JP2017043812A - スパッタリング用シリコンターゲット材及びそのターゲット材に割れ防止層を形成する方法 - Google Patents
スパッタリング用シリコンターゲット材及びそのターゲット材に割れ防止層を形成する方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明のスパッタリング用シリコンターゲット材10は、スパッタリング雰囲気に少なくとも酸素ガスを含んでマグネトロンスパッタリングを行うときに使用される。このターゲット材10は、マグネトロンスパッタリング時に、シリコンターゲット材10の表面がスパッタされてエロージョン部となる第1領域11と、スパッタされない非エロージョン部となる第2領域12とを有する。また第2領域12にスパッタリング中にターゲット材の割れを防止する層13を有する。
【選択図】図1
Description
図1〜図3に示すように、本発明のシリコンターゲット材10は、スパッタリング雰囲気に少なくとも酸素ガスを含んでマグネトロンスパッタリングを行うときに使用される。このシリコンターゲット材10は、その表面が、マグネトロンスパッタリング時にスパッタされてエロージョン部となる第1領域11と、マグネトロンスパッタリング時にスパッタされない非エロージョン部となる第2領域12とを有する。ターゲット材10は、この実施の形態では、シリコンを削り出すことにより、横長の長方形板状に形成される。シリコンとしては多結晶シリコンや単結晶シリコン等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、ターゲット材10は、エロージョン部となる第1領域11は平面状に形成され、非エロージョン部となる第2領域12は平面状の第1領域11より凹んで形成される。具体的には、エロージョン部となる第1領域11は横長のドーナツ状の平面に形成される。また非エロージョン部となる第2領域12は、ターゲット材10表面のうち第1領域11の内側に位置するように略横長四角形状に形成されるとともに第1領域11の平面より凹む凹溝部分12aと、ターゲット材10表面のうち第1領域11の外周縁に位置するように略四角枠状に形成されるとともに第1領域11の平面から離れるに従って次第に下る傾斜面部分12bとからなる。なお、ターゲット材10の表面は、スパッタリング装置の構造上の理由から、エロージョン部となる第1領域11と非エロージョン部となる第2領域12に必然的に区画される。
ターゲット材10の表面にSiを溶射することによりSi溶射層を形成し、このSi溶射層が割れ防止層13となる。具体的なSi溶射層からなる割れ防止層の形成方法を説明する。先ず、Si溶射の原料としてSi粉末を用意する。このSi粉末は、Si塊を粉砕した後に、30〜200μmに分級した。ここで、粉砕したSi粉末を30μm以上に分級したのは、Si溶射装置へのSi粉末の供給の流動性を高め、安定した溶射を可能にするためである。また、粉砕したSi粉末を200μm以下に分級したのは、200μmを超えると、Si粉末が溶射噴霧時にその粒子の比熱が大きくなるため、Si粒子間の結着力が劣ってしまうからである。次に、非エロージョン部となる第2領域12以外の部分をAl板等でマスキングし、この状態でターゲット材10の表面に上記Siを溶射した後に、マスキングを取外す。これによりターゲット材10の表面のうち非エロージョン部となる第2領域12に割れ防止層13が形成される。なお、Siの溶射時に、割れ防止層13を冷却しながら形成することが好ましい。この冷却は、割れ防止層13に冷えた空気等のガスを直接吹き付けるか、或いはターゲット材10の裏面に水等の流れる管路を接触させることにより行うことができる。また、割れ防止層13のターゲット材10表面への密着強度を向上させるために、ターゲット材10の表面全体に割れ防止層13を形成する前に、ターゲット材10の表面全体に必要最低限のブラストを施してもよい。更に、上記Si溶射に用いられる溶射装置としては、プラズマガスの温度が10000℃を超えるプラズマ溶射装置を用いることが好ましい。
