JP2017054070A - Euvマスクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】EUVマスクを用いたウェハ転写時に発生するコンタミネーションや、EUVマスクの洗浄による多層反射膜の改質により、多層反射膜のEUV光反射率が低下する問題が発生している。また、EUVマスク作製後にマスクパターン間へ異物がはまり込むと、ウェハ転写時に回路パターンがショートするなどの悪影響が発生する。洗浄耐性が高く、マスクパターン間へ異物がはまり込まないEUVマスクの製造方法を提供すること。
【解決手段】EUV光透過率が高い材料、もしくはそれらの化合物等からなる透明な保護膜1dを回路パターン膜の膜厚以上の高さで成膜し、保護膜成膜時に形成される表面凹凸を研磨することにより保護膜付きEUVマスクを作製することができる。
【選択図】図1
【解決手段】EUV光透過率が高い材料、もしくはそれらの化合物等からなる透明な保護膜1dを回路パターン膜の膜厚以上の高さで成膜し、保護膜成膜時に形成される表面凹凸を研磨することにより保護膜付きEUVマスクを作製することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、EUVマスクの製造方法に関するものである。
(EUVリソグラフィの説明)
近年、半導体デバイスの微細化に伴い、波長が13.5nm近傍のEUVを光源に用いたEUVリソグラフィが提案されている。EUVリソグラフィは光源波長が短く光吸収性が非常に高いため、真空中で行われる必要がある。またEUVの波長領域においては、ほとんどの物質の屈折率は1よりもわずかに小さい値である。このため、EUVリソグラフィにおいては従来から用いられてきた透過型の屈折光学系を使用することができず、反射光学系となる。従って、原版となるフォトマスク(以下、マスクと呼ぶ)も、従来の透過型のマスクは使用できないため、反射型のマスクとする必要がある。
(EUVマスクとブランク構造の説明)
このような反射型マスクの元となる反射型マスクブランクは、低熱膨張基板の上に露光光源波長に対して高い反射率を示す多層反射膜と、露光光源波長の吸収層が順次形成されており、更に基板の裏面には露光機内における静電チャックのための裏面導電膜が形成されている。また、前記多層反射膜と、吸収層の間に緩衝層を有する構造を持つEUVマスクも存在する。反射型マスクブランクから反射型マスクへ加工する際には、EBリソグラフィとエッチング技術により吸収層を部分的に除去し、緩衝層を有する構造の場合はこれも同じく除去し、吸収部と反射部からなる回路パターンを形成する。このように作製された前記反射型マスクによって反射された光像が反射光学系を経て半導体基板上に転写される。
(吸収膜を必要としないEUVマスクとブランク構造の説明)
また、吸収層を必要とせずにEBリソグラフィとエッチング技術により多層反射膜を部分的に除去し、低熱膨張基板と多層反射膜からなる回路パターンにより、半導体基板上に転写する反射型マスクも近年報告されている。
近年、半導体デバイスの微細化に伴い、波長が13.5nm近傍のEUVを光源に用いたEUVリソグラフィが提案されている。EUVリソグラフィは光源波長が短く光吸収性が非常に高いため、真空中で行われる必要がある。またEUVの波長領域においては、ほとんどの物質の屈折率は1よりもわずかに小さい値である。このため、EUVリソグラフィにおいては従来から用いられてきた透過型の屈折光学系を使用することができず、反射光学系となる。従って、原版となるフォトマスク(以下、マスクと呼ぶ)も、従来の透過型のマスクは使用できないため、反射型のマスクとする必要がある。
(EUVマスクとブランク構造の説明)
このような反射型マスクの元となる反射型マスクブランクは、低熱膨張基板の上に露光光源波長に対して高い反射率を示す多層反射膜と、露光光源波長の吸収層が順次形成されており、更に基板の裏面には露光機内における静電チャックのための裏面導電膜が形成されている。また、前記多層反射膜と、吸収層の間に緩衝層を有する構造を持つEUVマスクも存在する。反射型マスクブランクから反射型マスクへ加工する際には、EBリソグラフィとエッチング技術により吸収層を部分的に除去し、緩衝層を有する構造の場合はこれも同じく除去し、吸収部と反射部からなる回路パターンを形成する。このように作製された前記反射型マスクによって反射された光像が反射光学系を経て半導体基板上に転写される。
