JP2017053801A - ストレッチャブル静電容量型センサ - Google Patents

Abstract

【課題】例えば人体に直接的に接触した場合でも検出値に重畳するノイズを低減する。【解決手段】グランドにそれぞれ接続された一対の外側電極と、前記一対の外側電極の間に設けられた２Ｎ−１（Ｎは自然数）個の中間電極と、前記一対の外側電極及び前記２Ｎ−１個の中間電極のうちで隣接する電極ペア間にそれぞれ設けられた２Ｎ個の誘電体と、を具備することを特徴とする静電容量型センサ。【選択図】図２

Description

本発明は、ストレッチャブル静電容量型センサに関する。

従来、静電容量型センサとして、例えば、特許文献１に開示されているものがある。静電容量型センサは、一対の電極と、一対の電極間に挟まれた誘電体とを有している。これら一対の電極及び誘電体によって、「検出対象コンデンサ」が構成される。静電容量型センサが押圧されたり引っ張られたりすると、誘電体の厚さが変化して、「検出対象コンデンサ」に蓄積される電荷量（つまり、検出対象コンデンサの静電容量）が変化する。この電荷量の変化を検出することにより、例えば、静電容量型センサが装着された測定対象（例えば、人体）の姿勢変化等を検知することができる。

特開２０１４−０８１３５５号公報

ところで、今後、例えば医療分野において、静電容量型センサの利用が益々増加することが予想される。医療分野では例えば睡眠時の姿勢変化を測定するために、静電容量型センサを人体に直接（つまり、直接皮膚に触れた状態で）装着したり長時間装着したりすることが行われる。

しかしながら、人体も導電体であるため、静電容量型コンデンサに人体が触れると、人体と電極との間に「仮想的なコンデンサ」が構成される。この仮想的なコンデンサが構成されることにより、「検出対象コンデンサ」に蓄積される電荷量に変動が生じて、「検出対象コンデンサ」の電荷量検出値にノイズが重畳してしまう可能性がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、例えば人体に直接的に接触した場合でも検出値に重畳するノイズを低減することができる、静電容量型センサを提供することを目的とする。

本発明の静電容量型センサは、その一態様では、電極及び誘電体を積層方向に積層させて構成され、該積層方向にそれぞれ直交する長手方向及び短手方向を有する静電容量型センサであって、該静電容量型センサの前記長手方向及び前記積層方向に沿った断面で見たときに、グランドにそれぞれ接続された一対の外側電極と、前記一対の外側電極の間に設けられた２Ｎ−１（Ｎは自然数）個の中間電極と、前記一対の外側電極及び前記２Ｎ−１個の中間電極から成る電極群の隣接する電極ペア間にそれぞれ設けられた２Ｎ個の誘電体と、を具備することを特徴としている。

前記静電容量型センサは、エラストマーを含有する導電層をそれぞれ含む、第１シート、第２シート、及び、奇数個の第３シートを具備し、前記奇数個の第３シートの導電層とオーバーラップする前記第１シートの導電層部分、及び、前記奇数個の第３シートとオーバーラップする前記第２シートの導電層部分が、前記一対の外側電極であり、前記第１シートの導電層及び前記第２シートの導電層とオーバーラップする、前記奇数個の第３シートの導電層部分が、前記奇数個の中間電極であってもよい。

前記一対の外側電極の各外側電極は、前記静電容量センサの短手方向において前記２Ｎ−１個の中間電極の両端よりも外側にはみ出した、該２Ｎ−１個の中間電極との非対向部を有していてもよい。

前記静電容量型センサは、該静電容量型センサの短手方向の両端部の外側に、前記２Ｎ−１個の中間電極のそれぞれの前記短手方向の端部と非接触状態で対向するように配置された一対の導電部材をさらに有していてもよい。

前記一対の外側電極と前記一対の導電部材は、一連の管を構成し、該一連の管の内部に、前記２Ｎ−１個の中間電極及び前記２Ｎ個の誘電体が配設されていてもよい。

本発明の一態様によれば、例えば人体に直接的に接触した場合でも検出値に重畳するノイズを低減することができる。

第１実施形態のセンサデバイスをＺ方向から見たときの模式図である。 第１実施形態のセンサデバイスの断面図である。 テスト１の各テスト対象物についての周期接触測定処理の結果を示す図である。 図３の静電容量を静電容量変化率に変換した図である。 図３の静電容量を静電容量変化率に変換した図である。 テスト１の各テスト対象物（中間電極の数）に応じた平均静電容量変化率を示す図である。 テスト２の各テスト対象物についての周期接触測定処理の結果を示す図である。 図７の静電容量を静電容量変化率に変換した図である。 テスト２の各テスト対象物（カバー部の厚さ）に応じた平均静電容量変化率を示す図である。 第２実施形態のセンサデバイスをＺ方向から見た模式図である。 第３実施形態のセンサデバイスをＺ方向から見た模式図である。

