JP2017036403A - Resin composition - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin composition exhibiting high adhesive force (peel strength) to a conductive layer even with low roughness and capable of achieving an insulation layer exhibiting low dielectric tangent.SOLUTION: There is provided a resin composition containing (A) a compound having a constitutional unit represented by the formula (1), (B) an epoxy resin and (C) a curing agent. (1), where X represents a residue removing 2 epoxy groups from bifunctional epoxy compound, Y represents a residue removing 2 phenolic hydroxyl group from a bifunctional phenolic compound, Rand Rrepresent a hydrogen atom or Rand Rmay be integrated to form a ring, Rrepresents a monovalent aliphatic hydrocarbon group, a monovalent alicyclic hydrocarbon or a monovalent aromatic hydrocarbon group.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、樹脂組成物に関する。さらには、シート状積層材料、プリント配線板及び半導体装置に関する。   The present invention relates to a resin composition. Furthermore, it is related with a sheet-like laminated material, a printed wiring board, and a semiconductor device.

プリント配線板の製造技術として、絶縁層と導体層を交互に積み重ねるビルドアップ方式による製造方法が知られている。ビルドアップ方式による製造方法において、絶縁層は、一般に、樹脂組成物を硬化させて形成される。このような絶縁層を形成する樹脂組成物としては、たとえば、エポキシ樹脂、及び所定の活性エステル化合物を必須成分とする樹脂組成物が知られている(特許文献1を参照)。   As a technique for manufacturing a printed wiring board, a manufacturing method by a build-up method in which insulating layers and conductor layers are alternately stacked is known. In the manufacturing method by the build-up method, the insulating layer is generally formed by curing a resin composition. As a resin composition for forming such an insulating layer, for example, a resin composition containing an epoxy resin and a predetermined active ester compound as essential components is known (see Patent Document 1).

特開2009−235165号公報JP 2009-235165 A

特許文献1に記載の樹脂組成物によれば、高耐熱性で低誘電正接の樹脂組成物を提供することができるが、更なる高性能化が望まれている。
本発明が解決しようとする課題は、粗度が低くても導体層に対し高い密着力(ピール強度)を示すとともに、低い誘電正接を示す絶縁層を達成し得る樹脂組成物を提供することである。
According to the resin composition described in Patent Document 1, it is possible to provide a resin composition having a high heat resistance and a low dielectric loss tangent, but further improvement in performance is desired.
The problem to be solved by the present invention is to provide a resin composition that can achieve an insulating layer exhibiting high adhesion (peel strength) to a conductor layer and low dielectric loss tangent even if the roughness is low. is there.

本発明者らは、上記の課題につき鋭意検討した結果、(A)下記式(1)で表される構成単位を有する化合物、(B)エポキシ樹脂、及び(C)硬化剤を組み合わせることによって上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies on the above problems, the present inventors have combined (A) a compound having a structural unit represented by the following formula (1), (B) an epoxy resin, and (C) a curing agent. The present inventors have found that the problem can be solved and have completed the present invention.

すなわち、本発明は以下の内容を含む。
[1] (A)下記式(1)で表される構成単位を有する化合物、
(B)エポキシ樹脂、及び(C)硬化剤を含有する、樹脂組成物。

Figure 2017036403
(式中、Xは、2官能エポキシ化合物からエポキシ基を2個除いた残基を表し、Yは、2官能フェノール化合物からフェノール性水酸基を2個除いた残基を表し、R及びRは水素原子を表すか、又は、RとRとが一体となって環を形成していてもよく、Rは1価の脂肪族炭化水素基、脂肪族環を有する1価の炭化水素基、又は芳香族環を有する1価の炭化水素基を表す。)
[2] (A)化合物の重量平均分子量が、8000〜100000である、[1]に記載の樹脂組成物。
[3] (A)化合物の末端がエステル基である[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[4] Rが芳香族環を有する1価の炭化水素基を表す、[1]〜[3]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[5] 樹脂組成物中の不揮発成分を100%とした場合の(A)化合物の含有量が、0.5質量%〜15質量%である[1]〜[4]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[6] (B)エポキシ樹脂が、ビスフェノール型エポキシ樹脂、フッ素含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂及びこれらのエポキシ樹脂の混合物からなる群から選択される、1種または2種以上である、[1]〜[5]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[7] (C)硬化剤が、フェノール系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤及び活性エステル系硬化剤から選択される1種以上を含む[1]〜[6]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[8] (C)硬化剤が、トリアジン構造含有フェノール系樹脂、トリアジン構造含有アルキルフェノール系樹脂、シアネートエステル系硬化剤及び活性エステル系硬化剤から選択される1種以上を含む、[1]〜[7]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[9] さらに、(D)無機充填材を含む、[1]〜[8]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[10] (D)無機充填材の平均粒子径が、0.01μm〜5μmである、[9]に記載の樹脂組成物。
[11] 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合の(D)無機充填材の含有量が30〜90質量%である、[9]又は[10]に記載の樹脂組成物。
[12] (D)無機充填材がシリカである、[9]〜[11]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[13] プリント配線板の絶縁層用である[1]〜[12]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[14] プリント配線板のビルドアップ層用である[1]〜[12]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[15] [1]〜[14]のいずれかに記載の樹脂組成物を含有する、シート状積層材料。
[16] [1]〜[14]のいずれかに記載の樹脂組成物若しくは[15]に記載のシート状積層材料を熱硬化して得られた絶縁層を含む、プリント配線板。
[17] [16]に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。 That is, the present invention includes the following contents.
[1] (A) a compound having a structural unit represented by the following formula (1),
A resin composition containing (B) an epoxy resin and (C) a curing agent.
Figure 2017036403
(Wherein X represents a residue obtained by removing two epoxy groups from a bifunctional epoxy compound, Y represents a residue obtained by removing two phenolic hydroxyl groups from a bifunctional phenol compound, and R 1 and R 2 Represents a hydrogen atom, or R 1 and R 2 may be combined to form a ring, and R 3 is a monovalent aliphatic hydrocarbon group or a monovalent carbon having an aliphatic ring. Represents a hydrogen group or a monovalent hydrocarbon group having an aromatic ring.)
[2] The resin composition according to [1], wherein the compound (A) has a weight average molecular weight of 8000 to 100,000.
[3] The resin composition according to [1] or [2], wherein the terminal of the compound (A) is an ester group.
[4] The resin composition according to any one of [1] to [3], wherein R 3 represents a monovalent hydrocarbon group having an aromatic ring.
[5] The content of the compound (A) when the nonvolatile component in the resin composition is 100%, according to any one of [1] to [4], which is 0.5% by mass to 15% by mass. Resin composition.
[6] (B) The epoxy resin is selected from the group consisting of a bisphenol type epoxy resin, a fluorine-containing epoxy resin, a dicyclopentadiene type epoxy resin, a naphthalene type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, and a mixture of these epoxy resins. The resin composition according to any one of [1] to [5], which is one type or two or more types.
[7] (C) The resin composition according to any one of [1] to [6], wherein the curing agent includes one or more selected from a phenolic curing agent, a cyanate ester curing agent, and an active ester curing agent. object.
[8] (C) The curing agent includes at least one selected from a triazine structure-containing phenolic resin, a triazine structure-containing alkylphenol resin, a cyanate ester curing agent, and an active ester curing agent. [7] The resin composition according to any one of [7].
[9] The resin composition according to any one of [1] to [8], further comprising (D) an inorganic filler.
[10] The resin composition according to [9], wherein (D) the inorganic filler has an average particle size of 0.01 μm to 5 μm.
[11] The resin composition according to [9] or [10], wherein the content of the inorganic filler (D) is 30 to 90% by mass when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass.
[12] The resin composition according to any one of [9] to [11], wherein (D) the inorganic filler is silica.
[13] The resin composition according to any one of [1] to [12], which is for an insulating layer of a printed wiring board.
[14] The resin composition according to any one of [1] to [12], which is for a buildup layer of a printed wiring board.
[15] A sheet-shaped laminated material containing the resin composition according to any one of [1] to [14].
[16] A printed wiring board comprising an insulating layer obtained by thermosetting the resin composition according to any one of [1] to [14] or the sheet-like laminated material according to [15].
[17] A semiconductor device comprising the printed wiring board according to [16].

本発明によれば、粗度が低くても導体層に対し高い密着力(ピール強度)を示すとともに、低い誘電正接を示す絶縁層を達成し得る樹脂組成物を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even if roughness is low, while showing the high adhesive force (peel strength) with respect to a conductor layer, the resin composition which can achieve the insulating layer which shows a low dielectric loss tangent can be provided.

以下、本発明の樹脂組成物、シート状積層材料、プリント配線板及び半導体装置について説明する。   Hereinafter, the resin composition, sheet-shaped laminated material, printed wiring board, and semiconductor device of the present invention will be described.

[樹脂組成物]
本発明の樹脂組成物は、(A)式(1)で表される構成単位を有する化合物、(B)エポキシ樹脂及び(C)硬化剤、を含有する。以下、本発明の樹脂組成物に含まれる各成分について詳細に説明する。
[Resin composition]
The resin composition of the present invention contains (A) a compound having a structural unit represented by formula (1), (B) an epoxy resin, and (C) a curing agent. Hereinafter, each component contained in the resin composition of the present invention will be described in detail.

<(A)式(1)で表される構成単位を有する化合物>
本発明の樹脂組成物は(A)式(1)で表される構成単位を有する化合物(以下、「(A)化合物」、「(A)成分」ともいう)を含有する。
<(A) Compound having a structural unit represented by formula (1)>
The resin composition of the present invention contains (A) a compound having a structural unit represented by the formula (1) (hereinafter also referred to as “(A) compound” or “(A) component”).

Figure 2017036403
Figure 2017036403

上記式中、Xは、2官能エポキシ化合物からエポキシ基を2個除いた残基を表し、Yは、2官能フェノール化合物からフェノール性水酸基を2個除いた残基を表し、R及びRは水素原子を表すか、又は、RとRとが一体となって環を形成していてもよく、Rは1価の脂肪族炭化水素基、1価の脂環式炭化水素基、又は1価の芳香族炭化水素基を表す。 In the above formula, X represents a residue obtained by removing two epoxy groups from a bifunctional epoxy compound, Y represents a residue obtained by removing two phenolic hydroxyl groups from a bifunctional phenol compound, and R 1 and R 2 Represents a hydrogen atom, or R 1 and R 2 may be combined to form a ring, and R 3 is a monovalent aliphatic hydrocarbon group or a monovalent alicyclic hydrocarbon group. Or a monovalent aromatic hydrocarbon group.

Xは、2官能エポキシ化合物からエポキシ基を2個除いた残基を表す。2官能エポキシ化合物としては、エポキシ基を1分子当たり2個有するエポキシ樹脂が好ましい。このようなエポキシ樹脂としては、例えば、グリシジルエーテル型2官能エポキシ樹脂、グリシジルエステル型2官能エポキシ樹脂、2官能脂環式エポキシ樹脂等が挙げられる。なお、2官能エポキシ化合物が2官能脂環式エポキシ樹脂である場合、Xについていう「エポキシ基」は、脂環式エポキシ基を表す。   X represents a residue obtained by removing two epoxy groups from a bifunctional epoxy compound. As the bifunctional epoxy compound, an epoxy resin having two epoxy groups per molecule is preferable. Examples of such epoxy resins include glycidyl ether type bifunctional epoxy resins, glycidyl ester type bifunctional epoxy resins, bifunctional alicyclic epoxy resins, and the like. In addition, when a bifunctional epoxy compound is a bifunctional alicyclic epoxy resin, the "epoxy group" said about X represents an alicyclic epoxy group.

2官能エポキシ化合物のエポキシ当量は、好ましくは50以上、より好ましくは80以上、さらに好ましくは100以上である。該エポキシ当量の上限は、好ましくは2000以下、より好ましくは1500以下、さらに好ましくは1000以下、500以下、又は350以下である。なお、エポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができ、1当量のエポキシ基を含む化合物の質量である。   The epoxy equivalent of the bifunctional epoxy compound is preferably 50 or more, more preferably 80 or more, and still more preferably 100 or more. The upper limit of the epoxy equivalent is preferably 2000 or less, more preferably 1500 or less, still more preferably 1000 or less, 500 or less, or 350 or less. The epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236, and is the mass of a compound containing 1 equivalent of an epoxy group.

2官能エポキシ化合物の骨格は、特に限定されず、末端基の種類(グリシジルエーテル基、グリシジルエステル基、脂環式エポキシ基)等に応じて決定してよい。2官能エポキシ化合物の骨格としては、例えば、芳香族骨格、脂肪族骨格、脂環式骨格が挙げられる。末端基がグリシジルエーテル基である場合(すなわち、2官能エポキシ化合物がグリシジルエーテル型2官能エポキシ樹脂である場合)、芳香族骨格の例としては、ビスフェノール骨格、ナフタレン骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格等が挙げられ;脂肪族骨格の例としては、アルキレングリコール骨格等が挙げられ;脂環式骨格の例としては、水素化ビスフェノール骨格等が挙げられる。また、末端基がグリシジルエステル基である場合(すなわち、2官能エポキシ化合物がグリシジルエステル型2官能エポキシ樹脂である場合)、芳香族骨格の例としては、フタル酸骨格等が挙げられ;脂肪族骨格の例としては、コハク酸骨格、マレイン酸骨格等が挙げられ;脂環式骨格の例としては、水素化フタル酸骨格等が挙げられる。末端基が脂環式エポキシ基である場合(すなわち、2官能エポキシ化合物が2官能脂環式エポキシ樹脂である場合)、2官能エポキシ化合物は、上記の芳香族骨格、脂肪族骨格、脂環式骨格の何れを有していてもよく、あるいは、単結合、−O−、−S−、−SO−若しくは−SO−を骨格として有していてもよい。 The skeleton of the bifunctional epoxy compound is not particularly limited, and may be determined according to the type of terminal group (glycidyl ether group, glycidyl ester group, alicyclic epoxy group) or the like. Examples of the skeleton of the bifunctional epoxy compound include an aromatic skeleton, an aliphatic skeleton, and an alicyclic skeleton. When the terminal group is a glycidyl ether group (that is, when the bifunctional epoxy compound is a glycidyl ether type bifunctional epoxy resin), examples of the aromatic skeleton include a bisphenol skeleton, a naphthalene skeleton, a biphenyl skeleton, and a fluorene skeleton. Examples of the aliphatic skeleton include an alkylene glycol skeleton and the like; Examples of the alicyclic skeleton include a hydrogenated bisphenol skeleton and the like. When the terminal group is a glycidyl ester group (that is, when the bifunctional epoxy compound is a glycidyl ester type bifunctional epoxy resin), examples of the aromatic skeleton include a phthalic acid skeleton; Examples of these include succinic acid skeleton, maleic acid skeleton and the like; examples of alicyclic skeleton include hydrogenated phthalic acid skeleton and the like. When the terminal group is an alicyclic epoxy group (that is, when the bifunctional epoxy compound is a bifunctional alicyclic epoxy resin), the bifunctional epoxy compound has the above-mentioned aromatic skeleton, aliphatic skeleton, alicyclic Any of the skeletons may be included, or a single bond, —O—, —S—, —SO—, or —SO 2 — may be included as the skeleton.

グリシジルエーテル型2官能エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、テトラブロモビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂等の芳香族グリシジルエーテル型2官能エポキシ樹脂、エチレングリコール型エポキシ樹脂、プロピレングリコール型エポキシ樹脂、ネオペンチルグリコール型エポキシ樹脂、ヘキサンジオール型エポキシ樹脂等の脂肪族グリシジルエーテル型2官能エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂等の脂環式グリシジルエーテル型2官能エポキシ樹脂が挙げられる。   Examples of the glycidyl ether type bifunctional epoxy resin include fragrances such as bisphenol A type epoxy resin, tetrabromobisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, and biphenyl type epoxy resin. Aliphatic glycidyl ether type bifunctional epoxy resin, ethylene glycol type epoxy resin, propylene glycol type epoxy resin, neopentyl glycol type epoxy resin, hexanediol type epoxy resin, etc., aliphatic glycidyl ether type bifunctional epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type Examples include alicyclic glycidyl ether type bifunctional epoxy resins such as epoxy resins.

グリシジルエステル型2官能エポキシ樹脂としては、例えば、フタル酸ジグリシジルエステル等の芳香族グリシジルエステル型2官能エポキシ樹脂、コハク酸ジグリシジルエステル等の脂肪族グリシジルエステル型2官能エポキシ樹脂、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル等の脂環式グリシジルエステル型2官能エポキシ樹脂が挙げられる。   Examples of the glycidyl ester type bifunctional epoxy resin include aromatic glycidyl ester type bifunctional epoxy resins such as diglycidyl phthalate, aliphatic glycidyl ester type bifunctional epoxy resins such as succinic acid diglycidyl ester, and tetrahydrophthalic acid diester. Examples thereof include alicyclic glycidyl ester type bifunctional epoxy resins such as glycidyl ester and hexahydrophthalic acid diglycidyl ester.

2官能脂環式エポキシ樹脂としては、例えば、アリサイクリックジエポキシアセタール、アリサイクリックジエポキシアジペート、アリサイクリックジエポキシカルボキシレート、ビニルシクロヘキセンジオキシド等の2官能脂環式エポキシ樹脂、ジグリシジルヒダントイン等の2官能複素環式エポキシ樹脂が挙げられる。これらの2官能エポキシ化合物は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of the bifunctional alicyclic epoxy resin include bifunctional alicyclic epoxy resins such as alicyclic diepoxy acetal, alicyclic diepoxy adipate, alicyclic diepoxy carboxylate, vinylcyclohexene dioxide, and diglycidyl. Bifunctional heterocyclic epoxy resins such as hydantoin are listed. These bifunctional epoxy compounds may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

粗度が低くても導体層に対し高い密着力を示すとともに、低い誘電正接を示す絶縁層を得る観点から、2官能エポキシ化合物は、芳香族ジクリシジルエーテル型2官能エポキシ樹脂又は芳香族ジグリシジルエステル型エポキシ樹脂が好ましく、芳香族ジクリシジルエーテル型エポキシ樹脂がより好ましく、ビフェニル型2官能エポキシ樹脂がさらに好ましい。   From the standpoint of obtaining an insulating layer exhibiting high adhesion to the conductor layer and low dielectric loss tangent even when the roughness is low, the bifunctional epoxy compound is an aromatic diglycidyl ether type bifunctional epoxy resin or aromatic diglycidyl. An ester type epoxy resin is preferable, an aromatic diglycidyl ether type epoxy resin is more preferable, and a biphenyl type bifunctional epoxy resin is more preferable.