(吸収膜を必要としないEUVマスクとブランク構造の説明)
また、吸収層を必要とせずにEBリソグラフィとエッチング技術により多層反射膜を部分的に除去し、低熱膨張基板と多層反射膜からなる回路パターンにより、半導体基板上に転写する反射型マスクも近年報告されている。
EUVマスクではなく光マスクの分野において、特許文献1が公開されている。特許文献1は光マスクをステッパーにて密着露光する際に物理的な保護を目的として、パターン上に保護膜を形成している。
EUVマスクを用いたウェハ転写時に発生するコンタミネーションや、EUVマスクの洗浄による多層反射膜の改質により、多層反射膜のEUV光反射率が低下する問題が発生している。また、EUVマスク作製後にマスクパターン間へ異物がはまり込むと、ウェハ転写時に回路パターンがショートするなどの悪影響が発生する。洗浄耐性が高く、マスクパターン間へ異物がはまり込まないEUVマスクの製造方法を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するための手段として、本発明は、EUVマスクの回路パターン膜面上に、酸化シリコン、シリコン、ジルコニウム、ニオブ、ポリシリコン、アモルファスシ
リコン等のEUV光透過率が高い材料、もしくはそれらの化合物を保護膜として、単層または多層膜でEUVマスクの回路パターン膜厚以上の厚さで成膜し、保護膜成膜時に形成される表面凹凸を研磨することにより除去する工程を有することを特徴とする。
リコン等のEUV光透過率が高い材料、もしくはそれらの化合物を保護膜として、単層または多層膜でEUVマスクの回路パターン膜厚以上の厚さで成膜し、保護膜成膜時に形成される表面凹凸を研磨することにより除去する工程を有することを特徴とする。
前記保護膜は、保護膜成膜前後におけるEUVマスクの平坦度変化量がEUVマスク面内132mm□エリアにおいてTIR≦50nmを満たす組成であることを特徴とする。
すなわち、請求項1に記載の発明は、低熱膨張性基板の上に多層反射膜を形成し、さらにその上に吸収性の微細パターン膜を形成する工程と、前記多層反射膜上で前記微細パターン膜を覆うようにEUV光透過性を有する保護膜を形成する工程と、前記保護膜の表面を研磨し、前記微細パターン膜に到達する前に研磨を完了することにより前記微細パターン膜より厚く、平坦面からなる表面を持つ保護膜を形成する工程とを備えるEUVマスクの製造方法である。
次に、請求項2に記載の発明は、低熱膨張性基板の上に反射性の微細パターン膜を形成する工程と、前記低熱膨張性基板上で前記微細パターン膜を覆うようにEUV光透過性を有する保護膜を形成する工程と、前記保護膜の表面を研磨し、前記微細パターン膜に到達する前に研磨を完了することにより前記微細パターン膜より厚く、平坦面からなる表面を持つ保護膜を形成する工程とを備えるEUVマスクの製造方法である。
次に、請求項3に記載の発明は、前記保護膜は、酸化シリコン、シリコン、ジルコニウム、ニオブ、ポリシリコン、アモルファスシリコン等のEUV光透過率が高い材料、もしくはそれらの化合物で形成されている請求項1または2に記載のEUVマスクの製造方法である。
次に、請求項4記載の発明は、前記保護膜を前記微細パターン膜上100nmまで成膜する事を特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のEUVマスクの製造方法である。
次に、請求項5記載の発明は、前記平坦面からなる保護膜の表面は、平坦度変化量がEUVマスク面内132mm□エリアにおいてTIR≦50nmを満たしていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のEUVマスクの製造方法である。
本発明によれば、EUV光透過性の保護膜によりウェハ転写時に発生するコンタミネーションや、EUVマスクの洗浄による多層反射膜の改質を抑え、多層反射膜のEUV光反射率が低下する問題を回避可能である。また、保護膜でパターン膜を覆う事により、洗浄による回路パターン膜の破壊や回路パターン膜への異物がはまり込む事を防ぎ、ウェハ転写時の回路パターンがショートする事を防ぐ事が可能である。