ターゲット材10の表面にSiO2を溶射することによりSiO2溶射層を形成し、このSiO2溶射層が割れ防止層13となる。具体的なSiO2溶射層からなる割れ防止層の形成方法は、上記(1)の『Si溶射層からなる割れ防止層13の形成方法』と略同様であるので、繰返しの説明を省略する。このSiO2溶射層からなる割れ防止層13では、スパッタリング時に、非エロージョン部上の割れ防止層13にSiOxが堆積して、非エロージョン部上の割れ防止層13表面にSiOx膜が形成されても、SiO2溶射層の表面に比較的大きな凹凸が形成されているためにSiOx膜の応力が2次元平面内から3次元に分散されること、及びSiO2溶射層のSiO2粒子間はSi原子間に比べ弱い結合力で溶着しているためにSiOx膜の応力がSiO2粒子間の結合を歪ませることなどから、SiOx膜の応力がシリコンターゲット材に伝達することを抑制する機能を発揮すると考えられる。また、SiO2溶射層からなる割れ防止層13では、スパッタリングによりSiO2薄膜等のシリコン系薄膜を成膜する場合であれば、仮に微量のSiO2溶射層がスパッタされてSiO2薄膜等のシリコン系薄膜に混入しても、SiO2薄膜等のシリコン系薄膜の品質への影響は極めて小さい。
低融点ガラスフリットにSi粉末を分散させたSiペーストを塗布し乾燥し焼成することにより、低融点ガラスをバインダとしてSi粉末を低融点ガラスで結着したSi粉末結着層を形成し、このSi粉末結着層が割れ防止層13となる。具体的には、先ず、平均粒径1〜500μmのSi粉末を軟化点550℃前後の低融点ガラスに分散させてSiペーストを調製し、このSiペーストをスクリーン印刷法、ディップコート法又はスピンコート法によりターゲット材表面に印刷又は塗布する。ここで、低融点ガラスの融点を所定値まで下げるために、上記低融点ガラスにはB(ホウ素)又はP(リン)の何れか一方又は双方を添加することが好ましい。また、Si粉末の含有割合は、Si粉末結着層を100質量%とするとき、80〜90質量%であることが好ましい。次いで、このターゲット材をホットプレートに載せ、このホットプレートを2℃/分の昇温速度で30℃から150℃に昇温し、150℃に20分間保持することにより、ターゲット材表面に印刷又は塗布されたSiペーストの膜を乾燥させる。次に、上記ホットプレートを2℃/分の昇温速度で150℃から550℃まで昇温し、この温度に20分間保持することにより、上記Siペーストの膜を焼成して、ターゲット材表面にSi粉末結着層を形成する。更に、上記ホットプレートを3℃/分の降温速度で550℃から60℃まで降温する。このSi粉末結着層からなる割れ防止層13では、スパッタリング時に、非エロージョン部上の割れ防止層13にSiOxが堆積して、非エロージョン部上の割れ防止層13表面にSiOx膜が形成されても、Si粉末結着層の表面に比較的大きな凹凸が形成されているためにSiOx膜の応力が2次元平面内から3次元に分散されること、及びSi粉末結着層のSi粒子間はSi原子間に比べ弱い結合力で溶着しているためにSiOx膜の応力がSi粒子間の結合を歪ませることなどから、SiOx膜の応力がシリコンターゲット材に伝達することを抑制する機能を発揮すると考えられる。また、Si粉末結着層からなる割れ防止層13では、スパッタリングによりSiO2薄膜等のシリコン系薄膜を成膜する場合であれば、仮に微量のSi及びそのバインダである低融点ガラスがスパッタされてSiO2薄膜等のシリコン系薄膜に混入しても、SiO2薄膜等のシリコン系薄膜の品質への影響は極めて小さい。なお、上記Si粉末の平均粒径は、粒度分布測定装置(堀場製作所製LA−950)を用いて測定した粒径であり、体積基準平均粒径である。また、ここで使用する低融点ガラス(軟化点600℃以下)は、硼珪酸ガラス、燐酸珪酸ガラス、硼燐珪酸ガラスが好ましいが、酸化ビスマス、酸化亜鉛、酸化バナジウム、酸化スズ、酸化テルル、アルカリ金属酸化物、フッ素等を用いたガラスも使用可能である。
低融点ガラスをバインダとして、SiO2,Al2O3,Ga2O3,TiO2,ZrO2,HfO2,Nb2O5及びTa2O5からなる群より選ばれた1種又は2種以上のセラミック粉末を分散させたSiO2粉末等のペーストを塗布し乾燥し焼成することにより、SiO2等のセラミック粉末を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層を形成し、このセラミック粉末結着層が割れ防止層13となる。このセラミック粉末結着層の具体的な形成方法は、上記(3)のSi粉末に替えて、SiO2,Al2O3,Ga2O3,TiO2,ZrO2,HfO2,Nb2O5及びTa2O5からなる群より選ばれた1種又は2種以上のセラミック粉末を用いたこと以外は、上記(3)の『割れ防止層13としてSi粉末を低融点ガラスで結着したSi粉末結着層を形成する方法』と略同様であるので、繰返しの説明を省略する。