を実装する部品実装機能と、この部品実装に先立ち、必要な場合にクリームはんだや接着剤等の塗布液を基板Ｐに塗布する機能とを兼ね備えた部品実装装置（塗布装置兼部品実装装置）である。

部品実装装置１は、基台２と、この基台２上で基板Ｐを搬送する基板搬送機構３と、部品供給部５と、ヘッドユニット６と、このヘッドユニット６を駆動するヘッドユニット駆動機構と、部品認識カメラ７と、後述する塗布ノズル２１ａを洗浄するためのノズル洗浄装置８とを備えている。

基板搬送機構３は、基板ＰをＸ方向に搬送する一対のベルトコンベア４を備えており、図１の右側（Ｘ１方向側）から基板Ｐを受け入れて所定の実装作業位置（同図に示す位置）に搬送し、実装作業後、この基板Ｐを同図の左側（Ｘ２方向側）に搬出する。

部品供給部５は、基板搬送機構３の両側（Ｙ方向の両側）に配置されている。各部品供給部５には、ベルトコンベア４に沿って複数のテープフィーダ５ａが配置されている。各テープフィーダ５ａは、テープを担体（キャリア）として、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサ等の小片状の電子部品（チップ部品）を供給するものである。

前記ヘッドユニット６は、各部品供給部５から部品を取り出して基板Ｐ上に実装するととともに、部品の実装に先立ち、必要に応じて基板Ｐ上に塗布液を塗布するものである。このヘッドユニット６は、ヘッドユニット駆動機構により一定の領域内でＸ方向およびＹ方向に移動可能に設けられている。具体的には、ヘッドユニット駆動機構は、高架のフレーム上に各々固定されてＹ方向に延びる一対の固定レール１０と、これら固定レール１０に移動可能に支持されたＸ方向に延びるユニット支持部材１１と、このユニット支持部材１１に螺合挿入されてＹ軸サーボモータ１３により駆動されるボールねじ軸１２とを含む。また、ヘッドユニット駆動機構は、ユニット支持部材１１に固定され、ヘッドユニット６をＸ方向に移動可能に支持する固定レール１４と、ヘッドユニット６に螺合挿入されてＸ軸サーボモータ１６を駆動源として駆動されるボールねじ軸１５とを含む。つまり、ヘッドユニット駆動機構は、Ｘ軸サーボモータ１６によりボールねじ軸１５を介してヘッドユニット６をＸ方向に駆動し、また、Ｙ軸サーボモータ１３によりボールねじ軸１２を介してユニット支持部材１１をＹ方向に駆動する。その結果、ヘッドユニット６が一定の領域内でＸ方向およびＹ方向に移動する。

ヘッドユニット６は、複数のヘッド２０、２１と、これらヘッド２０、２１を駆動するヘッド駆動機構とを備えている。当例では、ヘッドユニット６は、部品実装用の２つのヘッド２０（第１ヘッド２０と称す）と塗布液塗布用の２つのヘッド２１（第２ヘッド２１と称す）の合計４本のヘッド２０、２１を備えている。これらヘッド２０、２１はＸ方向に一列に配列されている。

ヘッド駆動機構は、各ヘッド２０、２１にそれぞれ対応して設けられたＺ軸サーボモータ（図示省略）により各ヘッド２０、２１を個別に昇降（Ｚ方向に移動）させる昇降駆動機構と、各ヘッド２０、２１に共通する一つのＲ軸サーボモータ（図示省略）により各ヘッド２０、２１を同期してヘッド中心軸回り（Ｒ方向）に回転させる回転駆動機構とを含む。

部品吸着用の第１ヘッド２０の先端には、吸着ノズル２０ａが備えられている。各吸着ノズル２０ａは、切替弁を介して負圧発生装置および正圧発生装置にそれぞれ連通可能とされている。つまり、吸着ノズル２０ａに負圧が供給されることで、当該吸着ノズル２０ａにより部品が吸着、保持され、その後、正圧が供給されることで、吸着ノズル２０ａによる部品の吸着が解除される。

