JP2017060362A - リニアモータ - Google Patents
リニアモータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017060362A JP2017060362A JP2015185560A JP2015185560A JP2017060362A JP 2017060362 A JP2017060362 A JP 2017060362A JP 2015185560 A JP2015185560 A JP 2015185560A JP 2015185560 A JP2015185560 A JP 2015185560A JP 2017060362 A JP2017060362 A JP 2017060362A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- coils
- axial direction
- linear motor
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
【課題】コイルボビンなどに各コイルを支持させることなく、複数のコイルを軸線方向に配列した状態で固定できるリニアモータを提供すること。
【解決手段】リニアモータ部3は、同軸に配置された3つのコイル17が樹脂18で被い固められている複数の筒状のコイルユニット19と、永久磁石13を備える可動子11を有する。複数のコイルユニット19は軸線方向Xで同軸に連結されている。可動子11は複数のコイルユニット19の内周側を軸線方向Xに移動する。可動子11を移動させる推力を変更するためにコイル17の数を増減させる場合には、コイルユニット19の数を増減させて、増減させた数のコイルユニット19を軸線方向Xで連結すればよい。複数のコイルユニット19を軸線方向Xで連結した状態は、複数のコイル17が樹脂18により覆われて固定された状態と同様の状態となる。
【選択図】図1
【解決手段】リニアモータ部3は、同軸に配置された3つのコイル17が樹脂18で被い固められている複数の筒状のコイルユニット19と、永久磁石13を備える可動子11を有する。複数のコイルユニット19は軸線方向Xで同軸に連結されている。可動子11は複数のコイルユニット19の内周側を軸線方向Xに移動する。可動子11を移動させる推力を変更するためにコイル17の数を増減させる場合には、コイルユニット19の数を増減させて、増減させた数のコイルユニット19を軸線方向Xで連結すればよい。複数のコイルユニット19を軸線方向Xで連結した状態は、複数のコイル17が樹脂18により覆われて固定された状態と同様の状態となる。
【選択図】図1
Description
本発明は3相のリニアモータに関する。
同軸に配列された3の倍数のコイルを備える固定子と、永久磁石を備える可動子と、を備え、可動子がコイルの内周側を直動するリニアモータは特許文献1に記載されている。同文献のリニアモータは3相交流モータであり、複数のコイルとして、U相、V相、W相に対応する3つのコイルからなるコイル組を、複数、備える。
ここで、複数のコイルを軸線方向に配列した状態で固定することは、各コイルをコイルボビンなどに巻き付けた状態とて連結しなければ難しい。
かかる問題点に鑑みて、本発明の課題は、コイルボビンなどに各コイルを支持させることなく、複数のコイルを軸線方向に配列した状態で固定できるリニアモータを提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明の3相のリニアモータは、同軸に配置された少なくとも3つのコイルが樹脂で被い固められている筒状のコイルユニットと、永久磁石を備える可動子と、を有し、前記可動子が前記コイルユニットの内周側を軸線方向に移動することを特徴とする。
本発明によれば、複数のコイルはコイルユニットとして樹脂により被い固められている。従って、コイルボビンなどに各コイルを支持させることなく、複数のコイルを軸線方向に配列した状態で固定できる。
本発明において、前記3つのコイルは、それぞれU相のコイル、V相のコイル、W相のコイルであるものとすることができる。すなわち、コイルユニットの3つのコイルは、リニアモータを駆動する際に、それぞれU相のコイル、V相のコイル、W相のコイルとして機能する。
本発明において、前記コイルユニットを複数備え、各コイルユニットは軸線方向で連結されていることが望ましい。このようにすれば、可動子を移動させる推力を変更するためにコイルの数を増減させる場合には、コイルユニットの数を増減させて、増減させた数のコイルユニットを軸線方向で連結すればよい。また、複数のコイルユニットを軸線方向で連結した状態は、複数のコイルが樹脂により覆われて固定された状態と同様の状態となるので、コイルの数が増加した場合でも、複数のコイルを軸線方向に配列した状態で固定できる。