このセラミック粉末結着層からなる割れ防止層13では、スパッタリング時に、非エロージョン部上の割れ防止層13にSiOxが堆積して、非エロージョン部上の割れ防止層13表面にSiOx膜が形成されても、セラミック粉末結着層の表面に比較的大きな凹凸が形成されているためにSiOx膜の応力が2次元平面内から3次元に分散されること、及びセラミック粉末結着層のセラミック粒子間はSi原子間に比べ弱い結合力で溶着しているためにSiOx膜の応力がセラミック粒子間の結合を歪ませることなどから、SiOx膜の応力がシリコンターゲット材に伝達することを抑制する機能を発揮すると考えられる。また、セラミック粉末結着層からなる割れ防止層13では、スパッタリングによりSiO2薄膜等のシリコン系薄膜を成膜する場合であれば、仮に微量のSiO2等及びそのバインダである低融点ガラスがスパッタされてSiO2薄膜等のシリコン系薄膜に混入しても、SiO2薄膜等のシリコン系薄膜の品質への影響は極めて小さい。
ターゲット材10の表面にAlを溶射することによりAl溶射層を形成し、このAl溶射層が割れ防止層13となる。具体的なAl溶射層からなる割れ防止層の形成方法は、上記(1)の『Si溶射層からなる割れ防止層13の形成方法』と略同様であるので、繰返しの説明を省略する。このAl溶射層からなる割れ防止層13では、スパッタリング時に、非エロージョン部上の割れ防止層13にSiOxが堆積して、非エロージョン部上の割れ防止層13表面にSiOx膜が形成されても、Al溶射層の表面に比較的大きな凹凸が形成されているためにSiOx膜の応力が2次元平面内から3次元に分散されること、及びAl溶射層のAl粒子間はSi原子間に比べ弱い結合力で溶着しているためにSiOx膜の応力がAl粒子間の結合を歪ませることなどから、SiOx膜の応力がシリコンターゲット材に伝達することを抑制する機能を発揮すると考えられる。また、Al溶射層からなる割れ防止層13では、スパッタリングによりSiO2薄膜等のシリコン系薄膜を成膜する場合であれば、仮に微量のAlがスパッタされてAl2O3としてSiO2薄膜等のシリコン系薄膜に混入しても、SiO2薄膜等のシリコン系薄膜の品質への影響は極めて小さい。
ターゲット材へのSiの溶射により形成されたシリコン層を陽極化成することによりポーラス状のポーラスシリコン層を形成し、このポーラスシリコン層が割れ防止層13となる。具体的には、先ず、ターゲット材表面のうち非エロージョン部となる第2領域以外の部分に耐薬品性のあるフィルムを貼付けるか、又はUV硬化樹脂等によりマスキングする。次に、ターゲット材と白金などの対向電極とを間隔をあけてフッ化水素酸溶液中に浸漬し、上記ターゲット材表面のうち非エロージョン部となる第2領域を陽極とし、上記対向電極を陰極として、陽極及び陰極間に電流を流す。更に、ターゲット材を洗浄した後に、ターゲット材からフィルム又はマスキングを取外す。これにより、非エロージョン部となる第2領域のSi溶射層がポーラス状(多孔質状)になって、ポーラスシリコン層が形成される。このポーラスシリコン層からなる割れ防止層13では、スパッタリング時に、非エロージョン部上の割れ防止層13にSiOxが堆積して、非エロージョン部上の割れ防止層13表面にSiOx膜が形成されても、ポーラスシリコン層の表面に比較的大きな凹凸が形成されているためにSiOx膜の応力が2次元平面内から3次元に分散されること、及びポーラスシリコン層がナノオーダーのSi柱構造からなるためにSiOx膜の応力がナノ構造のSi柱を歪ませることなどから、SiOx膜の応力がシリコンターゲット材に伝達することを抑制する機能を発揮すると考えられる。また、ポーラスシリコン層からなる割れ防止層13では、このポーラスシリコン層からなる割れ防止層13がシリコンターゲット材と同じ材料であるので、仮に微量のSi溶射層がスパッタされてシリコン薄膜に混入しても、シリコン薄膜の品質への影響は極めて小さい。