2官能エポキシ化合物の市販品としては、例えば、三菱化学(株)製の「YX4000」、「YX−4000H」、「YL6121H」、「YX7399」(ビフェニル型2官能エポキシ樹脂)、「825」(ビスフェノールA型)、「1750」(ビスフェノールF型)、「YL7760」(ビスフェノールAF型)DIC(株)製の「HP4032D」等が挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of commercially available bifunctional epoxy compounds include “YX4000”, “YX-4000H”, “YL6121H”, “YX7399” (biphenyl type bifunctional epoxy resin), “825” (bisphenol) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. A type), “1750” (bisphenol F type), “YL7760” (bisphenol AF type) “HP4032D” manufactured by DIC Corporation, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

Xは、好ましくは、下記式(2)で表すことができる。
−(R10−Z−X’−(Z−R11− (2)
(式中、R10およびR11は、それぞれ独立して炭素原子数1〜3のアルキレン基を表し、Z及びZは、それぞれ独立して、−O−、−O−CO−、又は−CO−O−を表し、X’は2官能エポキシ化合物の骨格を表し、n及びmは、それぞれ独立して0又は1である。)
X can be preferably represented by the following formula (2).
- (R 10 -Z 1) n -X '- (Z 2 -R 11) m - (2)
(Wherein R 10 and R 11 each independently represent an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms, and Z 1 and Z 2 each independently represent —O—, —O—CO—, or -CO-O-, X 'represents the skeleton of a bifunctional epoxy compound, and n and m are each independently 0 or 1.)

式(2)中、R10およびR11で表される炭素原子数1〜3のアルキレン基としては、−CH−、−(CH−、−(CH−が挙げられ、これらのうち−CH−が好ましい。また、Z及びZとしては−O−が好ましい。n及びmは1であることが好ましい。 In formula (2), examples of the alkylene group having 1 to 3 carbon atoms represented by R 10 and R 11 include —CH 2 —, — (CH 2 ) 2 —, and — (CH 2 ) 3 —. among these -CH 2 - it is preferred. Z 1 and Z 2 are preferably —O—. n and m are preferably 1.

式(2)中、X’で表される2官能エポキシ化合物の骨格は、先述のとおりであり、2官能エポキシ化合物の末端基の種類等に応じて決定してよい。2官能エポキシ化合物の末端基の種類を問わず、X’は、芳香族骨格、脂肪族骨格、脂環式骨格の何れであってもよい。また、2官能エポキシ化合物の末端基が脂環式エポキシ基である場合、X’は、単結合、−O−、−S−、−SO−又は−SO−であってもよい。粗度が低くても導体層に対し高い密着力を示すとともに、低い誘電正接を示す絶縁層を得る観点から、X’は、好ましくは芳香族骨格、より好ましくはビフェニル骨格を表す。なお、X’で表される2官能エポキシ化合物の骨格は置換基として炭素原子数1〜10のアルキル基(直鎖および分岐を含む)を有していてもよい。 In formula (2), the skeleton of the bifunctional epoxy compound represented by X ′ is as described above, and may be determined according to the type of terminal group of the bifunctional epoxy compound. Regardless of the type of terminal group of the bifunctional epoxy compound, X ′ may be any of an aromatic skeleton, an aliphatic skeleton, and an alicyclic skeleton. When the terminal group of the bifunctional epoxy compound is an alicyclic epoxy group, X ′ may be a single bond, —O—, —S—, —SO—, or —SO 2 —. X ′ preferably represents an aromatic skeleton, more preferably a biphenyl skeleton from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting a high adhesion to the conductor layer even when the roughness is low and exhibiting a low dielectric loss tangent. Note that the skeleton of the bifunctional epoxy compound represented by X ′ may have an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms (including straight and branched) as a substituent.

X’として特に好ましくは、以下が挙げられる。   X ′ is particularly preferably as follows.

Figure 2017036403
Figure 2017036403

式中、RおよびRはそれぞれ、炭素原子数1〜6の炭化水素基又はハロゲンを表し、p1及びp2はそれぞれ0〜4の整数を表す。ここで、炭素原子数1〜6の炭化水素基としては、炭素原子数1〜6のアルキル基、炭素原子数1〜6のアルケニル基、炭素原子数1〜6のアルキニル基が挙げられ、これらは直鎖であっても分岐していても環状であってもよい。RおよびRとしては、炭素原子数1〜3のアルキル基が好ましく、p1及びp2としては0及び1が好ましい。 In the formula, R 5 and R 6 each represent a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms or halogen, and p1 and p2 each represent an integer of 0 to 4. Here, examples of the hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 6 carbon atoms, and an alkynyl group having 1 to 6 carbon atoms. May be linear, branched or cyclic. R 5 and R 6 are preferably an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and p1 and p2 are preferably 0 and 1.

Figure 2017036403
Figure 2017036403

式中、R12及びR13は、それぞれメチル基又はトリフルオロメチル基を表し、R14およびR15は、それぞれ、炭素原子数1〜6の炭化水素基又はハロゲンを表し、p3及びp4はそれぞれ0〜4の整数を表す。ここで、炭素原子数1〜6の炭化水素基としては、炭素原子数1〜6のアルキル基、炭素原子数1〜6のアルケニル基、炭素原子数1〜6のアルキニル基が挙げられ、これらは直鎖であっても分岐していても環状であってもよい。R14およびR15としては、炭素原子数1〜3のアルキル基が好ましく、p3及びp4としては0及び1が好ましい。 In the formula, R 12 and R 13 each represent a methyl group or a trifluoromethyl group, R 14 and R 15 each represent a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms or a halogen, and p3 and p4 each represent Represents an integer of 0 to 4; Here, examples of the hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 6 carbon atoms, and an alkynyl group having 1 to 6 carbon atoms. May be linear, branched or cyclic. R 14 and R 15 are preferably an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and p3 and p4 are preferably 0 and 1.

式(1)中、R及びRとしては水素原子が好ましいが、RとRとが一体となって環を形成していてもよい。RとRとが一体となって形成する環としては、炭素原子数3〜10のシクロアルキル基が好ましく、炭素原子数4〜8のシクロアルキル基がより好ましく、シクロヘキシル基がさらに好ましい。 In formula (1), R 1 and R 2 are preferably hydrogen atoms, but R 1 and R 2 may be combined to form a ring. As a ring formed integrally by R 1 and R 2 , a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms is preferable, a cycloalkyl group having 4 to 8 carbon atoms is more preferable, and a cyclohexyl group is further preferable.

式(1)中、Yは、2官能フェノール化合物からフェノール性水酸基を2個除いた残基を表す。2官能フェノール化合物としては、フェノール性水酸基を1分子当たり2個有するフェノール化合物であれば特に限定されず、例えば、ビスフェノールA、ビスフェノールアセトフェノン、ビスフェノールAF、ビスフェノールB、ビスフェノールBP、ビスフェノールC、ビスフェノールE、ビスフェノールF、ビスフェノールG、ビスフェノールM、ビスフェノールS、ビスフェノールP、ビスフェノールPH,ビスフェノールトリメチルシクロヘキサン及びビスフェノールシクロヘキサン等のビスフェノール類、ビスフェノールフルオレン、及びビスクレゾールフルオレン等の炭素原子数1〜10のアルキル基を置換基として有していてもよいビスフェノールフルオレン類、ジヒドロキシビフェニル化合物、ジヒドロキシフェニル化合物、ジヒドロキシナフタレン化合物等が挙げられる。   In formula (1), Y represents a residue obtained by removing two phenolic hydroxyl groups from a bifunctional phenol compound. The bifunctional phenol compound is not particularly limited as long as it is a phenol compound having two phenolic hydroxyl groups per molecule. For example, bisphenol A, bisphenol acetophenone, bisphenol AF, bisphenol B, bisphenol BP, bisphenol C, bisphenol E, Bisphenol F, bisphenol G, bisphenol M, bisphenol S, bisphenol P, bisphenol PH, bisphenols such as bisphenol trimethylcyclohexane and bisphenolcyclohexane, bisphenol fluorene, and alkyl groups having 1 to 10 carbon atoms such as biscresol fluorene are substituted. Bisphenolfluorenes, dihydroxybiphenyl compounds, dihydroxyphenyl compounds , Dihydroxynaphthalene compounds.

Yとして特に好ましくは、以下が挙げられる。   Particularly preferable examples of Y include the following.

Figure 2017036403
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式中R16、R17及びR19はそれぞれ、炭素原子数1〜6の炭化水素基又はハロゲンを表し、r1、r2及びr3はそれぞれ0〜4の整数を表し、R18は、水素原子又は炭素原子数1〜6の炭化水素基又はハロゲンを表す。ここで、炭素原子数1〜6の炭化水素基としては、炭素原子数1〜6のアルキル基、炭素原子数1〜6のアルケニル基、炭素原子数1〜6のアルキニル基が挙げられ、これらは直鎖であっても分岐していても環状であってもよい。R16、R17及びR19としては、炭素原子数1〜3のアルキル基が好ましく、r1、r2及びr3としては0及び1が好ましく、R18としては、水素原子及び炭素原子数1〜3のアルキル基が好ましい。 In the formula, R 16 , R 17 and R 19 each represent a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms or halogen, r1, r2 and r3 each represents an integer of 0 to 4, and R 18 represents a hydrogen atom or Represents a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms or halogen. Here, examples of the hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 6 carbon atoms, and an alkynyl group having 1 to 6 carbon atoms. May be linear, branched or cyclic. R 16 , R 17 and R 19 are preferably alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms, r1, r2 and r3 are preferably 0 and 1, and R 18 is a hydrogen atom and 1 to 3 carbon atoms. Are preferred.

Figure 2017036403
Figure 2017036403

式中R20、R21、R22及びR23はそれぞれ、炭素原子数1〜6の炭化水素基又はハロゲンを表し、r4、r5、r6及びr7はそれぞれ0〜4の整数を表す。ここで、炭素原子数1〜6の炭化水素基としては、炭素原子数1〜6のアルキル基、炭素原子数1〜6のアルケニル基、炭素原子数1〜6のアルキニル基が挙げられ、これらは直鎖であっても分岐していても環状であってもよい。R20、R21、R22及びR23としては、炭素原子数1〜3のアルキル基が好ましく、r4、r5、r6及びr7としては0及び1が好ましい。 In the formula, R 20 , R 21 , R 22 and R 23 each represent a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms or halogen, and r4, r5, r6 and r7 each represents an integer of 0 to 4. Here, examples of the hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 6 carbon atoms, and an alkynyl group having 1 to 6 carbon atoms. May be linear, branched or cyclic. R 20 , R 21 , R 22 and R 23 are preferably alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms, and r4, r5, r6 and r7 are preferably 0 and 1.

Figure 2017036403
Figure 2017036403

式中、R24及びR25は、メチル基又はトリフルオロメチル基を表し、R26およびR27は、それぞれ、炭素原子数1〜6の炭化水素基又はハロゲンを表し、r8及びr9はそれぞれ0〜4の整数を表す。ここで、炭素原子数1〜6の炭化水素基としては、炭素原子数1〜6のアルキル基、炭素原子数1〜6のアルケニル基、炭素原子数1〜6のアルキニル基が挙げられ、これらは直鎖であっても分岐していても環状であってもよい。R26およびR27としては、炭素原子数1〜3のアルキル基が好ましく、r8及びr9としては0及び1が好ましい。 In the formula, R 24 and R 25 represent a methyl group or a trifluoromethyl group, R 26 and R 27 each represent a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms or a halogen, and r8 and r9 are each 0. Represents an integer of ~ 4. Here, examples of the hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 6 carbon atoms, and an alkynyl group having 1 to 6 carbon atoms. May be linear, branched or cyclic. R 26 and R 27 are preferably alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms, and r8 and r9 are preferably 0 and 1.

粗度が低くても導体層に対し高い密着力を示すとともに、低い誘電正接を示す絶縁層を得る観点から、2官能フェノール化合物としては、ビスフェノールA、ビスフェノールアセトフェノン、ビスフェノールAF、ビスフェノールフルオレン、ビスクレゾールフルオレンが好ましい。   Bifunctional phenol compounds such as bisphenol A, bisphenol acetophenone, bisphenol AF, bisphenol fluorene, and biscresol are used from the viewpoint of obtaining an insulating layer that exhibits high adhesion to the conductor layer even when the roughness is low, and exhibits a low dielectric loss tangent. Fluorene is preferred.

式(1)中、Rは、1価の脂肪族炭化水素基、脂肪族環を有する1価の炭化水素基、又は芳香族環を有する1価の炭化水素基である。
の1価の脂肪族炭化水素基としては、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数1〜20のアルケニル基、炭素原子数1〜20のアルキニル基などが挙げられ、これらは直鎖であっても分岐していてもよい。1価の脂肪族炭化水素基としては、炭素原子数1〜10のアルキル基が好ましく、炭素原子数1〜6のアルキル基がより好ましい。
In Formula (1), R 3 is a monovalent aliphatic hydrocarbon group, a monovalent hydrocarbon group having an aliphatic ring, or a monovalent hydrocarbon group having an aromatic ring.
Examples of the monovalent aliphatic hydrocarbon group for R 3 include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkynyl group having 1 to 20 carbon atoms, and the like. It may be linear or branched. As the monovalent aliphatic hydrocarbon group, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms is preferable, and an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms is more preferable.

の脂肪族環を有する1価の炭化水素基としては炭素原子数3〜20のシクロアルキル基、炭素原子数3〜20のシクロアルケニル基、炭素原子数3〜20のシクロアルキルアルキル基等が挙げられ、これらは炭素原子数1〜10のアルキル基を置換基として有していてもよい。脂肪族環を有する1価の炭化水素基としては、炭素数6〜10のシクロアルキル基及び炭素数6〜10のシクロアルキルアルキル基が好ましい。 Examples of the monovalent hydrocarbon group having an aliphatic ring of R 3 include a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, a cycloalkenyl group having 3 to 20 carbon atoms, and a cycloalkylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms. These may have an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms as a substituent. As the monovalent hydrocarbon group having an aliphatic ring, a cycloalkyl group having 6 to 10 carbon atoms and a cycloalkylalkyl group having 6 to 10 carbon atoms are preferable.

の芳香族環を有する1価の炭化水素基としては、炭素原子数5〜20の芳香族炭化水素基及び炭素原子数1〜10の炭化水素基を置換基として有する炭素原子数5〜20の芳香族炭化水素基が挙げられる。ここで、炭素原子数1〜10の炭化水素基としては、炭素原子数1〜6のアルキル基、炭素原子数1〜10のアルケニル基、炭素原子数1〜10のアルキニル基が挙げられ、これらは直鎖であっても分岐していても環状であってもよい芳香族環を有する1価の炭化水素基としては、炭素原子数5〜20の芳香族炭化水素基が好ましい。 Examples of the monovalent hydrocarbon group having an aromatic ring of R 3 include an aromatic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms and a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms as substituents having 5 to 5 carbon atoms. There are 20 aromatic hydrocarbon groups. Here, examples of the hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 10 carbon atoms, and an alkynyl group having 1 to 10 carbon atoms. The monovalent hydrocarbon group having an aromatic ring which may be linear, branched or cyclic is preferably an aromatic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms.

は、炭素原子数1〜10のアルキル基及び芳香族環を有する1価の炭化水素基であるのが好ましく、炭素原子数1〜6のアルキル基及び炭素原子数5〜20の芳香族炭化水素基であるのがより好ましく、炭素原子数5〜10の芳香族炭化水素基であるのがさらに好ましい。Rとしては、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、tertブチルメチル基、ペンチル基、ヘキシル基、フェニル基、ナフチル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基、メチルナフチル基、及びエチルナフチル基等が好ましく、フェニル基、ナフチル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基、メチルナフチル基、及びエチルナフチル基等がより好ましい。 R 3 is preferably an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms and a monovalent hydrocarbon group having an aromatic ring, and an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and an aromatic group having 5 to 20 carbon atoms. It is more preferably a hydrocarbon group, and further preferably an aromatic hydrocarbon group having 5 to 10 carbon atoms. Specifically, as R 3 , methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, tertbutylmethyl group, pentyl group, hexyl group, phenyl group, naphthyl group, methylphenyl group, ethylphenyl group, methylnaphthyl group, And an ethylnaphthyl group are preferable, and a phenyl group, a naphthyl group, a methylphenyl group, an ethylphenyl group, a methylnaphthyl group, an ethylnaphthyl group, and the like are more preferable.

(A)化合物は、例えば、2官能フェノール化合物の活性エステル化合物(RCOO−Y−OCOR;式中、R、Yは先述のとおりであり、2つのRは互いに同じでも異なっていてもよい。)と、2官能エポキシ化合物(W−X−W;式中、Xは先述のとおりであり、Wはエポキシ基を表す。)とを反応させることにより得られる。なお、2官能エポキシ化合物が2官能脂環式エポキシ基である場合、Wについていう「エポキシ基」は、脂環式エポキシ基を表す。 The compound (A) is, for example, an active ester compound of a bifunctional phenol compound (R 3 COO-Y-OCOR 3 ; wherein R 3 and Y are as described above, and the two R 3 are the same or different from each other. And a bifunctional epoxy compound (W—X—W; in the formula, X is as described above, and W represents an epoxy group). In addition, when a bifunctional epoxy compound is a bifunctional alicyclic epoxy group, the "epoxy group" said about W represents an alicyclic epoxy group.

樹脂組成物の硬化物である絶縁層の誘電正接を低くするという観点から、(A)化合物の末端は、エステル基(RCOO基)であるのが好ましい。末端がエステル基の(A)化合物を得るには、2官能エポキシ化合物に対し、2官能フェノール化合物の活性エステル化合物の量が過剰となるように反応させればよい。 From the viewpoint of lowering the dielectric loss tangent of the insulating layer that is a cured product of the resin composition, the terminal of the compound (A) is preferably an ester group (R 3 COO group). In order to obtain the (A) compound having an ester group at the end, the bifunctional epoxy compound may be reacted so that the amount of the active ester compound of the bifunctional phenol compound becomes excessive.