(図1、EUVマスク1の実施形態)
以下、保護膜付きEUVマスク1について図面を参照して説明する。図1は保護膜付きEUVマスクの構成を示す図である。EUVマスク1は、低熱膨張性基板1aと多層反射膜1bと吸収膜1cの微細パターンと保護膜1dを備えている。低熱膨張性基板1aは例えば酸化チタンをドーピングした酸化シリコンで形成されている。多層反射膜1bはEUV光への反射性を有し、低熱膨張性基板1a上に設けられている。多層反射膜1bは例えばモリブデンとシリコンで形成されている。吸収膜1cの微細パターンは、本実施の形態では、所定の回路パターン形成用の回路パターン膜として形成されている。吸収膜1cの微細パターンは、例えばタンタル、及びその酸化物や窒化物等からなる。保護膜1dはEUV光透過性を有し、酸化シリコン、シリコン、ジルコニウム、ニオブ、ポリシリコン、アモルファスシリコン等のEUV光透過率が高い材料、もしくはそれらの化合物等からなる。保護膜1dは、低熱膨張性基板1a上で吸収膜1cの微細パターンを覆うように設けられている。保護膜1dの表面1fは、吸収膜1cの膜厚方向で吸収膜1cから離れた箇所に位置し、低熱膨張性基板1aと平行な平坦面(TIR≦50nm)として形成されている。(TIR:Total Indicated Reading、面内の平坦度を示す。)
以下、保護膜付きEUVマスク1について図面を参照して説明する。図1は保護膜付きEUVマスクの構成を示す図である。EUVマスク1は、低熱膨張性基板1aと多層反射膜1bと吸収膜1cの微細パターンと保護膜1dを備えている。低熱膨張性基板1aは例えば酸化チタンをドーピングした酸化シリコンで形成されている。多層反射膜1bはEUV光への反射性を有し、低熱膨張性基板1a上に設けられている。多層反射膜1bは例えばモリブデンとシリコンで形成されている。吸収膜1cの微細パターンは、本実施の形態では、所定の回路パターン形成用の回路パターン膜として形成されている。吸収膜1cの微細パターンは、例えばタンタル、及びその酸化物や窒化物等からなる。保護膜1dはEUV光透過性を有し、酸化シリコン、シリコン、ジルコニウム、ニオブ、ポリシリコン、アモルファスシリコン等のEUV光透過率が高い材料、もしくはそれらの化合物等からなる。保護膜1dは、低熱膨張性基板1a上で吸収膜1cの微細パターンを覆うように設けられている。保護膜1dの表面1fは、吸収膜1cの膜厚方向で吸収膜1cから離れた箇所に位置し、低熱膨張性基板1aと平行な平坦面(TIR≦50nm)として形成されている。(TIR:Total Indicated Reading、面内の平坦度を示す。)
次に、EUVマスク1の製造方法について説明する。まず、低熱膨張性基板1aの上に反射性の多層膜1bと吸収膜1cの微細パターンを形成する。この吸収膜1cの微細パターンの形成には従来公知の様々な方法が採用可能である。次に、吸収膜1cの微細パターンを覆うようにEUV光透過性を有する保護膜1dを形成する。この保護膜1dの形成には、例えば、スパッタリング法やCVD法、蒸着法、スピンコーティング等の薄膜形成方法が採用可能である。保護膜1dは、吸収膜1cの膜厚以上の厚さの膜厚1eで形成する。成膜後の保護膜1dの表面は、前記薄膜形成方法により大小の凹凸が存在する。そのため、保護膜1dの表面を研磨することで膜表面の凹凸を除去し、また、吸収膜1cに到達する前に研磨をやめることにより吸収膜1cの微細パターンを露出させることのない、平坦面からなる表面1fを有する保護膜1dを形成する。このようにしてEUVマスク1を得る。
また、EUVマスク面内132mm角エリアにおける平坦度変化は、TIR≦50nmの場合に位置精度への影響が無いことが公知であるため、保護膜1dを成膜することによる平坦度変化量はTIR≦50nmであることが望ましい。
(図2、EUVマスク2の実施形態)