塗布液塗布用の第２ヘッド２１の先端には、塗布ノズル２１ａが備えられている。各塗布ノズル２１ａは、ヘッドユニット６の図外のフレームに支持されたシリンジ２２に連通しており、例えば当該シリンジ内への正圧（エア圧）の導入に伴い、ノズル先端にシリンジ内の塗布液が押し出されるようになっている。なお、シリンジ２２からノズル先端に塗布液を押し出す構成は、正圧をシリンジ２２内に導入する機構以外のものであってもよい。

ヘッドユニット６は、さらに基板認識カメラ２４を備えている。基板認識カメラ２４は、基板Ｐの識別のために、当該基板Ｐに記された各種マークを撮像するとともに、後記洗浄装置本体３０のマーク４７ｂを撮像するものである。なお、当例では、この基板認識カメラ２４が本発明の撮像装置に相当する。

前記部品認識カメラ７は、各ヘッド２０により部品供給部５から取り出された部品の吸着状態を認識するために、当該部品を下側から撮像するものである。部品認識カメラ７は、基台２上の各部品供給部５と基板搬送機構３との間の位置にそれぞれ配設されている。

前記ノズル洗浄装置８は、塗布ノズル２１ａを洗浄するものであり、洗浄装置本体３０と、この洗浄装置本体３０に洗浄用のエアを供給するエア供給装置５８と、洗浄装置本体３０により塗布ノズル２１ａを洗浄するために上記ヘッドユニット６やエア供給装置５８等の動作を制御する制御装置９とを含む。この制御装置９は、上記のような塗布ノズル２１ａの洗浄動作を含め、部品実装装置１の動作を統括的に制御するものであって、周知のマイクロコンピュータをベースとして構成されており、プログラムを実行する中央演算処理装置（ＣＰＵ）と、例えばＲＡＭやＲＯＭにより構成されたメモリと、電気信号の入出力を行う入出力（Ｉ／Ｏ）バスと、当該入出力バスを介して接続された入出力装置などの機器とを含む。

［ノズル洗浄装置の構成］
前記ノズル洗浄装置８は、上記の通り、洗浄装置本体３０、エア供給装置５８および制御装置９を含む。

図３は、洗浄装置本体３０の斜視図であり、図４は、洗浄装置本体３０の断面図である。これらの図に示すように、洗浄装置本体３０は、塗布ノズル２１ａが挿入される挿入孔３１を上部に備えた洗浄部３２と、前記挿入孔３１に挿入された塗布ノズル２１ａに対してその周囲からエアを吹き付けるエア吐出部３４と、エアの圧力により塗布ノズル２１ａから除去された除去物を受け入れるカップ３６とを備えている。

洗浄部３２は、カップ３６の配置空間を内部に備えた上下方向に延びる筒状の洗浄部本体４０と、カップ３６の出し入れ口である洗浄部本体４０の上端開口部４０ａを開閉する蓋部材４１と、洗浄部本体４０の内部に配置されて前記カップ３６を支持するカップホルダ４２とを含む。

洗浄部本体４０は、上記基台２上にボルトナットで固定されている。洗浄部本体４０の外側面には複数のサイレンサ４４が固定されている。洗浄部本体４０は、これらサイレンサ４４を介して内外が連通しており、塗布ノズル２１ａの洗浄時には、エア吐出部３４から吐出されるエアがこれらサイレンサ４４を介して外部に排気されるようになっている。

前記蓋部材４１は、洗浄部本体４０の前記上端開口部４０ａに嵌合する蓋本体部４５と、この蓋本体部４５の下面中心部から下向きに延びるスリーブ部４６と、これらの中心、つまり蓋部材４１の中心を上下方向に貫通する貫通孔４８とを備えている。

蓋本体部４５は、その上部に上向きに延びる円筒部４５ａと、この円筒部４５ａの上面に固定されて、中心に上記挿入孔３１が形成されたエンドプレート４７とを備えている。

エンドプレート４７の上部には、挿入孔３１に塗布ノズル２１ａが挿入されたときに前記第２ヘッド２１とエンドプレート４７との間をシールするためのＯリング４７ａが固定されるとともに、挿入孔３１を検知するための一対のマーク４７ｂが設けられている。これらマーク４７ｂは、挿入孔３１を挟んでその両側にそれぞれ設けられている。