(A)化合物の調製に用いる2官能フェノール化合物の活性エステル化合物は、2官能フェノール化合物の2つのフェノール性水酸基がアシル化されて生じる化合物である。活性エステル基としては、芳香族エステル基、脂肪族エステル基、及び脂環式エステル基からなる群から選択される1種以上のエステル基が好ましく、中でも芳香族エステル基が特に好ましい。つまり、2官能フェノール化合物のカルボン酸化合物としては、2官能フェノール化合物の芳香族活性エステル化合物であることが好ましい。   (A) The active ester compound of the bifunctional phenol compound used for the preparation of the compound is a compound produced by acylating two phenolic hydroxyl groups of the bifunctional phenol compound. As the active ester group, one or more ester groups selected from the group consisting of an aromatic ester group, an aliphatic ester group, and an alicyclic ester group are preferable, and an aromatic ester group is particularly preferable. That is, the carboxylic acid compound of the bifunctional phenol compound is preferably an aromatic active ester compound of the bifunctional phenol compound.

芳香族エステル基としては、アリールエステル基が挙げられる。アリールエステル基の炭素原子数は好ましくは7〜15、より好ましくは7〜11である。脂肪族エステル基としては、アルキルエステル基が好ましく、その炭素原子数は好ましくは2〜7、より好ましくは2〜5、さらに好ましくは2又は3である。脂環式エステル基としては、シクロアルキルエステル基が好ましく、その炭素原子数は好ましくは4〜7である。   Aromatic ester groups include aryl ester groups. The number of carbon atoms of the aryl ester group is preferably 7-15, more preferably 7-11. As the aliphatic ester group, an alkyl ester group is preferable, and the number of carbon atoms thereof is preferably 2 to 7, more preferably 2 to 5, and further preferably 2 or 3. As the alicyclic ester group, a cycloalkyl ester group is preferable, and the number of carbon atoms thereof is preferably 4 to 7.

2官能フェノール化合物の活性エステル化合物は、例えば、式(1)中のYの説明において例示した2官能フェノール化合物(HO−Y−OH)と、カルボン酸化合物(RCOOH;式中、Rは先述のとおりである。)との縮合反応(アシル化反応)により調製することができる。 Active ester compound of the difunctional phenol compound, for example, bifunctional phenol compounds exemplified in the description of Y in the formula (1) and (HO-Y-OH), carboxylic acid compound (R 3 COOH; wherein, R 3 Can be prepared by a condensation reaction (acylation reaction) with the above.

2官能フェノール化合物のアシル化反応に用いるカルボン酸化合物としては、芳香族カルボン酸、脂肪族カルボン酸、脂環式カルボン酸から成る群から選択される1種以上のカルボン酸が好ましく、中でも芳香族カルボン酸が好ましい。芳香族カルボン酸としては、アリールカルボン酸が挙げられる。アリールカルボン酸の炭素原子数は好ましくは7〜15、より好ましくは7〜11である。脂肪族カルボン酸としては、アルキルカルボン酸が好ましく、その炭素原子数は好ましくは2〜7、より好ましくは2〜5、さらに好ましくは2又は3である。脂環式カルボン酸としては、シクロアルキルカルボン酸が好ましく、その炭素原子数は好ましくは4〜7である。カルボン酸化合物の好適な例としては、安息香酸、ナフタレンカルボン酸、アントラセンカルボン酸、酢酸、プロピオン酸等が挙げられる。これらのうち安息香酸が特に好ましい。   As the carboxylic acid compound used in the acylation reaction of the bifunctional phenol compound, one or more carboxylic acids selected from the group consisting of aromatic carboxylic acids, aliphatic carboxylic acids, and alicyclic carboxylic acids are preferable. Carboxylic acid is preferred. Aromatic carboxylic acids include aryl carboxylic acids. The number of carbon atoms of the arylcarboxylic acid is preferably 7-15, more preferably 7-11. As the aliphatic carboxylic acid, an alkyl carboxylic acid is preferable, and the number of carbon atoms thereof is preferably 2 to 7, more preferably 2 to 5, and further preferably 2 or 3. As the alicyclic carboxylic acid, a cycloalkyl carboxylic acid is preferable, and the number of carbon atoms thereof is preferably 4 to 7. Preferable examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, naphthalene carboxylic acid, anthracene carboxylic acid, acetic acid, propionic acid and the like. Of these, benzoic acid is particularly preferred.

粗度が低くても導体層に対し高い密着力を示すとともに、低い誘電正接を示す絶縁層を得る観点から、(A)化合物は高分子化合物であり、その重量平均分子量は、8000〜100000であるのが好ましく、10000〜80000であるのがより好ましく、12000〜50000であるのがさらに好ましい。ここで、(A)化合物の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。   From the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting high adhesion to the conductor layer and low dielectric loss tangent even if the roughness is low, the compound (A) is a polymer compound, and its weight average molecular weight is 8000 to 100,000. It is preferred that it is 10,000 to 80,000, more preferably 12,000 to 50,000. Here, the weight average molecular weight of the compound (A) is a polystyrene equivalent weight average molecular weight measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.

粗度が低くても導体層に対し高い密着力を示すとともに、低い誘電正接を示す絶縁層を得る観点から、(A)化合物のエポキシ当量は、1000〜50000であるのが好ましく、より好ましくは3000〜40000、さらに好ましくは5000〜38000である。なお、エポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができ、1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量である。   From the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting a high adhesion to the conductor layer even when the roughness is low and exhibiting a low dielectric loss tangent, the epoxy equivalent of the compound (A) is preferably 1000 to 50000, more preferably. It is 3000-40000, More preferably, it is 5000-38000. The epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236, and is the mass of a resin containing 1 equivalent of an epoxy group.

また、樹脂組成物の硬化物である絶縁層の誘電正接をより一層低くするという観点から、(A)化合物のエポキシ当量は、(A)化合物の重量平均分子量より大きいのが好ましい。   From the viewpoint of further reducing the dielectric loss tangent of the insulating layer, which is a cured product of the resin composition, the epoxy equivalent of the compound (A) is preferably larger than the weight average molecular weight of the compound (A).

樹脂組成物中の(A)成分の含有量は、良好な機械強度、絶縁信頼性を示す絶縁層を得る観点から、好ましくは0.5質量%以上、より好ましくは0.7質量%以上、さらに好ましくは1.0質量%以上である。エポキシ樹脂の含有量の上限は、本発明の効果が奏される限りにおいて特に限定されないが、好ましくは15質量%以下、より好ましくは10質量%以下、さらに好ましくは7質量%以下である。
したがって樹脂組成物中の(A)成分の含有量は、好ましくは0.5〜15質量%、より好ましくは0.7〜10質量%、さらに好ましくは1.0〜7質量%である。
The content of the component (A) in the resin composition is preferably 0.5% by mass or more, more preferably 0.7% by mass or more, from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting good mechanical strength and insulation reliability. More preferably, it is 1.0 mass% or more. Although the upper limit of content of an epoxy resin is not specifically limited as long as the effect of this invention is show | played, Preferably it is 15 mass% or less, More preferably, it is 10 mass% or less, More preferably, it is 7 mass% or less.
Therefore, the content of the component (A) in the resin composition is preferably 0.5 to 15% by mass, more preferably 0.7 to 10% by mass, and still more preferably 1.0 to 7% by mass.

なお、本発明において、樹脂組成物中の各成分の含有量は、別途明示のない限り、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたときの値である。   In addition, in this invention, content of each component in a resin composition is a value when the non-volatile component in a resin composition is 100 mass% unless there is separate description.

<(B)エポキシ樹脂>
本発明の樹脂組成物は、(B)エポキシ樹脂(以下、「(B)成分」ともいう)を含有する。
<(B) Epoxy resin>
The resin composition of the present invention contains (B) an epoxy resin (hereinafter also referred to as “component (B)”).

エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert−ブチル−カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   As the epoxy resin, for example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol type epoxy resin such as bisphenol AF type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, Naphthol novolac epoxy resin, phenol novolac epoxy resin, tert-butyl-catechol epoxy resin, naphthalene epoxy resin, naphthol epoxy resin, anthracene epoxy resin, glycidyl amine epoxy resin, glycidyl ester epoxy resin, cresol novolac Type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having butadiene structure, alicyclic epoxy resin, composite Cyclic epoxy resins, spiro ring-containing epoxy resins, cyclohexanedimethanol type epoxy resins, naphthylene ether type epoxy resin, trimethylol type epoxy resin, tetraphenyl ethane epoxy resin and the like. An epoxy resin may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

エポキシ樹脂としては、ビスフェノール型エポキシ樹脂、フッ素含有エポキシ樹脂(例えばビスフェノールAF型エポキシ樹脂)、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂及びこれらのエポキシ樹脂の混合物からなる群から選択される一種または二種以上のエポキシ樹脂を用いるのが好ましい。   Examples of the epoxy resin include a bisphenol type epoxy resin, a fluorine-containing epoxy resin (for example, bisphenol AF type epoxy resin), a dicyclopentadiene type epoxy resin, a naphthalene type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, and a mixture of these epoxy resins. It is preferable to use one or two or more selected epoxy resins.

エポキシ樹脂は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。エポキシ樹脂の不揮発成分を100質量%とした場合に、少なくとも50質量%以上は1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂であるのが好ましい。中でも、1分子中に2個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」という。)と、1分子中に2個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」という。)と、を含むことが好ましい。エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを併用することで、優れた可撓性を有する樹脂組成物が得られる。また、樹脂組成物の硬化物の破断強度も向上する。   The epoxy resin preferably contains an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. When the nonvolatile component of the epoxy resin is 100% by mass, at least 50% by mass or more is preferably an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. Among them, there are two or more epoxy groups in one molecule, and a liquid epoxy resin (hereinafter referred to as “liquid epoxy resin”) at a temperature of 20 ° C. and two or more epoxy groups in one molecule, It is preferable to contain a solid epoxy resin (hereinafter referred to as “solid epoxy resin”) at a temperature of 20 ° C. By using a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin in combination as an epoxy resin, a resin composition having excellent flexibility can be obtained. Moreover, the breaking strength of the cured product of the resin composition is also improved.

液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂及びナフタレン型エポキシ樹脂がより好ましい。液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC(株)製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「828US」、「jER828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER807」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂)、「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂)、「YL7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂)、新日鉄住金化学(株)製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品)、ナガセケムテックス(株)製の「EX−721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂)、(株)ダイセル製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂)、「PB−3600」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂)が挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Liquid epoxy resins include bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, and alicyclic epoxy resins having an ester skeleton. And epoxy resins having a butadiene structure are preferred, and bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins and naphthalene type epoxy resins are more preferred. Specific examples of the liquid epoxy resin include “HP4032”, “HP4032D”, “HP4032SS” (naphthalene type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation, “828US”, “jER828EL” (bisphenol A) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. Type epoxy resin), “jER807” (bisphenol F type epoxy resin), “jER152” (phenol novolac type epoxy resin), “YL7760” (bisphenol AF type epoxy resin), “ZX1059” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. ( Bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin mixture), “EX-721” (glycidyl ester type epoxy resin) manufactured by Nagase ChemteX Corporation, “Celoxide 2021P” (ester structure) manufactured by Daicel Corporation Alicyclic Epoxy with Resin), "PB-3600" (epoxy resin having a butadiene structure) and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

固体状エポキシ樹脂としては、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が好ましく、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、及びビフェニル型エポキシ樹脂がより好ましい。固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC(株)製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、「HP−4700」、「HP−4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂)、「N−690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「N−695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「HP−7200」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂)、「HP−7200HH」、「EXA7311」、「EXA7311−G3」、「EXA7311−G4」、「EXA7311−G4S」、「HP6000」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂)、日本化薬(株)製の「EPPN−502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂)、「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、新日鉄住金化学(株)製の「ESN475V」(ナフトール型エポキシ樹脂)、「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「YX4000H」、「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂)、「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂)、大阪ガスケミカル(株)製の「PG−100」、「CG−500」、三菱化学(株)製の「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「jER1010」(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。   Solid epoxy resins include naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, Anthracene type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, and tetraphenylethane type epoxy resin are preferable, and naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, naphthol type epoxy resin, and biphenyl type epoxy resin are more preferable. Specific examples of the solid epoxy resin include “HP4032H” (naphthalene type epoxy resin), “HP-4700”, “HP-4710” (naphthalene type tetrafunctional epoxy resin), “N-690” manufactured by DIC Corporation. "(Cresol novolac type epoxy resin)", "N-695" (Cresol novolac type epoxy resin), "HP-7200" (Dicyclopentadiene type epoxy resin), "HP-7200HH", "EXA7311", "EXA7311-G3 ”,“ EXA7311-G4 ”,“ EXA7311-G4S ”,“ HP6000 ”(naphthylene ether type epoxy resin),“ EPPN-502H ”(trisphenol type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.,“ NC7000L ” (Naphthol novolac type epoxy resin), “NC3000 ”,“ NC3000 ”,“ NC3000L ”,“ NC3100 ”(biphenyl type epoxy resin),“ ESN475V ”(naphthol type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.,“ ESN485 ”(naphthol novolak type epoxy resin), Mitsubishi “YX4000H”, “YL6121” (biphenyl type epoxy resin), “YX4000HK” (bixylenol type epoxy resin), “YX8800” (anthracene type epoxy resin) manufactured by Kagaku Co., Ltd., “ “PG-100”, “CG-500”, “YL7800” (fluorene type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, “jER1010” (solid bisphenol A type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, “jER1031S” (Tetraphenylethane type epoxy resin) And the like.

エポキシ樹脂が、固形エポキシ樹脂と液状エポキシ樹脂を含んでいる場合、液状エポキシ樹脂の質量Mに対する固形エポキシ樹脂の質量Mの比(M/M)は、1〜10の範囲が好ましい。M/Mを、斯かる範囲とすることにより、i)接着フィルムの形態で使用する場合に適度な粘着性がもたらされる、ii)接着フィルムの形態で使用する場合に十分な可撓性が得られ、取り扱い性が向上する、並びにiii)十分な破断強度を有する硬化物を得ることができる等の効果が得られる。 Epoxy resin, if it contains solid epoxy resin and a liquid epoxy resin, the ratio of the mass M S of a solid epoxy resin to the weight M L of the liquid epoxy resin (M S / M L) is 1 to 10 is preferably in the range of . The M S / M L, With such a range, i) moderate tackiness is brought when used in the form of adhesive film, ii) sufficient flexibility when used in the form of an adhesive film Is obtained, the handleability is improved, and iii) a cured product having sufficient breaking strength can be obtained.

樹脂組成物中の(B)成分の含有量は、良好な機械強度、絶縁信頼性を示す絶縁層を得る観点から、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは5質量%以上、さらに好ましくは10質量%以上である。エポキシ樹脂の含有量の上限は、本発明の効果が奏される限りにおいて特に限定されないが、好ましくは30質量%以下、より好ましくは25質量%以下、さらに好ましくは22質量%以下である。
したがって樹脂組成物中の(B)成分の含有量は、好ましくは0.1〜30質量%、より好ましくは5〜25質量%、さらに好ましくは10〜22質量%である。
The content of the component (B) in the resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, and still more preferably from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting good mechanical strength and insulation reliability. Is 10% by mass or more. Although the upper limit of content of an epoxy resin is not specifically limited as long as the effect of this invention is show | played, Preferably it is 30 mass% or less, More preferably, it is 25 mass% or less, More preferably, it is 22 mass% or less.
Therefore, the content of the component (B) in the resin composition is preferably 0.1 to 30% by mass, more preferably 5 to 25% by mass, and still more preferably 10 to 22% by mass.

エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50〜5000、より好ましくは50〜3000、さらに好ましくは80〜2000、さらにより好ましくは110〜1000である。この範囲となることで、硬化物の架橋密度が十分となり表面粗さの小さい絶縁層をもたらすことができる。なお、エポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができ、1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量である。   The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 50 to 5000, more preferably 50 to 3000, still more preferably 80 to 2000, and even more preferably 110 to 1000. By becoming this range, the crosslinked density of hardened | cured material becomes sufficient and can provide an insulating layer with small surface roughness. The epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236, and is the mass of a resin containing 1 equivalent of an epoxy group.

エポキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは100〜5000、より好ましくは250〜3000、さらに好ましくは400〜1500である。ここで、エポキシ樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。   The weight average molecular weight of an epoxy resin becomes like this. Preferably it is 100-5000, More preferably, it is 250-3000, More preferably, it is 400-1500. Here, the weight average molecular weight of the epoxy resin is a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.

<(C)硬化剤>
本発明の樹脂組成物は(C)硬化剤(以下「(C)成分」という)を含む。
(C)硬化剤としては、エポキシ樹脂を硬化する機能を有する限り特に限定されないが、例えば、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、活性エステル系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤及びカルボジイミド系硬化剤が挙げられる。硬化剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
<(C) Curing agent>
The resin composition of the present invention contains (C) a curing agent (hereinafter referred to as “(C) component”).
(C) The curing agent is not particularly limited as long as it has a function of curing an epoxy resin. For example, a phenol curing agent, a naphthol curing agent, an active ester curing agent, a benzoxazine curing agent, and a cyanate ester curing. Agents and carbodiimide curing agents. A hardening | curing agent may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するフェノール系硬化剤、又はノボラック構造を有するナフトール系硬化剤が好ましい。また、導体層(回路配線)との密着性の観点から、含窒素フェノール系硬化剤が好ましく、トリアジン構造含有フェノール樹脂およびトリアジン構造含有アルキルフェノール樹脂がより好ましい。中でも、耐熱性、耐水性、及び導体層との密着性(剥離強度)を高度に満足させる観点から、トリアジン構造含有フェノール系硬化剤を用いることが好ましい。   As the phenol-based curing agent and the naphthol-based curing agent, a phenol-based curing agent having a novolak structure or a naphthol-based curing agent having a novolak structure is preferable from the viewpoint of heat resistance and water resistance. Further, from the viewpoint of adhesion to the conductor layer (circuit wiring), a nitrogen-containing phenol-based curing agent is preferable, and a triazine structure-containing phenol resin and a triazine structure-containing alkyl phenol resin are more preferable. Especially, it is preferable to use a triazine structure containing phenol type hardening | curing agent from a viewpoint which satisfies heat resistance, water resistance, and adhesiveness (peeling strength) with a conductor layer highly.