以下に、本発明のセンサの実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態により本発明のセンサが限定されるものではない。また、実施形態において同一の機能を有する構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略される。以下の説明中の方向（Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向）は、図中に記載した矢線の各方向を基準とする。

≪第１実施形態≫
［センサの構成例］
図１は、第１実施形態のセンサデバイスをＺ方向から見たときの模式図である。図２は、第１実施形態のセンサデバイスをＸ方向及びＹ方向に沿って切ったときの断面図である。図１及び図２に示すセンサデバイス１は、センサ１０と、導線部２１，２２を含む。センサ１０は、ストレッチャブル静電容量型センサである。

図２において、センサ１０は、一対の外側電極、つまり、外側電極１１及び外側電極１３と、奇数個（つまり、２Ｎ−１個：Ｎは自然数）の中間電極１５とを有する。ここでは、説明を簡単にするために中間電極１５の数を１つとして説明する。

また、センサ１０は、外側電極１１、外側電極１３及び中間電極１５のうちで隣接する電極ペア間に、つまり、外側電極１１と中間電極１５の間、及び、外側電極１３と中間電極１５の間に、誘電体１７−１，２をそれぞれ有する。すなわち、センサ１０は、外側電極１３、誘電体１７−２、中間電極１５、誘電体１７−１及び外側電極１１がこの順番でＺ方向（積層方向）に重ねられた「積層構造」となっている。つまり、センサ１０は、ＹＺ平面に平行な平面及びＸＺ平面に平行な平面のいずれに沿って切った断面を見ても「積層構造」となっている。別言すれば、センサ１０は、図２中の２本の破線の内側領域にある「積層型センサ」となっている。ここでは、一対の外側電極１１，１３の間に１つの中間電極１５を配置して隣接する電極ペア間に２つの誘電体１７−１，２を配置した場合を例示しているが、これに限定されるものではなく、一対の外側電極１１，１３の間に３以上の奇数個の中間電極１５を配置して隣接する電極ペア間に複数の誘電体１７を配置する構成も可能である。この場合、一対の外側電極１１，１３と２Ｎ−１個の中間電極１７の総数は２Ｎ＋１となり、複数の誘電体１７の数は２Ｎとなる。

さらに、センサ１０は、外側電極１１，１３のさらに外側に、カバー部１９−１，２をそれぞれ有する。

そして、センサ１０のＹ軸方向の両端には、導線部２１，２２がそれぞれ接続されている。導線部２１には、外側電極１１，１３が接続され、導線部２２には、中間電極１５が接続されている。

詳細には、センサ１０及び導線部２１，２２は、第１シート３１、第２シート３３及び第３シート３５を有している。そして、第１シート３１は、導電層３７と、カバー層３９とを有する。また、第２シート３３は、導電層４１と、カバー層４３とを有する。また、第３シート３５は、誘電層４７，４９と、誘電層４７と誘電層４９の間に挟まれた導電層４５とを有する。

導電層３７及び導電層４１は、センサ１０及び導線部２１の全体に亘って−Ｙ方向に延びており、導電層４５は、センサ１０及び導線部２２の全体に亘ってＹ方向に延びている。すなわち、導電層３７及び導電層４１と導電層４５とは櫛形に配置されている。また、カバー層３９及びカバー層４３は、センサ１０及び導線部２１，２２の全体に亘って延びている。

第３シート３５の導電層４５とオーバーラップする、第１シート３１の導電層３７のオーバーラップ部分３７ａが、上記の外部電極１１を構成する。また、第３シート３５の導電層４５とオーバーラップする、第２シート３３の導電層４１のオーバーラップ部分４１ａが、上記の外部電極１３を構成する。また、第１シート３１の導電層３７及び第２シート３３の導電層４１とオーバーラップする、第３シート３５の導電層４５のオーバーラップ部分４５ａが、上記の中間電極１５を構成する。