続いて、保護膜付きEUVマスク2について図面を参照して説明する。図2は吸収膜を必要としない保護膜付きEUVマスクの構成を示す図である。EUVマスク2は、低熱膨張性基板1aと多層反射膜1bの微細パターンと保護膜1dを備えている。低熱膨張性基板1aは例えば酸化チタンをドーピングした酸化シリコンで形成されている。多層反射膜1bの微細パターンはEUV光への反射性を有し、低熱膨張性基板1a上に設けられている。また、多層反射膜1bの微細パターンは、本実施の形態では、所定の回路パターン形成用の回路パターン膜として形成されている。多層反射膜1bは、例えばモリブデンとシリコンの多層膜からなる。保護膜1dはEUV光透過性を有し、酸化シリコン、シリコン、ジルコニウム、ニオブ、ポリシリコン、アモルファスシリコン等のEUV光透過率が高い材料、もしくはそれらの化合物等からなる。保護膜1dは、低熱膨張性基板1a上で多層反射膜1bの微細パターンを覆うように設けられている。保護膜1dの表面1fは、多層反射膜1bの微細パターンの膜厚方向で多層反射膜1bの微細パターンから離れた箇所に位置し、低熱膨張性基板1aと平行な平坦面(TIR≦50nm)として形成されている。
続いて、保護膜付きEUVマスク2について図面を参照して説明する。図2は吸収膜を必要としない保護膜付きEUVマスクの構成を示す図である。EUVマスク2は、低熱膨張性基板1aと多層反射膜1bの微細パターンと保護膜1dを備えている。低熱膨張性基板1aは例えば酸化チタンをドーピングした酸化シリコンで形成されている。多層反射膜1bの微細パターンはEUV光への反射性を有し、低熱膨張性基板1a上に設けられている。また、多層反射膜1bの微細パターンは、本実施の形態では、所定の回路パターン形成用の回路パターン膜として形成されている。多層反射膜1bは、例えばモリブデンとシリコンの多層膜からなる。保護膜1dはEUV光透過性を有し、酸化シリコン、シリコン、ジルコニウム、ニオブ、ポリシリコン、アモルファスシリコン等のEUV光透過率が高い材料、もしくはそれらの化合物等からなる。保護膜1dは、低熱膨張性基板1a上で多層反射膜1bの微細パターンを覆うように設けられている。保護膜1dの表面1fは、多層反射膜1bの微細パターンの膜厚方向で多層反射膜1bの微細パターンから離れた箇所に位置し、低熱膨張性基板1aと平行な平坦面(TIR≦50nm)として形成されている。
次に、EUVマスク2の製造方法について説明する。まず、低熱膨張性基板1aの上にEUV光に対し反射性を有した多層反射膜1bを形成する。その後、従来公知の手法により多層反射膜1bに微細パターンを形成する。次に、多層反射膜1bの微細パターンを覆
うようにEUV光透過性を有する保護膜1dを形成する。この保護膜1dの形成には、例えば、スパッタリング法やCVD法、蒸着法、スピンコーティング等の薄膜形成方法が採用可能である。保護膜1dは、多層反射膜1bの膜厚以上の厚さの膜厚1e'で形成する。成膜後の保護膜1dの表面は、前記薄膜形成方法により大小の凹凸が存在する。そのため、保護膜1dの表面を研磨することで膜表面の凹凸を除去し、また、吸収膜1cに到達する前に研磨をやめることにより多層反射膜1bの微細パターンを露出させることのない、平坦面からなる表面1fを有する保護膜1dを形成する。このようにしてEUVマスク2を得る。
うようにEUV光透過性を有する保護膜1dを形成する。この保護膜1dの形成には、例えば、スパッタリング法やCVD法、蒸着法、スピンコーティング等の薄膜形成方法が採用可能である。保護膜1dは、多層反射膜1bの膜厚以上の厚さの膜厚1e'で形成する。成膜後の保護膜1dの表面は、前記薄膜形成方法により大小の凹凸が存在する。そのため、保護膜1dの表面を研磨することで膜表面の凹凸を除去し、また、吸収膜1cに到達する前に研磨をやめることにより多層反射膜1bの微細パターンを露出させることのない、平坦面からなる表面1fを有する保護膜1dを形成する。このようにしてEUVマスク2を得る。
また、EUVマスク面内132mm角エリアにおける平坦度変化は、TIR≦50nmの場合に位置精度への影響が無いことが公知であるため、保護膜1dを成膜することによる平坦度変化量はTIR≦50nmであることが望ましい。
(保護膜付きEUVマスク1の実施例)
酸化シリコンをベースとした低熱膨張性基板上にモリブデンとシリコンをスパッタリングにて40層ずつ交互に蒸着して多層反射膜を形成し、さらに、EUV光を吸収するタンタルから成る吸収膜を数十nm形成した。その後、既存のEUVマスクプロセスを進行させることにより、多層反射膜上に吸収膜からなる微細パターンを形成した。