図5及び図6は本発明の第2の実施の形態を示す。この実施の形態では、ターゲット材30が円板状に形成される。また、エロージョン部となる第1領域31は丸いドーナツ状の平面に形成される。また、非エロージョン部となる第2領域32は、ターゲット材30表面のうち第1領域31の内側に位置するように円形状に形成されるとともに第1領域31の平面より凹む丸穴部分32aと、ターゲット材30表面のうち第1領域31の外周縁に位置するように円形枠状に形成されるとともに第1領域31の平面から離れるに従って次第に下る傾斜面部分32bとからなる。更に、非エロージョン部となる第2領域32の表面には割れ防止層33が形成される。この割れ防止層33は、第2領域32のうち丸穴部分32aの表面に形成された丸穴用割れ防止層33aと、第2領域32のうち傾斜面部分32bの表面に形成された傾斜面用割れ防止層33bとからなる。なお、図5の拡大図中の符号17は、SiOxが非エロージョン部表面に堆積して形成されたSiOxの膜である。また、ターゲット材は、円板状ではなく、楕円板状、四隅に所定の曲率半径の面取りを施した四角板状、又は他の形の板状であってもよい。上記以外は第1の実施の形態と同一に構成される。
図7及び図8は本発明の第3の実施の形態を示す。この実施の形態では、ターゲット材50が、横長の長方形板状のターゲット素片51〜54を複数枚長手方向に隙間をあけて一列に並べることにより形成される。この実施の形態では、4枚のターゲット素片51〜54を一列に隙間をあけて並べることにより1枚のターゲット材50が構成される、即ち1枚のターゲット材50とみなされる。また、エロージョン部となる第1領域61は、上記1枚とみなされたターゲット材50の表面に、1つの横長のドーナツ状の平面に形成される。また、非エロージョン部となる第2領域62は、上記1枚とみなされたターゲット材50の表面のうち第1領域61の内側に位置するように略横長四角形状に形成されるとともに第1領域61の平面より凹む凹溝部分51a〜54aと、上記1枚とみなされたターゲット材50の表面のうち第1領域61の外周縁に位置するように略四角枠状に形成されるとともに第1領域61の平面から離れるに従って次第に下る傾斜面部分51b〜54bとからなる。更に、非エロージョン部となる第2領域62の表面には割れ防止層(図示せず)が形成される。この割れ防止層は、第2領域62のうち凹溝部分51a〜54aの表面に形成された凹溝用割れ防止層(図示せず)と、第2領域62のうち傾斜面部分51b〜54bの表面に形成された傾斜面用割れ防止層(図示せず)とからなる。なお、4枚のターゲット素片51〜54を一列に並べるときに隙間をあけたのは、各ターゲット素片51〜54の熱膨張を考慮したものである。
図9及び図10は本発明の第4の実施の形態を示す。この実施の形態では、ターゲット材80が、円筒状に形成される。また、エロージョン部となる第1領域81はターゲット材80の長手方向の中央部に形成される。また、非エロージョン部となる第2領域82,82は、ターゲット材30の長手方向の両端部にそれぞれ形成される。更に、非エロージョン部となる第2領域82,82の外周面には、割れ防止層83,83がそれぞれ形成される。上記以外は第1の実施の形態と同一に構成される。
図1〜図3に示すように、先ず、多結晶シリコンを削り出すことにより、縦、横及び厚さがそれぞれ126mm、178mm及び6mmであるシリコンターゲット材10を作製した。次いで、このターゲット材10に、非エロージョン部となる第2領域12に、凹溝部分12a及び傾斜面部分12bを機械加工により形成した。具体的には、エロージョン部となる第1領域11を横長のドーナツ状の平面に形成するために、凹溝部分12aを第1領域11の内側に位置するように略横長四角形状に形成するとともに第1領域11の平面より凹む溝状に形成し、傾斜面部分12bを第1領域11の外周縁に位置するように略四角枠状に形成するとともに第1領域11の平面から離れるに従って次第に下る傾斜面状に形成した。次に、上記ターゲット材10の表面全体に、Siを溶射することにより、ターゲット材10の表面全体に厚さ20μmの割れ防止層13を形成した。この割れ防止層13の表面粗さは算術平均粗さRaで3μmであった。更に、上記割れ防止層13の形成されたターゲット材10の表面のうち第1領域11のみを研磨することにより、エロージョン部となる第1領域11から割れ防止層13を除去した。これにより非エロージョン部となる第2領域12にのみ割れ防止層13が形成された。このターゲット材10を実施例1とした。