第１シート３１の導電層３７及び第３シート３５の導電層４５の両方とオーバーラップする、第３シート３５の誘電層４７のオーバーラップ部分４７ａが、上記の誘電体１７−１を構成する。また、第２シート３３の導電層４１及び第３シート３５の導電層４５の両方とオーバーラップする、第３シート３５の誘電層４９のオーバーラップ部分４９ａが、上記の誘電体１７−２を構成する。

第１シート３１の導電層３７、第２シート３３の導電層４１、及び第３シート３５の導電層４５は、それぞれ、導電粉と、バインダーとしてシリコーンゴムポリマー（つまり、エラストマー）と、溶剤とを含む導電性ペーストから構成されている。また、導電粉は、例えば、銀粉である。導電粉の平均粒径（走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により測定）は１〜５μｍであることが好ましい。また、導電性ペーストのバインダーゴムポリマーは、例えば、付加型液状シリコーンゴムである。

また、第３シート３５の誘電層４７，４９は、例えば、それぞれ、少なくともシリコーンゴム絶縁基材で構成されている。また、カバー層３９及びカバー層４３は、例えば、それぞれ、少なくともシリコーンゴム絶縁基材で構成されている。

以上のようにセンサ１０の積層構造はいずれの層も柔軟性を有する材料から構成されるので、センサ１０は伸縮可能なセンサとなっている。

ここで、外側電極１１及び外側電極１３は、それぞれグランドに接続される。一方、中間電極１５には、所定電圧が印加される。センサ１０が測定対象（例えば、人体）に装着されて、測定対象の動きに応じてセンサ１０が押圧されたり引っ張られたりすると、外側電極１１と中間電極１５の間に構成される「第１検出対象コンデンサ」及び外側電極１３と中間電極１５の間に構成される「第２検出対象コンデンサ」に蓄積される電荷量が変化する。この電荷量の変化を検出することにより、センサ１０が装着された測定対象（例えば、人体）の姿勢変化等を検知することができる。

さらに、外側電極１１及び外側電極１３がそれぞれグランドに接続されているので、「シールド効果」が得られる。すなわち、センサ１０に直接人体等の導電体が触れても、外側電極１１（外側電極１３）と人体等の導電体との間に上記の「仮想的なコンデンサ」が構成されることを回避できるので、「第１検出対象コンデンサ」及び「第２検出対象コンデンサ」の電荷量検出値に重畳するノイズを低減することができる。

［センサの動作例］
以上の構成を有するセンサ１０の動作について説明する。

まず、センサ１０は、測定対象（例えば、人体）に装着される。そして、センサ１０は、導線部２１及び導線部２２を介して制御装置（図示せず）に接続される。すなわち、センサ１０、導線部２１及び導線部２２、並びに、制御装置（図示せず）が、センシング装置を構成する。

センサ１０は、制御装置（図示せず）の制御に従って、所定周期で（つまり、所定の時間間隔を空けた検出タイミング毎に）、「第１検出対象コンデンサ」及び「第２検出対象コンデンサ」にそれぞれ蓄積された電荷量を出力する。

制御装置（図示せず）は、各検出タイミングにおいて、「第１検出対象コンデンサ」及び「第２検出対象コンデンサ」にそれぞれ蓄積された電荷量を検出し、検出した電荷量と、複数の電荷量候補と各電荷量候補に応じた伸張長との対応関係とに基づいて、センサ１０の伸張長を算出する。複数の検出タイミングにおいて算出されたセンサ１０の伸張長、つまり、センサ１０の伸張履歴を分析することにより、測定対象（例えば、人体）の姿勢変化等を分析することができる。

［実施例］
次に、具体的な実施例について説明する。

＜試料作製＞
センサの作製
（誘電層（４７，４９）、カバー層（３９、４３）の作製方法）
シリコーンゴムポリマー「ＫＥ−９５１」（信越化学工業株式会社製）と「ＴＳＥ−２６２３Ｕ」（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズジャパン株式会社製）と「ＴＳＥ−２６２７Ｕ」（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズジャパン株式会社製）と架橋剤「Ｃ２３−Ｎ」（信越化学工業株式会社製）を混練したものを、１５０℃で５分間遠赤外線加熱することにより、シリコーンゴムサンプルを得た。得られたゴムサンプルの硬度は、Ｈｓ５０（ＪＩＳＫ６２５３デュロメータ（タイプＡ）で測定）であった。
（導電層（３７，４１，４５）の作製方法）
導電ペースト「ドータイトＸＡ−９４２４」（藤倉化成株式会社製）を、９０℃、３０分、次いで、１５５℃、２時間加熱硬化させて導電層を作製した。

