JP2017078676A - 温度測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上記課題を解決するための手段として、光源と、半導体を配置するための半導体配置部と、配置される半導体の前記光源と反対側に前記光源からの直接光を遮断した位置に配置される光強度測定部と、からなり、光強度測定部は、異なる三以上の波長の光強度を測定するために、第一波長光強度測定手段、第二波長光強度測定手段、第三波長光強度測定手段を有し、これらの測定手段によって測定された各波長の光の強度を変数として代入する所定の演算式の値に基づいて前記半導体の温度測定を透過光として行うか、放射光として行うか判断する判断部を有する温度測定装置を提供する。
【選択図】図1
Description
<実施形態>
<概要>
<構成>
<実施形態 効果>
0102 光源
0103 シリコンウェハ
0104 サセプター
0105 受光窓
0106 光強度測定部
0107 AD変換器
0108 計算機
Claims (6)
- 光源と、
半導体を配置するための半導体配置部と、
配置される半導体の前記光源と反対側に前記光源からの直接光を遮断した位置に配置される光強度測定部と、からなり、
光強度測定部は、異なる三以上の波長の光強度を測定するために、
第一波長光強度測定手段
第二波長光強度測定手段、
第三波長光強度測定手段を有し、
これらの測定手段によって測定された各波長の光の強度を変数として代入する所定の演算式の値に基づいて前記半導体の温度測定を透過光として行うか、放射光として行うか判断する判断部を有する温度測定装置。 - 判断部での判断結果が透過光として温度測定を行うとの判断結果である場合には第一波長、第二波長、第三波長の中の波長が長い二つの波長を用いて温度測定を行うべく前記光強度測定手段を用い、
判断部での判断結果が放射光として温度測定を行うとの判断結果である場合には前記二つの波長以外の波長を用いて温度測定を行うべく前記光強度測定手段を用いるように制御する制御部をさらに有する請求項1に記載の温度測定装置。 - 光強度測定部は、さらに透過光測定に利用した波長よりも短い波長の光の強度を測定する第四波長光強度測定手段を有し、
第四光強度測定手段は、放射光の温度測定を行うべく前記制御部によって制御して用いられる請求項2に記載の温度測定装置。 - 光強度測定部は、さらに放射光測定に利用した波長よりも長い波長の光の強度を測定する第五波長光強度測定手段を有し、
第五光強度測定手段は、透過光の温度測定を行うべく前記制御部によって制御して用いられる請求項2又は3に記載の温度測定装置。 - 光源と、半導体を配置するための半導体配置部と、を有する温度測定装置の動作方法であって、
配置される半導体の前記光源と反対側に前記光源からの直接光を遮断した位置に配置される第一波長光強度測定手段、第二波長光強度測定手段及び第三波長光強度測定手段により、異なる三以上の波長の光強度を測定する光強度測定ステップと、
これらの測定手段によって測定された各波長の光の強度を変数として代入する所定の演算式の値と、所定の閾値との関係で前記半導体の温度測定を透過光として行うか、放射光として行うか判断する判断ステップと、有する温度測定装置の動作方法。 - 光源と、半導体を配置するための半導体配置部と、を有する温度測定装置を動作させるプログラムであって、
配置される半導体の前記光源と反対側に前記光源からの直接光を遮断した位置に配置される第一波長光強度測定手段、第二波長光強度測定手段及び第三波長光強度測定手段により、異なる三以上の波長の光強度を測定する光強度測定ステップと、
これらの測定手段によって測定された各波長の光の強度を変数として代入する所定の演算式の値と、所定の閾値との関係で前記半導体の温度測定を透過光として行うか、放射光として行うか判断する判断ステップと、を計算機に実行させるプログラム。
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- 2015-10-22 JP JP2015207731A patent/JP6546064B2/ja active Active
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