JP2017054970A - 支持装置および支持方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持装置は、支持対象物を支持する支持装置において、ベース部材と、ベース部材に支持されるとともに、支持対象物に支持力を付与する支持力付与手段と、ベース部材に支持されるとともに、支持力付与手段で支持力を付与した支持対象物の外縁に当接して当該支持対象物における一方の面の面方向への移動を規制する移動規制手段とを備え、移動規制手段は、支持力付与手段で支持力を付与した支持対象物における一方の面の面方向外側へ凹むとともに、当該支持対象物の外縁部が入り込む凹部を有する。
【選択図】図1
Description
また、支持対象物の一方の面に向けて気体を吹き付けて当該支持対象物に支持力を付与する構成とすれば、支持対象物の外縁部以外には非接触で当該支持対象物を支持することができる。
さらに、移動規制手段が弾性変形可能に設けられていることで、支持対象物の外縁部を凹部に入り込みやすくすることができる。
また、支持力付与手段がベース部材に対して接離可能に設けられていることで、支持対象物の外縁部を凹部の位置に導きやすくすることができる。
さらに、凹部がベース部材に対して接離する方向に複数箇所に設けられていることで、支持対象物の外縁部をより確実に凹部に入り込みやすくすることができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、各部材が図1中実線で示す初期位置で待機している搬送装置10に対し、ウエハWFが第1テーブル60の載置面60Aに他方の面が当接するように載置されると、移動手段50が多関節ロボット51を駆動し、同図中二点鎖線で示すように、対向面21がウエハWFの一方の面から所定間隔離れた位置となるまで支持装置70を移動させる。このとき、移動規制手段40は、載置面60Aに当接していてもよいし、当接していなくてもよい。次いで、支持力付与手段30が直動モータ31を駆動し、吸引面32AがウエハWFの一方の面から所定間隔離れた位置となるまで吸引部材32を移動させる。なお、このときの吸引面32AとウエハWFの一方の面との所定間隔は、吸引部材32のベルヌーイ吸引の吸引力が及ぶ間隔以下に設定されている。
ベース部材20は、支持力付与手段30を支持する部位と、移動規制手段40を支持する部位とが分かれていてもよい。
支持力付与手段30は、単数でもよいし複数でもよく、複数の場合、等間隔または不等間隔で配置されていてもよいし、所定のパターンで配置されてもよいし、ランダムに配置されてもよい。
支持力付与手段30は、ウエハWFの外縁部が凹部42内に入り込んでも、図示しない気体供給手段の駆動を停止しなくてもよい。
直動モータ31は、ベース部材20の上面に支持され、その出力軸31Aがベース部材20に形成された貫通孔を介して吸引部材32を支持する構成としてもよい。
吸引部材32は、ベース部材20に対して接離しない構成としてもよい。
気体供給手段は、窒素ガス、酸素ガス、希ガス等の単体ガス、混合ガス、大気等の気体を供給するものを採用することができる。
移動規制手段40は、全体がゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成されていてもよいし、樹脂、金属、ガラス等の弾性変形不能な部材で構成されていてもよく、弾性変形不能な部材で構成されている場合、支持対象物が弾性変形してその外縁部が凹部42内に入り込んでもよいし、移動規制手段40を対向面21の中心方向にバネやゴム等の弾性部材で付勢しておき、当該移動規制手段40全体が支持対象物の外側に一旦広がってから縮まる構成としてもよい。
凹部42には、フッ素やシリコン等を含むコーティング層を積層していてもよいし、凹部42自体または移動規制手段40全体をフッ素樹脂やシリコン樹脂等で形成してもよい。これにより、凹部42にウエハWFの外縁部が貼り付くことを防止することができる。
直交方向規制部43には、フッ素やシリコン等を含むコーティング層を積層していてもよいし、直交方向規制部43自体または移動規制手段40全体をフッ素樹脂やシリコン樹脂等で形成してもよい。これにより、直交方向規制部43にウエハWFの一方の面が貼り付くことを防止することができる。
凹部42は、図3(A)に示すように、ベース部材20に対して接離する方向に複数箇所(2箇所以上でもよい)に設けられていてもよい。
図3(B)に示すように、凹部42をつなぐ面44は、対向面21に直交またはほぼ直交する面でもよいし、図3(C)に示すように、対向面21から離れるにつれて当該対向面21の中心側に近付くテーパ面としてもよいし、それらの面を組み合わせた面としてもよい。この場合、直交方向規制部43は、つなぐ面44の延長線よりも対向面21の中心側に突出した構成としてもよい。
凹部42の断面形状または平面形状は、ウエハWFの外縁部の断面形状または平面形状と同じ形状に凹んでいてもよいし、異なる形状に凹んでいてもよい。
直交方向規制部43は、対向面21から離れるにつれて当該対向面21の中心側から遠ざかるテーパ面としてもよく、この場合、支持対象物の外縁部を凹部42内に入り込ませるときに、当該支持対象物の中央部が対向面21に接近する凸状に変形させやすくなり、これにより、当該支持対象物外縁部間距離が縮んで凹部42内に入り込みやすくなる。なお、直交方向規制部43は、対向面21と平行でもよいし、対向面21から離れるにつれて当該対向面21の中心側に近付くテーパ面としてもよいし、それらの面を組み合わせた面としてもよい。
直交方向規制部43は、弾性変形可能な部材で構成されてもよいし、弾性変形不能な部材で構成されてもよいし、なくてもよい。
30・・・支持力付与手段
40・・・移動規制手段
42・・・凹部
70・・・支持装置
WF・・・ウエハ(支持対象物)
Claims (6)
- 支持対象物を支持する支持装置において、
ベース部材と、
前記ベース部材に支持されるとともに、前記支持対象物に支持力を付与する支持力付与手段と、
前記ベース部材に支持されるとともに、前記支持力付与手段で支持力を付与した支持対象物の外縁に当接して当該支持対象物における一方の面の面方向への移動を規制する移動規制手段とを備え、
前記移動規制手段は、前記支持力付与手段で支持力を付与した支持対象物における一方の面の面方向外側へ凹むとともに、当該支持対象物の外縁部が入り込む凹部を有することを特徴とする支持装置。 - 前記支持力付与手段は、前記支持対象物の一方の面に向けて気体を吹き付けることで、当該支持対象物に支持力を付与することを特徴とする請求項1に記載の支持装置。
- 前記移動規制手段は、弾性変形可能に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の支持装置。
- 前記支持力付与手段は、前記ベース部材に対して接離可能に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の支持装置。
- 前記凹部は、前記ベース部材に対して接離する方向に複数箇所に設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の支持装置。
- 支持対象物を支持する支持方法において、
前記支持対象物に支持力を付与する支持力付与工程と、
前記支持力付与工程で支持力を付与した支持対象物の外縁に当接して当該支持対象物における一方の面の面方向への移動を移動規制手段で規制する移動規制工程とを含み、
前記移動規制工程において、前記支持力付与工程で支持力を付与した支持対象物における一方の面の面方向外側へ凹む凹部を備えた前記移動規制手段に、当該支持対象物の外縁部を入り込ませる工程を備えていることを特徴とする支持方法。
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JP2015178603A JP6614879B2 (ja) | 2015-09-10 | 2015-09-10 | 支持装置および支持方法 |
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- 2015-09-10 JP JP2015178603A patent/JP6614879B2/ja active Active
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