酸化シリコンをベースとした低熱膨張性基板上にモリブデンとシリコンをスパッタリングにて40層ずつ交互に蒸着して多層反射膜を形成し、さらに、EUV光を吸収するタンタルから成る吸収膜を数十nm形成した。その後、既存のEUVマスクプロセスを進行させることにより、多層反射膜上に吸収膜からなる微細パターンを形成した。
次に、微細パターンが形成されている膜面上にEUV光に対して透過性のある保護膜に酸化シリコンを選択し、微細パターン膜厚以上となる約200nmをスパッタリングにて成膜した。成膜においては、あらかじめ酸化シリコンの成膜レートを算出しておき、200nm相当に値する時間スパッタリングを実施した。成膜後は分光エリプソメータにより膜厚測定を行い、酸化シリコンが200nm成膜されている事を確認した。成膜直後の保護膜の表面は凹凸があるため、微細パターン膜上の保護膜の膜厚が約100nmになる様に保護膜をCMP(化学機械研磨)により研磨した。以上の工程を経て、表面凹凸が無く、かつEUV光の透過性を持つ保護膜を有したEUVマスク1の作製に成功した。
続いて、保護膜を成膜したEUVマスクと保護膜を成膜していないEUVマスクに対してそれぞれ洗浄を20回実施し、EUV光の反射率変動を調査した。その結果、図3に示す通り保護膜を成膜していないEUVマスクの多層反射膜部分のEUV光反射率は20回の洗浄で6%低下したが、保護膜を成膜したEUVマスクの反射率は洗浄前と変化が見られなかった。以上の結果から、保護膜を成膜する事により洗浄による多層反射膜の改質を防ぐ事が可能であると考えられる。また、保護膜を成膜する事により洗浄が可能となった事から、ウェハ転写時に発生するコンタミネーションを洗浄除去可能である。
更に、保護膜をパターン間に隙間無く成膜する事から、EUVマスク作製後にパターン間へ異物がはまり込む事が原理的に発生しない。また、平坦度測定器により保護膜成膜前後のEUVマスク1の平坦度変化量を測定した所、TIR=49nmであった。
(保護膜付きEUVマスク2の実施例)
酸化シリコンをベースとした低熱膨張性基板上にモリブデンとシリコンをスパッタリングにて40層ずつ交互に蒸着して多層反射膜を形成し、その後、既存のEUVマスクプロセスを進行させることにより、低熱膨張基板上に多層反射膜からなる微細パターンを形成した。
酸化シリコンをベースとした低熱膨張性基板上にモリブデンとシリコンをスパッタリングにて40層ずつ交互に蒸着して多層反射膜を形成し、その後、既存のEUVマスクプロセスを進行させることにより、低熱膨張基板上に多層反射膜からなる微細パターンを形成した。
次に、微細パターンが形成されている膜面上にEUV光に対して透過性のある保護膜に酸化シリコンを選択し、多層反射膜からなる微細パターン膜厚以上となる約400nmをスパッタリングにて成膜した。成膜においては、あらかじめ酸化シリコンの成膜レートを算
出しておき、400nm相当に値する時間スパッタリングを実施した。成膜後は分光エリプソメータにより膜厚測定を行い、酸化シリコンが400nm成膜されている事を確認した。成膜直後の保護膜の表面は凹凸があるため、多層反射膜からなる微細パターン膜上の保護膜の膜厚が約100nmになる様に保護膜をCMP(化学機械研磨)により研磨した。以上の工程を経て、表面凹凸が無く、かつEUV光の透過性を持つ保護膜を有したEUVマスク2の作製に成功した。
出しておき、400nm相当に値する時間スパッタリングを実施した。成膜後は分光エリプソメータにより膜厚測定を行い、酸化シリコンが400nm成膜されている事を確認した。成膜直後の保護膜の表面は凹凸があるため、多層反射膜からなる微細パターン膜上の保護膜の膜厚が約100nmになる様に保護膜をCMP(化学機械研磨)により研磨した。以上の工程を経て、表面凹凸が無く、かつEUV光の透過性を持つ保護膜を有したEUVマスク2の作製に成功した。
続いて、保護膜を成膜したEUVマスクと保護膜を成膜していないEUVマスクに対してそれぞれ洗浄を20回実施し、EUV光の反射率変動を調査した。その結果、図4に示す通り保護膜を成膜していないEUVマスクの多層反射膜部分のEUV光反射率は20回の洗浄で6%低下したが、保護膜を成膜したEUVマスクの反射率は洗浄前と変化が見られなかった。以上の結果から、保護膜を成膜する事により洗浄による多層反射膜の改質を防ぐ事が可能であると考えられる。また、保護膜を成膜する事により洗浄が可能となった事から、ウェハ転写時に発生するコンタミネーションを洗浄除去可能である。