本発明において、前記樹脂は、BMC(バルクモールディングコンパウンド)であることが望ましい。このように構成すれば、コイルで発生する熱を効果的に外部に逃がすこと
ができる。
ができる。
本発明によれば、複数のコイルは樹脂により被い固められている。従って、コイルボビンなどに各コイルを支持させることなく、複数のコイルを軸線方向に配列した状態で固定できる。
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
(直動回転駆動装置)
図1は本発明の直動回転検出器を備えた直動回転駆動装置の外観斜視図である。図2は図1の直動回転駆動装置を軸線を含む面で切断した断面図である。図3は図1の直動回転駆動装置の分解斜視図である。図1に示すように、直動回転駆動装置1は、出力軸2と、出力軸2を軸線Lに沿って移動させるリニアモータ部(リニアモータ)3と、出力軸2を軸線回りθに回転させる回転モータ部4と、ボールスプライン軸受(軸受)5を備える。ボールスプライン軸受5は、出力軸2を軸線方向に移動可能に支持するとともに回転モータ部4の駆動力を出力軸2に伝達する。
図1は本発明の直動回転検出器を備えた直動回転駆動装置の外観斜視図である。図2は図1の直動回転駆動装置を軸線を含む面で切断した断面図である。図3は図1の直動回転駆動装置の分解斜視図である。図1に示すように、直動回転駆動装置1は、出力軸2と、出力軸2を軸線Lに沿って移動させるリニアモータ部(リニアモータ)3と、出力軸2を軸線回りθに回転させる回転モータ部4と、ボールスプライン軸受(軸受)5を備える。ボールスプライン軸受5は、出力軸2を軸線方向に移動可能に支持するとともに回転モータ部4の駆動力を出力軸2に伝達する。
また、直動回転駆動装置1は、出力軸2の直動位置および回転位置を検出するための直動回転検出器7を備える。直動回転検出器7は、出力軸2に同軸に固定された筒状の磁気スケール8と、軸線Lと直交する方向から磁気スケール8に対向する磁気センサ9を備える。
直動回転検出器7の磁気スケール8、リニアモータ部3、回転モータ部4、および、ボールスプライン軸受5は、軸線方向の一方側から他方側に向って、この順番で同軸に配置されている。なお、以下の説明では、軸線方向をXとし、軸線回りをθとする。
(リニアモータ部)
図2に示すように、リニアモータ部3は可動子11と固定子12とを有する。可動子11は出力軸2と出力軸2の外周面に固定した複数の永久磁石13を備える。各永久磁石13は、環状であり、軸線方向XにN極とS極とが着磁されている。複数の永久磁石13は、隣り合う永久磁石13同士が互いに同一の極を向けて対向する。本例では出力軸2に10個の永久磁石13が固定されている。
図2に示すように、リニアモータ部3は可動子11と固定子12とを有する。可動子11は出力軸2と出力軸2の外周面に固定した複数の永久磁石13を備える。各永久磁石13は、環状であり、軸線方向XにN極とS極とが着磁されている。複数の永久磁石13は、隣り合う永久磁石13同士が互いに同一の極を向けて対向する。本例では出力軸2に10個の永久磁石13が固定されている。
固定子12は可動子11の外周側に位置する。図1、2に示すように、固定子12は、同軸に配列した複数のコイル17を備える筒状のコイル配列体15と、コイル配列体15に固定された配線基板16を備える。
図2、図3に示すように、コイル配列体15は、軸線方向Xで隣り合う3つのコイル17を樹脂18により一体に被い固めた筒状のコイルユニット19を、複数、備える。各コイルユニット19は軸線方向Xで同軸に連結され、これによりコイル配列体15が構成されている。本例では、コイル配列体15は7つのコイルユニット19を備える。従って、
コイル配列体15は21個のコイル17を備える。
コイル配列体15は21個のコイル17を備える。
図4(a)はコイルユニットの斜視図であり、図4(b)はコイルユニットの製造方向の説明図である。各コイルユニット19は、軸線方向Xから見た場合の輪郭形状が矩形である。図4に示すように、各コイルユニット19は軸線回りθに4つの側面を備える。図1に示すように、4つの側面のうちの一つの側面は基板固定面19aとなっている。図3に示すように、基板固定面19aからはコイルユニット19内の各コイル17の始端17aと終端17bが外側に露出(突出)している。
各コイルユニット19は基板固定面19aを同一方向に向けた姿勢で連結される。本例では、各コイルユニット19は接着剤での連結されている。配線基板16は、各コイルユニット19の基板固定面19aが軸線方向Xに並ぶことにより形成された平坦面(コイル配列体15の基板固定面)に固定される。配線基板16には各コイルユニット19の各コイル17の始端17aおよび終端17bが接続される。なお、各コイルユニット19の連結は、ネジなどを用いて行うこともできる。
