JP2017036377A - Resin composition - Google Patents
Resin composition Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017036377A JP2017036377A JP2015157542A JP2015157542A JP2017036377A JP 2017036377 A JP2017036377 A JP 2017036377A JP 2015157542 A JP2015157542 A JP 2015157542A JP 2015157542 A JP2015157542 A JP 2015157542A JP 2017036377 A JP2017036377 A JP 2017036377A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- resin composition
- resin
- substituent
- epoxy resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims abstract description 127
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims abstract description 136
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims abstract description 136
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 claims abstract description 76
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 claims abstract description 76
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 72
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 claims abstract description 40
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 37
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 35
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000012756 surface treatment agent Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000002648 laminated material Substances 0.000 claims abstract description 11
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 claims abstract description 11
- 229910009257 Y—Si Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- -1 methacryloyl group Chemical group 0.000 claims description 112
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 claims description 89
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 71
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 48
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 48
- 229910052799 carbon Chemical group 0.000 claims description 38
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 29
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 1-naphthol Chemical compound C1=CC=C2C(O)=CC=CC2=C1 KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 19
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 claims description 18
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 18
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 claims description 16
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 13
- 125000004450 alkenylene group Chemical group 0.000 claims description 11
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 claims description 11
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 claims description 11
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims description 9
- 239000004643 cyanate ester Substances 0.000 claims description 9
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical group C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 8
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 claims description 8
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 claims description 8
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 claims description 7
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 6
- GAYWTJPBIQKDRC-UHFFFAOYSA-N 8-trimethoxysilyloctyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCCCCCCOC(=O)C(C)=C GAYWTJPBIQKDRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- HZGIOLNCNORPKR-UHFFFAOYSA-N n,n'-bis(3-trimethoxysilylpropyl)ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNCCNCCC[Si](OC)(OC)OC HZGIOLNCNORPKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- LFXKYGPPSCPGSB-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-[2-(oxiran-2-ylmethyl)phenyl]propyl]silane Chemical compound C(C1CO1)C1=C(C=CC=C1)CCC[Si](OC)(OC)OC LFXKYGPPSCPGSB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- QYJYJTDXBIYRHH-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[8-(oxiran-2-ylmethoxy)octyl]silane Chemical compound C(C1CO1)OCCCCCCCC[Si](OC)(OC)OC QYJYJTDXBIYRHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- RKLXSINPXIQKIB-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(oct-7-enyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCCCCC=C RKLXSINPXIQKIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- GITRRCDKQFWZOV-UHFFFAOYSA-N N-(8-trimethoxysilyloctyl)aniline Chemical compound C1(=CC=CC=C1)NCCCCCCCC[Si](OC)(OC)OC GITRRCDKQFWZOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- QGGUMTNPIYCTSF-UHFFFAOYSA-N hexylsilane Chemical compound CCCCCC[SiH3] QGGUMTNPIYCTSF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 47
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 141
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 45
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 37
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 24
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 24
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 23
- 239000000047 product Substances 0.000 description 21
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 21
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 20
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 19
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 13
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 13
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 13
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 description 12
- 206010042674 Swelling Diseases 0.000 description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 11
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 11
- HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 1755-01-7 Chemical compound C1[C@H]2[C@@H]3CC=C[C@@H]3[C@@H]1C=C2 HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 0.000 description 10
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- VHYFNPMBLIVWCW-UHFFFAOYSA-N 4-Dimethylaminopyridine Chemical compound CN(C)C1=CC=NC=C1 VHYFNPMBLIVWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 10
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 10
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 10
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 9
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 9
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 9
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 9
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 9
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 9
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 8
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 7
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 7
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 7
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 7
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 7
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 235000013824 polyphenols Nutrition 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 6
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 6
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 6
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 6
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 1,1-Diethoxyethane Chemical compound CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 5
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 5
- 239000011354 acetal resin Substances 0.000 description 5
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 5
- ZFVMWEVVKGLCIJ-UHFFFAOYSA-N bisphenol AF Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(O)C=C1 ZFVMWEVVKGLCIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M cyanate Chemical compound [O-]C#N XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 5
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 5
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 5
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 5
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 5
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 5
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 5
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 5
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XKZQKPRCPNGNFR-UHFFFAOYSA-N 2-(3-hydroxyphenyl)phenol Chemical group OC1=CC=CC(C=2C(=CC=CC=2)O)=C1 XKZQKPRCPNGNFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N Butyraldehyde Chemical compound CCCC=O ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N Guanidine Chemical compound NC(N)=N ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CHJJGSNFBQVOTG-UHFFFAOYSA-N N-methyl-guanidine Natural products CNC(N)=N CHJJGSNFBQVOTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 4
- 125000004423 acyloxy group Chemical group 0.000 description 4
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 4
- 125000001118 alkylidene group Chemical group 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 4
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 4
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N butadiene group Chemical group C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 4
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 4
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 4
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 4
- KGSFMPRFQVLGTJ-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-triphenylethylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)CC1=CC=CC=C1 KGSFMPRFQVLGTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWKAKUADMBZCLK-UHFFFAOYSA-N 1-octene Chemical group CCCCCCC=C KWKAKUADMBZCLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 5K8XI641G3 Chemical compound CCC1=NC=C(C)N1 ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229940123208 Biguanide Drugs 0.000 description 3
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- AHZMUXQJTGRNHT-UHFFFAOYSA-N [4-[2-(4-cyanatophenyl)propan-2-yl]phenyl] cyanate Chemical compound C=1C=C(OC#N)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(OC#N)C=C1 AHZMUXQJTGRNHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 3
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 3
- 125000002178 anthracenyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C12)* 0.000 description 3
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000002102 aryl alkyloxo group Chemical group 0.000 description 3
- 125000004104 aryloxy group Chemical group 0.000 description 3
- 239000000788 chromium alloy Substances 0.000 description 3
- 125000000000 cycloalkoxy group Chemical group 0.000 description 3
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 3
- SWSQBOPZIKWTGO-UHFFFAOYSA-N dimethylaminoamidine Natural products CN(C)C(N)=N SWSQBOPZIKWTGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 3
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 3