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤の具体例としては、例えば、明和化成(株)製の「MEH−7700」、「MEH−7810」、「MEH−7851」、日本化薬(株)製の「NHN」、「CBN」、「GPH」、東都化成(株)製の「SN170」、「SN180」、「SN190」、「SN475」、「SN485」、「SN495」、「SN375」、「SN395」、DIC(株)製の「LA7052」、「LA7054」、「LA3018」等が挙げられる。   Specific examples of the phenol-based curing agent and the naphthol-based curing agent include, for example, “MEH-7700”, “MEH-7810”, “MEH-7785” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., and Nippon Kayaku Co., Ltd. “NHN”, “CBN”, “GPH”, “SN170”, “SN180”, “SN190”, “SN475”, “SN485”, “SN495”, “SN375”, “SN395” manufactured by Toto Kasei Co., Ltd. "LA7052", "LA7054", "LA3018", etc. manufactured by DIC Corporation.

活性エステル系硬化剤としては、特に制限はないが、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N−ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。当該活性エステル系硬化剤は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル系硬化剤が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル系硬化剤がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラック等が挙げられる。   Although there is no restriction | limiting in particular as an active ester type hardening | curing agent, Generally ester groups with high reaction activity, such as phenol ester, thiophenol ester, N-hydroxyamine ester, ester of heterocyclic hydroxy compound, are in 1 molecule. A compound having two or more in the above is preferably used. The active ester curing agent is preferably obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and / or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and / or a thiol compound. In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferable, and an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and / or a naphthol compound is more preferable. Examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Examples of the phenol compound or naphthol compound include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthaline, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m- Cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, Benzenetriol, dicyclopentadienyl diphenol, phenol novolac and the like.

具体的には、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル化合物、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物が好ましく、中でもナフタレン構造を含む活性エステル化合物、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル化合物がより好ましい。   Specifically, an active ester compound containing a dicyclopentadienyl diphenol structure, an active ester compound containing a naphthalene structure, an active ester compound containing an acetylated product of a phenol novolak, and an active ester compound containing a benzoylated product of a phenol novolak are preferred. Of these, active ester compounds containing a naphthalene structure and active ester compounds containing a dicyclopentadienyl diphenol structure are more preferred.

活性エステル系硬化剤の市販品としては、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含む活性エステル化合物として、「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「HPC−8000−65T」(DIC(株)製)、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物として「EXB9416−70BK」(DIC(株)製)、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物として「DC808」(三菱化学(株)製)、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物として「YLH1026」(三菱化学(株)製)などが挙げられる。   Commercially available active ester curing agents include "EXB9451", "EXB9460", "EXB9460S", "HPC-8000-65T" (DIC Corporation) as active ester compounds containing a dicyclopentadienyl diphenol structure. Manufactured product), "EXB9416-70BK" (manufactured by DIC Corporation) as an active ester compound containing a naphthalene structure, "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester compound containing an acetylated product of phenol novolac, Examples of the active ester compound containing a benzoylated compound include “YLH1026” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation).

ベンゾオキサジン系硬化剤の具体例としては、昭和高分子(株)製の「HFB2006M」、四国化成工業(株)製の「P−d」、「F−a」が挙げられる。   Specific examples of the benzoxazine-based curing agent include “HFB2006M” manufactured by Showa Polymer Co., Ltd., “Pd” and “Fa” manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.

シアネートエステル系硬化剤としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3−メチレン−1,5−フェニレンシアネート))、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルフェニルシアネート)、4,4’−エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2−ビス(4−シアネート)フェニルプロパン、1,1−ビス(4−シアネートフェニルメタン)、ビス(4−シアネート−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,3−ビス(4−シアネートフェニル−1−(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4−シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4−シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル系硬化剤の具体例としては、ロンザジャパン(株)製の「PT30」及び「PT60」(いずれもフェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)、「BA−3000」、「ULL−950S」、「HTL−300」等が挙げられる。   Examples of the cyanate ester curing agent include bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate (oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate)), 4,4′-methylene bis (2,6-dimethylphenyl cyanate), 4, 4'-ethylidenediphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis (4-cyanate) phenylpropane, 1,1-bis (4-cyanatephenylmethane), bis (4-cyanate-3,5- Bifunctional cyanate resins such as dimethylphenyl) methane, 1,3-bis (4-cyanatephenyl-1- (methylethylidene)) benzene, bis (4-cyanatephenyl) thioether, and bis (4-cyanatephenyl) ether; Phenol novolac and Polyfunctional cyanate resin derived from resol novolac, these cyanate resins and partially triazine of prepolymer. Specific examples of the cyanate ester curing agent include “PT30” and “PT60” (both phenol novolak polyfunctional cyanate ester resins) and “BA230” (part or all of bisphenol A dicyanate) manufactured by Lonza Japan Co., Ltd. Are pre-polymerized as a trimer), “BA-3000”, “ULL-950S”, “HTL-300” and the like.

カルボジイミド系硬化剤の具体例としては、日清紡ケミカル(株)製の「V−03」、「V−07」等が挙げられる。   Specific examples of the carbodiimide curing agent include “V-03” and “V-07” manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd.

本発明において(C)硬化剤は、フェノール系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤及び活性エステル系硬化剤から選択される1種以上を含んでいるのが好ましく、トリアジン構造含有フェノール系樹脂、トリアジン構造含有アルキルフェノール系樹脂、シアネートエステル系硬化剤及び活性エステル系硬化剤から選択される1種以上を含んでいることがより好ましい。   In the present invention, (C) the curing agent preferably contains at least one selected from a phenolic curing agent, a cyanate ester curing agent and an active ester curing agent, and includes a triazine structure-containing phenolic resin and a triazine structure. More preferably, it contains at least one selected from a containing alkylphenol-based resin, a cyanate ester-based curing agent, and an active ester-based curing agent.

樹脂組成物中の(C)成分の含有量は特に限定されないが、ピール強度が高く低誘電正接の絶縁層を得る観点から、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは1質量%以上、さらに好ましくは5質量%以上である。(C)成分の含有量の上限は、本発明の効果が奏される限りにおいて特に限定されないが、好ましくは30質量%以下、より好ましくは25質量%以下、さらに好ましくは20質量%以下である。
したがって樹脂組成物中の(C)成分の含有量は、好ましくは0.1〜30質量%、より好ましくは1〜25質量%、さらに好ましくは5〜20質量%である。
The content of the component (C) in the resin composition is not particularly limited, but is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, from the viewpoint of obtaining an insulating layer having high peel strength and a low dielectric loss tangent. More preferably, it is 5 mass% or more. The upper limit of the content of the component (C) is not particularly limited as long as the effect of the present invention is exhibited, but is preferably 30% by mass or less, more preferably 25% by mass or less, and further preferably 20% by mass or less. .
Therefore, the content of the component (C) in the resin composition is preferably 0.1 to 30% by mass, more preferably 1 to 25% by mass, and still more preferably 5 to 20% by mass.

(B)エポキシ樹脂と(C)硬化剤との量比は、[(B)エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数]:[(C)硬化剤の反応基の合計数]の比率で、1:0.2〜1:2の範囲が好ましく、1:0.3〜1:1.5がより好ましく、1:0.4〜1:1がさらに好ましい。ここで、硬化剤の反応基とは、活性水酸基、活性エステル基等であり、硬化剤の種類によって異なる。また、エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数とは、各エポキシ樹脂の固形分質量をエポキシ当量で除した値を(B)エポキシ樹脂について合計した値であり、硬化剤の反応基の合計数とは、各硬化剤の固形分質量を反応基当量で除した値をすべての硬化剤について合計した値である。エポキシ樹脂と硬化剤との量比を斯かる範囲とすることにより、樹脂組成物の硬化物の耐熱性がより向上する。   The amount ratio of (B) epoxy resin to (C) curing agent is a ratio of [(B) total number of epoxy groups of epoxy resin]: [(C) total number of reactive groups of curing agent]. The range of 0.2 to 1: 2 is preferable, 1: 0.3 to 1: 1.5 is more preferable, and 1: 0.4 to 1: 1 is more preferable. Here, the reactive group of the curing agent is an active hydroxyl group, an active ester group or the like, and varies depending on the type of the curing agent. The total number of epoxy groups in the epoxy resin is a value obtained by dividing the solid content mass of each epoxy resin by the epoxy equivalent for the (B) epoxy resin, and the total number of reactive groups in the curing agent is The value obtained by dividing the solid content mass of each curing agent by the reactive group equivalent is the total value for all curing agents. By setting the amount ratio of the epoxy resin and the curing agent in such a range, the heat resistance of the cured product of the resin composition is further improved.

<(D)無機充填材>
本発明の樹脂組成物は、(D)無機充填材(以下、「(D)成分」ともいう)を含有していてもよい。
無機充填材の材料は特に限定されないが、例えば、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられる。これらの中でもシリカが特に好適である。またシリカとしては球状シリカが好ましい。無機充填材は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。無機充填材の市販品としては、例えば(株)アドマテックス製「SO−C2」、「SO−C1」等が挙げられる。
<(D) Inorganic filler>
The resin composition of the present invention may contain (D) an inorganic filler (hereinafter also referred to as “component (D)”).
The material of the inorganic filler is not particularly limited. For example, silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, water Aluminum oxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide , Zirconium oxide, barium titanate, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate. Of these, silica is particularly preferred. Moreover, spherical silica is preferable as the silica. An inorganic filler may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. Examples of commercially available inorganic fillers include “SO-C2” and “SO-C1” manufactured by Admatechs Corporation.

無機充填材の平均粒径は特に限定されないが、表面粗さの小さい絶縁層を得る観点や微細配線形成性向上の観点から、5μm以下が好ましく、4μm以下がより好ましく、3μm以下がさらに好ましく、2μm以下、1μm以下、0.7μm以下、0.5μm以下、又は0.4μm以下がさらにより好ましい。一方、樹脂組成物を使用して樹脂ワニスを形成する際に適度な粘度を有し取り扱い性の良好な樹脂ワニスを得る観点から、無機充填材の平均粒径は、0.01μm以上が好ましく、0.03μm以上がより好ましく、0.05μm以上、0.07μm以上、又は0.1μm以上がさらに好ましい。したがって無機充填材の平均粒径は0.01μm〜5μmが好ましく、0.03μm〜4μmがより好ましい。   The average particle diameter of the inorganic filler is not particularly limited, but is preferably 5 μm or less, more preferably 4 μm or less, and even more preferably 3 μm or less, from the viewpoint of obtaining an insulating layer having a small surface roughness and improving the fine wiring formability. Even more preferable is 2 μm or less, 1 μm or less, 0.7 μm or less, 0.5 μm or less, or 0.4 μm or less. On the other hand, from the viewpoint of obtaining a resin varnish having an appropriate viscosity and good handleability when forming a resin varnish using the resin composition, the average particle size of the inorganic filler is preferably 0.01 μm or more, 0.03 μm or more is more preferable, 0.05 μm or more, 0.07 μm or more, or 0.1 μm or more is more preferable. Therefore, the average particle size of the inorganic filler is preferably 0.01 μm to 5 μm, more preferably 0.03 μm to 4 μm.

無機充填材の平均粒径は、ミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折散乱式粒度分布測定装置により、無機充填材の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折散乱式粒度分布測定装置としては、(株)堀場製作所製「LA−500」等を使用することができる。   The average particle diameter of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the inorganic filler can be prepared on a volume basis by a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus, and the median diameter can be measured as the average particle diameter. As the measurement sample, an inorganic filler dispersed in water by ultrasonic waves can be preferably used. As the laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus, “LA-500” manufactured by Horiba, Ltd. or the like can be used.

無機充填材は、耐湿性及び分散性を高める観点から、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等の1種以上の表面処理剤で処理されていることが好ましい。表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業(株)製「KBM403」(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM803」(3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBE903」(3−アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM573」(N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「SZ−31」(ヘキサメチルジシラザン)、信越化学工業(株)製「KBM103」(フェニルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM−4803」(長鎖エポキシ型シランカップリング剤)等が挙げられる。   Inorganic fillers are aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, mercaptosilane coupling agents, silane coupling agents, organosilazane compounds, titanate coupling agents from the viewpoint of improving moisture resistance and dispersibility. It is preferable that it is processed with 1 or more types of surface treating agents. Examples of commercially available surface treatment agents include “KBM403” (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and “KBM803” (3-mercaptopropyltrimethoxy manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). Silane), Shin-Etsu Chemical "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane), Shin-Etsu Chemical "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical "SZ-31" (hexamethyldisilazane) manufactured by KK, "KBM103" (phenyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM-4803" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. (long-chain epoxy type) Silane coupling agent).

表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.02mg/m以上が好ましく、0.1mg/m以上がより好ましく、0.2mg/m以上が更に好ましい。一方、樹脂ワニスの溶融粘度やシート形態での溶融粘度の上昇を防止する観点から、1mg/m以下が好ましく、0.8mg/m以下がより好ましく、0.5mg/m以下が更に好ましい。 The degree of surface treatment with the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. Carbon content per unit surface area of the inorganic filler, from the viewpoint of improving dispersibility of the inorganic filler is preferably 0.02 mg / m 2 or more, 0.1 mg / m 2 or more preferably, 0.2 mg / m 2 The above is more preferable. On the other hand, 1 mg / m 2 or less is preferable, 0.8 mg / m 2 or less is more preferable, and 0.5 mg / m 2 or less is more preferable from the viewpoint of preventing an increase in the melt viscosity of the resin varnish or the sheet form. preferable.

無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、(株)堀場製作所製「EMIA−320V」等を使用することができる。   The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured after the surface-treated inorganic filler is washed with a solvent (for example, methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler surface-treated with the surface treatment agent and ultrasonically cleaned at 25 ° C. for 5 minutes. After removing the supernatant and drying the solid, the carbon amount per unit surface area of the inorganic filler can be measured using a carbon analyzer. As the carbon analyzer, “EMIA-320V” manufactured by Horiba, Ltd. can be used.

樹脂組成物中の(D)成分の含有量は、特に限定されないが熱膨張率の低い絶縁層を得る観点から、好ましくは30質量%以上、より好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上又は65質量%以上である。樹脂組成物中の無機充填材の含有量の上限は、好ましくは95質量%以下、より好ましくは90質量%以下である。従って、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合の(D)無機充填材の含有量は30〜95質量%であるのが好ましく、30〜90質量%であるのがより好ましく、50〜90質量%であるのがさらに好ましい。   Although content of (D) component in a resin composition is not specifically limited, From a viewpoint of obtaining an insulating layer with a low coefficient of thermal expansion, Preferably it is 30 mass% or more, More preferably, it is 50 mass% or more, More preferably, it is 60 mass. % Or more or 65 mass% or more. The upper limit of the content of the inorganic filler in the resin composition is preferably 95% by mass or less, more preferably 90% by mass or less. Therefore, the content of the inorganic filler (D) when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass is preferably 30 to 95% by mass, more preferably 30 to 90% by mass, More preferably, it is 50-90 mass%.

本発明の樹脂組成物は上記(A)〜(D)成分以外に、熱可塑性樹脂、硬化促進剤、難燃剤及びゴム粒子等の添加剤を含んでいてもよい。   The resin composition of the present invention may contain additives such as a thermoplastic resin, a curing accelerator, a flame retardant, and rubber particles in addition to the components (A) to (D).

−熱可塑性樹脂−
熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂等の熱可塑性樹脂が挙げられ、これらのうち、フェノキシ樹脂が好ましい。熱可塑性樹脂は、1種単独で用いてもよく、又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。
-Thermoplastic resin-
Examples of the thermoplastic resin include phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyolefin resin, polybutadiene resin, polyimide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, polysulfone resin, polyethersulfone resin, polyphenylene ether resin, polycarbonate resin, and polyether. Examples thereof include thermoplastic resins such as ether ketone resins and polyester resins, and among these, phenoxy resins are preferred. A thermoplastic resin may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more type.

熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は5,000〜100,000の範囲が好ましく、10,000〜60,000の範囲がより好ましく、20,000〜60,000の範囲がさらに好ましい。熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法で測定される。具体的には、熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、測定装置として(株)島津製作所製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工(株)製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度を40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。   The polystyrene equivalent weight average molecular weight of the thermoplastic resin is preferably in the range of 5,000 to 100,000, more preferably in the range of 10,000 to 60,000, and still more preferably in the range of 20,000 to 60,000. The weight average molecular weight in terms of polystyrene of the thermoplastic resin is measured by a gel permeation chromatography (GPC) method. Specifically, the polystyrene-reduced weight average molecular weight of the thermoplastic resin is LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, and Shodex K-800P / K- manufactured by Showa Denko KK as a column. 804L / K-804L can be calculated using a standard polystyrene calibration curve by measuring the column temperature at 40 ° C. using chloroform or the like as a mobile phase.

フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。フェノキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。フェノキシ樹脂の具体例としては、三菱化学(株)製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂)、「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂)、及び「YX6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂)が挙げられ、その他にも、新日鉄住金化学(株)製の「FX280」及び「FX293」、三菱化学(株)製の「YL6954BH30」、「YX7553」、「YL7769BH30」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」及び「YL7482」等が挙げられる。   Examples of the phenoxy resin include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenolacetophenone skeleton, novolac skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantane skeleton, terpene Examples thereof include phenoxy resins having a skeleton and one or more skeletons selected from the group consisting of a trimethylcyclohexane skeleton. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group. A phenoxy resin may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. Specific examples of the phenoxy resin include “1256” and “4250” (both bisphenol A skeleton-containing phenoxy resin), “YX8100” (bisphenol S skeleton-containing phenoxy resin), and “YX6954” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation). In addition, “FX280” and “FX293” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., “YL6954BH30”, “YX7553”, “YL7769BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., “YL6794”, “YL7213”, “YL7290”, “YL7482” and the like.