ここで、リニアモータ部3は3相モータであり、各コイルユニット19の3つのコイル17は、リニアモータ部3を駆動する際に、それぞれU相のコイル17(U)、V相のコイル17(V)、W相のコイル17(W)として機能する。すなわち、各コイルユニット19の3つのコイル17は、それぞれ、U相のコイル17(U)、V相のコイル17(V)、W相のコイル17(W)である。リニアモータ部3では給電するコイル17を軸線方向Xに移動させながら可動子11を軸線方向Xに移動させる。
なお、コイルユニット19は、図4(b)に示すように、矩形の底部51と、底部51の外周縁から立ち上がる角筒部52と、底部51から突出して角筒の内側を延びる円柱部53とを備えるモールド用の金型54を用いて形成される。より具体的には、各コイル17の中空部に円柱部53が挿入されるようにして3つのコイル17を金型54内に投入して、金型54内で3つのコイル17を積層した状態とする。その後、角筒部52の内側にBMC(バルクモールディングコンパウンド)を充填してBMCにより金型54内のコイル17をモールド成形する。ここで、本例では、コイル17をモールドする樹脂18としてBMCを用いているが、PPS樹脂を用いることもできる。
(回転モータ部)
回転モータ部4は可動子21と固定子22とを有する。可動子21は出力軸2が貫通する中空のナットシャフト23を備える。図3に示すように、ナットシャフト23は、小径筒部23aと、小径筒部23aよりも大径の大径筒部23bを備える。大径筒部23bは小径筒部23aのボールスプライン軸受5の側に連続して設けられている。また、可動子21は、ナットシャフト23の小径筒部23aの外周面に固定された筒状のヨーク24と、ヨーク24の外周面に固定された筒状の永久磁石25を備える。永久磁石25は、筒状であり、軸線回りθ(周方向)にN極とS極が交互に複数着磁されている。
回転モータ部4は可動子21と固定子22とを有する。可動子21は出力軸2が貫通する中空のナットシャフト23を備える。図3に示すように、ナットシャフト23は、小径筒部23aと、小径筒部23aよりも大径の大径筒部23bを備える。大径筒部23bは小径筒部23aのボールスプライン軸受5の側に連続して設けられている。また、可動子21は、ナットシャフト23の小径筒部23aの外周面に固定された筒状のヨーク24と、ヨーク24の外周面に固定された筒状の永久磁石25を備える。永久磁石25は、筒状であり、軸線回りθ(周方向)にN極とS極が交互に複数着磁されている。
固定子22は永久磁石25の外周側に位置する。固定子22は、永久磁石25を外周側から囲む筒状のヨーク26と、ヨーク26の内周面に固定された複数のコイル27を備える。各コイル27は、その中空部を軸線Lと直交する半径方向に向けた姿勢でヨーク26に固定されている。複数のコイル27は軸線回りθに配列されている。本例では、固定子22は6つのコイル27を備える。ヨーク26はケース28により外周側から保持されている。ケース28を軸線方向Xから見た場合の輪郭形状は正方形である。
コイル27への給電によりナットシャフト23は軸線回りθに回転する。ここで、ナットシャフト23の大径筒部23bの内周側には、ボールスプライン軸受5を構成するボー
ルナット31が配置されている。なお、図2において、ボールスプライン軸受5を構成するボールおよび出力軸2に設けられたスプラインは省略されている。ナットシャフト23の回転は、ボールナット31を介して出力軸2に伝達される。従って、回転モータ部4が駆動されると出力軸2は回転する。ナットシャフト23の大径筒部23bは、軸受ケース32により覆われている。軸受ケース32を軸線方向Xから見た場合の輪郭形状は正方形である。
ルナット31が配置されている。なお、図2において、ボールスプライン軸受5を構成するボールおよび出力軸2に設けられたスプラインは省略されている。ナットシャフト23の回転は、ボールナット31を介して出力軸2に伝達される。従って、回転モータ部4が駆動されると出力軸2は回転する。ナットシャフト23の大径筒部23bは、軸受ケース32により覆われている。軸受ケース32を軸線方向Xから見た場合の輪郭形状は正方形である。
(直動回転検出器)
図5は直動回転検出器7の説明図である。図5に示すように、磁気スケール8は円筒状である。図1乃至3に示すように、磁気スケール8は、その中心孔に出力軸2を貫通させた状態で出力軸2に同軸に固定されている。磁気スケール8は、出力軸2と一体に軸線方向Xに直動するとともに軸線回りθに回転する。