更に、保護膜をパターン間に隙間無く成膜する事から、EUVマスク作製後にパターン間へ異物がはまり込む事が原理的に発生しない。また、平坦度測定器により保護膜成膜前後のEUVマスク2の平坦度変化量を測定した所、TIR=49nmであった。
1・・・吸収膜を有するEUVマスク1
2・・・吸収膜を有さないEUVマスク2
1a・・・低熱膨張基板
1b・・・多層反射膜
1c・・・吸収膜
1d・・・保護膜
1e・・・保護膜の膜厚
1e'・・・保護膜の膜厚
1f・・・保護膜の表面
2・・・吸収膜を有さないEUVマスク2
1a・・・低熱膨張基板
1b・・・多層反射膜
1c・・・吸収膜
1d・・・保護膜
1e・・・保護膜の膜厚
1e'・・・保護膜の膜厚
1f・・・保護膜の表面
Claims (5)
- 低熱膨張性基板上に多層反射膜を形成し、さらにその上に吸収性の微細パターン膜を形成する工程と、前記多層反射膜上で前記微細パターン膜を覆うようにEUV光透過性を有する保護膜を形成する工程と、前記保護膜の表面を研磨し、前記微細パターン膜に到達する前に研磨を完了することにより前記微細パターン膜より厚く、平坦面からなる表面を持つ保護膜を形成する工程とを備えることを特徴とするEUVマスクの製造方法。
- 低熱膨張性基板上に反射性の微細パターン膜を形成する工程と、前記低熱膨張性基板上で前記微細パターン膜を覆うようにEUV光透過性を有する保護膜を形成する工程と、前記保護膜の表面を研磨し、前記微細パターン膜に到達する前に研磨を完了することにより前記微細パターン膜より厚く、平坦面からなる表面を持つ保護膜を形成する工程とを備えることを特徴とするEUVマスクの製造方法。
- 前記保護膜は、酸化シリコン、シリコン、ジルコニウム、ニオブ、ポリシリコン、アモルファスシリコン等のEUV光透過率が高い材料、もしくはそれらの化合物で形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のEUVマスクの製造方法。
- 前記保護膜の形成工程は、前記微細パターン膜上100nmに達するまで成膜する事を特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のEUVマスクの製造方法。
- 前記平坦面からなる保護膜の表面は、平坦度変化量がEUVマスク面内132mm□エリアにおいてTIR≦50nmを満たしていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のEUVマスクの製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111830784A (zh) * | 2020-07-06 | 2020-10-27 | 深圳清溢光电股份有限公司 | 一种异形玻璃掩膜版生产方法 |
US20230032950A1 (en) * | 2021-07-30 | 2023-02-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Euv photo masks and manufacturing method thereof |
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2015
- 2015-09-11 JP JP2015179542A patent/JP2017054070A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111830784A (zh) * | 2020-07-06 | 2020-10-27 | 深圳清溢光电股份有限公司 | 一种异形玻璃掩膜版生产方法 |
US20230032950A1 (en) * | 2021-07-30 | 2023-02-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Euv photo masks and manufacturing method thereof |
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