そして、上記貫通孔４８の内周面のうち、エンドプレート４７の直下位置に前記エア吐出部３４が設けられている。詳しくは、前記貫通孔４８のうち、その上端部、具体的には上記円筒部４５ａに対応する部分の内周面は下側から上側に向かって先窄まりのテーパ状（テーパ面４８ａとう）とされ、このテーパ面４８ａにおける周方向の複数の位置にエア吐出孔５０が形成されており、これらエア吐出孔５０により上記エア吐出部３４が構成されている。なお、各エア吐出孔５０は、上記挿入孔３１に挿入された塗布ノズル２１ａに対して、その上方（後方）から下方（先端）に向かって斜め方向にエアを吹き付けるように、挿入孔３１に挿入された塗布ノズル２１ａの軸方向（Ｚ方向）に対して所定の傾き角度で形成されている。

各エア吐出孔５０は、それぞれ、テーパ面４８ａを包囲するように円筒部４５ａの内部に形成された円環状通路５２、この円環状通路５２に通じるように円筒部４５ａの側面に設けられたポート部５４、およびこのポート部５４に接続された配管５６を通じてエア供給装置５８に繋がっている。エア供給装置５８は、概略的には、高圧エアの発生源であるコンプレッサ６０と、このコンプレッサ６０からの高圧エアの供給量を制御するための流量調整弁６２と、図外のエアフィルタ等とを含む。この構成により、エア供給装置５８から供給される高圧エアが、配管５６、ポート部５４および円環状通路５２を通じて各エア吐出孔５０（エア吐出部３４）から吐出されるようになっている。

洗浄部本体４０および蓋部材４１の側面には、蓋部材４１を洗浄部本体４０に固定するためのロック装置６４が設けられている。このロック装置６４は、例えば洗浄部３２における径方向両側にそれぞれ設けられている。

ロック装置６４は、蓋部材４１の側面、詳しくは蓋本体部４５の側面に固定されるフック６５と、このフック６５に対する係合部６６ａを備えたレバー部材６６とを備えており、図４に示すように、係合部６６ａをフック６５に係合させ、洗浄部本体４０の外側面に沿うようにレバー部材６６を傾倒することで蓋部材４１を洗浄部本体４０に固定（係止）することができる一方、図５に示すように、レバー部材６６を洗浄部本体４０の外側面から引き起こすように操作することで、洗浄部本体４０に対する蓋部材４１の固定（係止）状態を解除して、蓋部材４１の取り外しが可能となるように構成されている。

前記カップホルダ４２は、基台２に立設された複数本の支柱６８と、これら支柱６８に固定されてカップ３６の下面を支持する円盤状の支持プレート７０と、この支持プレート７０よりも上側の位置で各支柱６８に固定されて、カップ３６を位置決めする円環状の位置決めプレート７２とを有する。カップ３６は、図４に示すように、位置決めプレート７２の内側に挿入された状態で支持プレート７０上に支持され、位置決めプレート７２の内周面７２ａによって洗浄部３２の中心に位置決めされている。

なお、蓋部材４１の上記スリーブ部４６は、このようにカップホルダ４２により支持されたカップ３６の内側に挿入され、その先端（下端）がカップ３６の内底面近傍の位置に至るように形成されている。換言すれば、スリーブ部４６の先端がカップ３６の内底面近傍の位置に至るように、カップホルダ４２（支持プレート７０）によるカップ３６の支持高さが設定されている。

前記制御装置９は、本発明に特に関連する機能構成として、駆動制御部９１、記憶部９２、孔検知部９３および入出力部９４を含んでいる。

記憶部９２は、上記メモリやハードディスクで構成されており、部品実装装置１の動作を制御するために要する各種プログラムやデータが記憶されている。すなわち、第１ヘッド２０による部品実装動作、第２ヘッド２１による塗布液塗布動作、塗布ノズル２１ａの洗浄動作（ノズル洗浄動作）および挿入孔３１の位置を検知するための挿入孔検知動作を実行するために必要なプログラムやデータが当該記憶部９２に記憶されている。なお、挿入孔検知動作とは、洗浄装置本体３０のメンテナンス後、最初のノズル洗浄動作に先立ち実行される動作であり、洗浄装置本体３０の上記エンドプレート４７に記されたマーク４７ｂを上記基板認識カメラ２４により撮像する動作である。