図5及び図6に示すように、先ず、実施例1と同じ多結晶シリコンから、直径及び厚さがそれぞれ200mm及び10mmであるシリコンターゲット材30を作製した。次に、エロージョン部となる第1領域31を丸いドーナツ状の平面に形成するために、非エロージョン部となる第2領域32に、第1領域31の内側に位置する丸穴部分32aと、第1領域31の外周縁に位置する傾斜面部分32bとを機械加工により形成した。次に、上記ターゲット材30の表面全体に、実施例1と同様にして、Siを溶射することにより、ターゲット材30の表面全体に厚さ20μmの割れ防止層を形成した。この割れ防止層の表面粗さは算術平均粗さRaで3μmであった。更に、実施例1と同様にして、上記割れ防止層の形成されたターゲット材30の表面のうち第1領域31のみを研磨することにより、エロージョン部となる第1領域31から割れ防止層を除去した。これにより非エロージョン部となる第2領域32にのみ割れ防止層33が形成された。このターゲット材30を実施例2とした。
実施例1のSi溶射層からなる割れ防止層に替えて、SiO2溶射層からなる割れ防止層を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてターゲット材を作製した。このターゲット材を実施例3とした。なお、割れ防止層の表面粗さは算術平均粗さRaで2μmであった。
実施例1のSi溶射層からなる割れ防止層に替えて、Si粉末を低融点ガラスで結着したSi粉末結着層からなる割れ防止層を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてターゲット材を作製した。このターゲット材を実施例4とした。なお、Si粉末結着層は次の方法で形成した。先ず、平均粒径10μmのSi粉末を軟化点550℃程度の低融点ガラスに分散させてSiペーストを調製し、このSiペーストをスクリーン印刷法によりターゲット材表面に印刷した。ここで、Si粉末の含有割合は、Si粉末結着層を100質量%とするとき90質量%であった。次いで、このターゲット材をホットプレートに載せ、このホットプレートを2℃/分の昇温速度で30℃から150℃に昇温し、150℃に20分間保持することにより、ターゲット材表面に塗布された低融点ガラスの膜を乾燥させた。次に、上記ホットプレートを2℃/分の昇温速度で150℃から550℃まで昇温し、この温度に20分間保持することにより、上記低融点ガラスの膜を焼成して、ターゲット材表面にSi粉末結着層を形成した。更に、上記ホットプレートを3℃/分の降温速度で550℃から60℃まで降温した。なお、割れ防止層の表面粗さは算術平均粗さRaで1μmであった。
実施例4のSiO2粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層に替えて、SiO2粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層を用いたこと以外は、実施例4と同様にしてターゲット材を作製した。このターゲット材を実施例5とした。なお、割れ防止層の表面粗さは算術平均粗さRaで1μmであった。
実施例4のSiO2粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層に替えて、Al2O3粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層を用いたこと以外は、実施例4と同様にしてターゲット材を作製した。このターゲット材を実施例6とした。なお、割れ防止層の表面粗さは算術平均粗さRaで1μmであった。
実施例4のSiO2粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層に替えて、Ga2O3粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層を用いたこと以外は、実施例4と同様にしてターゲット材を作製した。このターゲット材を実施例7とした。なお、割れ防止層の表面粗さは算術平均粗さRaで1μmであった。
実施例4のSiO2粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層に替えて、TiO2粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層を用いたこと以外は、実施例4と同様にしてターゲット材を作製した。このターゲット材を実施例8とした。なお、割れ防止層の表面粗さは算術平均粗さRaで1μmであった。
実施例4のSiO2粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層に替えて、ZrO2粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層を用いたこと以外は、実施例4と同様にしてターゲット材を作製した。このターゲット材を実施例9とした。なお、割れ防止層の表面粗さは算術平均粗さRaで1μmであった。