＜テスト１＞
中間電極（１５）の数をそれぞれ「０」，「１」，「２」，「３」，「４」とする５つの「テスト対象物（試料）」を用意した。そして、いずれの「テスト対象物」においても、センサ（１０）のＹ方向の長さを６０ｍｍ、各導線部（２１，２２）のＹ方向の長さを２０ｍｍ、センサ（１０）及び導線部（２１，２２）のそれぞれのＸ方向の長さ（幅）を２０ｍｍとした。そして、各「テスト対象物」のセンサ（１０）のカバー部（１９）のＸＹ平面中央部を所定周期で（所定時間間隔を空けて）手で触れたときの静電容量を測定した。以下では、この測定を「周期接触測定処理」と呼ぶ。また、以下では、５つのテスト対象物を各テスト対象物の中間電極（１５）の数を付して、それぞれ、テスト対象物０，１，２，３，４と呼ぶ。ここで、中間電極（１５）の数が奇数である場合、一対の外側電極（１１，１３）の両方をグランドに接続することができる。しかしながら、中間電極（１５）の数が「０」及び偶数の場合、一対の外側電極（１１，１３）の一方をグランドに接続することができないので、他方のみをグランドに接続した状態で「周期接触測定処理」が行われている。

図３は、テスト１の各テスト対象物についての周期接触測定処理の結果を示す図である。図４，５は、図３の静電容量を静電容量変化率に変換した図である。この静電容量変化率は、各サンプリング周期における静電容量変化量を、測定開始時の静電容量値（サンプリング初期値）で除算して得られた値をパーセントに変換したものである。図６は、各テスト対象物（中間電極（１５）の数）に応じた平均静電容量変化率を示す図である。図２乃至４において、ＩＥ０〜ＩＥ４は、それぞれ、テスト対象物０，１，２，３，４に対応している。

図３乃至６を見てわかるように、テスト対象物１，３では、テスト対象物０，２，４と比べて、極端に低い平均静電容量変化率が得られている。この結果は、テスト対象物１，３において「シールド効果」が得られていることを示している。

＜テスト２＞
中間電極（１５）の数を「３」として、カバー部（１９）の厚さをそれぞれ「５０μｍ」、「１００μｍ」、「２００μｍ」とする３つの「テスト対象物」を用意した。いずれの「テスト対象物」においても、センサ（１０）のＹ方向の長さを６０ｍｍ、各導線部（２１，２２）のＹ方向の長さを２０ｍｍ、センサ（１０）及び導線部（２１，２２）のそれぞれのＸ方向の長さ（幅）を２０ｍｍとした。そして、各「テスト対象物」に対して「周期接触測定処理」を行った。以下では、３つのテスト対象物を各テスト対象物のカバー部厚さを付して、それぞれ、テスト対象物５０，１００，２００と呼ぶ。ここで、テスト対象物５０，１００，２００において、一対の外側電極（１１，１３）の両方は、テスト対象物３と同様に、グランドに接続されている。

図７は、テスト２の各テスト対象物についての周期接触測定処理の結果を示す図である。図８は、図７の静電容量を静電容量変化率に変換した図である。図９は、各テスト対象物（カバー部の厚さ）に応じた平均静電容量変化率を示す図である。

図７乃至９を見てわかるように、カバー部（１９）の厚さを変化させても静電容量変化率にほとんど変化が見られない。この結果は、カバー部（１９）の厚さは「シールド効果」にほとんど寄与していないことを示している。

以上のことから、静電容量型センサが、グランドにそれぞれ接続された一対の外側電極と、一対の外側電極の間に設けられた奇数個（２Ｎ−１個：Ｎは自然数）の中間電極と、一対の外側電極及び奇数個の中間電極から成る電極群の隣接する電極ペア間にそれぞれ設けられた複数（２Ｎ個）の誘電体とを有することで、「シールド効果」が得られることがわかる。

以上では説明を省略しているが、センサデバイス１は、実際上、シリコーンゴム等の絶縁性部材でコーティングされている。

≪第２実施形態≫
第２実施形態のセンサデバイスは、第１実施形態のセンサデバイス１と比べて、センサの積層方向に直交する面（つまり、ＸＹ平面）の広がり方向における外側電極の構成が異なっている。