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 125000004836 hexamethylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:1] 0.000 description 3
- 239000012766 organic filler Substances 0.000 description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 3
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 3
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 3
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 3
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 3
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 3
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 3
- 239000006228 supernatant Substances 0.000 description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 3
- GIWQSPITLQVMSG-UHFFFAOYSA-N 1,2-dimethylimidazole Chemical compound CC1=NC=CN1C GIWQSPITLQVMSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NQJNUYZIKYERSC-UHFFFAOYSA-N 2-(cyclohexylmethyl)oxirane Chemical compound C1CCCCC1CC1CO1 NQJNUYZIKYERSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JWAZRIHNYRIHIV-UHFFFAOYSA-N 2-naphthol Chemical compound C1=CC=CC2=CC(O)=CC=C21 JWAZRIHNYRIHIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CMLFRMDBDNHMRA-UHFFFAOYSA-N 2h-1,2-benzoxazine Chemical compound C1=CC=C2C=CNOC2=C1 CMLFRMDBDNHMRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FVKFHMNJTHKMRX-UHFFFAOYSA-N 3,4,6,7,8,9-hexahydro-2H-pyrimido[1,2-a]pyrimidine Chemical compound C1CCN2CCCNC2=N1 FVKFHMNJTHKMRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 2
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N Terephthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 125000002490 anilino group Chemical group [H]N(*)C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910021523 barium zirconate Inorganic materials 0.000 description 2
- DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N barium(2+);dioxido(oxo)zirconium Chemical compound [Ba+2].[O-][Zr]([O-])=O DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003236 benzoyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C(*)=O 0.000 description 2
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 2
- 150000001718 carbodiimides Chemical class 0.000 description 2
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 description 2
- DEKLIKGLDMCMJG-UHFFFAOYSA-M decanoate;tetrabutylphosphanium Chemical compound CCCCCCCCCC([O-])=O.CCCC[P+](CCCC)(CCCC)CCCC DEKLIKGLDMCMJG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 2
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002541 furyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 2
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002440 hydroxy compounds Chemical class 0.000 description 2
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-N isophthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(C(O)=O)=C1 QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 description 2
- KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N n-(3-trimethoxysilylpropyl)aniline Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNC1=CC=CC=C1 KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 2
- QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N o-cresol Chemical compound CC1=CC=CC=C1O QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940105570 ornex Drugs 0.000 description 2
- IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N p-cresol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1 IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004817 pentamethylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:1] 0.000 description 2
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 2
- RMVRSNDYEFQCLF-UHFFFAOYSA-N phenyl mercaptan Natural products SC1=CC=CC=C1 RMVRSNDYEFQCLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- ODLMAHJVESYWTB-UHFFFAOYSA-N propylbenzene Chemical compound CCCC1=CC=CC=C1 ODLMAHJVESYWTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CYIDZMCFTVVTJO-UHFFFAOYSA-N pyromellitic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(C(O)=O)=C(C(O)=O)C=C1C(O)=O CYIDZMCFTVVTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 2
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N trimethoxysilane Chemical compound CO[SiH](OC)OC YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- DEQUKPCANKRTPZ-UHFFFAOYSA-N (2,3-dihydroxyphenyl)-phenylmethanone Chemical compound OC1=CC=CC(C(=O)C=2C=CC=CC=2)=C1O DEQUKPCANKRTPZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDUWQMDIQSWWIE-UHFFFAOYSA-N (3-cyanato-5-methylidenecyclohexa-1,3-dien-1-yl) cyanate Chemical compound C=C1CC(OC#N)=CC(OC#N)=C1 SDUWQMDIQSWWIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AILUJKZWHGGGRF-UHFFFAOYSA-M (4-methylphenyl)-triphenylphosphanium;thiocyanate Chemical compound [S-]C#N.C1=CC(C)=CC=C1[P+](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 AILUJKZWHGGGRF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RUEBPOOTFCZRBC-UHFFFAOYSA-N (5-methyl-2-phenyl-1h-imidazol-4-yl)methanol Chemical compound OCC1=C(C)NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 RUEBPOOTFCZRBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000008 (C1-C10) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- ISNICOKBNZOJQG-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,3,3-pentamethylguanidine Chemical compound CN=C(N(C)C)N(C)C ISNICOKBNZOJQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MEBONNVPKOBPEA-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trimethylcyclohexane Chemical group CC1CCCCC1(C)C MEBONNVPKOBPEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQOFYFRKWDXGJP-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trimethylguanidine Chemical compound CN=C(N)N(C)C NQOFYFRKWDXGJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KYVBNYUBXIEUFW-UHFFFAOYSA-N 1,1,3,3-tetramethylguanidine Chemical compound CN(C)C(=N)N(C)C KYVBNYUBXIEUFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SSUJUUNLZQVZMO-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,8,9,10,10a-octahydropyrimido[1,2-a]azepine Chemical compound C1CCC=CN2CCCNC21 SSUJUUNLZQVZMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LINDOXZENKYESA-UHFFFAOYSA-N 1,2-dimethylguanidine Chemical compound CNC(N)=NC LINDOXZENKYESA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002030 1,2-phenylene group Chemical group [H]C1=C([H])C([*:1])=C([*:2])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- OWRCNXZUPFZXOS-UHFFFAOYSA-N 1,3-diphenylguanidine Chemical compound C=1C=CC=CC=1NC(=N)NC1=CC=CC=C1 OWRCNXZUPFZXOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRASJONUBLZVQX-UHFFFAOYSA-N 1,4-dioxonaphthalene Natural products C1=CC=C2C(=O)C=CC(=O)C2=C1 FRASJONUBLZVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 1,4a-dimethyl-7-propan-2-yl-2,3,4,4b,5,6,10,10a-octahydrophenanthrene-1-carboxylic acid Chemical compound C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOKGTLAJQHTOKE-UHFFFAOYSA-N 1,5-dihydroxynaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(O)=CC=CC2=C1O BOKGTLAJQHTOKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLPWQEHTPOFCPG-UHFFFAOYSA-N 1-(diaminomethylidene)-2-methylguanidine Chemical compound CN=C(N)N=C(N)N JLPWQEHTPOFCPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UBJPWXQSHUPNPG-UHFFFAOYSA-N 1-(diaminomethylidene)-2-prop-2-enylguanidine Chemical compound NC(N)=NC(N)=NCC=C UBJPWXQSHUPNPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBHPRUXJQNWTEW-UHFFFAOYSA-N 1-benzyl-2-methylimidazole Chemical compound CC1=NC=CN1CC1=CC=CC=C1 FBHPRUXJQNWTEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XZKLXPPYISZJCV-UHFFFAOYSA-N 1-benzyl-2-phenylimidazole Chemical compound C1=CN=C(C=2C=CC=CC=2)N1CC1=CC=CC=C1 XZKLXPPYISZJCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKEWNNWXZIIRRB-UHFFFAOYSA-N 1-benzylimidazole;hydrochloride Chemical compound Cl.C1=CN=CN1CC1=CC=CC=C1 DKEWNNWXZIIRRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004973 1-butenyl group Chemical group C(=CCC)* 0.000 description 1
- CRSBERNSMYQZNG-UHFFFAOYSA-N 1-dodecene Chemical group CCCCCCCCCCC=C CRSBERNSMYQZNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006039 1-hexenyl group Chemical group 0.000 description 1
- OEBXWWBYZJNKRK-UHFFFAOYSA-N 1-methyl-2,3,4,6,7,8-hexahydropyrimido[1,2-a]pyrimidine Chemical compound C1CCN=C2N(C)CCCN21 OEBXWWBYZJNKRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005978 1-naphthyloxy group Chemical group 0.000 description 1
- YQTCQNIPQMJNTI-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethylpropan-1-one Chemical group CC(C)(C)[C]=O YQTCQNIPQMJNTI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HTQNYBBTZSBWKL-UHFFFAOYSA-N 2,3,4-trihydroxbenzophenone Chemical compound OC1=C(O)C(O)=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 HTQNYBBTZSBWKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUFZNDNBXKOZQV-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydro-1h-pyrrolo[1,2-a]benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2N(CCC3)C3=NC2=C1 RUFZNDNBXKOZQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FPZWZCWUIYYYBU-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCOCCOCCOC(C)=O FPZWZCWUIYYYBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVFVRTNNLLZXAL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methylphenyl)guanidine Chemical compound CC1=CC=CC=C1N=C(N)N VVFVRTNNLLZXAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HIXDQWDOVZUNNA-UHFFFAOYSA-N 2-(3,4-dimethoxyphenyl)-5-hydroxy-7-methoxychromen-4-one Chemical compound C=1C(OC)=CC(O)=C(C(C=2)=O)C=1OC=2C1=CC=C(OC)C(OC)=C1 HIXDQWDOVZUNNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DJOYTAUERRJRAT-UHFFFAOYSA-N 2-(n-methyl-4-nitroanilino)acetonitrile Chemical compound N#CCN(C)C1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 DJOYTAUERRJRAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- USGCMNLQYSXCDU-UHFFFAOYSA-N 2-cyclohexyl-1-(diaminomethylidene)guanidine Chemical compound NC(N)=NC(N)=NC1CCCCC1 USGCMNLQYSXCDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJGAPBXTFUSKNJ-UHFFFAOYSA-N 2-cyclohexylguanidine Chemical compound NC(=N)NC1CCCCC1 AJGAPBXTFUSKNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KEWLVUBYGUZFKX-UHFFFAOYSA-N 2-ethylguanidine Chemical compound CCNC(N)=N KEWLVUBYGUZFKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 2-heptadecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 YTWBFUCJVWKCCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTTFFPATQICAQN-UHFFFAOYSA-N 2-methoxypropan-1-ol Chemical compound COC(C)CO YTTFFPATQICAQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VWSLLSXLURJCDF-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-4,5-dihydro-1h-imidazole Chemical compound CC1=NCCN1 VWSLLSXLURJCDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005979 2-naphthyloxy group Chemical group 0.000 description 1
- ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJIQELZAIWFNTQ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole;1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1NC(=O)NC(=O)N1.C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 RJIQELZAIWFNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BKCCAYLNRIRKDJ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-4,5-dihydro-1h-imidazole Chemical compound N1CCN=C1C1=CC=CC=C1 BKCCAYLNRIRKDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QRJZGVVKGFIGLI-UHFFFAOYSA-N 2-phenylguanidine Chemical compound NC(=N)NC1=CC=CC=C1 QRJZGVVKGFIGLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 2-undecyl-1h-imidazole Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1 LLEASVZEQBICSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIDDPPKZYZTEGS-UHFFFAOYSA-N 3-(2-ethyl-4-methylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound CCC1=NC(C)=CN1CCC#N UIDDPPKZYZTEGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SESYNEDUKZDRJL-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound CC1=NC=CN1CCC#N SESYNEDUKZDRJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVYPJEBKDLFIDL-UHFFFAOYSA-N 3-(2-phenylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound N#CCCN1C=CN=C1C1=CC=CC=C1 BVYPJEBKDLFIDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZUPZARBRLCVCB-UHFFFAOYSA-N 3-(2-undecylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=NC=CN1CCC#N SZUPZARBRLCVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCAHUFWKIQLBNB-UHFFFAOYSA-N 3-(3-methoxypropoxy)propan-1-ol Chemical compound COCCCOCCCO QCAHUFWKIQLBNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYLNVJYYQQXNEK-UHFFFAOYSA-N 3-amino-2-(4-chlorophenyl)-1-propanesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CC(CN)C1=CC=C(Cl)C=C1 JYLNVJYYQQXNEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 3-tert-butylbenzene-1,2-diol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=CC(O)=C1O JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TYOXIFXYEIILLY-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound N1C(C)=CN=C1C1=CC=CC=C1 TYOXIFXYEIILLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108010054404 Adenylyl-sulfate kinase Proteins 0.000 description 1
- NOWKCMXCCJGMRR-UHFFFAOYSA-N Aziridine Chemical group C1CN1 NOWKCMXCCJGMRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 1
- XNCOSPRUTUOJCJ-UHFFFAOYSA-N Biguanide Chemical compound NC(N)=NC(N)=N XNCOSPRUTUOJCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005749 Copper compound Substances 0.000 description 1
- DNXHEGUUPJUMQT-CBZIJGRNSA-N Estrone Chemical compound OC1=CC=C2[C@H]3CC[C@](C)(C(CC4)=O)[C@@H]4[C@@H]3CCC2=C1 DNXHEGUUPJUMQT-CBZIJGRNSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical group C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZKTFNWPPVIAFDC-UHFFFAOYSA-N OB(O)O.P.P.P Chemical class OB(O)O.P.P.P ZKTFNWPPVIAFDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- FFFPYJTVNSSLBQ-UHFFFAOYSA-N Phenolphthalin Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(C=1C=CC(O)=CC=1)C1=CC=C(O)C=C1 FFFPYJTVNSSLBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100410148 Pinus taeda PT30 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- 102100039024 Sphingosine kinase 1 Human genes 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ORLQHILJRHBSAY-UHFFFAOYSA-N [1-(hydroxymethyl)cyclohexyl]methanol Chemical compound OCC1(CO)CCCCC1 ORLQHILJRHBSAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUQQGGWZVKUCBD-UHFFFAOYSA-N [4-(hydroxymethyl)-2-phenyl-1h-imidazol-5-yl]methanol Chemical compound N1C(CO)=C(CO)N=C1C1=CC=CC=C1 UUQQGGWZVKUCBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JNCRKOQSRHDNIO-UHFFFAOYSA-N [4-[(4-cyanato-3,5-dimethylphenyl)methyl]-2,6-dimethylphenyl] cyanate Chemical compound CC1=C(OC#N)C(C)=CC(CC=2C=C(C)C(OC#N)=C(C)C=2)=C1 JNCRKOQSRHDNIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- INHGSGHLQLYYND-UHFFFAOYSA-N [4-[2-(4-cyanatophenyl)-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-yl]phenyl] cyanate Chemical compound C=1C=C(OC#N)C=CC=1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(OC#N)C=C1 INHGSGHLQLYYND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GUCYFKSBFREPBC-UHFFFAOYSA-N [phenyl-(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphoryl]-(2,4,6-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C)=C1C(=O)P(=O)(C=1C=CC=CC=1)C(=O)C1=C(C)C=C(C)C=C1C GUCYFKSBFREPBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001242 acetic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 125000002777 acetyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 125000003668 acetyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(=O)O[*] 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 229920006397 acrylic thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N adamantane Chemical group C1C(C2)CC3CC1CC2C3 ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 description 1
- 239000004844 aliphatic epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJMOMXZKOWKUTA-UHFFFAOYSA-N aluminum;borate Chemical compound [Al+3].[O-]B([O-])[O-] OJMOMXZKOWKUTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 125000005577 anthracene group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 1
- 125000006615 aromatic heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 description 1
- RRZKHZBOZDIQJG-UHFFFAOYSA-N azane;manganese Chemical compound N.[Mn] RRZKHZBOZDIQJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- AYJRCSIUFZENHW-DEQYMQKBSA-L barium(2+);oxomethanediolate Chemical compound [Ba+2].[O-][14C]([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-DEQYMQKBSA-L 0.000 description 1
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000001231 benzoyloxy group Chemical group C(C1=CC=CC=C1)(=O)O* 0.000 description 1
- 125000000440 benzylamino group Chemical group [H]N(*)C([H])([H])C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910002115 bismuth titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 229910001593 boehmite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- XSEUMFJMFFMCIU-UHFFFAOYSA-N buformin Chemical compound CCCC\N=C(/N)N=C(N)N XSEUMFJMFFMCIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- 125000004106 butoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- DAQREMPZDNTSMS-UHFFFAOYSA-M butyl(triphenyl)phosphanium;thiocyanate Chemical compound [S-]C#N.C=1C=CC=CC=1[P+](C=1C=CC=CC=1)(CCCC)C1=CC=CC=C1 DAQREMPZDNTSMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000004063 butyryl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [Ca+2].[O-][Ti]([O-])=O AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 1
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 1
- 229910052570 clay Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001869 cobalt compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013065 commercial product Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 150000001880 copper compounds Chemical class 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001995 cyclobutyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001352 cyclobutyloxy group Chemical group C1(CCC1)O* 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002933 cyclohexyloxy group Chemical group C1(CCCCC1)O* 0.000 description 1
- 125000001511 cyclopentyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001887 cyclopentyloxy group Chemical group C1(CCCC1)O* 0.000 description 1
- 125000001559 cyclopropyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C1([H])* 0.000 description 1
- 125000000131 cyclopropyloxy group Chemical group C1(CC1)O* 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000006612 decyloxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 1
- GDVKFRBCXAPAQJ-UHFFFAOYSA-A dialuminum;hexamagnesium;carbonate;hexadecahydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Al+3].[Al+3].[O-]C([O-])=O GDVKFRBCXAPAQJ-UHFFFAOYSA-A 0.000 description 1
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N dimethylbenzylamine Chemical compound CN(C)CC1=CC=CC=C1 XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJLGWNFZMTVNCX-UHFFFAOYSA-N dioxido(dioxo)tungsten;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].[O-][W]([O-])(=O)=O.[O-][W]([O-])(=O)=O OJLGWNFZMTVNCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000000219 ethylidene group Chemical group [H]C(=[*])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 125000003983 fluorenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3CC12)* 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 125000003187 heptyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000005446 heptyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000001072 heteroaryl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002391 heterocyclic compounds Chemical class 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000003707 hexyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 239000012943 hotmelt Substances 0.000 description 1
- 229910001701 hydrotalcite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229960001545 hydrotalcite Drugs 0.000 description 1
- FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M hydroxidooxidoaluminium Chemical compound O[Al]=O FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- BDAGIHXWWSANSR-NJFSPNSNSA-N hydroxyformaldehyde Chemical compound O[14CH]=O BDAGIHXWWSANSR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002510 isobutoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000000654 isopropylidene group Chemical group C(C)(C)=* 0.000 description 1
- 125000005956 isoquinolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000007561 laser diffraction method Methods 0.000 description 1
- RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N m-cresol Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1 RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L magnesium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Mg+2] VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000347 magnesium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910001862 magnesium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- XZWYZXLIPXDOLR-UHFFFAOYSA-N metformin Chemical compound CN(C)C(=N)NC(N)=N XZWYZXLIPXDOLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000325 methylidene group Chemical group [H]C([H])=* 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N n'-(3-trimethoxysilylpropyl)ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNCCN PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001280 n-hexyl group Chemical group C(CCCCC)* 0.000 description 1