図5は直動回転検出器7の説明図である。図5に示すように、磁気スケール8は円筒状である。図1乃至3に示すように、磁気スケール8は、その中心孔に出力軸2を貫通させた状態で出力軸2に同軸に固定されている。磁気スケール8は、出力軸2と一体に軸線方向Xに直動するとともに軸線回りθに回転する。
磁気スケール8は、出力軸2への固定部となる筒部材35と、筒部材35の外周側に固定された環状の永久磁石36を備える。永久磁石36は、軸線回りθの円周面に、軸線方向XにS極とN極とが交互に配列され、かつ、軸線回りθにS極とN極とが交互に着磁された格子状の着磁パターン37を備える。ここで、格子状の着磁パターン37は、軸線方向XにS極とN極とが交互に配列されて軸線方向Xに延びる軸方向トラック37aを軸線回りθに並列に複数備えるものである。また、格子状の着磁パターン37は、軸線回りθにS極とN極とが交互に配列されて軸線回りθに延びる周方向トラック37bを軸線方向Xに並列に複数備えるものである。
磁気センサ9は、軸線Lと平行な姿勢で軸線Lと直交する方向から磁気スケール8に対向するセンサ基板40を備える。また、磁気センサ9は、センサ基板40において磁気スケール8に対向する基板表面40aに形成された直動位置検出用の第1磁気抵抗素子(第1磁気検出素子)41と回転位置検出用の第2磁気抵抗素子(第2磁気検出素子)42を備える。
第1磁気抵抗素子41は、その感磁方向を軸線方向Xに向けている。従って、第1磁気抵抗素子41は、磁気スケール8の着磁パターン37を、S極とN極とが交互に配列されて軸線方向Xに延びる軸方向トラック37aを軸線回りθに複数列備えるものとして、磁気スケール8が移動したときの磁界の変化を検出する。ここで、第1磁気抵抗素子41は、複数の軸方向トラック37aにおいて、軸線回りθで隣り合う2つの軸方向トラック37aの境界部分(N極とS極とが隣り合う部分)で発生する回転磁界を検出する。また、第1磁気抵抗素子41は磁気抵抗素子の飽和感度領域を利用して回転磁界を検出する。すなわち、第1磁気抵抗素子41は、後述する磁気抵抗パターンに電流を流し、かつ、抵抗値が飽和する磁界強度を印加して、境界部分で面内方向の向きが変化する回転磁界を検出する。
第2磁気抵抗素子42は、その感磁方向を軸線回りθ(周方向)に向けている。従って、第2磁気抵抗素子42は、磁気スケール8の着磁パターン37を、軸線回りθにS極とN極とが交互に配列されて軸線回りθに延びる周方向トラック37bを軸線方向Xに複数列備えるものとして、磁気スケール8が回転したときの磁界の変化を検出する。また、第2磁気抵抗素子42は、複数の周方向トラック37bにおいて、軸線方向Xで隣り合う2つの周方向トラック37bの境界部分(N極とS極とが隣り合う部分)で発生する回転磁界を検出する。また、第2磁気抵抗素子42は磁気抵抗素子の飽和感度領域を利用して回転磁界を検出する。すなわち、第2磁気抵抗素子42は、後述する磁気抵抗パターンに電流を流し、かつ、抵抗値が飽和する磁界強度を印加して、境界部分で面内方向の向きが変化する回転磁界を検出する。
本例では、センサ基板40上に形成された第1磁気抵抗素子41の磁気抵抗パターンと第2磁気抵抗素子42の磁気抵抗パターンは積層されている。
(作用効果)
本例によれば、複数のコイル17は樹脂18により被い固められている。従って、コイルボビンなどに各コイル17を支持させることなく、複数のコイル17を軸線方向Xに配列した状態で固定できる。
本例によれば、複数のコイル17は樹脂18により被い固められている。従って、コイルボビンなどに各コイル17を支持させることなく、複数のコイル17を軸線方向Xに配列した状態で固定できる。
また、本例では、リニアモータ部3は、同軸に配置された3つのコイルを樹脂18で固めた筒状のコイルユニット19を備える。従って、可動子11を直動させる推力を変更するためにコイル17の数を増減させる場合には、コイルユニット19の数を増減させて、増減させた数のコイルユニット19を軸線方向で連結すればよい。ここで、複数のコイルユニット19を軸線方向で連結した状態は、複数のコイル17が樹脂18により覆われて固定された状態と同様の状態となる。従って、同軸に配列するコイル17の数を増減させた場合でも、コイル17の配列長に対応する新たなモールド用の金型54を作成して、コイル17をモールドする必要がない。すなわち、本例によれば、同軸に配置された3つのコイル17を樹脂18で被い固めるためのモールド用の金型54を用意すればよく、3を超える数のコイル17を樹脂18で被い固めるためのモールド用の金型54は必要ない。従って、推力の異なる複数のリニアモータを製造する場合などに、金型54にかかるコストを抑制できる。
また、本例では、樹脂18としてBMCを用いてコイル17を被い固めているので、コイル17で発生する熱を外部に逃しやすい。
(その他の実施の形態)