ポリビニルアセタール樹脂としては、例えば、ポリビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂が挙げられ、ポリビニルブチラール樹脂が好ましい。ポリビニルアセタール樹脂の具体例としては、例えば、電気化学工業(株)製の「電化ブチラール4000−2」、「電化ブチラール5000−A」、「電化ブチラール6000−C」、「電化ブチラール6000−EP」、積水化学工業(株)製のエスレックBHシリーズ、BXシリーズ、KSシリーズ、BLシリーズ、BMシリーズ等が挙げられる。   Examples of the polyvinyl acetal resin include a polyvinyl formal resin and a polyvinyl butyral resin, and a polyvinyl butyral resin is preferable. Specific examples of the polyvinyl acetal resin include, for example, “Electrical butyral 4000-2”, “Electrical butyral 5000-A”, “Electrical butyral 6000-C”, and “Electrical butyral 6000-EP” manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd. Sekisui Chemical Co., Ltd.'s S-REC BH series, BX series, KS series, BL series, BM series and the like.

ポリイミド樹脂の具体例としては、新日本理化(株)製の「リカコートSN20」及び「リカコートPN20」が挙げられる。ポリイミド樹脂の具体例としてはまた、2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、ジイソシアネート化合物及び四塩基酸無水物を反応させて得られる線状ポリイミド(特開2006−37083号公報記載のポリイミド)、ポリシロキサン骨格含有ポリイミド(特開2002−12667号公報及び特開2000−319386号公報等に記載のポリイミド)等の変性ポリイミドが挙げられる。   Specific examples of the polyimide resin include “Rika Coat SN20” and “Rika Coat PN20” manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd. Specific examples of the polyimide resin include linear polyimide obtained by reacting a bifunctional hydroxyl group-terminated polybutadiene, a diisocyanate compound and a tetrabasic acid anhydride (polyimide described in JP-A-2006-37083), a polysiloxane skeleton. Examples thereof include modified polyimides such as containing polyimide (polyimides described in JP-A Nos. 2002-12667 and 2000-319386).

ポリアミドイミド樹脂の具体例としては、東洋紡績(株)製の「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。ポリアミドイミド樹脂の具体例としてはまた、日立化成工業(株)製の「KS9100」、「KS9300」(ポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド)等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。   Specific examples of the polyamide-imide resin include “Bilomax HR11NN” and “Bilomax HR16NN” manufactured by Toyobo Co., Ltd. Specific examples of the polyamideimide resin also include modified polyamideimides such as “KS9100” and “KS9300” (polysiloxane skeleton-containing polyamideimide) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.

ポリエーテルスルホン樹脂の具体例としては、住友化学(株)製の「PES5003P」等が挙げられる。   Specific examples of the polyethersulfone resin include “PES5003P” manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.

ポリスルホン樹脂の具体例としては、ソルベイアドバンストポリマーズ(株)製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。   Specific examples of the polysulfone resin include polysulfone “P1700” and “P3500” manufactured by Solvay Advanced Polymers Co., Ltd.

中でも、他の成分との組み合わせにおいて、表面粗度がさらに低く導体層との密着性により優れる絶縁層を得る観点から、熱可塑性樹脂としては、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂が好ましい。したがって好適な一実施形態において、熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂及びポリビニルアセタール樹脂からなる群から選択される1種以上を含む。
フェノキシ樹脂を使用する場合、フェノキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは6000〜30000、より好ましくは7000〜20000、さらに好ましくは9000〜15000である。また当該フェノキシ樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は8,000〜200,000の範囲が好ましく、10,000〜100,000の範囲がより好ましく、20,000〜60,000の範囲がさらに好ましい。
Among these, phenoxy resin and polyvinyl acetal resin are preferable as the thermoplastic resin from the viewpoint of obtaining an insulating layer having a lower surface roughness and superior adhesion to the conductor layer in combination with other components. Accordingly, in a preferred embodiment, the thermoplastic resin includes one or more selected from the group consisting of a phenoxy resin and a polyvinyl acetal resin.
When the phenoxy resin is used, the epoxy equivalent of the phenoxy resin is preferably 6000 to 30000, more preferably 7000 to 20000, and further preferably 9000 to 15000. The weight average molecular weight in terms of polystyrene of the phenoxy resin is preferably in the range of 8,000 to 200,000, more preferably in the range of 10,000 to 100,000, and still more preferably in the range of 20,000 to 60,000.

樹脂組成物中の熱可塑性樹脂の含有量は、特に限定されないが、好ましくは0質量%〜20質量%、より好ましくは0.5質量%〜10質量%、さらに好ましくは1質量%〜5質量%である。   The content of the thermoplastic resin in the resin composition is not particularly limited, but is preferably 0% by mass to 20% by mass, more preferably 0.5% by mass to 10% by mass, and even more preferably 1% by mass to 5% by mass. %.

−硬化促進剤−
硬化促進剤としては、例えば、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤等が挙げられ、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤が好ましく、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤がより好ましい。硬化促進剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
-Curing accelerator-
Examples of the curing accelerator include phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, and imidazole-based accelerators. A curing accelerator is preferable, and an amine-based curing accelerator and an imidazole-based curing accelerator are more preferable. A hardening accelerator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

リン系硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、ホスホニウムボレート化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、n−ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4−メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等が挙げられ、トリフェニルホスフィン、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩が好ましい。   Examples of phosphorus curing accelerators include triphenylphosphine, phosphonium borate compounds, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium decanoate, (4-methylphenyl) triphenylphosphonium thiocyanate. , Tetraphenylphosphonium thiocyanate, butyltriphenylphosphonium thiocyanate and the like, and triphenylphosphine and tetrabutylphosphonium decanoate are preferable.

アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン等のトリアルキルアミン、4−ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセン等が挙げられ、4−ジメチルアミノピリジン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセンが好ましい。   Examples of amine curing accelerators include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6, -tris (dimethylaminomethyl) phenol, 1,8-diazabicyclo. (5,4,0) -undecene and the like are mentioned, and 4-dimethylaminopyridine and 1,8-diazabicyclo (5,4,0) -undecene are preferable.

イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ[1,2−a]ベンズイミダゾール、1−ドデシル−2−メチル−3−ベンジルイミダゾリウムクロライド、2−メチルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられ、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾールが好ましい。   Examples of the imidazole curing accelerator include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl- 2 Phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-ethyl-4′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino- 6- [2′-Methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl- 4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl Examples include imidazole compounds such as 3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline, and 2-phenylimidazoline, and adducts of imidazole compounds and epoxy resins, such as 2-ethyl-4-methylimidazole and 1-benzyl-2-phenyl. Imidazole is preferred.

イミダゾール系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三菱化学(株)製の「P200−H50」等が挙げられる。   Commercially available products may be used as the imidazole curing accelerator, and examples thereof include “P200-H50” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1−メチルグアニジン、1−エチルグアニジン、1−シクロヘキシルグアニジン、1−フェニルグアニジン、1−(o−トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、7−メチル−1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、1−メチルビグアニド、1−エチルビグアニド、1−n−ブチルビグアニド、1−n−オクタデシルビグアニド、1,1−ジメチルビグアニド、1,1−ジエチルビグアニド、1−シクロヘキシルビグアニド、1−アリルビグアニド、1−フェニルビグアニド、1−(o−トリル)ビグアニド等が挙げられ、ジシアンジアミド、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エンが好ましい。   Examples of the guanidine curing accelerator include dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1- (o-tolyl) guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, trimethylguanidine, Tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] Deca-5-ene, 1-methyl biguanide, 1-ethyl biguanide, 1-n-butyl biguanide, 1-n-octadecyl biguanide, 1,1-dimethyl biguanide, 1,1-diethyl biguanide, 1-cyclohexyl biguanide, 1 -Allyl biguanide, 1-phenyl biguanide, 1- ( - tolyl) biguanide, and the like, dicyandiamide, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] dec-5-ene are preferred.

樹脂組成物中の硬化促進剤の含有量は特に限定されないが、0.05質量%〜3質量%の範囲で使用することが好ましい。   Although content of the hardening accelerator in a resin composition is not specifically limited, It is preferable to use in 0.05 mass%-3 mass%.

−難燃剤−
本発明の樹脂組成物は、難燃剤を含んでもよい。難燃剤としては、例えば、有機リン系難燃剤、有機系窒素含有リン化合物、窒素化合物、シリコーン系難燃剤、金属水酸化物等が挙げられる。難燃剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
-Flame retardant-
The resin composition of the present invention may contain a flame retardant. Examples of the flame retardant include an organic phosphorus flame retardant, an organic nitrogen-containing phosphorus compound, a nitrogen compound, a silicone flame retardant, and a metal hydroxide. A flame retardant may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.

難燃剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三光(株)製の「HCA−HQ」等が挙げられる。   Commercially available products may be used as the flame retardant, and examples thereof include “HCA-HQ” manufactured by Sanko Co., Ltd.

樹脂組成物中の難燃剤の含有量は特に限定されないが、好ましくは0.5質量%〜20質量%、より好ましくは1質量%〜15質量%、さらに好ましくは1.5質量%〜10質量%がさらに好ましい。   The content of the flame retardant in the resin composition is not particularly limited, but is preferably 0.5% by mass to 20% by mass, more preferably 1% by mass to 15% by mass, and even more preferably 1.5% by mass to 10% by mass. % Is more preferable.

−有機充填材−
樹脂組成物は、さらに有機充填材を含んでもよい。有機充填材としては、プリント配線板の絶縁層を形成するに際し使用し得る任意の有機充填材を使用してよく、例えば、ゴム粒子、ポリアミド微粒子、シリコーン粒子等が挙げられ、ゴム粒子が好ましい。
-Organic filler-
The resin composition may further contain an organic filler. As the organic filler, any organic filler that can be used for forming an insulating layer of a printed wiring board may be used. Examples thereof include rubber particles, polyamide fine particles, and silicone particles, and rubber particles are preferable.

ゴム粒子としては、市販品を用いてもよく、例えば、アイカ工業(株)製の「AC3816N」等が挙げられる。   A commercially available product may be used as the rubber particles, and examples thereof include “AC3816N” manufactured by Aika Industry Co., Ltd.

樹脂組成物中の有機充填材の含有量は、好ましくは1質量%〜20質量%、より好ましくは2質量%〜10質量%である。   The content of the organic filler in the resin composition is preferably 1% by mass to 20% by mass, more preferably 2% by mass to 10% by mass.

樹脂組成物は、さらに必要に応じて、難燃剤、及び有機充填材以外の他の添加剤を含んでいてもよく、斯かる他の添加剤としては、例えば、有機銅化合物、有機亜鉛化合物及び有機コバルト化合物等の有機金属化合物、並びに有機フィラー、増粘剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤、及び着色剤等の樹脂添加剤等が挙げられる。   The resin composition may further contain other additives other than the flame retardant and the organic filler, if necessary. Examples of such other additives include an organic copper compound, an organic zinc compound, and Examples thereof include organic metal compounds such as organic cobalt compounds, and resin additives such as organic fillers, thickeners, antifoaming agents, leveling agents, adhesion imparting agents, and coloring agents.

本発明の樹脂組成物は、プリント配線板の製造において、絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の絶縁層用の樹脂組成物)として好適に使用することができる。また、本発明の樹脂組成物は、ビルドアップ層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板のビルドアップ層用樹脂組成物)としても好適に使用することができる。   The resin composition of the present invention can be suitably used as a resin composition (resin composition for an insulating layer of a printed wiring board) for forming an insulating layer in the production of a printed wiring board. Moreover, the resin composition of this invention can be used conveniently also as a resin composition (resin composition for buildup layers of a printed wiring board) for forming a buildup layer.

[シート状積層材料]
本発明のシート状積層材料は、本発明の樹脂組成物を含有する。シート状積層材料としては、接着フィルムおよびプリプレグが挙げられる。
(接着フィルム)
接着フィルムは、本発明の樹脂組成物を含有する。接着フィルムは、例えば、支持体と、該支持体上に設けられた、本発明の樹脂組成物を含む樹脂組成物層と、を有する。
[Sheet laminated material]
The sheet-like laminated material of the present invention contains the resin composition of the present invention. Examples of the sheet-like laminated material include an adhesive film and a prepreg.
(Adhesive film)
The adhesive film contains the resin composition of the present invention. An adhesive film has a support body and the resin composition layer provided on this support body containing the resin composition of this invention, for example.

樹脂組成物層の厚さは、絶縁層の薄層化の観点から、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm以下、さらに好ましくは60μm以下、さらにより好ましくは50μm以下、又は40μm以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、通常、1μm以上、5μm以上、10μm以上等とし得る。   The thickness of the resin composition layer is preferably 100 μm or less, more preferably 80 μm or less, still more preferably 60 μm or less, and even more preferably 50 μm or less, or 40 μm or less from the viewpoint of thinning the insulating layer. Although the minimum of the thickness of a resin composition layer is not specifically limited, Usually, it may be 1 micrometer or more, 5 micrometers or more, 10 micrometers or more, etc.

支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。   Examples of the support include a film made of a plastic material, a metal foil, and a release paper, and a film made of a plastic material and a metal foil are preferable.

支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート(以下「PEN」と略称することがある。)等のポリエステル、ポリカーボネート(以下「PC」と略称することがある。)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミド等が挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。   When a film made of a plastic material is used as the support, examples of the plastic material include polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as “PET”) and polyethylene naphthalate (hereinafter abbreviated as “PEN”). .) Polyester, polycarbonate (hereinafter sometimes abbreviated as “PC”), polymethyl methacrylate (PMMA) and other acrylics, cyclic polyolefin, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether Examples include ketones and polyimides. Among these, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferable.

支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。   When using metal foil as a support body, as metal foil, copper foil, aluminum foil, etc. are mentioned, for example, Copper foil is preferable. As the copper foil, a foil made of a single metal of copper may be used, and a foil made of an alloy of copper and another metal (for example, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.). It may be used.

支持体は、樹脂組成物層と接合する面にマット処理、コロナ処理を施してあってもよい。   The support may be subjected to mat treatment or corona treatment on the surface to be bonded to the resin composition layer.

また、支持体としては、樹脂組成物層と接合する面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型層付き支持体は、市販品を用いてもよく、例えば、アルキド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムである、リンテック(株)製の「SK−1」、「AL−5」、「AL−7」等が挙げられる。   Moreover, as a support body, you may use the support body with a release layer which has a release layer in the surface joined to a resin composition layer. Examples of the release agent used for the release layer of the support with a release layer include one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, urethane resins, and silicone resins. . As the support with a release layer, a commercially available product may be used. For example, “SK-1” manufactured by Lintec Corporation, which is a PET film having a release layer mainly composed of an alkyd resin release agent. , “AL-5”, “AL-7” and the like.

支持体の厚みとしては、特に限定されないが、5μm〜75μmの範囲が好ましく、10μm〜60μmの範囲がより好ましい。なお、離型層付き支持体を使用する場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。   Although it does not specifically limit as thickness of a support body, The range of 5 micrometers-75 micrometers is preferable, and the range of 10 micrometers-60 micrometers is more preferable. In addition, when using a support body with a release layer, it is preferable that the thickness of the whole support body with a release layer is the said range.

接着フィルムは、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーター等を用いて支持体上に塗布し、更に乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。   For the adhesive film, for example, a resin varnish obtained by dissolving a resin composition in an organic solvent is prepared, and this resin varnish is applied onto a support using a die coater or the like, and further dried to form a resin composition layer. Can be manufactured.

有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(MEK)及びシクロヘキサノン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル類、セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール類、トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びN−メチルピロリドン等のアミド系溶媒等を挙げることができる。有機溶剤は1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   Examples of the organic solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone, acetates such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate, cellosolve and butyl carbitol, etc. Carbitols, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc), and N-methylpyrrolidone. An organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の方法により実施してよい。乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層中の有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。樹脂ワニス中の有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%〜60質量%の有機溶剤を含む樹脂ワニスを用いる場合、50℃〜150℃で3分間〜10分間乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。   Drying may be performed by a known method such as heating or hot air blowing. The drying conditions are not particularly limited, but the drying is performed so that the content of the organic solvent in the resin composition layer is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Depending on the boiling point of the organic solvent in the resin varnish, for example, when using a resin varnish containing 30% by mass to 60% by mass of the organic solvent, the resin composition is dried at 50 ° C. to 150 ° C. for 3 minutes to 10 minutes. A physical layer can be formed.

接着フィルムの、樹脂組成物層の支持体と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)には、支持体に準じた保護フィルムをさらに積層することができる。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、1μm〜40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを防止することができる。接着フィルムは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。接着フィルムが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。保護フィルムとして例えば、ポリプロピレンフィルム(王子エフテックス(株)製「アルファンMA−430」、厚さ20μm)を、樹脂組成物層と接合するように積層することができる。   A protective film according to the support can be further laminated on the surface of the adhesive film that is not joined to the support of the resin composition layer (that is, the surface opposite to the support). Although the thickness of a protective film is not specifically limited, For example, they are 1 micrometer-40 micrometers. By laminating the protective film, it is possible to prevent dust and the like from being attached to the surface of the resin composition layer and scratches. The adhesive film can be stored in a roll. When an adhesive film has a protective film, it can be used by peeling off the protective film. For example, a polypropylene film (“Alphan MA-430” manufactured by Oji F-Tex Co., Ltd., thickness 20 μm) can be laminated as the protective film so as to be bonded to the resin composition layer.

[プリプレグ]
プリプレグは、本発明の樹脂組成物を含む。プリプレグにおいて、本発明の樹脂組成物は、シート状繊維基材中に含浸されていることを特徴とする。
[Prepreg]
The prepreg includes the resin composition of the present invention. The prepreg is characterized in that the resin composition of the present invention is impregnated in a sheet-like fiber base material.

プリプレグに用いるシート状繊維基材は特に限定されず、ガラスクロス、アラミド不織布、液晶ポリマー不織布等のプリプレグ用基材として常用されているものを用いることができる。絶縁層の薄層化の観点から、シート状繊維基材の厚さは、好ましくは50μm以下であり、より好ましくは40μm以下、さらに好ましくは30μm以下、さらにより好ましくは20μm以下である。シート状繊維基材の厚さの下限は特に限定されないが、通常、10μm以上である。   The sheet-like fiber base material used for a prepreg is not specifically limited, What is used normally as base materials for prepregs, such as a glass cloth, an aramid nonwoven fabric, a liquid crystal polymer nonwoven fabric, can be used. From the viewpoint of thinning the insulating layer, the thickness of the sheet-like fiber substrate is preferably 50 μm or less, more preferably 40 μm or less, still more preferably 30 μm or less, and even more preferably 20 μm or less. Although the minimum of the thickness of a sheet-like fiber base material is not specifically limited, Usually, it is 10 micrometers or more.