実施例4のSiO2粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層に替えて、HfO2粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層を用いたこと以外は、実施例4と同様にしてターゲット材を作製した。このターゲット材を実施例10とした。なお、割れ防止層の表面粗さは算術平均粗さRaで1μmであった。
実施例4のSiO2粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層に替えて、Nb2O5粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層を用いたこと以外は、実施例4と同様にしてターゲット材を作製した。このターゲット材を実施例11とした。なお、割れ防止層の表面粗さは算術平均粗さRaで1μmであった。
実施例4のSiO2粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層に替えて、Ta2O5粉末(セラミック粉末)を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層からなる割れ防止層を用いたこと以外は、実施例4と同様にしてターゲット材を作製した。このターゲット材を実施例12とした。なお、割れ防止層の表面粗さは算術平均粗さRaで1μmであった。
実施例1のSi溶射層からなる割れ防止層に替えて、Al溶射層からなる割れ防止層を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてターゲット材を作製した。このターゲット材を実施例13とした。なお、割れ防止層の表面粗さは算術平均粗さRaで1μmであった。
実施例1のSi溶射層からなる割れ防止層に替えて、ポーラスシリコン層からなる割れ防止層を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてターゲット材を作製した。このターゲット材を実施例14とした。なお、ポーラスシリコン層からなる割れ防止層は次の方法で形成した。先ず、ターゲット材表面のうち非エロージョン部となる第2領域以外の部分にUV硬化樹脂によりマスキングした。次に、ターゲット材と白金の対向電極とを間隔をあけてフッ化水素酸溶液中に浸漬し、上記ターゲット材表面のうち非エロージョン部となる第2領域を陽極とし、上記対向電極を陰極として、陽極及び陰極間に電流を流した。更に、ターゲット材を洗浄した後に、ターゲット材からマスキングを取外した。これにより、非エロージョン部となる第2領域のSi溶射層がポーラス状(多孔質状)になって、ポーラスシリコン層が形成された。また、割れ防止層の表面粗さは算術平均粗さRaで5μmであった。
非エロージョン部となる第2領域に割れ防止層を形成しなかった、即ちターゲット材の表面に割れ防止層を形成しなかったこと以外は、実施例1と同様にしてターゲット材を作製した。このターゲット材を比較例1とした。
非エロージョン部となる第2領域に割れ防止層を形成しなかった、即ちターゲット材の表面に割れ防止層を形成しなかったこと以外は、実施例2と同様にしてターゲット材を作製した。このターゲット材を比較例2とした。
実施例1〜14と比較例1及び2のターゲット材を用いて、スパッタリングにより基材表面にSiO2薄膜を形成した。具体的には、スパッタリング装置(成膜装置)として、株式会社 昭和真空製のSPH-2307を用い、基材としてスライドガラスを用いた。スパッタ条件は次の通りであった。パルス周波数は20kHzであり、パルス出力はDC1000Wであり、スパッタガス圧は0.4Paであった。また、Arガスの流量は6sccm(standard cc/min)であり、酸素ガスの流量は9sccmであった。また、上記スパッタリングを連続380時間行った後のターゲット材表面の状態を目視により検査した。
11,31,61,81 エロージョン部となる第1領域
12,32,62,82 非エロージョン部となる第2領域
13,33,83 割れ防止層