- FZZQNEVOYIYFPF-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,6-diol Chemical compound OC1=CC=CC2=CC(O)=CC=C21 FZZQNEVOYIYFPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MNZMMCVIXORAQL-UHFFFAOYSA-N naphthalene-2,6-diol Chemical compound C1=C(O)C=CC2=CC(O)=CC=C21 MNZMMCVIXORAQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910000623 nickel–chromium alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- 229910017464 nitrogen compound Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002830 nitrogen compounds Chemical class 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001400 nonyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000006611 nonyloxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003518 norbornenyl group Chemical group C12(C=CC(CC1)C2)* 0.000 description 1
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000005447 octyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001477 organic nitrogen group Chemical group 0.000 description 1
- AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethanamine Chemical compound NCC1CO1 AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004043 oxo group Chemical group O=* 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 125000004115 pentoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000000951 phenoxy group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(O*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- CUQCMXFWIMOWRP-UHFFFAOYSA-N phenyl biguanide Chemical compound NC(N)=NC(N)=NC1=CC=CC=C1 CUQCMXFWIMOWRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LYKRPDCJKSXAHS-UHFFFAOYSA-N phenyl-(2,3,4,5-tetrahydroxyphenyl)methanone Chemical compound OC1=C(O)C(O)=CC(C(=O)C=2C=CC=CC=2)=C1O LYKRPDCJKSXAHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCDYQQDYXPDABM-UHFFFAOYSA-N phloroglucinol Chemical compound OC1=CC(O)=CC(O)=C1 QCDYQQDYXPDABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001553 phloroglucinol Drugs 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 125000005936 piperidyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 239000012286 potassium permanganate Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 125000004368 propenyl group Chemical group C(=CC)* 0.000 description 1
- 125000001501 propionyl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002572 propoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003373 pyrazinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002098 pyridazinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004076 pyridyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000714 pyrimidinyl group Chemical group 0.000 description 1
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000168 pyrrolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005493 quinolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N resorcinol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1 GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001755 resorcinol Drugs 0.000 description 1
- 238000000790 scattering method Methods 0.000 description 1
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N silanamine Chemical compound [SiH3]N FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 125000003808 silyl group Chemical group [H][Si]([H])([H])[*] 0.000 description 1
- 125000003003 spiro group Chemical group 0.000 description 1
- 229910000018 strontium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- TXDNPSYEJHXKMK-UHFFFAOYSA-N sulfanylsilane Chemical compound S[SiH3] TXDNPSYEJHXKMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000020 sulfo group Chemical group O=S(=O)([*])O[H] 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003505 terpenes Chemical class 0.000 description 1
- 235000007586 terpenes Nutrition 0.000 description 1
- ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N tert-butyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)(C)OC(=O)C=C ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000383 tetramethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- GHPYAGKTTCKKDF-UHFFFAOYSA-M tetraphenylphosphanium;thiocyanate Chemical compound [S-]C#N.C1=CC=CC=C1[P+](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 GHPYAGKTTCKKDF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000003536 tetrazoles Chemical class 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 125000001544 thienyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003568 thioethers Chemical class 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005270 trialkylamine group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004306 triazinyl group Chemical group 0.000 description 1
- IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N tributylamine Chemical compound CCCCN(CCCC)CCCC IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013638 trimer Substances 0.000 description 1
- NMEPHPOFYLLFTK-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(octyl)silane Chemical compound CCCCCCCC[Si](OC)(OC)OC NMEPHPOFYLLFTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(phenyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 150000003752 zinc compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000166 zirconium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- LEHFSLREWWMLPU-UHFFFAOYSA-B zirconium(4+);tetraphosphate Chemical compound [Zr+4].[Zr+4].[Zr+4].[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O LEHFSLREWWMLPU-UHFFFAOYSA-B 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L63/00—Compositions of epoxy resins; Compositions of derivatives of epoxy resins
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
- C08G59/40—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the curing agents used
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/34—Silicon-containing compounds
- C08K3/36—Silica
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K9/00—Use of pretreated ingredients
- C08K9/04—Ingredients treated with organic substances
- C08K9/06—Ingredients treated with organic substances with silicon-containing compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/74—Making of localized buried regions, e.g. buried collector layers, internal connections substrate contacts
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0313—Organic insulating material
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
- H05K3/4626—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards characterised by the insulating layers or materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K2201/00—Specific properties of additives
- C08K2201/002—Physical properties
- C08K2201/003—Additives being defined by their diameter
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K2201/00—Specific properties of additives
- C08K2201/002—Physical properties
- C08K2201/005—Additives being defined by their particle size in general
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L2203/00—Applications
- C08L2203/20—Applications use in electrical or conductive gadgets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L2205/00—Polymer mixtures characterised by other features
- C08L2205/02—Polymer mixtures characterised by other features containing two or more polymers of the same C08L -group
- C08L2205/025—Polymer mixtures characterised by other features containing two or more polymers of the same C08L -group containing two or more polymers of the same hierarchy C08L, and differing only in parameters such as density, comonomer content, molecular weight, structure
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L2205/00—Polymer mixtures characterised by other features
- C08L2205/03—Polymer mixtures characterised by other features containing three or more polymers in a blend
- C08L2205/035—Polymer mixtures characterised by other features containing three or more polymers in a blend containing four or more polymers in a blend
Abstract
Description
本発明は、樹脂組成物に関する。さらには、当該樹脂組成物を含有する、シート状積層材料、プリント配線板、及び半導体装置に関する。 The present invention relates to a resin composition. Furthermore, it is related with the sheet-like laminated material, the printed wiring board, and semiconductor device containing the said resin composition.
プリント配線板の製造技術としては、内層基板上に絶縁層と導体層を交互に積み重ねるビルドアップ方式による製造方法が知られている。ビルドアップ方式による製造方法において、絶縁層は、一般に、樹脂組成物を硬化させることにより形成される。 As a manufacturing technique of a printed wiring board, a manufacturing method by a build-up method in which insulating layers and conductor layers are alternately stacked on an inner substrate is known. In the manufacturing method by the build-up method, the insulating layer is generally formed by curing a resin composition.
例えば、特許文献1には、エポキシ樹脂、硬化剤及び無機充填材を含有し、該無機充填材がアミノアルキルシランで表面処理されており、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、該無機充填材の含有量が55〜90質量%である樹脂組成物が記載されている。 For example, Patent Document 1 contains an epoxy resin, a curing agent, and an inorganic filler, the inorganic filler is surface-treated with aminoalkylsilane, and the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass The resin composition whose content of this inorganic filler is 55-90 mass% is described.
ところで、近年の含鉛半田から鉛フリー半田への代替に伴い、半田リフローによる部品の実装工程における半田リフロー温度は上昇している。また、近年、電子機器の小型化を達成すべく、プリント配線板の更なる薄型化が進められており、内層基板や絶縁層の厚さは次第に薄くなる傾向にある。プリント配線板の薄型化が進むにつれて、リフロー挙動を安定化させるのは困難となる傾向にある。 By the way, with the recent replacement from lead-containing solder to lead-free solder, the solder reflow temperature in the component mounting process by solder reflow is increasing. In recent years, the printed wiring board has been further reduced in thickness in order to achieve miniaturization of electronic devices, and the thickness of the inner substrate and the insulating layer tends to be gradually reduced. As the printed wiring board becomes thinner, it tends to be difficult to stabilize the reflow behavior.
本発明の課題は、プリント配線板が薄型であっても、部品の実装工程において良好なリフロー挙動を示すプリント配線板をもたらす樹脂組成物、当該樹脂組成物を含有する、シート状積層材料、プリント配線板、及び半導体装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a resin composition that provides a printed wiring board exhibiting good reflow behavior in a component mounting process even when the printed wiring board is thin, a sheet-like laminated material containing the resin composition, and a printed material An object is to provide a wiring board and a semiconductor device.
本発明者らは、上記の課題につき鋭意検討した結果、特定の表面処理剤で表面処理をなされた無機充填材を使用することにより上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies on the above problems, the present inventors have found that the above problems can be solved by using an inorganic filler surface-treated with a specific surface treatment agent, and have completed the present invention. .