プリプレグは、ホットメルト法、ソルベント法等の公知の方法により製造することができる。   The prepreg can be produced by a known method such as a hot melt method or a solvent method.

プリプレグの厚さは、上述の接着フィルムにおける樹脂組成物層と同様の範囲とし得る。   The thickness of the prepreg can be in the same range as the resin composition layer in the adhesive film described above.

本発明のシート状積層材料は、プリント配線板の絶縁層を形成するため(プリント配線板の絶縁層用)に好適に使用することができ、プリント配線板の層間絶縁層を形成するため(プリント配線板の層間絶縁層用)により好適に使用することができる。   The sheet-like laminated material of the present invention can be suitably used for forming an insulating layer of a printed wiring board (for an insulating layer of a printed wiring board), and for forming an interlayer insulating layer of a printed wiring board (printing) (For an interlayer insulating layer of a wiring board).

[プリント配線板]
本発明のプリント配線板は、本発明の樹脂組成物または本発明のシート状積層材料を熱硬化して得られた絶縁層を含む。
[Printed wiring board]
The printed wiring board of the present invention includes an insulating layer obtained by thermosetting the resin composition of the present invention or the sheet-like laminated material of the present invention.

本発明のプリント配線板は、例えば、上述の接着フィルムを用いて、下記(I)及び(II)の工程を含む方法により製造することができる。
(I)内層基板上に、接着フィルムを、該接着フィルムの樹脂組成物層が内層基板と接合するように積層する工程
(II)樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する工程
The printed wiring board of the present invention can be produced, for example, by a method including the following steps (I) and (II) using the above-described adhesive film.
(I) A step of laminating an adhesive film on an inner layer substrate so that the resin composition layer of the adhesive film is bonded to the inner layer substrate (II) A step of thermosetting the resin composition layer to form an insulating layer

工程(I)で用いる「内層基板」とは、主として、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の基板、又は該基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成された回路基板をいう。またプリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物の内層回路基板も本発明でいう「内層基板」に含まれる。プリント配線板が部品内蔵回路板である場合、部品を内蔵した内層基板を使用すればよい。   The “inner layer substrate” used in step (I) is mainly a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a thermosetting polyphenylene ether substrate, or one or both surfaces of the substrate. A circuit board on which a patterned conductor layer (circuit) is formed. Further, when the printed wiring board is manufactured, an inner layer circuit board of an intermediate product in which an insulating layer and / or a conductor layer is further formed is also included in the “inner layer board” in the present invention. When the printed wiring board is a component built-in circuit board, an inner layer board with built-in components may be used.

内層基板と接着フィルムの積層は、例えば、支持体側から接着フィルムを内層基板に加熱圧着することにより行うことができる。接着フィルムを内層基板に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を接着フィルムに直接プレスするのではなく、内層基板の表面凹凸に接着フィルムが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。   Lamination | stacking of an inner layer board | substrate and an adhesive film can be performed by heat-pressing an adhesive film to an inner layer board | substrate from the support body side, for example. Examples of the member that heat-presses the adhesive film to the inner layer substrate (hereinafter also referred to as “heat-pressing member”) include a heated metal plate (SUS end plate, etc.) or a metal roll (SUS roll). In addition, it is preferable not to press the thermocompression bonding member directly on the adhesive film but to press it through an elastic material such as heat resistant rubber so that the adhesive film sufficiently follows the surface irregularities of the inner layer substrate.

内層基板と接着フィルムの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃〜160℃、より好ましくは80℃〜140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa〜1.77MPa、より好ましくは0.29MPa〜1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間〜400秒間、より好ましくは30秒間〜300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施する。   Lamination of the inner layer substrate and the adhesive film may be performed by a vacuum laminating method. In the vacuum laminating method, the thermocompression bonding temperature is preferably in the range of 60 ° C to 160 ° C, more preferably 80 ° C to 140 ° C, and the thermocompression bonding pressure is preferably 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably 0. The thermocompression bonding time is preferably in the range of 20 seconds to 400 seconds, more preferably in the range of 30 seconds to 300 seconds. Lamination is preferably performed under reduced pressure conditions with a pressure of 26.7 hPa or less.

積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、(株)名機製作所製の真空加圧式ラミネーター、ニチゴー・モートン(株)製のバキュームアップリケーター等が挙げられる。   Lamination can be performed with a commercially available vacuum laminator. Examples of the commercially available vacuum laminator include a vacuum pressure laminator manufactured by Meiki Seisakusho, a vacuum applicator manufactured by Nichigo Morton, and the like.

積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された接着フィルムの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。   After lamination, the laminated adhesive film may be smoothed under normal pressure (atmospheric pressure), for example, by pressing a thermocompression bonding member from the support side. The pressing conditions for the smoothing treatment can be the same conditions as the thermocompression bonding conditions for the laminate. The smoothing treatment can be performed with a commercially available laminator. In addition, you may perform lamination | stacking and a smoothing process continuously using said commercially available vacuum laminator.

支持体は、工程(I)と工程(II)の間に除去してもよく、工程(II)の後に除去してもよい。   The support may be removed between step (I) and step (II), or may be removed after step (II).

工程(II)において、樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する。   In step (II), the resin composition layer is thermally cured to form an insulating layer.

樹脂組成物層の熱硬化条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。   The thermosetting conditions for the resin composition layer are not particularly limited, and the conditions normally employed when forming the insulating layer of the printed wiring board may be used.

例えば、樹脂組成物層の熱硬化条件は、樹脂組成物の種類等によっても異なるが、硬化温度は120℃〜240℃の範囲(好ましくは150℃〜220℃の範囲、より好ましくは170℃〜200℃の範囲)、硬化時間は5分間〜120分間の範囲(好ましくは10分間〜100分間、より好ましくは15分間〜90分間)とすることができる。   For example, although the thermosetting conditions of the resin composition layer vary depending on the type of the resin composition, the curing temperature is in the range of 120 ° C to 240 ° C (preferably in the range of 150 ° C to 220 ° C, more preferably in the range of 170 ° C to 200 ° C.) and the curing time can be in the range of 5 minutes to 120 minutes (preferably 10 minutes to 100 minutes, more preferably 15 minutes to 90 minutes).

樹脂組成物層を熱硬化させる前に、樹脂組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化させるのに先立ち、50℃以上120℃未満(好ましくは60℃以上110℃以下、より好ましくは70℃以上100℃以下)の温度にて、樹脂組成物層を5分間以上(好ましくは5分間〜150分間、より好ましくは15分間〜120分間)予備加熱してもよい。   Before the resin composition layer is thermally cured, the resin composition layer may be preheated at a temperature lower than the curing temperature. For example, prior to thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer is formed at a temperature of 50 ° C. or higher and lower than 120 ° C. (preferably 60 ° C. or higher and 110 ° C. or lower, more preferably 70 ° C. or higher and 100 ° C. or lower). Preheating may be performed for 5 minutes or more (preferably 5 minutes to 150 minutes, more preferably 15 minutes to 120 minutes).

本発明の樹脂組成物を使用して形成された絶縁層は、低い誘電正接を示す。高周波での発熱防止、信号遅延及び信号ノイズの低減の観点から、誘電正接は0.010以下が好ましく、0.009以下がより好ましく、0.008以下、0.007以下又は0.006以下がさらに好ましい。誘電正接の下限は、低いほど好ましいが、通常、0.001以上などとし得る。誘電正接は、後述の4.誘電正接の測定に記載の方法により測定することができる。具体的には、空洞共振器摂動法により周波数5.8GHz、測定温度23℃で測定することができる。   The insulating layer formed using the resin composition of the present invention exhibits a low dielectric loss tangent. From the viewpoint of preventing heat generation at high frequencies, reducing signal delay and signal noise, the dielectric loss tangent is preferably 0.010 or less, more preferably 0.009 or less, and 0.008 or less, 0.007 or less, or 0.006 or less. Further preferred. The lower limit of the dielectric loss tangent is preferably as low as possible, but can usually be 0.001 or more. The dielectric loss tangent is described later in 4. It can be measured by the method described in the measurement of dielectric loss tangent. Specifically, it can be measured at a frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23 ° C. by the cavity resonator perturbation method.

本発明の樹脂組成物を使用して形成された絶縁層は、高湿条件下で保管する場合などにおいても、低い誘電正接を維持することが可能である。例えば、初期の誘電正接をtanδ1とし、35℃、相対湿度85%の条件下で3日間保管した後の誘電正接をtanδ2としたとき、本発明の樹脂組成物を使用して形成された絶縁層は、下記式で算出される誘電正接上昇率が、好ましくは120%以下、より好ましくは118%以下、さらに好ましくは116%以下、114%以下、112%以下、又は110%以下である。   The insulating layer formed using the resin composition of the present invention can maintain a low dielectric loss tangent even when stored under high humidity conditions. For example, when the initial dielectric loss tangent is tan δ1 and the dielectric loss tangent after storage for 3 days at 35 ° C. and a relative humidity of 85% is tan δ2, the insulating layer formed using the resin composition of the present invention. The dielectric loss tangent increase rate calculated by the following formula is preferably 120% or less, more preferably 118% or less, still more preferably 116% or less, 114% or less, 112% or less, or 110% or less.

誘電正接上昇率(%)=(tanδ2)/(tanδ1)×100   Dielectric loss tangent increase rate (%) = (tan δ2) / (tan δ1) × 100

プリント配線板を製造するに際しては、(III)絶縁層に穴あけする工程、(IV)絶縁層を粗化処理する工程、(V)導体層を形成する工程をさらに実施してもよい。これらの工程(III)乃至(V)は、プリント配線板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、支持体を工程(II)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(II)と工程(III)との間、工程(III)と工程(IV)の間、又は工程(IV)と工程(V)との間に実施してよい。   When manufacturing a printed wiring board, you may further implement (III) the process of drilling in an insulating layer, (IV) the process of roughening an insulating layer, and (V) the process of forming a conductor layer. These steps (III) to (V) may be carried out according to various methods known to those skilled in the art, which are used in the production of printed wiring boards. In addition, when removing a support body after process (II), removal of this support body is performed between process (II) and process (III), between process (III) and process (IV), or process ( It may be carried out between IV) and step (V).

本発明のプリント配線板は、例えば、上述のプリプレグを用いて製造することができる。製造方法は基本的に接着フィルムを用いる場合と同様である。   The printed wiring board of this invention can be manufactured using the above-mentioned prepreg, for example. The manufacturing method is basically the same as when an adhesive film is used.

工程(III)は、絶縁層に穴あけする工程であり、これにより絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(III)は、絶縁層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。   Step (III) is a step of making a hole in the insulating layer, whereby holes such as via holes and through holes can be formed in the insulating layer. Step (III) may be performed using, for example, a drill, laser, plasma, or the like, depending on the composition of the resin composition used for forming the insulating layer. The dimensions and shape of the holes may be appropriately determined according to the design of the printed wiring board.

工程(IV)は、絶縁層を粗化処理する工程である。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層を粗化処理することができる。膨潤液としては特に限定されないが、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン(株)製の「スウェリング・ディップ・セキュリガンスP」、「スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU」等が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、特に限定されないが、例えば、30℃〜90℃の膨潤液に絶縁層を1分間〜20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40℃〜80℃の膨潤液に硬化体を5分間〜15分間浸漬させることが好ましい。酸化剤としては、特に限定されないが、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃〜80℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10分間〜30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5質量%〜10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン(株)製の「コンセントレート・コンパクトCP」、「ドージングソリューション・セキュリガンスP」等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。また、中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン(株)製の「リダクションソリューション・セキュリガントP」が挙げられる。中和液による処理は、酸化剤による粗化処理がなされた処理面を30℃〜80℃の中和液に5分間〜30分間浸漬させることにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤による粗化処理がなされた対象物を、40℃〜70℃の中和液に5分間〜20分間浸漬する方法が好ましい。   Step (IV) is a step of roughening the insulating layer. The procedure and conditions for the roughening treatment are not particularly limited, and known procedures and conditions that are usually used when forming an insulating layer of a printed wiring board can be employed. For example, the insulating layer can be roughened by performing a swelling treatment with a swelling liquid, a roughening treatment with an oxidizing agent, and a neutralization treatment with a neutralizing liquid in this order. Although it does not specifically limit as a swelling liquid, An alkaline solution, surfactant solution, etc. are mentioned, Preferably it is an alkaline solution, As this alkaline solution, a sodium hydroxide solution and a potassium hydroxide solution are more preferable. Examples of commercially available swelling liquids include “Swelling Dip Securigans P” and “Swelling Dip Securigans SBU” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. Although the swelling process by a swelling liquid is not specifically limited, For example, it can perform by immersing an insulating layer for 1 minute-20 minutes in 30 degreeC-90 degreeC swelling liquid. From the viewpoint of suppressing the swelling of the resin of the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the cured body in a swelling liquid at 40 ° C. to 80 ° C. for 5 minutes to 15 minutes. Although it does not specifically limit as an oxidizing agent, For example, the alkaline permanganate solution which melt | dissolved potassium permanganate and sodium permanganate in the aqueous solution of sodium hydroxide is mentioned. The roughening treatment with an oxidizing agent such as an alkaline permanganic acid solution is preferably performed by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60 to 80 ° C. for 10 to 30 minutes. The concentration of permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5% by mass to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganic acid solutions such as “Concentrate Compact CP” and “Dosing Solution Securigans P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. The neutralizing solution is preferably an acidic aqueous solution. Examples of commercially available products include “Reduction Solution Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. The treatment with the neutralizing solution can be performed by immersing the treated surface subjected to the roughening treatment with the oxidizing agent in the neutralizing solution at 30 to 80 ° C. for 5 to 30 minutes. From the viewpoint of workability and the like, a method of immersing an object subjected to roughening treatment with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 40 ° C. to 70 ° C. for 5 minutes to 20 minutes is preferable.

粗化処理後の絶縁層表面の算術平均粗さRaは、好ましくは300nm以下、より好ましくは280nm以下、さらに好ましくは260nm以下、240nm以下、220nm以下、又は200nm以下である。Raの下限は特に限定されないが、通常、1nm以上、3nm以上、5nm以上などとし得る。絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)は、非接触型表面粗さ計を用いて測定することができる。非接触型表面粗さ計の具体例としては、ビーコインスツルメンツ社製の「WYKO NT3300」が挙げられる。   The arithmetic average roughness Ra of the surface of the insulating layer after the roughening treatment is preferably 300 nm or less, more preferably 280 nm or less, further preferably 260 nm or less, 240 nm or less, 220 nm or less, or 200 nm or less. The lower limit of Ra is not particularly limited, but can usually be 1 nm or more, 3 nm or more, 5 nm or more, and the like. The arithmetic average roughness (Ra) of the insulating layer surface can be measured using a non-contact type surface roughness meter. As a specific example of the non-contact type surface roughness meter, “WYKO NT3300” manufactured by Becoins Instruments is cited.

粗化処理後の絶縁層表面の二乗平均平方根粗さRqは、好ましくは400nm以下、より好ましくは380nm以下、さらに好ましくは360nm以下、340nm以下、320nm以下、又は300nm以下である。Rqの下限は特に限定されないが、通常、1nm以上、3nm以上、5nm以上などとし得る。絶縁層表面の二乗平均平方根粗さ(Rq)は、Raと同様、非接触型表面粗さ計を用いて測定することができる。   The root mean square roughness Rq of the surface of the insulating layer after the roughening treatment is preferably 400 nm or less, more preferably 380 nm or less, still more preferably 360 nm or less, 340 nm or less, 320 nm or less, or 300 nm or less. The lower limit of Rq is not particularly limited, but can usually be 1 nm or more, 3 nm or more, 5 nm or more, and the like. The root mean square roughness (Rq) of the insulating layer surface can be measured using a non-contact type surface roughness meter, similarly to Ra.

工程(V)は、導体層を形成する工程である。   Step (V) is a step of forming a conductor layer.

導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好ましくは、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。   The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. Preferably, the conductor layer includes one or more metals selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin, and indium. . The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer. As the alloy layer, for example, an alloy of two or more metals selected from the above group (for example, nickel-chromium alloy, copper- A layer formed from a nickel alloy and a copper / titanium alloy). Among them, from the viewpoint of versatility of conductor layer formation, cost, ease of patterning, etc., single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or nickel / chromium alloy, copper / An alloy layer of nickel alloy or copper / titanium alloy is preferable, and a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or an alloy layer of nickel / chromium alloy is more preferable, and a single layer of copper is preferable. A metal layer is more preferred.

導体層は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。   The conductor layer may have a single layer structure or a multilayer structure in which two or more single metal layers or alloy layers made of different types of metals or alloys are laminated. When the conductor layer has a multilayer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc or titanium, or an alloy layer of nickel / chromium alloy.

導体層の厚さは、所望のプリント配線板のデザインによるが、一般に3μm〜35μm、好ましくは5μm〜30μmである。   Although the thickness of a conductor layer is based on the design of a desired printed wiring board, generally it is 3 micrometers-35 micrometers, Preferably it is 5 micrometers-30 micrometers.

導体層は、めっきにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にめっきして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を示す。   The conductor layer may be formed by plating. For example, the surface of the insulating layer can be plated by a conventionally known technique such as a semi-additive method or a full additive method to form a conductor layer having a desired wiring pattern. Hereinafter, an example in which the conductor layer is formed by a semi-additive method will be described.

まず、絶縁層の表面に、無電解めっきによりめっきシード層を形成する。次いで、形成されためっきシード層上に、所望の配線パターンに対応してめっきシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出しためっきシード層上に、電解めっきにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なめっきシード層をエッチング等により除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。   First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Next, a mask pattern that exposes a part of the plating seed layer corresponding to a desired wiring pattern is formed on the formed plating seed layer. A metal layer is formed by electrolytic plating on the exposed plating seed layer, and then the mask pattern is removed. Thereafter, an unnecessary plating seed layer can be removed by etching or the like to form a conductor layer having a desired wiring pattern.