ターゲット材へのSiの溶射により形成されたシリコン層を陽極化成することによりポーラス状のポーラスシリコン層を形成し、このポーラスシリコン層が割れ防止層13となる。具体的には、先ず、ターゲット材表面のうち非エロージョン部となる第2領域以外の部分に耐薬品性のあるフィルムを貼付けるか、又はUV硬化樹脂等によりマスキングする。次に、ターゲット材と白金などの対向電極とを間隔をあけてフッ化水素酸溶液中に浸漬し、上記ターゲット材表面のうち非エロージョン部となる第2領域を陽極とし、上記対向電極を陰極として、陽極及び陰極間に電流を流す。更に、ターゲット材を洗浄した後に、ターゲット材からフィルム又はマスキングを取外す。これにより、非エロージョン部となる第2領域のSi溶射層がポーラス状(多孔質状)になって、ポーラスシリコン層が形成される。このポーラスシリコン層からなる割れ防止層13では、スパッタリング時に、非エロージョン部上の割れ防止層13にSiOxが堆積して、非エロージョン部上の割れ防止層13表面にSiOx膜が形成されても、ポーラスシリコン層の表面に比較的大きな凹凸が形成されているためにSiOx膜の応力が2次元平面内から3次元に分散されること、及びポーラスシリコン層がナノオーダーのSi柱構造からなるためにSiOx膜の応力がナノ構造のSi柱を歪ませることなどから、SiOx膜の応力がシリコンターゲット材に伝達することを抑制する機能を発揮すると考えられる。また、ポーラスシリコン層からなる割れ防止層13では、このポーラスシリコン層からなる割れ防止層13がシリコンターゲット材と同じ材料であるので、仮に微量のSi溶射層がスパッタされてSiO 2 薄膜等のシリコン系薄膜に混入しても、このシリコン系薄膜の品質への影響は極めて小さい。
Claims (7)
- スパッタリング雰囲気に少なくとも酸素ガスを含んでマグネトロンスパッタリングを行うときに使用されるスパッタリング用シリコンターゲット材であって、
マグネトロンスパッタリング時に、前記シリコンターゲット材の表面がスパッタされてエロージョン部となる第1領域と、スパッタされない非エロージョン部となる第2領域とを有し、
前記第2領域にスパッタリング中のターゲット材の割れを防止する層を有する
ことを特徴とするスパッタリング用シリコンターゲット材。 - 前記ターゲット材の割れを防止する層がSi溶射層である請求項1記載のスパッタリング用シリコンターゲット材。
- 前記ターゲット材の割れを防止する層がSiO2溶射層である請求項1記載のスパッタリング用シリコンターゲット材。
- 前記ターゲット材の割れを防止する層がSi粉末を低融点ガラスで結着したSi粉末結着層である請求項1記載のスパッタリング用シリコンターゲット材。
- 前記ターゲット材の割れを防止する層が、SiO2,Al2O3,Ga2O3,TiO2,ZrO2,HfO2,Nb2O5及びTa2O5からなる群より選ばれた1種又は2種以上のセラミック粉末を低融点ガラスで結着したセラミック粉末結着層である請求項1記載のスパッタリング用シリコンターゲット材。
- 前記ターゲット材の割れを防止する層がAl溶射層である請求項1記載のスパッタリング用シリコンターゲット材。
- 前記ターゲット材の割れを防止する層がポーラスシリコン層である請求項1記載のスパッタリング用シリコンターゲット材。
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---|---|---|---|---|
JPH0375365A (ja) * | 1989-08-17 | 1991-03-29 | Mitsubishi Kasei Corp | スパッタリングターゲット |
JPH06306596A (ja) * | 1993-04-23 | 1994-11-01 | Mitsubishi Materials Corp | マグネトロンスパッタリング用Siターゲット材 |
JPH09176842A (ja) * | 1995-12-22 | 1997-07-08 | Mitsubishi Materials Corp | マグネトロンスパッタリング用Tiターゲット |
JPH09272965A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-21 | Toshiba Corp | 真空成膜装置用部品とそれを用いた真空成膜装置、およびターゲット、バッキングプレート |
JP2000319776A (ja) * | 1999-05-06 | 2000-11-21 | Sti Technology Kk | スパッタリング用ターゲットとこれを用いたカラーフィルタ用ブラックマトリクスの製造方法 |