上記の例では、各コイルユニット19は、軸線方向Xから見た場合の輪郭形状が矩形であるが、矩形以外の形状を備えてもよい。また、上記の例では、3つのコイル17をコイル組として樹脂18で固めて一つのコイルユニット19としているが、3つ以上のコイル17、例えば、6つのコイル17をコイル組として樹脂18で固めて一つのコイルユニットとすることもできる。
上記の例では、各コイルユニット19は、軸線方向Xから見た場合の輪郭形状が矩形であるが、矩形以外の形状を備えてもよい。また、上記の例では、3つのコイル17をコイル組として樹脂18で固めて一つのコイルユニット19としているが、3つ以上のコイル17、例えば、6つのコイル17をコイル組として樹脂18で固めて一つのコイルユニットとすることもできる。
3・・・リニアモータ部(リニアモータ)
11・・・リニアモータ部の可動子
13・・・リニアモータ部の永久磁石
17・・・リニアモータ部のコイル
18・・・樹脂18
19・・・コイルユニット
L・・・軸線
11・・・リニアモータ部の可動子
13・・・リニアモータ部の永久磁石
17・・・リニアモータ部のコイル
18・・・樹脂18
19・・・コイルユニット
L・・・軸線
Claims (4)
- 同軸に配置された少なくとも3つのコイルが樹脂で被い固められている筒状のコイルユニットと、
永久磁石を備える可動子と、を有し、
前記可動子が前記コイルユニットの内周側を軸線方向に移動することを特徴とする3相のリニアモータ。 - 請求項1において、
前記3つのコイルは、それぞれU相のコイル、V相のコイル、W相のコイルであることを特徴とするリニアモータ。 - 請求項1または2において、
前記コイルユニットを複数備え、各コイルユニットは軸線方向で連結されていることを特徴とするリニアモータ。 - 請求項1ないし3のうちのいずれかの項において、
前記樹脂は、BMCであることを特徴とするリニアモータ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015185560A JP2017060362A (ja) | 2015-09-18 | 2015-09-18 | リニアモータ |
PCT/JP2016/077537 WO2017047783A1 (ja) | 2015-09-18 | 2016-09-16 | リニアモータ |
CN201680054243.0A CN108028594A (zh) | 2015-09-18 | 2016-09-16 | 直线马达 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015185560A JP2017060362A (ja) | 2015-09-18 | 2015-09-18 | リニアモータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017060362A true JP2017060362A (ja) | 2017-03-23 |
Family
ID=58289448
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015185560A Pending JP2017060362A (ja) | 2015-09-18 | 2015-09-18 | リニアモータ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017060362A (ja) |
CN (1) | CN108028594A (ja) |
WO (1) | WO2017047783A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021052500A (ja) * | 2019-09-25 | 2021-04-01 | 日本トムソン株式会社 | 可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109904990A (zh) * | 2019-03-06 | 2019-06-18 | 深圳市领略数控设备有限公司 | 一种编码器分离型直驱电机 |
CN111355349B (zh) * | 2020-04-13 | 2021-05-11 | 南通启电新能源科技有限公司 | 一种高能利用率的往复式直线发电机的生产工艺 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54122508A (en) * | 1978-03-13 | 1979-09-22 | Japanese National Railways<Jnr> | Molding of electromagnetic rail |
