JP2017063131A5 - - Google Patents
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Description
請求項１ないし４、並びに、請求項６ないし８の発明では、導体膜のパターンの下面を基準とする設計データの補正を容易に行うことができる。請求項５の発明では、導体膜のパターンの下面を基準とする検査を容易に行うことができる。
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