WO2002040733A1 (fr) * | 2000-11-17 | 2002-05-23 | Nikko Materials Company, Limited | Cible de pulverisation produisant peu de particules, plaque support ou appareil de pulverisation, et procede de pulverisation produisant peu de particules |
JP2012007218A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Nihon Ceratec Co Ltd | スパッタリングターゲット、その製造方法およびターゲット材原料 |
JP2013007109A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-01-10 | Ulvac Japan Ltd | スパッタリング用のターゲット及びこれを用いたスパッタリング方法 |
JP2013079420A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Japan Steel Works Ltd:The | スパッタ装置 |
JP2014532204A (ja) * | 2011-09-07 | 2014-12-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | タッチパネルで使用される透明体を製造するための方法およびシステム |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0375365A (ja) * | 1989-08-17 | 1991-03-29 | Mitsubishi Kasei Corp | スパッタリングターゲット |
JPH06306596A (ja) * | 1993-04-23 | 1994-11-01 | Mitsubishi Materials Corp | マグネトロンスパッタリング用Siターゲット材 |
JPH09176842A (ja) * | 1995-12-22 | 1997-07-08 | Mitsubishi Materials Corp | マグネトロンスパッタリング用Tiターゲット |
JPH09272965A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-21 | Toshiba Corp | 真空成膜装置用部品とそれを用いた真空成膜装置、およびターゲット、バッキングプレート |
JP2000319776A (ja) * | 1999-05-06 | 2000-11-21 | Sti Technology Kk | スパッタリング用ターゲットとこれを用いたカラーフィルタ用ブラックマトリクスの製造方法 |
WO2002040733A1 (fr) * | 2000-11-17 | 2002-05-23 | Nikko Materials Company, Limited | Cible de pulverisation produisant peu de particules, plaque support ou appareil de pulverisation, et procede de pulverisation produisant peu de particules |
JP2012007218A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Nihon Ceratec Co Ltd | スパッタリングターゲット、その製造方法およびターゲット材原料 |
JP2013007109A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-01-10 | Ulvac Japan Ltd | スパッタリング用のターゲット及びこれを用いたスパッタリング方法 |
JP2014532204A (ja) * | 2011-09-07 | 2014-12-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | タッチパネルで使用される透明体を製造するための方法およびシステム |
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