図１０は、第２実施形態のセンサデバイスをＺ方向から見た模式図である。第２実施形態のセンサデバイス１'において、センサ１０'は、第１実施形態のセンサ１０と同様に、外側電極１３、誘電体１７−２、中間電極１５、誘電体１７−１及び外側電極１１がこの順番でＺ方向（積層方向）に重ねられた「積層構造」となっている。そして、センサ１０'は、Ｙ方向が長手方向であり、Ｘ方向が短手方向となっている。

ただし、第２実施形態のセンサデバイス１'において、センサ１０'は、−Ｙ方向側の端部１０'Ａに沿って導線部２１が配設されているだけでなく、±Ｘ方向側の端部１０'Ｂ，１０'Ｃに沿って導線部２１が配設されている。具体的には、第２実施形態のセンサデバイス１'では、センサ１０'の端部１０'Ａ，１０'Ｂ，１０'Ｃの外側に、Ｚ方向から見たときにコ字状に導線部２１が配設されている。

また、別の見方をすれば、センサ１０'の外側電極１１は、Ｘ方向（つまり、センサ１０’の積層方向に直交するセンサ１０’の短手方向）において中間電極１５の両端よりも外側にはみ出した、一対の非対向部１１Ａを有している。同様に、外側電極１３は、Ｘ方向において中間電極１５の両端よりも外側にはみ出した、一対の非対向部１３Ａを有している。同様に、誘電体１７−１は、Ｘ方向において中間電極１５の両端よりも外側にはみ出した、一対の非対向部１７−１Ａを有している。同様に、誘電体１７−２は、Ｘ方向において中間電極１５の両端よりも外側にはみ出した、一対の非対向部１７−２Ａを有している。

このように、センサ１０'の外側電極１１、外側電極１３、誘電体１７−１、及び誘電体１７−２の非対向部１１Ａ、非対向部１３Ａ、非対向部１７−１Ａ、及び非対向部１７−２Ａが、それぞれ、Ｘ方向において中間電極１５の両端よりも外側に張り出している。このため、人体等の導電体がセンサ１０'のＸ方向の側面に触れた場合でも人体等の導電体と中間電極１５との間に距離をとることができるので、中間電極１５に蓄積された電荷が人体等の導電体に流れ出すことを防止することができる。さらに、それぞれグランドに接続されている外側電極１１及び外側電極１３の非対向部１１Ａ及び非対向部１３Ａが、それぞれ、Ｘ方向において中間電極１５の両端よりも外側に張り出しているので、Ｘ方向の「シールド効果」を高めることができる。

なお、以上の説明では、センサデバイス１'において、外側電極１１、外側電極１３、誘電体１７−１、及び誘電体１７−２の非対向部１１Ａ、非対向部１３Ａ、非対向部１７−１Ａ、及び非対向部１７−２Ａが、それぞれ、Ｘ方向において中間電極１５の両端よりも外側に張り出していることを前提に説明を行ったが、本発明はこれに限定されるものではない。センサデバイス１'の構成としては、誘電体１７−１及び誘電体１７−２はＸ方向において中間電極１５の両端よりも外側に張り出さず、外側電極１１及び外側電極１３のみがＸ方向において中間電極１５の両端よりも外側に張り出す構成であってもよい。

≪第３実施形態≫
第３実施形態のセンサデバイスは、第２実施形態のセンサデバイス１’と比べて、Ｘ方向のセンサデバイスの両端部の外側に、一対の導電部材をさらに有している点で異なっている。

図１１は、第３実施形態のセンサデバイスをＺ方向から見た模式図である。図１１に示すように、センサデバイス１''は、第２実施形態のセンサデバイス１'と同様に、センサ１０'の端部１０'Ａ，１０'Ｂ，１０'Ｃの外側に、Ｚ方向から見たときにコ字状に導線部２１が配設されている。別の見方をすれば、センサデバイス１''において、外側電極１１、外側電極１３、誘電体１７−１、及び誘電体１７−２の非対向部１１Ａ、非対向部１３Ａ、非対向部１７−１Ａ、及び非対向部１７−２Ａが、それぞれ、Ｘ方向において中間電極１５の両端よりも外側に張り出している。

さらに、センサデバイス１''は、第２実施形態のセンサデバイス１'の構成にプラスして、センサデバイス１'のＸ方向の両端部の外側に、一対の導電部材５１を有している。該一対の導電部材５１は、中間電極１５のＸ方向（上記短手方向）の端部と非接触状態で対向するように配置されている。例えば、センサデバイス１''は、一対の導電部材５１がセンサデバイス１'の側面に対して印刷されることにより製造される。