すなわち、本発明は以下の内容を含む。
[1] (A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、及び(C)無機充填材を含有する樹脂組成物であって、
(C)無機充填材が、下記一般式(1)で表される化合物、及び下記一般式(2)で表される化合物からなる群から選択される少なくとも1種の表面処理剤で表面処理されている樹脂組成物。
X−Y−Si(OR1)3 ・・・(1)
(一般式(1)中、Xは、ビニル基、エポキシ基、グリシジルエーテル基、メタクリロイル基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイル基、アクリロイルオキシ基、アミノ基、Ar−(NR)n−(CH2)m−、Ar−(CH2)m−(NR)n−、又はNH2−(CH2)m−(NR)n−を表し、Arは置換基を有していてもよいフェニル基を表し、Rは、水素原子、又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表し、mは0〜6の整数を表し、nは0又は1の整数を表し、Yは、置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルキレン基、又は置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルケニレン基を表し、R1は、置換基を有していてもよい炭素原子数1〜6のアルキル基を表し、複数のR1は同一であってもよく、異なっていてもよい。)
(R2O)3Si−Z−Si(OR3)3 ・・・(2)
(Zは、置換基を有していてもよいアルキレン基、−NR−、酸素原子、硫黄原子、又はこれらの2以上の組み合わせからなる基を表し、Rは、水素原子、又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表し、R2及びR3は、それぞれ独立に置換基を有していてもよい炭素原子数1〜6のアルキル基を表し、複数のR2及びR3は同一であってもよく、異なっていてもよい。)
[2] 一般式(1)中のYが、置換基を有していてもよい炭素原子数6以上のアルキレン基を表す、[1]に記載の樹脂組成物。
[3] 一般式(2)中のZが、置換基を有していてもよい炭素原子数6以上のアルキレン基、又は置換基を有していてもよいアルキレン基と−NR−との組み合わせからなる基を表す、[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[4] 一般式(1)中のR1、一般式(2)中のR2及びR3が、メチル基又はエチル基を表す、[1]〜[3]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[5] 一般式(1)で表される化合物が8−グリシドキシオクチルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−8−アミノオクチルトリメトキシシラン、N−フェニル−8−アミノオクチル−トリメトキシシラン、3−(2−グリシジルフェニル)プロピルトリメトキシシラン、6−ビニルヘキシルトリメトキシシラン、及び8−メタクリロイルオキシオクチルトリメトキシシランのいずれかであり、一般式(2)で表される化合物がビストリメトキシシリルヘキサン、ビストリメトキシシリルオクタン、及びビス(トリメトキシシリルプロピル)エチレンジアミンのいずれかである、[1]〜[4]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[6] (C)成分の平均粒径が、0.01μm〜5μmである、[1]〜[5]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[7] (C)成分が、シリカである、[1]〜[6]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[8] (C)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、50質量%以上である、[1]〜[7]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[9] (C)成分は、(C)成分100質量部に対して0.2質量部〜2質量部の表面処理剤で表面処理されている、[1]〜[8]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[10] (C)成分の単位表面積当たりのカーボン量が、0.05mg/m2〜1mg/m2である、[1]〜[9]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[11] (A)成分が、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、及びビフェニル型エポキシ樹脂から選択される1種以上である、[1]〜[10]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[12] (B)成分が、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、活性エステル系硬化剤及びシアネートエステル系硬化剤から選択される1種以上である、[1]〜[11]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[13] プリント配線板の絶縁層形成用である、[1]〜[12]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[14] プリント配線板のビルドアップ層形成用である、[1]〜[13]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[15] [1]〜[14]のいずれかに記載の樹脂組成物で形成された樹脂組成物層を含む、シート状積層材料。
[16] [1]〜[14]のいずれかに記載の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む、プリント配線板。
[17] 絶縁層の反り量が350μm以下である、[16]に記載のプリント配線板。
[18] [16]又は[17]に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。
That is, the present invention includes the following contents.
[1] A resin composition containing (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, and (C) an inorganic filler,
(C) The inorganic filler is surface-treated with at least one surface treatment agent selected from the group consisting of a compound represented by the following general formula (1) and a compound represented by the following general formula (2). Resin composition.
X—Y—Si (OR 1 ) 3 (1)
(In general formula (1), X is a vinyl group, an epoxy group, a glycidyl ether group, a methacryloyl group, a methacryloyloxy group, an acryloyl group, an acryloyloxy group, an amino group, Ar— (NR) n — (CH 2 ) m. -, Ar- (CH 2) m - (NR) n -, or NH 2 - (CH 2) m - (NR) n - represents, Ar represents a phenyl group which may have a substituent, R represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, m represents an integer of 0 to 6, n represents an integer of 0 or 1, and Y may have a substituent. Represents an alkylene group having 4 or more carbon atoms, or an alkenylene group having 4 or more carbon atoms which may have a substituent, and R 1 represents 1 to 6 carbon atoms which may have a substituent. A plurality of R 1 may be the same And may be different.)
(R 2 O) 3 Si—Z—Si (OR 3 ) 3 (2)
(Z represents an alkylene group which may have a substituent, —NR—, an oxygen atom, a sulfur atom, or a group consisting of a combination of two or more thereof, and R is a hydrogen atom or a carbon atom having 1 carbon atom. Represents an alkyl group of ˜3, R 2 and R 3 each independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a substituent, and a plurality of R 2 and R 3 are the same. Or it may be different.)
[2] The resin composition according to [1], wherein Y in the general formula (1) represents an alkylene group having 6 or more carbon atoms which may have a substituent.
[3] Z in General Formula (2) is an alkylene group having 6 or more carbon atoms which may have a substituent, or a combination of an alkylene group which may have a substituent and —NR—. The resin composition according to [1] or [2], which represents a group consisting of:
[4] The resin composition according to any one of [1] to [3], wherein R 1 in the general formula (1), R 2 and R 3 in the general formula (2) each represents a methyl group or an ethyl group. object.
[5] The compound represented by the general formula (1) is 8-glycidoxyoctyltrimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -8-aminooctyltrimethoxysilane, N-phenyl-8-aminooctyl- One of trimethoxysilane, 3- (2-glycidylphenyl) propyltrimethoxysilane, 6-vinylhexyltrimethoxysilane, and 8-methacryloyloxyoctyltrimethoxysilane, which is represented by the general formula (2) The resin composition according to any one of [1] to [4], wherein is any one of bistrimethoxysilylhexane, bistrimethoxysilyloctane, and bis (trimethoxysilylpropyl) ethylenediamine.
[6] The resin composition according to any one of [1] to [5], wherein the average particle size of the component (C) is 0.01 μm to 5 μm.
[7] The resin composition according to any one of [1] to [6], wherein the component (C) is silica.
[8] The resin composition according to any one of [1] to [7], wherein the content of the component (C) is 50% by mass or more when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. .
[9] The component (C) is surface-treated with 0.2 to 2 parts by mass of a surface treatment agent with respect to 100 parts by mass of the component (C), according to any one of [1] to [8] The resin composition as described.
[10] (C) a carbon amount per unit surface area of the component is at 0.05mg / m 2 ~1mg / m 2 , [1] ~ resin composition according to any one of [9].
[11] The resin according to any one of [1] to [10], wherein the component (A) is at least one selected from a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, and a biphenyl type epoxy resin. Composition.
[12] Any of [1] to [11], wherein the component (B) is at least one selected from a phenolic curing agent, a naphthol curing agent, an active ester curing agent, and a cyanate ester curing agent. The resin composition described in 1.
[13] The resin composition according to any one of [1] to [12], which is used for forming an insulating layer of a printed wiring board.
[14] The resin composition according to any one of [1] to [13], which is for forming a buildup layer of a printed wiring board.
[15] A sheet-shaped laminated material including a resin composition layer formed of the resin composition according to any one of [1] to [14].
[16] A printed wiring board including an insulating layer formed of a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [14].
[17] The printed wiring board according to [16], wherein the amount of warping of the insulating layer is 350 μm or less.
[18] A semiconductor device comprising the printed wiring board according to [16] or [17].
本発明によれば、プリント配線板が薄型であっても、部品の実装工程において良好なリフロー挙動を示すプリント配線板をもたらす樹脂組成物、当該樹脂組成物を含有する、シート状積層材料、プリント配線板、及び半導体装置を提供することができるようになった。 According to the present invention, even when the printed wiring board is thin, a resin composition that provides a printed wiring board that exhibits good reflow behavior in a component mounting process, a sheet-like laminated material containing the resin composition, and a print A wiring board and a semiconductor device can be provided.
以下、本発明の樹脂組成物、当該樹脂組成物を含有する、シート状積層材料、プリント配線板、及び半導体装置について詳細に説明する。 Hereinafter, the resin composition of the present invention, the sheet-like laminated material containing the resin composition, the printed wiring board, and the semiconductor device will be described in detail.