駆動制御部９１は、上記各動作を実行するために、記憶部９２に記憶されているプログラムおよびデータに基づきＸ軸サーボモータ１３およびＹ軸サーボモータ１６を介してヘッドユニット６の移動を制御するとともに、Ｚ軸サーボモータおよびＲ軸サーボモータを介して各ヘッド２０、２１の昇降や回転を制御する。また、駆動制御部９１は、上記エア供給装置５８（流量調整弁６２）を制御することにより、洗浄装置本体３０に対するエアの供給を制御する。

孔検知部９３は、挿入孔検知動作において基板認識カメラ２４が撮像したマーク４７ｂの画像に基づき挿入孔３１の位置を検出し、その位置データを上記記憶部９２に更新的に記憶するものである。なお、当例では、この孔検知部９３と前記駆動制御部９１とにより本発明の実行部が構成されている。

入出力部９４は、例えばタッチパネル等の入出力装置により構成されており、部品実装装置１の作動状況や各種情報を表示（出力）するとともに、オペレータによる情報入力を受け付けるものである。当例では、塗布ノズル２１ａの洗浄タイミングをオペレータから受け付ける。洗浄タイミングは、例えば、手動と自動の選択が可能とされ、さらに自動の場合には、経過時間、生産時間、塗布時間、塗布回数及び基板Ｐの生産枚数などの複数の項目の中から一乃至複数の項目を選択して任意の数値設定を行うことが可能となっている。入出力部９４の操作により選定された洗浄タイミングは、洗浄タイミングデータとして上記記憶部９２に記憶される。なお、当例では、この入出力部９４が本発明のタイミング設定部に相当する。

［部品実装装置の動作と作用効果］
上記制御装置９の制御に基づく部品実装装置１の動作について説明する。ここでは、本発明との関係上、塗布液の塗布動作、ノズル洗浄動作および挿入孔検知動作について説明する。

部品実装装置１では、第１ヘッド２０による部品実装動作に先立ち、必要に応じて第２ヘッド２１による塗布液塗布動作が実行される。例えば接着剤で固定する部品については、当該部品の実装に先立ち、実装ポイントに接着剤（塗布液）が塗布される。

具体的に説明すると、ヘッドユニット６が基板Ｐの上方に移動することにより第２ヘッド２１が実装ポイント上に配置され、第２ヘッド２１の下降に伴い、塗布ノズル２１ａの先端が基板Ｐに近接するタイミングで当該塗布ノズル２１ａの先端から基板Ｐ上に塗布液が押し出される。その後、第２ヘッド２１が上昇し、その結果、実装ポイントに塗布液が塗布される。なお、第２ヘッド２１の上昇の際には、塗布液の液切りが良好に行われるように塗布液の種類や塗布量に応じて予め設定された制御値に基づき第２ヘッド２１の上昇速度や上昇ストロークが制御される。

部品実装装置１において、上記記憶部９２に記憶されている洗浄タイミングになるとノズル洗浄動作が実行される。具体的には、次のような動作が実行される。

まず、ヘッドユニット６が洗浄装置本体３０の上方に移動し、第２ヘッド２１の下降に伴い、図７に示すように、塗布ノズル２１ａが挿入孔３１から洗浄装置本体３０に挿入される。この際、記憶部９２に記憶されている挿入孔３１の位置データに基づきヘッドユニット６が制御されることにより、挿入孔３１に対して塗布ノズル２１ａが位置決めされる。

洗浄装置本体３０に塗布ノズル２１ａが挿入されると、エア吐出部３４からエアが吐出されて塗布ノズル２１ａに吹き付けられ、当該塗布ノズル２１ａに付着した付着物、つまり、塗布ノズル２１ａの外周面に付着した塗布液が除去される。除去された付着物（除去物）はカップ３６に回収される。この際、除去物は、エア吐出部３４から吐出されるエアの圧力を背圧として受けつつ上記スリーブ部４６に沿ってスムーズにカップ３６内に案内されて回収される。なお、エア吐出部３４からのエアの吐出時間は予め記憶部９２に吐出時間データとして記憶されており、この吐出時間データに基づき制御される。

エア吐出部３４からのエアの吐出が停止されると、第２ヘッド２１が上昇し、これにより一連のノズル洗浄動作が終了する。

なお、この部品実装装置１では、上記記憶部９２に記憶されているメンテナンス時期になると、上記入出力部９４を介して洗浄装置本体３０がメンテナンス時期であることが報知される。上記カップ３６に溜まった除去物は、このメンテナンスの際にオペレータによって廃棄される。この場合の具体的な作業内容は次の通りである。