本発明の樹脂組成物を使用して形成された絶縁層は、導体層に対し高いピール強度を示す。ピール強度は、好ましくは0.40kgf/cm以上、より好ましくは0.45kgf/cm以上、さらに好ましくは0.50kgf/cm以上である。ピール強度の上限値は特に限定されないが、1.2kgf/cm以下、0.90kgf/cm以下などとなる。本発明においては、粗化処理後の絶縁層表面の算術平均粗さRaや二乗平均平方根粗さRq(粗度)が小さいにもかかわらず、このように高いピール強度を呈する絶縁層を形成し得ることから、回路配線の微細化に著しく寄与するものである。なお本発明において、絶縁層と導体層とのピール強度とは、導体層を絶縁層に対して垂直方向(90度方向)に引き剥がしたときの剥離強度(90度ピール強度)をいい、導体層を絶縁層に対して垂直方向(90度方向)に引き剥がしたときの剥離強度を引っ張り試験機で測定することにより求めることができる。引っ張り試験機としては、例えば、(株)TSE製の「AC−50C−SL」等が挙げられる。   The insulating layer formed using the resin composition of the present invention exhibits high peel strength with respect to the conductor layer. The peel strength is preferably 0.40 kgf / cm or more, more preferably 0.45 kgf / cm or more, and further preferably 0.50 kgf / cm or more. The upper limit value of the peel strength is not particularly limited, but is 1.2 kgf / cm or less, 0.90 kgf / cm or less, and the like. In the present invention, although the arithmetic average roughness Ra and the root mean square roughness Rq (roughness) of the surface of the insulating layer after the roughening treatment are small, an insulating layer exhibiting such a high peel strength is formed. Therefore, it contributes significantly to miniaturization of circuit wiring. In the present invention, the peel strength between the insulating layer and the conductor layer refers to a peel strength (90-degree peel strength) when the conductor layer is peeled off in a direction perpendicular to the insulating layer (90-degree direction). The peel strength when the layer is peeled in the direction perpendicular to the insulating layer (90-degree direction) can be determined by measuring with a tensile tester. Examples of the tensile tester include “AC-50C-SL” manufactured by TSE Corporation.

[半導体装置]
本発明の半導体装置は、プリント配線板を含むことを特徴とする。本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を用いて製造することができる。
[Semiconductor device]
The semiconductor device of the present invention includes a printed wiring board. The semiconductor device of the present invention can be manufactured using the printed wiring board of the present invention.

半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。   Examples of the semiconductor device include various semiconductor devices used for electrical products (for example, computers, mobile phones, digital cameras, and televisions) and vehicles (for example, motorcycles, automobiles, trains, ships, and aircrafts).

本発明の半導体装置は、プリント配線板の導通箇所に、部品(半導体チップ)を実装することにより製造することができる。「導通箇所」とは、「プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。   The semiconductor device of the present invention can be manufactured by mounting a component (semiconductor chip) on a conductive portion of a printed wiring board. The “conduction location” is a “location where an electrical signal is transmitted on a printed wiring board”, and the location may be a surface or an embedded location. The semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.

本発明の半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、等が挙げられる。ここで、「バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法」とは、「半導体チップをプリント配線板の凹部に直接埋め込み、半導体チップとプリント配線板上の配線とを接続させる実装方法」のことである。   The semiconductor chip mounting method for manufacturing the semiconductor device of the present invention is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively, but specifically, a wire bonding mounting method, a flip chip mounting method, and no bumps. Examples include a mounting method using a build-up layer (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), and a mounting method using a non-conductive film (NCF). Here, “a mounting method using a build-up layer without a bump (BBUL)” means “a mounting method in which a semiconductor chip is directly embedded in a recess of a printed wiring board and the semiconductor chip and wiring on the printed wiring board are connected”. It is.

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下の記載において、「部」及び「%」は、別途明示のない限り、それぞれ「質量部」及び「質量%」を意味する。   EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following description, “parts” and “%” mean “parts by mass” and “% by mass”, respectively, unless otherwise specified.

<合成例1>
温度計、滴下ロート、冷却管、分留管、撹拌器を取り付けたフラスコにベンゾイルクロリド281.1g(酸クロリド基のモル数:2.0モル)とメチルイソブチルケトン(MIBK)1200gを仕込み、系内を減圧窒素置換し混合した。次いで、ビスフェノールアセトフェノン290g(フェノール性水酸基のモル数:2.0モル)を仕込み、系内を減圧窒素置換し溶解させた。その後、テトラブチルアンモニウムブロマイド1.1gを溶解させ、窒素ガスパージを施しながら、系内を60℃以下に制御して、20%水酸化ナトリウム水溶液400gを3時間かけて滴下し、この条件下で1時間撹拌した。
反応終了後、静置分液し、水層を取り除いた。次いで、反応物が溶解しているMIBK相に水を投入して15分間撹拌混合し、静置分液して水層を取り除いた。水層のpHが7になるまでこの操作を繰り返した後、デカンタ脱水で水分を除去してMIBK溶液の状態とし、さらにMIBKを減圧下で留去して、ビスフェノールアセトフェノンのベンゾイル化活性エステル化合物(a−1)[活性エステル当量:249]を得た。
<Synthesis Example 1>
A flask equipped with a thermometer, dropping funnel, condenser, fractionator, and stirrer was charged with 281.1 g of benzoyl chloride (number of moles of acid chloride group: 2.0 mol) and 1200 g of methyl isobutyl ketone (MIBK). The inside was purged with nitrogen under reduced pressure and mixed. Next, 290 g of bisphenol acetophenone (number of moles of phenolic hydroxyl group: 2.0 mol) was charged, and the inside of the system was purged with nitrogen under reduced pressure and dissolved. Thereafter, 1.1 g of tetrabutylammonium bromide was dissolved, and the inside of the system was controlled to 60 ° C. or lower while performing nitrogen gas purge, and 400 g of 20% aqueous sodium hydroxide solution was added dropwise over 3 hours. Stir for hours.
After completion of the reaction, the solution was allowed to stand for separation, and the aqueous layer was removed. Next, water was added to the MIBK phase in which the reaction product was dissolved, and the mixture was stirred and mixed for 15 minutes. After this operation was repeated until the pH of the aqueous layer reached 7, the water was removed by decanter dehydration to form a MIBK solution, and MIBK was distilled off under reduced pressure to give a benzoylated acetophenone benzoylated active ester compound ( a-1) [Active ester equivalent: 249] was obtained.

<合成例2>
MIBKの仕込み量を1400gとしたこと、及び、ビスフェノールアセトフェノン290gに代えてビスクレゾールフルオレン380g(フェノール性水酸基のモル数:2.0モル)を用いたこと以外は、合成例1と同様にして、ビスクレゾールフルオレンのベンゾイル化活性エステル化合物(a−2)[活性エステル当量:294]を得た。
<Synthesis Example 2>
Except that the amount of MIBK charged was 1400 g, and 380 g of biscresol fluorene (number of moles of phenolic hydroxyl group: 2.0 mol) was used instead of 290 g of bisphenolacetophenone, The benzoylated active ester compound (a-2) [active ester equivalent: 294] of biscresol fluorene was obtained.

<合成例3>
ベンゾイルクロリド281.1g及びMIBK1200gに代えて、アセチルクロリド157.0g(酸クロリド基のモル数:2.0モル)及びMIBK900gを仕込んだこと、20%水酸化ナトリウム水溶液を滴下するときの系内を50℃以下に制御したこと以外は、合成例1と同様にして、ビスフェノールアセトフェノンのアセチル化活性エステル化合物(a−3)[活性エステル当量:187]を得た。
<Synthesis Example 3>
In place of 281.1 g of benzoyl chloride and 1200 g of MIBK, 157.0 g of acetyl chloride (number of moles of acid chloride group: 2.0 mol) and 900 g of MIBK were charged, and the inside of the system when dropping a 20% aqueous sodium hydroxide solution was added. Except having controlled to 50 degrees C or less, it carried out similarly to the synthesis example 1, and obtained the acetylation active ester compound (a-3) [active ester equivalent: 187 of bisphenol acetophenone].

(化合物の合成例1)
反応容器に、ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製YX4000、エポキシ当量185)191g、ビスフェノールアセトフェノンのベンゾイル化活性エステル化合物(a−1)[活性エステル当量:249]249g、シクロヘキサノン200gを入れ、攪拌して溶解させた。次いで、ジメチルアミノピリジンの5重量%シクロヘキサノン溶液37.8gを滴下し、窒素雰囲気下、180℃5時間にて反応させた。反応終了後、濾布を用いて濾過して、溶剤により希釈することで化合物(A−1)を得た(固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1の溶液)。
化合物(A−1)について、ゲル浸透クロマトグラフィーにより重量平均分子量(Mw)を測定し、電位差滴定法によりエポキシ当量を測定したところ、Mw(ポリスチレン換算値)は18000で、エポキシ当量は7000であった。
(Compound Synthesis Example 1)
Into a reaction vessel, 191 g of bixylenol type epoxy resin (Mitsubishi Chemical Corporation YX4000, epoxy equivalent 185), benzoylated active ester compound of bisphenolacetophenone (a-1) [active ester equivalent: 249] 249 g, cyclohexanone 200 g And dissolved by stirring. Next, 37.8 g of a 5% by weight cyclohexanone solution of dimethylaminopyridine was added dropwise and reacted at 180 ° C. for 5 hours in a nitrogen atmosphere. After completion of the reaction, the reaction mixture was filtered using a filter cloth and diluted with a solvent to obtain compound (A-1) (a 1: 1 solution of MEK and cyclohexanone having a solid content of 30% by mass).
With respect to compound (A-1), the weight average molecular weight (Mw) was measured by gel permeation chromatography, and the epoxy equivalent was measured by potentiometric titration. The Mw (polystyrene equivalent value) was 18000 and the epoxy equivalent was 7000. It was.

(化合物の合成例2)
ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製YX4000、エポキシ当量185)の量を189gとしたこと、ビスフェノールアセトフェノンのベンゾイル化活性エステル化合物(a−1)249gに代えて、ビスクレゾールフルオレンのベンゾイル化活性エステル化合物(a−2)[活性エステル当量:294]294gを用いたこと以外は、化合物の合成例1と同様にして、化合物(A−2)を得た(固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)。
化合物(A−1)と同様に重量平均分子量(Mw)及びエポキシ当量を測定したところ、化合物(A−2)のMw(ポリスチレン換算値)は18000で、エポキシ当量は7000であった。
(Synthesis Example 2 of Compound)
The amount of bixylenol-type epoxy resin (Mitsubishi Chemical Co., Ltd. YX4000, epoxy equivalent 185) was 189 g, benzoylation of biscresol fluorene instead of 249 g of benzoyl acetophenone benzoylation active ester compound (a-1) Compound (A-2) was obtained in the same manner as Compound Synthesis Example 1 except that 294 g of active ester compound (a-2) [active ester equivalent: 294] was used (MEK having a solid content of 30% by mass). And a 1: 1 solution of cyclohexanone).
When the weight average molecular weight (Mw) and the epoxy equivalent were measured similarly to the compound (A-1), the Mw (polystyrene conversion value) of the compound (A-2) was 18000, and the epoxy equivalent was 7000.

(化合物の合成例3)
ビスフェノールアセトフェノンのベンゾイル化活性エステル化合物(a−1)249gに代えて、ビスフェノールアセトフェノンのアセチル化活性エステル化合物(a−3)[活性エステル当量:187]187gを用いたこと以外は、化合物の合成例1と同様にして、化合物(A−3)を得た(固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)。
化合物(A−1)と同様に重量平均分子量(Mw)及びエポキシ当量を測定したところ、化合物(A−3)のMw(ポリスチレン換算値)は15000で、エポキシ当量は5500であった。
(Compound Synthesis Example 3)
Example of compound synthesis, except that 187 g of bisphenol acetophenone benzoylated active ester compound (a-1) acetylated active ester compound (a-3) [active ester equivalent: 187] of bisphenol acetophenone was used In the same manner as in Example 1, compound (A-3) was obtained (a 1: 1 solution of MEK and cyclohexanone having a solid content of 30% by mass).
When the weight average molecular weight (Mw) and the epoxy equivalent were measured similarly to the compound (A-1), Mw (polystyrene conversion value) of the compound (A-3) was 15000, and the epoxy equivalent was 5500.

(化合物の合成例4)
ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製YX4000、エポキシ当量185)の量を181gとしたこと以外は、化合物の合成例1と同様にして、化合物(A−4)を得た(固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)。
化合物(A−1)と同様に重量平均分子量(Mw)及びエポキシ当量を測定したところ、化合物(A−4)のMw(ポリスチレン換算値)は21000で、エポキシ当量は35000であった。
(Compound Synthesis Example 4)
Compound (A-4) was obtained in the same manner as in Compound Synthesis Example 1 except that the amount of the bixylenol type epoxy resin (YX4000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 185) was 181 g (solid content) 30% by weight MEK and cyclohexanone 1: 1 solution).
When the weight average molecular weight (Mw) and the epoxy equivalent were measured in the same manner as in the compound (A-1), the Mw (polystyrene equivalent value) of the compound (A-4) was 21000, and the epoxy equivalent was 35000.

<実施例1>
ビスフェノール型エポキシ樹脂(新日鐵化学(株)製「ZX1059」、ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品、エポキシ当量169)10部、フッ素系エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7760」、エポキシ当量約238)10部、及び、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP−7200H」、エポキシ当量275)20部を、ソルベントナフサ35部に撹拌しながら加熱溶解させた。加熱溶解させたものを室温まで冷却し、そこへ、化合物(A−1)24部、活性エステル化合物(DIC(株)製「HPC8000−65T」、重量平均分子量が約2700、活性基当量約223の不揮発分65質量%のトルエン溶液)20部、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(DIC(株)「LA−3018−50P」、水酸基当量約151、固形分50%の2−メトキシプロパノール溶液水酸基当量151の固形分50%のMEK溶液)10部、硬化促進剤(4−ジメチルアミノピリジン(DMAP)、固形分2質量%のMEK溶液)3部、難燃剤(三光(株)製「HCA−HQ」、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−10−ヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナンスレン−10−オキサイド、平均粒径2μm)2部、及び、フェニルアミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、(株)アドマテックス製「SOC2」、単位面積当たりのカーボン量0.39mg/m)180部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。
次いで、離型処理付きポリエチレンテレフタレートフィルムの離型面上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが30μmとなるように樹脂ワニスを均一に塗布し、80〜120℃(平均100℃)で4分間乾燥させて、接着フィルム1を作製した。
ここで、接着フィルムを作製するためのポリエチレンテレフタレートフィルムとして、破壊伸び及び線熱膨張係数(CTE)を測定するための硬化物の作製にはリンテック(株)製「PET501010」(厚さ50μm)を用い、破壊伸び及びCTE以外を測定するための硬化物の作製には、リンテック(株)製「AL5」(厚さ38μm)を用いた。
<Example 1>
Bisphenol type epoxy resin (“ZX1059” manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., 1: 1 mixture of bisphenol A type and bisphenol F type, epoxy equivalent 169), fluorinated epoxy resin (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) YL7760 ”, 10 parts of an epoxy equivalent of 238) and 20 parts of dicyclopentadiene type epoxy resin (“ HP-7200H ”manufactured by DIC Corporation, epoxy equivalent of 275) are dissolved in 35 parts of solvent naphtha while stirring. It was. What was dissolved by heating was cooled to room temperature, and 24 parts of the compound (A-1), active ester compound (“HPC8000-65T” manufactured by DIC Corporation, weight average molecular weight of about 2700, active group equivalent of about 223) 20 parts of a toluene solution having a non-volatile content of 65% by mass), a triazine skeleton-containing phenol-based curing agent (DIC Corporation "LA-3018-50P", hydroxyl equivalent of about 151, solid content of 50% 2-methoxypropanol solution hydroxyl equivalent 151 parts of MEK solution with a solid content of 151%, 3 parts of curing accelerator (4-dimethylaminopyridine (DMAP), MEK solution with a solid content of 2% by mass), flame retardant (“HCA-HQ” manufactured by Sanko Co., Ltd.) 10- (2,5-dihydroxyphenyl) -10-hydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide, average particle size 2 μm 2 parts and spherical silica (average particle size 0.5 μm, manufactured by Admatechs Co., Ltd., “SOC2”), unit treated with a phenylaminosilane coupling agent (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 180 parts of carbon per area (0.39 mg / m 2 ) were mixed and dispersed uniformly with a high-speed rotary mixer to prepare a resin varnish.
Next, a resin varnish is uniformly applied on the release surface of the polyethylene terephthalate film with a release treatment so that the thickness of the resin composition layer after drying is 30 μm, and the resin varnish is 4 at 80 to 120 ° C. (average 100 ° C.). It was made to dry for minutes and the adhesive film 1 was produced.
Here, as a polyethylene terephthalate film for producing an adhesive film, “PET501010” (thickness 50 μm) manufactured by Lintec Co., Ltd. is used for producing a cured product for measuring fracture elongation and linear thermal expansion coefficient (CTE). Used for the production of a cured product for measuring other than elongation at break and CTE, “AL5” (thickness: 38 μm) manufactured by Lintec Corporation was used.