このセンサデバイス１''の構成により、センサデバイス１''の横側（つまり、Ｘ方向）から、人体等の導電体が中間電極１５に接触することを確実に避けることができる。

ここで、一対の導電部材５１は、グランドに接続されていてもよい。一対の導電部材５１をグランドに接続することにより、Ｘ方向のシールド効果をさらに高めることができる。このとき、一対の導電部材５１は、外側電極１１，１３と接続されていてもよい。

さらに、一対の導電部材５１は、外側電極１１，１３と一連の管を成して、この一連の管の内部に、誘電体１７−２、中間電極１５、及び誘電体１７−１の層構造が配置されてもよい。この構造により、Ｘ方向のシールド効果をさらに高めることができる。

この構成では、一対の導電部材５１と外側電極１１，１３の一連の管の内部に配置される、誘電体１７−２、中間電極１５、及び誘電体１７−１は、層構造をなしているが、代わりに、誘電体１７−２及び誘電体１７−１が他の一連の管をなし、該他の一連の管の内側に、中間電極１５が配置される構成であってもよい。つまり、このセンサの構成では、中心に中間電極が位置し、この中間電極の周りを包むように誘電体が巻かれ、さらに、その誘電体の周りを包むように外側電極が巻かれることになる。このセンサの構成では、中心の中間電極から放射状に積層された積層構造が形成されており、センサの長手方向及び積層方向に沿った断面で見たときには、第１実施形態ないし第３実施形態で説明したセンサ１０及びセンサ１０'と同様の積層構造が形成されている。

１，１'，１'' センサデバイス
１０，１０' センサ（ストレッチャブル静電容量型センサ）
１０'Ａ，１０'Ｂ，１０'Ｃ 端部
１１，１３ 外側電極
１１Ａ，１３Ａ 非対向部
１５ 中間電極
１７ 誘電体
１７−１Ａ，１７−２Ａ 非対向部
１９ カバー部
２１，２２ 導線部
３１ 第１シート
３３ 第２シート
３５ 第３シート
３７，４１，４５ 導電層
３９，４３ カバー層
４７，４９ 誘電層
５１ 導電部材

Claims (5)

1. 電極及び誘電体を積層方向に積層させて構成され、該積層方向にそれぞれ直交する長手方向及び短手方向を有する静電容量型センサにおいて、
   該静電容量型センサの前記長手方向及び前記積層方向に沿った断面で見たときに、
   グランドにそれぞれ接続された一対の外側電極と、
   前記一対の外側電極の間に設けられた２Ｎ−１（Ｎは自然数）個の中間電極と、
   前記一対の外側電極及び前記２Ｎ−１個の中間電極から成る電極群の隣接する電極ペア間にそれぞれ設けられた２Ｎ個の誘電体と、
   を具備することを特徴とする静電容量型センサ。
2. 請求項１記載の静電容量型センサにおいて、
   エラストマーを含有する導電層をそれぞれ含む、第１シート、第２シート、及び、２Ｎ−１個の第３シートを具備し、
   前記２Ｎ−１個の第３シートの導電層とオーバーラップする前記第１シートの導電層部分、及び、前記２Ｎ−１個の第３シートとオーバーラップする前記第２シートの導電層部分が、前記一対の外側電極であり、
   前記第１シートの導電層及び前記第２シートの導電層とオーバーラップする、前記２Ｎ−１個の第３シートの導電層部分が、前記２Ｎ−１個の中間電極である、静電容量型センサ。
3. 請求項１または２記載の静電容量型センサにおいて、
   前記一対の外側電極の各外側電極は、前記静電容量センサの短手方向において前記２Ｎ−１個の中間電極の両端よりも外側にはみ出した、該２Ｎ−１個の中間電極との非対向部を有している、静電容量型センサ。
4. 請求項３記載の静電容量型センサにおいて、
   前記静電容量型センサの短手方向の両端部の外側に、前記２Ｎ−１個の中間電極のそれぞれの前記短手方向の端部と非接触状態で対向するように配置された一対の導電部材をさらに有する、静電容量型センサ。
5. 請求項４記載の静電容量型センサにおいて、
   前記一対の外側電極と前記一対の導電部材は、一連の管を構成し、該一連の管の内部に、前記２Ｎ−１個の中間電極及び前記２Ｎ個の誘電体が配設される、静電容量型センサ。

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