JP2017050120A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017050120A5 JP2017050120A5 JP2015171867A JP2015171867A JP2017050120A5 JP 2017050120 A5 JP2017050120 A5 JP 2017050120A5 JP 2015171867 A JP2015171867 A JP 2015171867A JP 2015171867 A JP2015171867 A JP 2015171867A JP 2017050120 A5 JP2017050120 A5 JP 2017050120A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample holder
- holder
- sample
- measuring
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 1
Description
次に、図６〜図９を参照し、本発明の実施形態に係る試料ホルダ群について説明する。
図６は、本発明の実施形態に係る試料ホルダ群３０の平面図、図７は、図６のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
試料ホルダ群３０は、第１の試料ホルダ２０と、第１の試料ホルダ２０を囲むようにして第１の試料ホルダ２０を保持する第２の試料ホルダ１０Ｂと、を有する。
第２の試料ホルダ１０Ｂは、上記した試料ホルダ１０と略同一であり、有底で略矩形枠状の第２の本体部２Ｂと、第２の本体部２Ｂの表面の２以上（図６では３つ）の異なる位置にそれぞれ配置された第２のアライメントマーク６と、第２の本体部２Ｂの内側に配置されて第１の試料ホルダ２０を保持するホルダ保持部４Ｂと、を備える。つまり、試料ホルダ１０Ｂは、試料保持部４の代わりにホルダ保持部４Ｂを備えた点が試料ホルダ１０と異なる。ホルダ保持部４Ｂは、本体部２の内側の底面の３箇所から立設する３本のガイドピンである（図８参照）。
図６は、本発明の実施形態に係る試料ホルダ群３０の平面図、図７は、図６のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
試料ホルダ群３０は、第１の試料ホルダ２０と、第１の試料ホルダ２０を囲むようにして第１の試料ホルダ２０を保持する第２の試料ホルダ１０Ｂと、を有する。
第２の試料ホルダ１０Ｂは、上記した試料ホルダ１０と略同一であり、有底で略矩形枠状の第２の本体部２Ｂと、第２の本体部２Ｂの表面の２以上（図６では３つ）の異なる位置にそれぞれ配置された第２のアライメントマーク６と、第２の本体部２Ｂの内側に配置されて第１の試料ホルダ２０を保持するホルダ保持部４Ｂと、を備える。つまり、試料ホルダ１０Ｂは、試料保持部４の代わりにホルダ保持部４Ｂを備えた点が試料ホルダ１０と異なる。ホルダ保持部４Ｂは、本体部２の内側の底面の３箇所から立設する３本のガイドピンである（図８参照）。
図１０は、それぞれ異なる測定原理による複数の測定装置２００、４００の内部にそれぞれ試料ホルダ群３０、第１の試料ホルダ２０を取付け、試料１００をそれぞれの測定装置２００、４００で測定する態様を示す模式図である。なお、図１０の例では、測定装置２００はSEM（走査電子顕微鏡）であり、測定装置４００は手動でステージ４０２を移動させるタイプの走査プローブ顕微鏡であって試料観察用の光学顕微鏡を備える。
そして、測定装置２００は、測定装置４００よりも測定領域が広い。測定装置２００，４００は、それぞれ特許請求の範囲の「第２の測定装置」、「第１の測定装置」に相当する。なお、ステージを電動等によって駆動する測定装置は、ステージを手動によって駆動する測定装置より一般に測定領域が広い。
そして、測定装置２００は、測定装置４００よりも測定領域が広い。測定装置２００，４００は、それぞれ特許請求の範囲の「第２の測定装置」、「第１の測定装置」に相当する。なお、ステージを電動等によって駆動する測定装置は、ステージを手動によって駆動する測定装置より一般に測定領域が広い。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015171867A JP6640497B2 (ja) | 2015-09-01 | 2015-09-01 | 試料ホルダ及び試料ホルダ群 |
| TW105114147A TWI700721B (zh) | 2015-09-01 | 2016-05-06 | 試料保持具及試料保持具群 |
| KR1020160068015A KR20170027268A (ko) | 2015-09-01 | 2016-06-01 | 시료 홀더 및 시료 홀더군 |
| US15/193,922 US9865425B2 (en) | 2015-09-01 | 2016-06-27 | Sample holder and sample holder set |
| SG10201605375YA SG10201605375YA (en) | 2015-09-01 | 2016-06-30 | Sample holder and sample holder set |
| EP16179243.7A EP3139398A1 (en) | 2015-09-01 | 2016-07-13 | Sample holder and sample holder set |
| CN201610773695.6A CN106483336B (zh) | 2015-09-01 | 2016-08-31 | 样品支座和样品支座组 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015171867A JP6640497B2 (ja) | 2015-09-01 | 2015-09-01 | 試料ホルダ及び試料ホルダ群 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017050120A JP2017050120A (ja) | 2017-03-09 |
| JP2017050120A5 true JP2017050120A5 (ja) | 2018-08-16 |
| JP6640497B2 JP6640497B2 (ja) | 2020-02-05 |
Family
ID=56567384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015171867A Active JP6640497B2 (ja) | 2015-09-01 | 2015-09-01 | 試料ホルダ及び試料ホルダ群 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9865425B2 (ja) |
| EP (1) | EP3139398A1 (ja) |
| JP (1) | JP6640497B2 (ja) |
| KR (1) | KR20170027268A (ja) |
| CN (1) | CN106483336B (ja) |
| SG (1) | SG10201605375YA (ja) |
| TW (1) | TWI700721B (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6782191B2 (ja) * | 2017-04-27 | 2020-11-11 | 株式会社日立製作所 | 分析システム |
| CN109254025B (zh) * | 2018-11-02 | 2023-09-22 | 内蒙古工业大学 | 一种用于透射电镜样品粘贴环形载网的装置及方法 |
| JP7229806B2 (ja) * | 2019-02-19 | 2023-02-28 | 日本電子株式会社 | 観察方法 |