まず、ロック装置６４のレバー部材６６を操作し、蓋部材４１の固定（係止）状態を解除して、蓋部材４１を洗浄部本体４０から取り外す。これにより、洗浄部本体４０の上端開口部４０ａを開放してカップ３６を交換する。この際、カップ３６を位置決めプレート７２から抜き取り、次のカップ３６を位置決めプレート７２の内側に挿入することで、カップ３６を洗浄部３２の中心に難なく位置決めすることができる。

その後、蓋部材４１を元に戻し、レバー部材６６の操作により、ロック装置６４によって蓋部材４１を洗浄部本体４０に係止する。これによりメンテナンス作業が完了する。

このメンテナンス作業では、上記の通り、洗浄部本体４０から蓋部材４１を一端取り外すため、メンテナンス後の挿入孔３１の位置が、記憶部９２に記憶されている位置データによる挿入孔３１の位置からずれてしまう場合がある。そのため、上記部品実装装置１では、メンテナンス作業後、最初のノズル洗浄動作に先立ち、挿入孔３１の位置を検知するための上記挿入孔検知動作が実行される。この挿入孔検知動作は次の通りである。

まず、ヘッドユニット６が洗浄装置本体３０の上方に移動し、基板認識カメラ２４により蓋部材４１（エンドプレート４７）に記されたマーク４７ｂが撮像される。そして、上記孔検知部９３において当該画像データ中のマーク４７ｂの位置が認識され、この認識位置と既知のデータ、すなわちマーク４７ｂと挿入孔３１との相対位置データとに基づき挿入孔３１の位置が求められ、この位置データが更新的に記憶部９２に記憶される。これにより、メンテナンス作業後の最初のノズル洗浄動作の際には、記憶部９２に記憶されている挿入孔３１の最新の位置データに基づきヘッドユニット６が制御されることとなる。

なお、このような挿入孔検知動作は、例えば洗浄装置本体３０のメンテナンス時期であることが上記入出力部９４を介してオペレータに報知されたときに、オペレータが入出力部９４を介して当該情報表示を解除するための操作を行うことで、当該操作をフラグとしてメンテナンス後の最初のノズル洗浄動作の際に実行される。

以上説明した通り、上記洗浄装置本体３０（ノズル洗浄装置８）によれば、塗布ノズル２１ａにエアを吹き付けて付着物を除去し、この除去物をカップ３６に回収するので、除去物が洗浄部３２の各部に付着することが抑制される。しかも、蓋部材４１を洗浄部本体４０から取り外し、カップ３６を交換することで、回収した除去物を容易に廃棄することができる。そのため、この洗浄装置本体３０によれば、塗布ノズル２１ａをドライ洗浄する一方で、塗布ノズル２１ａから除去した除去物の回収を良好に行うことができ、また、メンテナンスも容易に行うことができる。

特に、上記洗浄装置本体３０によれば、洗浄部３２に、塗布ノズル２１ａからの除去物をカップ３６の内側に導くスリーブ部４６が設けられているので、カップ３６の周囲に除去物が飛散することが抑制される。そのため、カップ３６内への除去物の回収をより確実に行うことができる。なお、塗布ノズル２１ａからの除去物は、エア吐出部３４から吐出されるエアを背圧としてスリーブ部４６に沿ってカップ３６内に案内されるため、除去物がスリーブ部４６の内壁面に付着することは比較的少ない。

また、上記洗浄装置本体３０によれば、カップ３６を位置決めした状態で保持するカップホルダ４２が設けられているので、カップ３６が洗浄部３２の中心から大きくずれることに起因して、除去物がカップ３６の周辺に飛散することが抑制されるという利点もある。

また、上記ノズル洗浄装置８によれば、洗浄装置本体３０のメンテナンスが行われた場合には、その後の最初のノズル洗浄動作に先立ち、挿入孔３１の位置を求めるための挿入孔検知動作が実行され、この挿入孔検知動作により検知された挿入孔３１の位置に基づき、その後のノズル洗浄動作が実行される。そのため、メンテナンス時の蓋部材４１の脱着に伴う挿入孔３１のずれに起因したトラブル、すなわち、塗布ノズル２１ａが蓋部材４１（エンドプレート４７）に衝突するといったトラブルを未然に回避できるという利点もある。