本明細書において、基の直前に付されている「置換基を有していてもよい」という用語は、該基の水素原子が置換基で置換されていない場合、及び、該基の水素原子の一部又は全部が置換基で置換されている場合の双方を意味する。 In the present specification, the term “which may have a substituent” attached immediately before a group means that the hydrogen atom of the group is not substituted with a substituent, and the hydrogen atom of the group It means both when a part or all of is substituted with a substituent.
本明細書において、「Cp〜Cq」(p及びqは正の整数であり、p<qを満たす。)という用語は、この用語の直後に記載された有機基の炭素原子数がp〜qであることを表す。例えば、「C1〜C10アルキル基」という表現は、炭素原子数1〜10のアルキル基を示し、「C1〜C10アルキルエステル」という表現は、炭素原子数1〜10のアルキル基とのエステルを示す。 In the present specification, the term “C p -C q ” (p and q are positive integers satisfying p <q) means that the number of carbon atoms of the organic group described immediately after this term is p. Represents -q. For example, the expression “C 1 -C 10 alkyl group” refers to an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and the expression “C 1 -C 10 alkyl ester” refers to an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms. The ester of is shown.
[樹脂組成物]
本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、及び(C)無機充填材を含有する樹脂組成物であって、(C)無機充填材が、下記一般式(1)で表される化合物、及び下記一般式(2)で表される化合物からなる群から選択される少なくとも1種の表面処理剤で表面処理されていることを特徴とする。
X−Y−Si(OR1)3 ・・・(1)
(一般式(1)中、Xは、ビニル基、エポキシ基、グリシジルエーテル基、メタクリロイル基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイル基、アクリロイルオキシ基、アミノ基、Ar−(NR)n−(CH2)m−、Ar−(CH2)m−(NR)n−、又はNH2−(CH2)m−(NR)n−を表し、Arは置換基を有していてもよいフェニル基を表し、Rは、水素原子、又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表し、mは0〜6の整数を表し、nは0又は1の整数を表し、Yは、置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルキレン基、又は置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルケニレン基を表し、R1は、置換基を有していてもよい炭素原子数1〜6のアルキル基を表し、複数のR1は同一であってもよく、異なっていてもよい。)
(R2O)3Si−Z−Si(OR3)3 ・・・(2)
(Zは、置換基を有していてもよいアルキレン基、−NR−、酸素原子、硫黄原子、又はこれらの2以上の組み合わせからなる基を表し、Rは、水素原子、又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表し、R2及びR3は、それぞれ独立に置換基を有していてもよい炭素原子数1〜6のアルキル基を表し、複数のR2及びR3は同一であってもよく、異なっていてもよい。)
[Resin composition]
The resin composition of the present invention is a resin composition containing (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, and (C) an inorganic filler, and (C) the inorganic filler is represented by the following general formula (1) ) And at least one surface treatment agent selected from the group consisting of compounds represented by the following general formula (2).
X—Y—Si (OR 1 ) 3 (1)
(In general formula (1), X is a vinyl group, an epoxy group, a glycidyl ether group, a methacryloyl group, a methacryloyloxy group, an acryloyl group, an acryloyloxy group, an amino group, Ar— (NR) n — (CH 2 ) m. -, Ar- (CH 2) m - (NR) n -, or NH 2 - (CH 2) m - (NR) n - represents, Ar represents a phenyl group which may have a substituent, R represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, m represents an integer of 0 to 6, n represents an integer of 0 or 1, and Y may have a substituent. Represents an alkylene group having 4 or more carbon atoms, or an alkenylene group having 4 or more carbon atoms which may have a substituent, and R 1 represents 1 to 6 carbon atoms which may have a substituent. A plurality of R 1 may be the same And may be different.)
(R 2 O) 3 Si—Z—Si (OR 3 ) 3 (2)
(Z represents an alkylene group which may have a substituent, —NR—, an oxygen atom, a sulfur atom, or a group consisting of a combination of two or more thereof, and R is a hydrogen atom or a carbon atom having 1 carbon atom. Represents an alkyl group of ˜3, R 2 and R 3 each independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a substituent, and a plurality of R 2 and R 3 are the same. Or it may be different.)
以下、本発明の樹脂組成物に含まれる各成分について詳細に説明する。 Hereinafter, each component contained in the resin composition of the present invention will be described in detail.
<(A)エポキシ樹脂>
本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂(以下、(A)成分ともいう)を含有する。
<(A) Epoxy resin>
The resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin (hereinafter also referred to as (A) component).
エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert−ブチル−カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。(A)成分は、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、及びビフェニル型エポキシ樹脂から選択される1種以上であることが好ましい。 Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, naphthol novolak type epoxy resin, Phenol novolac type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, biphenyl type Epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having butadiene structure, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, spiro ring Epoxy resins, cyclohexanedimethanol type epoxy resins, naphthylene ether type epoxy resin, trimethylol type epoxy resin, tetraphenyl ethane epoxy resin and the like. An epoxy resin may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. The component (A) is preferably at least one selected from bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, and biphenyl type epoxy resins.
エポキシ樹脂は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。エポキシ樹脂の不揮発成分を100質量%とした場合に、少なくとも50質量%以上は1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂であるのが好ましい。中でも、1分子中に2個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」という。)と、1分子中に3個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」という。)とを含むことが好ましい。エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを併用することで、優れた可撓性を有する樹脂組成物が得られる。また、樹脂組成物の硬化物の破断強度も向上する。 The epoxy resin preferably contains an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. When the nonvolatile component of the epoxy resin is 100% by mass, at least 50% by mass or more is preferably an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. Among them, it has two or more epoxy groups in one molecule, and has a liquid epoxy resin (hereinafter referred to as “liquid epoxy resin”) at a temperature of 20 ° C. and three or more epoxy groups in one molecule, It is preferable to contain a solid epoxy resin (hereinafter referred to as “solid epoxy resin”) at a temperature of 20 ° C. By using a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin in combination as an epoxy resin, a resin composition having excellent flexibility can be obtained. Moreover, the breaking strength of the cured product of the resin composition is also improved.
液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂及びナフタレン型エポキシ樹脂がより好ましい。液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC(株)製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「828US」、「jER828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER807」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂)、「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂)、「YL7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂)、新日鉄住金化学(株)製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品)、ナガセケムテックス(株)製の「EX−721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂)、(株)ダイセル製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂)、「PB−3600」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂)、新日鐵化学(株)製の「ZX1658」、「ZX1658GS」(液状1,4−グリシジルシクロヘキサン)が挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Liquid epoxy resins include bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, and alicyclic epoxy resins having an ester skeleton. And epoxy resins having a butadiene structure are preferred, and bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins and naphthalene type epoxy resins are more preferred. Specific examples of the liquid epoxy resin include “HP4032”, “HP4032D”, “HP4032SS” (naphthalene type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation, “828US”, “jER828EL” (bisphenol A) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. Type epoxy resin), “jER807” (bisphenol F type epoxy resin), “jER152” (phenol novolac type epoxy resin), “YL7760” (bisphenol AF type epoxy resin), “ZX1059” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. ( Bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin mixture), “EX-721” (glycidyl ester type epoxy resin) manufactured by Nagase ChemteX Corporation, “Celoxide 2021P” (ester structure) manufactured by Daicel Corporation Alicyclic Epoxy with Resin), "PB-3600" (epoxy resin having a butadiene structure), Nippon Steel Chemical Co., Ltd. "ZX1658", "ZX1658GS" (liquid 1,4 glycidyl cyclohexane) and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
固体状エポキシ樹脂としては、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が好ましく、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、及びビフェニル型エポキシ樹脂がより好ましい。固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC(株)製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、「HP−4700」、「HP−4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂)、「N−690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「N−695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「HP−7200」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂)、「HP−7200HH」、「EXA7311」、「EXA7311−G3」、「EXA7311−G4」、「EXA7311−G4S」、「HP6000」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂)、日本化薬(株)製の「EPPN−502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂)、「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、新日鉄住金化学(株)製の「ESN475V」(ナフトール型エポキシ樹脂)、「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「YX4000H」、「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂)、「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂)、大阪ガスケミカル(株)製の「PG−100」、「CG−500」、三菱化学(株)製の「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「jER1010」(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。 Solid epoxy resins include naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, Anthracene type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, and tetraphenylethane type epoxy resin are preferable, and naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, naphthol type epoxy resin, and biphenyl type epoxy resin are more preferable. Specific examples of the solid epoxy resin include “HP4032H” (naphthalene type epoxy resin), “HP-4700”, “HP-4710” (naphthalene type tetrafunctional epoxy resin), “N-690” manufactured by DIC Corporation. "(Cresol novolac type epoxy resin)", "N-695" (Cresol novolac type epoxy resin), "HP-7200" (Dicyclopentadiene type epoxy resin), "HP-7200HH", "EXA7311", "EXA7311-G3 ”,“ EXA7311-G4 ”,“ EXA7311-G4S ”,“ HP6000 ”(naphthylene ether type epoxy resin),“ EPPN-502H ”(trisphenol type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.,“ NC7000L ” (Naphthol novolac type epoxy resin), “NC3000 ”,“ NC3000 ”,“ NC3000L ”,“ NC3100 ”(biphenyl type epoxy resin),“ ESN475V ”(naphthol type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.,“ ESN485 ”(naphthol novolak type epoxy resin), Mitsubishi “YX4000H”, “YL6121” (biphenyl type epoxy resin), “YX4000HK” (bixylenol type epoxy resin), “YX8800” (anthracene type epoxy resin) manufactured by Kagaku Co., Ltd., “ “PG-100”, “CG-500”, “YL7800” (fluorene type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, “jER1010” (solid bisphenol A type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, “jER1031S” (Tetraphenylethane type epoxy resin) And the like.
エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを併用する場合、それらの量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、質量比で、1:0.1〜1:6の範囲が好ましい。液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂との量比を斯かる範囲とすることにより、i)接着フィルムの形態で使用する場合に適度な粘着性がもたらされる、ii)接着フィルムの形態で使用する場合に十分な可撓性が得られ、取り扱い性が向上する、並びにiii)十分な破断強度を有する硬化物を得ることができる等の効果が得られる。上記i)〜iii)の効果の観点から、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂の量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、質量比で、1:0.3〜1:5の範囲がより好ましく、1:0.6〜1:4の範囲がさらに好ましい。 When the liquid epoxy resin and the solid epoxy resin are used in combination as the epoxy resin, the quantitative ratio thereof (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is in the range of 1: 0.1 to 1: 6 by mass ratio. preferable. By making the quantitative ratio of the liquid epoxy resin and the solid epoxy resin within such a range, i) suitable adhesiveness is provided when used in the form of an adhesive film, ii) when used in the form of an adhesive film Sufficient flexibility can be obtained, handling properties can be improved, and iii) a cured product having sufficient breaking strength can be obtained. From the viewpoint of the effects i) to iii) above, the quantitative ratio of liquid epoxy resin to solid epoxy resin (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is in the range of 1: 0.3 to 1: 5 by mass ratio. Is more preferable, and the range of 1: 0.6 to 1: 4 is more preferable.
樹脂組成物中のエポキシ樹脂の含有量は、良好な機械強度、絶縁信頼性を示す絶縁層を得る観点から、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、さらに好ましくは15質量%以上である。エポキシ樹脂の含有量の上限は、本発明の効果が奏される限りにおいて特に限定されないが、好ましくは50質量%以下、より好ましくは30質量%以下、さらに好ましくは20質量%以下である。 The content of the epoxy resin in the resin composition is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, and further preferably 15% by mass from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting good mechanical strength and insulation reliability. That's it. Although the upper limit of content of an epoxy resin is not specifically limited as long as the effect of this invention is show | played, Preferably it is 50 mass% or less, More preferably, it is 30 mass% or less, More preferably, it is 20 mass% or less.
なお、本発明において、樹脂組成物中の各成分の含有量は、別途明示のない限り、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたときの値である。 In addition, in this invention, content of each component in a resin composition is a value when the non-volatile component in a resin composition is 100 mass% unless there is separate description.
エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50〜5000、より好ましくは50〜3000、さらに好ましくは80〜2000、さらにより好ましくは110〜1000である。この範囲となることで、硬化物の架橋密度が十分となり表面粗さの小さい絶縁層をもたらすことができる。なお、エポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができ、1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量である。 The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 50 to 5000, more preferably 50 to 3000, still more preferably 80 to 2000, and even more preferably 110 to 1000. By becoming this range, the crosslinked density of hardened | cured material becomes sufficient and can provide an insulating layer with small surface roughness. The epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236, and is the mass of a resin containing 1 equivalent of an epoxy group.
エポキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは100〜5000、より好ましくは250〜3000、さらに好ましくは400〜1500である。ここで、エポキシ樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。 The weight average molecular weight of an epoxy resin becomes like this. Preferably it is 100-5000, More preferably, it is 250-3000, More preferably, it is 400-1500. Here, the weight average molecular weight of the epoxy resin is a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by a gel permeation chromatography (GPC) method.
<(B)硬化剤>
本発明の樹脂組成物は、(B)硬化剤(以下、(B)成分ともいう)を含有する。
<(B) Curing agent>
The resin composition of the present invention contains (B) a curing agent (hereinafter also referred to as (B) component).
硬化剤としては、エポキシ樹脂を硬化する機能を有する限り特に限定されず、例えば、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、活性エステル系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、及びカルボジイミド系硬化剤などが挙げられる。硬化剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。(B)成分は、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、活性エステル系硬化剤及びシアネートエステル系硬化剤から選択される1種以上であることが好ましい。 The curing agent is not particularly limited as long as it has a function of curing the epoxy resin. For example, a phenolic curing agent, a naphthol curing agent, an active ester curing agent, a benzoxazine curing agent, a cyanate ester curing agent, and Examples thereof include carbodiimide curing agents. A hardening | curing agent may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together. The component (B) is preferably at least one selected from a phenolic curing agent, a naphthol curing agent, an active ester curing agent and a cyanate ester curing agent.
フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するフェノール系硬化剤、又はノボラック構造を有するナフトール系硬化剤が好ましい。また、導体層との密着性の観点から、含窒素フェノール系硬化剤が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤がより好ましい。中でも、耐熱性、耐水性、及び導体層との密着性を高度に満足させる観点から、トリアジン骨格含有フェノールノボラック硬化剤が好ましい。 As the phenol-based curing agent and the naphthol-based curing agent, a phenol-based curing agent having a novolak structure or a naphthol-based curing agent having a novolak structure is preferable from the viewpoint of heat resistance and water resistance. Moreover, from a viewpoint of adhesiveness with a conductor layer, a nitrogen-containing phenol type hardening | curing agent is preferable and a triazine frame | skeleton containing phenol type hardening | curing agent is more preferable. Among these, a triazine skeleton-containing phenol novolac curing agent is preferable from the viewpoint of highly satisfying heat resistance, water resistance, and adhesion to the conductor layer.
フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤の具体例としては、例えば、明和化成(株)製の「MEH−7700」、「MEH−7810」、「MEH−7851」、日本化薬(株)製の「NHN」、「CBN」、「GPH」、新日鉄住金(株)製の「SN170」、「SN180」、「SN190」、「SN475」、「SN485」、「SN495」、「SN375」、「SN395」、DIC(株)製の「LA7052」、「LA7054」、「LA3018」、「EXB−9500」等が挙げられる。 Specific examples of the phenol-based curing agent and the naphthol-based curing agent include, for example, “MEH-7700”, “MEH-7810”, “MEH-7785” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., and Nippon Kayaku Co., Ltd. “NHN”, “CBN”, “GPH”, “SN170”, “SN180”, “SN190”, “SN475”, “SN485”, “SN495”, “SN375”, “SN395” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Co., Ltd. “LA7052”, “LA7054”, “LA3018”, “EXB-9500” manufactured by DIC Corporation, and the like.