<実施例2>
液状ナフタレン型エポキシ樹脂(エポキシ当量144、DIC(株)製「HP4032SS」)5部、フッ素系エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7760」、エポキシ当量約238)6部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」、エポキシ当量269)12部を、ソルベントナフサ25部に撹拌しながら加熱溶解させた。加熱溶解させたものを室温にまで冷却後、そこへ、化合物(A−2)を5部、活性エステル化合物(DIC(株)製「HPC8000−65T」、重量平均分子量が約2700、活性基当量約223の不揮発分65質量%のトルエン溶液)6部、ビスフェノールAジシアネートのプレポリマー(ロンザジャパン(株)製「BA230S75」、シアネート当量約232、不揮発分75質量%のMEK溶液)16部、フェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン(株)製「PT30S」、シアネート当量約133、不揮発分85質量%のMEK溶液)5部、硬化促進剤(4−ジメチルアミノピリジン、固形分2質量%のMEK溶液)1部、硬化促進剤(東京化成(株)製、コバルト(III)アセチルアセトナート[Co(III)Ac、固形分1質量%のMEK溶液]3部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)2部、難燃剤(三光(株)製「HCA−HQ」、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−10−ヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナンスレン−10−オキサイド、平均粒径2μm)2部、及び、フェニルアミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製、「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.24μm、(株)アドマテックス製「SOC1」、単位面積当たりのカーボン量0.36mg/m)80部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。次いで、実施例1と同様にして、接着フィルム2を作製した。
<Example 2>
5 parts of liquid naphthalene type epoxy resin (epoxy equivalent 144, “HP4032SS” manufactured by DIC Corporation), 6 parts of fluorine-based epoxy resin (“YL7760” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of about 238), biphenyl type epoxy resin ( 12 parts “NC3000L” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent 269) was dissolved in 25 parts of solvent naphtha with stirring. After heating and dissolving to room temperature, 5 parts of compound (A-2), active ester compound (“HPC8000-65T” manufactured by DIC Corporation, weight average molecular weight of about 2700, active group equivalent) 6 parts of a non-volatile content 65% by weight toluene solution of about 223), 16 parts of a prepolymer of bisphenol A dicyanate ("BA230S75" manufactured by Lonza Japan Co., Ltd., cyanate equivalent of about 232, MEK solution having a non-volatile content of 75% by weight), phenol Novolac type polyfunctional cyanate ester resin ("PT30S" manufactured by Lonza Japan Co., Ltd., cyanate equivalent of about 133, MEK solution having a nonvolatile content of 85% by mass), 5 parts of curing accelerator (4-dimethylaminopyridine, solid content of 2% by mass) 1 part of MEK solution), curing accelerator (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., cobalt (III) acetylacetonate Co (III) Ac, MEK solution having a solid content of 1% by mass] 3 parts, rubber particles (manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., Staphyloid AC3816N), flame retardant (“HCA-HQ” manufactured by Sanko Co., Ltd., 10 2 parts of-(2,5-dihydroxyphenyl) -10-hydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide, average particle size 2 μm) and a phenylaminosilane coupling agent (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 80 parts of spherical silica (average particle size: 0.24 μm, “SOC1” manufactured by Admatechs Co., Ltd., carbon amount: 0.36 mg / m 2 ) surface-treated with “KBM573” (manufactured by Co., Ltd.) The mixture was mixed and uniformly dispersed with a high-speed rotary mixer to prepare a resin varnish, and then an adhesive film 2 was prepared in the same manner as in Example 1.

<実施例3>
実施例1の化合物(A−1)24部を、化合物(A−3)24部に代えたこと以外は、実施例1と同様にして、接着フィルム3を作製した。
<Example 3>
An adhesive film 3 was produced in the same manner as in Example 1 except that 24 parts of the compound (A-1) in Example 1 was replaced with 24 parts of the compound (A-3).

<実施例4>
実施例1の化合物(A−1)24部を、化合物(A−4)24部に代えたこと以外は、実施例1と同様にして、接着フィルム4を作製した。
<Example 4>
An adhesive film 4 was produced in the same manner as in Example 1 except that 24 parts of the compound (A-1) in Example 1 was replaced with 24 parts of the compound (A-4).

<比較例1>
実施例1の化合物(A−1)24部を、ビスフェノールA型フェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「E1256B40」、固形分40質量%のMEK溶液、エポキシ当量8000、重量平均分子量50000)18部に代えたこと以外は、実施例1と同様にして接着フィルム5を作製した。
<Comparative Example 1>
24 parts of compound (A-1) of Example 1 is 18 parts of bisphenol A type phenoxy resin ("E1256B40" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, MEK solution having a solid content of 40% by mass, epoxy equivalent 8000, weight average molecular weight 50000). An adhesive film 5 was produced in the same manner as in Example 1 except that the above was replaced.

<比較例2>
実施例2の化合物(A−2)5部を、ビキシレノール構造とビスフェノールアセトフェノン構造からなるフェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX6954BH30」、固形分30質量%のMEK:シクロヘキサノン=1:1溶液、エポキシ当量13000、重量平均分子量35000)5部に代えたこと以外は、実施例2と同様にして接着フィルム6を作製した。
<Comparative Example 2>
5 parts of the compound (A-2) of Example 2 was added to a phenoxy resin composed of a bixylenol structure and a bisphenolacetophenone structure (“YX6954BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, MEK: cyclohexanone = 1: 1 solution with a solid content of 30% by mass). , Epoxy equivalent 13000, weight average molecular weight 35000) Adhesive film 6 was produced in the same manner as in Example 2 except that it was changed to 5 parts.

<評価試験>
実施例及び比較例で作成した接着フィルムを用いて、以下の方法により評価基板を作製し、その評価を行った。
<Evaluation test>
Using the adhesive films prepared in Examples and Comparative Examples, an evaluation substrate was prepared by the following method and evaluated.

1.ピール強度および粗度[算術平均粗さ(Ra値)、二乗平均平方根粗さ(Rq値)]測定用サンプルの調製
(1)積層板の下地処理
ガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板厚み0.3mm、松下電工(株)製R5715ES)の両面をメック(株)製粗化処理剤(CZ8100)により1μm、エッチングして銅表面の粗化処理をおこなった。
1. Peel strength and roughness [arithmetic mean roughness (Ra value), root mean square roughness (Rq value)] Preparation of samples for measurement (1) Substrate treatment of laminated board Glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate ( The copper surface was roughened by etching 1 μm on both sides of a copper foil thickness of 18 μm, a substrate thickness of 0.3 mm, and R5715ES manufactured by Matsushita Electric Works Co., Ltd. (CZ8100). It was.

(2)接着フィルムのラミネート
実施例及び比較例で作製した接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーター(ニチゴー・モートン(株)製2ステージビルドアップラミネーター「CVP700」)を用いて、樹脂組成物層が基板と接合するように、基板両面に積層した。積層は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着させることにより実施した。次いで、積層された接着フィルムを、大気圧下、100℃、圧力0.5MPaにて60秒間熱プレスして平滑化した。
(2) Lamination of adhesive film The adhesive film produced in the examples and comparative examples was obtained by using a batch type vacuum pressure laminator (Nichigo-Morton Co., Ltd. 2-stage buildup laminator “CVP700”). Was laminated on both sides of the substrate so as to be bonded to the substrate. Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to a pressure of 13 hPa or less and then pressing the film at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds. Subsequently, the laminated adhesive film was smoothed by hot pressing at 100 ° C. and a pressure of 0.5 MPa for 60 seconds under atmospheric pressure.

(3)樹脂組成物層の硬化
接着フィルムの積層後、樹脂組成物層を熱硬化(100℃で30分間、次いで175℃で30分間)せて、基板の両面に硬化体を形成した。その際、実施例1、3、4及び比較例1に関しては、支持体であるPETフィルムが付いた状態で樹脂組成物層を熱硬化させた。実施例2及び比較例2に関しては、支持体であるPETフィルムを剥離した後に樹脂組成物層を熱硬化させた。
(3) Curing of resin composition layer After laminating the adhesive film, the resin composition layer was heat-cured (100 ° C for 30 minutes and then at 175 ° C for 30 minutes) to form cured bodies on both sides of the substrate. At that time, for Examples 1, 3, 4 and Comparative Example 1, the resin composition layer was thermally cured with a PET film as a support attached. Regarding Example 2 and Comparative Example 2, the resin composition layer was thermally cured after peeling off the PET film as the support.

(4)粗化処理
絶縁層を形成した積層板を、膨潤液である、アトテックジャパン(株)のジエチレングリコールモノブチルエーテル含有のスウェリング・ディップ・セキュリガントP(グリコールエーテル類、水酸化ナトリウムの水溶液)に、60℃で10分間浸漬した。次に粗化液として、アトテックジャパン(株)のコンセントレート・コンパクトP(KMnO:60g/L、NaOH:40g/Lの水溶液)に、80℃で20分間浸漬した。最後に中和液として、アトテックジャパン(株)のリダクションショリューシン・セキュリガントP(硫酸の水溶液)に40℃で5分間浸漬した。80℃で30分乾燥後、この基板を評価基板Aとした。
(4) Roughening treatment The laminated plate on which the insulating layer is formed is a swelling liquid, a swelling ring dip securigant P (glycol ethers, aqueous solution of sodium hydroxide) containing diethylene glycol monobutyl ether of Atotech Japan Co., Ltd. And dipped at 60 ° C. for 10 minutes. Then the roughening solution, concentrate compact P of Atotech Japan Co., Ltd. in (KMnO 4:: 60g / L , NaOH aqueous solution of 40 g / L), was immersed at 80 ° C. 20 min. Finally, as a neutralizing solution, it was immersed for 5 minutes at 40 ° C. in Reduction Sholysin Securigant P (an aqueous solution of sulfuric acid) of Atotech Japan Co., Ltd. After drying at 80 ° C. for 30 minutes, this substrate was designated as evaluation substrate A.

(5)セミアディティブ工法によるめっき
(4)で作製した評価基板Aを、PdClを含む無電解めっき用溶液に40℃で5分間浸漬し、次に無電解銅めっき液に25℃で20分間浸漬した。150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによるパターン形成の後に、硫酸銅電解めっきを行い、30μmの厚さの導体層を形成した。次に、アニール処理を200℃にて60分間行い得られた基板を評価基板Bとした。
(5) Plating by semi-additive method Evaluation board A produced in (4) is immersed in an electroless plating solution containing PdCl 2 at 40 ° C. for 5 minutes, and then in an electroless copper plating solution at 25 ° C. for 20 minutes. Soaked. After annealing for 30 minutes at 150 ° C., an etching resist was formed, and after pattern formation by etching, copper sulfate electrolytic plating was performed to form a conductor layer having a thickness of 30 μm. Next, the substrate obtained by performing the annealing treatment at 200 ° C. for 60 minutes was used as an evaluation substrate B.

2.粗度[算術平均粗さ(Ra値)、二乗平均平方根粗さ(Rq値)の測定
評価基板Aを、非接触型表面粗さ計(ビーコインスツルメンツ社製WYKO NT3300)を用いて、VSIコンタクトモード、50倍レンズにより測定範囲を121μm×92μmとして得られる数値によりRa値、Rq値を求めた。それぞれ10点の平均値を算出し表1に示した。
2. Roughness [Arithmetic Average Roughness (Ra Value), Root Mean Square Roughness (Rq Value) Measurement Using a non-contact type surface roughness meter (WYKO NT3300, manufactured by Beec Instruments), VSI contact mode The Ra value and the Rq value were obtained from numerical values obtained with a measurement range of 121 μm × 92 μm using a 50 × lens. The average value of 10 points was calculated and shown in Table 1.

3.めっき導体層の引き剥がし強さ(ピール強度)の測定
評価基板Bの導体層に、幅10mm、長さ100mmの部分の切込みをいれ、この一端を剥がしてつかみ具((株)ティー・エス・イー、オートコム型試験機 AC−50C−SL)で掴み、室温(25℃)にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重(kgf/cm(N/cm))を測定した。
3. Measurement of Peeling Strength (Peel Strength) of Plating Conductor Layer Cut the 10 mm width and 100 mm length into the conductor layer of the evaluation board B, peel off one end, and grasp the tool (TS Co., Ltd.) E, load by auto-comb type tester AC-50C-SL) and peeling 35mm vertically at a speed of 50mm / min at room temperature (25 ° C) (kgf / cm (N / cm) ) Was measured.

4.誘電正接の測定
実施例及び比較例で作製した接着フィルムを200℃にて90分間加熱して樹脂組成物層を熱硬化させた後、PETフィルムを剥離することにより、評価用硬化物Cを得た。評価用硬化物Cを、幅2mm、長さ80mmの試験片に切断し、該試験片について、アジレントテクノロジーズ社製「HP8362B」を用いて、空洞共振摂動法により測定周波数5.8GHz、測定温度23℃にて誘電正接を測定した。2本の試験片について測定を行い、平均値を算出し、表1に示した(tanδ1)。
4). Measurement of dielectric loss tangent Adhesive films prepared in Examples and Comparative Examples were heated at 200 ° C. for 90 minutes to thermally cure the resin composition layer, and then the PET film was peeled off to obtain a cured product C for evaluation. It was. The evaluation cured product C was cut into a test piece having a width of 2 mm and a length of 80 mm, and the test piece was measured by a cavity resonance perturbation method using a “HP 8362B” manufactured by Agilent Technologies, with a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23. The dielectric loss tangent was measured at ° C. Two test pieces were measured and the average value was calculated and shown in Table 1 (tan δ1).

5.誘電正接の環境安定性試験
評価用硬化物Cの幅2mm、長さ80mmとした試験片を、恒温恒湿槽(35℃、85%RH)中に3日間放置した後、該試験片について、アジレントテクノロジーズ社製「HP8362B」を用いて、空洞共振摂動法により測定周波数5.8GHz、測定温度23℃にて誘電正接を測定した。2本の試験片について測定を行い、平均値を算出し、表1に示した(tanδ2)。
また、恒温恒湿槽で放置する前後の誘電正接の上昇率を以下の式により算出し表1に示した。
誘電正接上昇率(%)=(tanδ2/tanδ1)×100
5). Environmental stability test of dielectric loss tangent After leaving the test piece of the cured product C for evaluation having a width of 2 mm and a length of 80 mm in a thermo-hygrostat (35 ° C., 85% RH) for 3 days, Using “HP8362B” manufactured by Agilent Technologies, the dielectric loss tangent was measured at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23 ° C. by the cavity resonance perturbation method. Two test pieces were measured, and the average value was calculated and shown in Table 1 (tan δ2).
Further, the rate of increase in dielectric loss tangent before and after being left in a constant temperature and humidity chamber was calculated by the following formula and shown in Table 1.
Dielectric loss tangent increase rate (%) = (tan δ2 / tan δ1) × 100

表1には、評価結果とともに、実施例1〜4および比較例1〜2で用いた材料とその配合量(不揮発分の質量部)も併せて示した。   In Table 1, together with the evaluation results, the materials used in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2 and their blending amounts (parts by mass of nonvolatile content) are also shown.

Figure 2017036403
Figure 2017036403

Claims (17)

(A)下記式(1)で表される構成単位を有する化合物、(B)エポキシ樹脂、及び(C)硬化剤を含有する、樹脂組成物。
Figure 2017036403
(式中、Xは、2官能エポキシ化合物からエポキシ基を2個除いた残基を表し、Yは、2官能フェノール化合物からフェノール性水酸基を2個除いた残基を表し、R及びRは水素原子を表すか、又は、RとRとが一体となって環を形成していてもよく、Rは1価の脂肪族炭化水素基、脂肪族環を有する1価の炭化水素基、又は芳香族環を有する1価の炭化水素基を表す。)
(A) A resin composition containing a compound having a structural unit represented by the following formula (1), (B) an epoxy resin, and (C) a curing agent.
Figure 2017036403
(Wherein X represents a residue obtained by removing two epoxy groups from a bifunctional epoxy compound, Y represents a residue obtained by removing two phenolic hydroxyl groups from a bifunctional phenol compound, and R 1 and R 2 Represents a hydrogen atom, or R 1 and R 2 may be combined to form a ring, and R 3 is a monovalent aliphatic hydrocarbon group or a monovalent carbon having an aliphatic ring. Represents a hydrogen group or a monovalent hydrocarbon group having an aromatic ring.)
(A)化合物が高分子化合物であり、重量平均分子量が、8000〜100000である、請求項1に記載の樹脂組成物。   (A) The resin composition of Claim 1 whose compound is a high molecular compound and whose weight average molecular weight is 8000-100,000. (A)化合物の末端がエステル基である請求項1又は2に記載の樹脂組成物。   (A) The resin composition of Claim 1 or 2 whose terminal of a compound is an ester group. が芳香族環を有する1価の炭化水素基を表す、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein R 3 represents a monovalent hydrocarbon group having an aromatic ring. 樹脂組成物中の不揮発成分を100%とした場合の(A)化合物の含有量が、0.5質量%〜15質量%である請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the content of the compound (A) when the nonvolatile component in the resin composition is 100% is 0.5 mass% to 15 mass%. . (B)エポキシ樹脂が、ビスフェノール型エポキシ樹脂、フッ素含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂及びこれらの混合物からなる群から選択される1種または2種以上である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   (B) The epoxy resin is one or more selected from the group consisting of bisphenol type epoxy resins, fluorine-containing epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, and mixtures thereof. The resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein (C)硬化剤が、フェノール系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤及び活性エステル系硬化剤から選択される1種以上を含む請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   (C) The resin composition of any one of Claims 1-6 in which a hardening | curing agent contains 1 or more types selected from a phenol type hardening | curing agent, a cyanate ester type hardening | curing agent, and an active ester type hardening | curing agent. (C)硬化剤が、トリアジン構造含有フェノール系樹脂、トリアジン構造含有アルキルフェノール系樹脂、シアネートエステル系硬化剤及び活性エステル系硬化剤から選択される1種以上を含む、請求項1〜7のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   (C) The curing agent includes one or more selected from a triazine structure-containing phenolic resin, a triazine structure-containing alkylphenol resin, a cyanate ester curing agent, and an active ester curing agent. 2. The resin composition according to item 1. さらに、(D)無機充填材を含む、請求項1〜8のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   Furthermore, (D) The resin composition of any one of Claims 1-8 containing an inorganic filler. (D)無機充填材の平均粒子径が、0.01μm〜5μmである、請求項9に記載の樹脂組成物。   (D) The resin composition of Claim 9 whose average particle diameter of an inorganic filler is 0.01 micrometer-5 micrometers. 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合の(D)無機充填材の含有量が30〜90質量%である、請求項9又は10に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 9 or 10, wherein the content of the inorganic filler (D) is 30 to 90% by mass when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. (D)無機充填材がシリカである、請求項9〜11のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   (D) The resin composition according to any one of claims 9 to 11, wherein the inorganic filler is silica. プリント配線板の絶縁層用である請求項1〜12のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, which is for an insulating layer of a printed wiring board. プリント配線板のビルドアップ層用である請求項1〜12のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   It is for buildup layers of a printed wiring board, The resin composition of any one of Claims 1-12. 請求項1〜14のいずれか1項に記載の樹脂組成物を含有する、シート状積層材料。   The sheet-like laminated material containing the resin composition of any one of Claims 1-14. 請求項1〜14のいずれか1項に記載の樹脂組成物若しくは請求項15に記載のシート状積層材料の熱硬化体を含む絶縁層を有するプリント配線板。   The printed wiring board which has an insulating layer containing the thermosetting body of the resin composition of any one of Claims 1-14, or the sheet-like laminated material of Claim 15. 請求項16に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。   A semiconductor device comprising the printed wiring board according to claim 16.
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