JP2004357353A (ja) * | 2003-05-27 | 2004-12-16 | Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd | リニア電磁アクチュエータ |
JP4860222B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2012-01-25 | Thk株式会社 | リニアモータ及びその製造方法 |
JP2009159752A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータおよび製造方法 |
JP2010259259A (ja) * | 2009-04-27 | 2010-11-11 | Nippon Pulse Motor Co Ltd | リニアモータの可動子、およびその製造方法 |
JP5750340B2 (ja) * | 2011-09-05 | 2015-07-22 | 山洋電気株式会社 | 電気機械 |
JP5827851B2 (ja) * | 2011-09-22 | 2015-12-02 | 山洋電気株式会社 | 固定子 |
-
2015
- 2015-09-18 JP JP2015185560A patent/JP2017060362A/ja active Pending
-
2016
- 2016-09-16 CN CN201680054243.0A patent/CN108028594A/zh active Pending
- 2016-09-16 WO PCT/JP2016/077537 patent/WO2017047783A1/ja active Application Filing
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021052500A (ja) * | 2019-09-25 | 2021-04-01 | 日本トムソン株式会社 | 可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置 |
JP7304251B2 (ja) | 2019-09-25 | 2023-07-06 | 日本トムソン株式会社 | 可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2017047783A1 (ja) | 2017-03-23 |
CN108028594A (zh) | 2018-05-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101475555B1 (ko) | 액추에이터 | |
JP2013544483A (ja) | 回転電機 | |
JP2010528581A5 (ja) | ||
JP2007267565A (ja) | コアレスモータ | |
WO2017047783A1 (ja) | リニアモータ | |
WO2017209271A1 (ja) | 直動回転検出器、直動回転検出器ユニットおよび直動回転駆動装置 | |
JP5672507B2 (ja) | 回転電機 | |
JP2011083056A (ja) | アキシャルギャップ型モータ及び電動パワーステアリング装置 | |
JP5827904B2 (ja) | モータ、及びロータマグネットの着磁方法 | |
WO2017047782A1 (ja) | 直動回転駆動装置 | |
JP2005333763A (ja) | アライメントステージ装置 | |
JP5093567B2 (ja) | θZアクチュエータ | |
JP6459754B2 (ja) | モータ | |
JP2014121104A (ja) | ブラシレス直流モータ、モータユニット、光学素子駆動装置及び撮像装置 | |
JP2015061411A (ja) | 直動−回転アクチュエータとその制御方法 | |
JP5447308B2 (ja) | リニアモータ | |
KR101301381B1 (ko) | 스위치드 릴럭턴스 모터 | |
JP6710055B2 (ja) | スケール一体型リニアモータ及びこれを備えた直動ユニット | |
JP2017058328A (ja) | 直動回転検出器 | |
KR101396175B1 (ko) | 브러시레스 직류모터 | |
JP5540482B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP2015114208A5 (ja) | ||
JP2010187505A (ja) | θZ軸リニアモータ | |
JP5625388B2 (ja) | 回転位置検出装置及びそれを備えた永久磁石同期モータ | |
JP5314067B2 (ja) | サーボモータ |