なお、上述したノズル洗浄装置８は、本発明に係るノズル洗浄装置の好ましい実施形態の例示であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

１ 部品実装装置（塗布装置）
８ ノズル洗浄装置
９ 制御装置
２０ 第１ヘッド
２１ 第２ヘッド
２０ａ 吸着ノズル
２１ａ 塗布ノズル
２４ 基板認識カメラ（撮像装置）
３０ 洗浄装置本体
３２ 洗浄部
３１ 挿入孔
３４ エア吐出部
３６ カップ
４０ 洗浄部本体
４０ａ 上端開口部（出し入れ口）
４１ 蓋部材
４２ カップホルダ
４５ 蓋本体部
４６ スリーブ部
４７ｂ マーク
５８ エア供給装置
９１ 駆動制御部（実行部）
９２ 記憶部
９３ 孔検知部（実行部）
９４ 入出力部（タイミング設定部）

Claims (6)

1. 先端にノズルを具備した移動可能なヘッドを備え、所定の塗布液を前記ノズルから基板上に塗布する塗布装置に搭載されて、前記ノズルを洗浄するノズル洗浄装置であって、
   前記ヘッドの可動範囲内に配置され、前記ノズルが挿入される挿入孔を備えた中空の洗浄部と、前記挿入孔に挿入された前記ノズルに対してその周囲からエアを吹き付けるエア吐出部と、前記洗浄部の内部に配置されて、前記ノズルから除去された除去物を受け入れるカップと、を備え、
   前記洗浄部は、前記カップの出し入れ口を備えた洗浄部本体と、前記出し入れ口を開閉可能な蓋部材とを備えている、ことを特徴とするノズル洗浄装置。
2. 請求項１に記載のノズル洗浄装置において、
   前記洗浄部は、その内部に、前記除去物を前記カップの内部に導くスリーブ部を備えている、ことを特徴とするノズル洗浄装置。
3. 請求項２に記載のノズル洗浄装置において、
   前記洗浄部本体は、前記カップの配置空間を内部に備えた上下方向に延びる筒状を成し、
   前記蓋部材は、前記挿入孔および前記エア吐出部を含み、かつ前記洗浄部本体の前記出し入れ口を開閉する蓋本体部と、この蓋本体部の下面から下向きに延びて前記カップの内側に至る前記スリーブ部とを含む、ことを特徴とするノズル洗浄装置。
4. 請求項１乃至３に記載のノズル洗浄装置において、
   前記洗浄部は、前記カップを位置決めした状態で保持するカップホルダを備えている、ことを特徴とするノズル洗浄装置。
5. 請求項１乃至４の何れか一項に記載のノズル洗浄装置において、
   前記洗浄部を備える洗浄装置本体と、
   前記洗浄装置本体に洗浄用のエアを供給するエア供給装置と、
   前記塗布装置および前記エア供給装置を制御し、前記ノズルを前記挿入孔に挿入して前記エア吐出部からエアを吐出させることにより所定のノズル洗浄動作を実行する制御装置とを備え、
   前記制御装置は、所定の入力操作により前記ノズル洗浄動作を実行するタイミングを設定することが可能なタイミング設定部と、前記タイミング設定部を介して設定された洗浄タイミングを記憶する記憶部と、この記憶部に記憶された洗浄タイミングに基づき前記ノズル洗浄動作を実行する実行部とを含む、ことを特徴とするノズル洗浄装置。
6. 請求項５に記載のノズル洗浄装置において、
   前記洗浄装置本体の前記蓋部材は、前記挿入孔と当該挿入孔を認識するためのマークとを備え、
   前記塗布装置は、前記ヘッドと共に移動して前記マークを撮像する撮像装置を備え、
   前記実行部は、前記ノズル洗浄動作に先立ち、前記撮像装置により前記マークを撮像してその画像の位置に基づき前記挿入孔の位置を求め、当該挿入孔の位置を前記記憶部に記憶する挿入孔検知動作を実行し、前記ノズル洗浄動作では、前記記憶部に記憶された挿入孔の位置に基づき前記塗布装置を制御する、ことを特徴とするノズル洗浄装置。

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