| EP3751251A1 (de) | 2019-06-11 | 2020-12-16 | Anton Paar GmbH | Probentransfer mit leichter auffindbarkeit eines zielbereichs |
| KR20240048549A (ko) * | 2021-09-30 | 2024-04-15 | 주식회사 히타치하이테크 | 해석 시스템 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53114288U (ja) * | 1977-02-18 | 1978-09-11 | ||
| JP3293739B2 (ja) * | 1996-06-13 | 2002-06-17 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡 |
| JP2003257349A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査像観察装置用画像調整標準試料台 |
| JP2004363085A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-12-24 | Ebara Corp | 荷電粒子線による検査装置及びその検査装置を用いたデバイス製造方法 |
| US7442624B2 (en) * | 2004-08-02 | 2008-10-28 | Infineon Technologies Ag | Deep alignment marks on edge chips for subsequent alignment of opaque layers |
| JP5403852B2 (ja) * | 2005-08-12 | 2014-01-29 | 株式会社荏原製作所 | 検出装置及び検査装置 |
| JP2008146990A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料固定台、及びそれを備えた荷電粒子線装置、並びに観察／解析対象箇所特定方法 |
| KR100902403B1 (ko) | 2007-09-11 | 2009-06-11 | 한국기초과학지원연구원 | 투과전자현미경 3차원 관찰 전용 문 그리드 및 그 제조방법 |
| DE102009020663A1 (de) * | 2009-05-11 | 2010-11-25 | Carl Zeiss Ag | Mikroskopie eines Objektes mit einer Abfolge von optischer Mikroskopie und Teilchenstrahlmikroskopie |
| JP5624815B2 (ja) | 2010-07-02 | 2014-11-12 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置及び拡大観察方法 |
| DE102010052674A1 (de) * | 2010-11-24 | 2012-05-24 | Carl Zeiss Ag | Probenträger mit Justiermarkierung |
| JP5788719B2 (ja) * | 2011-06-09 | 2015-10-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ステージ装置およびステージ装置の制御方法 |
| JP2013140846A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-18 | Canon Inc | 描画装置及び物品の製造方法 |
-
2015
- 2015-09-01 JP JP2015171867A patent/JP6640497B2/ja active Active
-
2016
- 2016-05-06 TW TW105114147A patent/TWI700721B/zh active
- 2016-06-01 KR KR1020160068015A patent/KR20170027268A/ko unknown
- 2016-06-27 US US15/193,922 patent/US9865425B2/en active Active
- 2016-06-30 SG SG10201605375YA patent/SG10201605375YA/en unknown
- 2016-07-13 EP EP16179243.7A patent/EP3139398A1/en not_active Withdrawn
- 2016-08-31 CN CN201610773695.6A patent/CN106483336B/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2017050120A5 (ja) | ||
| JP2011097121A5 (ja) | 露光装置、及び方法 | |
| EP2733455A3 (en) | Spherical-form measuring apparatus | |
| JP2017530358A5 (ja) | ||
| JP2015129928A5 (ja) | ||
| EP3497453C0 (en) | SCANNING PROBE AND ELECTRON MICROSCOPE PROBES AND THEIR PRODUCTION | |
| PH12016501754A1 (en) | High-planarity probe card for a testing apparatus of electronic devices | |
| EP3002776A3 (en) | Methods and apparatus for measuring electron beam spot | |
| JP2013140846A5 (ja) | ||
| JP2016139646A5 (ja) | ||
| WO2014033489A8 (en) | Imaging apparatus, an aperture for the imaging apparatus and a method for manufacturing an aperture of an imaging apparatus | |
| CN203732653U (zh) | 一种手动led检测装置 | |
| JP2013183017A5 (ja) | ||
| EP2698640A3 (de) | Prüfkopf für die elektrische Prüfung eines Prüflings | |
| TWM391535U (en) | Chip suction device, dual-row type chip suction device and chip testing machine | |
| SE0800335L (sv) | Mätanordning | |
| CN302422442S (zh) | 测试探针(二) | |
| CN302050874S (zh) | 试样架适配器 | |
| CN302222258S (zh) | 血气分析仪（mb-3100型） | |
| ES2678996R1 (es) | Procedimiento de inspección de estructuras honeycomb de aluminio mediante corrientes inducidas | |
| CN302454226S (zh) | X光检测仪器 | |
| CN105811882A (zh) | 太阳能电池测试装置 | |
| CN302413565S (zh) | 综测仪 | |
| CN302429478S (zh) | 数字示波器（sds3000系列） | |
| CN302429460S (zh) | 数字示波器（sds2000系列） |