粗化処理後に表面粗さの小さい絶縁層を得る観点、導体層との密着性に優れる絶縁層を得る観点から、活性エステル系硬化剤も好ましい。活性エステル系硬化剤としては、特に制限はないが、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N−ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。当該活性エステル系硬化剤は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル系硬化剤が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル系硬化剤がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物、フェノールノボラック等が挙げられる。ここで、「ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物」とは、ジシクロペンタジエン1分子にフェノール2分子が縮合して得られるジフェノール化合物をいう。 From the viewpoint of obtaining an insulating layer having a small surface roughness after the roughening treatment and obtaining an insulating layer having excellent adhesion to the conductor layer, an active ester curing agent is also preferred. Although there is no restriction | limiting in particular as an active ester type hardening | curing agent, Generally ester groups with high reaction activity, such as phenol ester, thiophenol ester, N-hydroxyamine ester, ester of heterocyclic hydroxy compound, are in 1 molecule. A compound having two or more in the above is preferably used. The active ester curing agent is preferably obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and / or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and / or a thiol compound. In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferable, and an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and / or a naphthol compound is more preferable. Examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Examples of the phenol compound or naphthol compound include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthaline, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m- Cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, Benzenetriol, dicyclopentadiene type diphenol compound, phenol novolac and the like can be mentioned. Here, the “dicyclopentadiene type diphenol compound” refers to a diphenol compound obtained by condensing two molecules of phenol with one molecule of dicyclopentadiene.
具体的には、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物が好ましく、中でもナフタレン構造を含む活性エステル化合物、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物がより好ましい。「ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造」とは、フェニレン−ジシクロペンチレン−フェニレンからなる2価の構造単位を表す。 Specifically, an active ester compound containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure, an active ester compound containing a naphthalene structure, an active ester compound containing an acetylated product of a phenol novolac, and an active ester compound containing a benzoylated product of a phenol novolac are preferred, Of these, active ester compounds containing a naphthalene structure and active ester compounds containing a dicyclopentadiene type diphenol structure are more preferred. The “dicyclopentadiene type diphenol structure” represents a divalent structural unit composed of phenylene-dicyclopentylene-phenylene.
活性エステル系硬化剤の市販品としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物として、「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「HPC−8000−65T」(DIC(株)製)、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物として「EXB9416−70BK」(DIC(株)製)、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物として「DC808」(三菱化学(株)製)、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物として「YLH1026」(三菱化学(株)製)などが挙げられる。 As a commercial product of an active ester type curing agent, as an active ester compound containing a dicyclopentadiene type diphenol structure, “EXB9451”, “EXB9460”, “EXB9460S”, “HPC-8000-65T” (manufactured by DIC Corporation) ), “EXB9416-70BK” (manufactured by DIC Corporation) as an active ester compound containing a naphthalene structure, “DC808” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester compound containing an acetylated product of phenol novolac, and benzoyl of phenol novolac Examples of the active ester compound containing a compound include “YLH1026” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation).
ベンゾオキサジン系硬化剤の具体例としては、昭和高分子(株)製の「HFB2006M」、四国化成工業(株)製の「P−d」、「F−a」が挙げられる。 Specific examples of the benzoxazine-based curing agent include “HFB2006M” manufactured by Showa Polymer Co., Ltd., “Pd” and “Fa” manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.
シアネートエステル系硬化剤としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート、オリゴ(3−メチレン−1,5−フェニレンシアネート)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルフェニルシアネート)、4,4’−エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2−ビス(4−シアネート)フェニルプロパン、1,1−ビス(4−シアネートフェニルメタン)、ビス(4−シアネート−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,3−ビス(4−シアネートフェニル−1−(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4−シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4−シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル系硬化剤の具体例としては、ロンザジャパン(株)製の「PT30」及び「PT60」(いずれもフェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」、「BA230S75」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。 Examples of the cyanate ester curing agent include bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate, oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate), 4,4′-methylenebis (2,6-dimethylphenyl cyanate), 4,4. '-Ethylidene diphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis (4-cyanate) phenylpropane, 1,1-bis (4-cyanatephenylmethane), bis (4-cyanate-3,5-dimethyl) Bifunctional cyanate resins such as phenyl) methane, 1,3-bis (4-cyanatephenyl-1- (methylethylidene)) benzene, bis (4-cyanatephenyl) thioether, and bis (4-cyanatephenyl) ether, phenol Novolac and K Polyfunctional cyanate resin derived from tetrazole novolac, these cyanate resins and partially triazine of prepolymer. Specific examples of the cyanate ester curing agent include “PT30” and “PT60” (both phenol novolac polyfunctional cyanate ester resins), “BA230”, “BA230S75” (bisphenol A dicyanate) manufactured by Lonza Japan Co., Ltd. For example, a prepolymer partially or wholly converted into a trimer).
カルボジイミド系硬化剤の具体例としては、日清紡ケミカル(株)製の「V−03」、「V−07」等が挙げられる。 Specific examples of the carbodiimide curing agent include “V-03” and “V-07” manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd.
エポキシ樹脂と硬化剤との量比は、[エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数]:[硬化剤の反応基の合計数]の比率で、1:0.1〜1:2の範囲が好ましく、1:0.15〜1:1.5がより好ましく、1:0.2〜1:1がさらに好ましい。ここで、硬化剤の反応基とは、活性水酸基、活性エステル基等であり、硬化剤の種類によって異なる。また、エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数とは、各エポキシ樹脂の固形分質量をエポキシ当量で除した値をすべてのエポキシ樹脂について合計した値であり、硬化剤の反応基の合計数とは、各硬化剤の固形分質量を反応基当量で除した値をすべての硬化剤について合計した値である。エポキシ樹脂と硬化剤との量比を斯かる範囲とすることにより、樹脂組成物の硬化物の耐熱性がより向上する。 The amount ratio between the epoxy resin and the curing agent is preferably a ratio of [total number of epoxy groups of the epoxy resin]: [total number of reactive groups of the curing agent] in the range of 1: 0.1 to 1: 2. 1: 0.15 to 1: 1.5 are more preferable, and 1: 0.2 to 1: 1 are more preferable. Here, the reactive group of the curing agent is an active hydroxyl group, an active ester group or the like, and varies depending on the type of the curing agent. Moreover, the total number of epoxy groups of the epoxy resin is a value obtained by dividing the value obtained by dividing the solid mass of each epoxy resin by the epoxy equivalent for all epoxy resins, and the total number of reactive groups of the curing agent is: The value obtained by dividing the solid mass of each curing agent by the reactive group equivalent is the total value for all curing agents. By setting the amount ratio of the epoxy resin and the curing agent in such a range, the heat resistance of the cured product of the resin composition is further improved.
一実施形態において、樹脂組成物は、先述の(A)エポキシ樹脂及び(B)硬化剤を含む。樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂として液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂との混合物(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂の質量比は好ましくは1:0.1〜1:8、より好ましくは1:0.3〜1:7、さらに好ましくは1:0.6〜1:6)を、(B)硬化剤としてフェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、活性エステル系硬化剤及びシアネートエステル系硬化剤からなる群から選択される1種以上(好ましくはフェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤及び活性エステル系硬化剤からなる群から選択される1種以上)を、それぞれ含むことが好ましい。 In one embodiment, the resin composition includes the aforementioned (A) epoxy resin and (B) a curing agent. The resin composition is a mixture of a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin (A) as an epoxy resin (the mass ratio of liquid epoxy resin: solid epoxy resin is preferably 1: 0.1 to 1: 8, more preferably 1: 0.3-1: 7, more preferably 1: 0.6-1: 6), (B) a phenolic curing agent, a naphthol curing agent, an active ester curing agent and a cyanate ester One or more selected from the group consisting of curing agents (preferably one or more selected from the group consisting of phenolic curing agents, naphthol curing agents and active ester curing agents) are preferably included.
樹脂組成物中の硬化剤の含有量は特に限定されないが、好ましくは30質量%以下、より好ましくは25質量%以下、さらに好ましくは20質量%以下、さらにより好ましくは18質量%以下である。また、下限は特に制限はないが3質量%以上が好ましい。 Although content of the hardening | curing agent in a resin composition is not specifically limited, Preferably it is 30 mass% or less, More preferably, it is 25 mass% or less, More preferably, it is 20 mass% or less, More preferably, it is 18 mass% or less. The lower limit is not particularly limited but is preferably 3% by mass or more.
<(C)無機充填材>
本発明の樹脂組成物は、(C)無機充填材(以下、(C)成分ともいう)を含有し、(C)成分は、下記一般式(1)で表される化合物、及び下記一般式(2)で表される化合物からなる群から選択される少なくとも1種の表面処理剤で表面処理されている。
X−Y−Si(OR1)3 ・・・(1)
(一般式(1)中、Xは、ビニル基、エポキシ基、グリシジルエーテル基、メタクリロイル基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイル基、アクリロイルオキシ基、アミノ基、Ar−(NR)n−(CH2)m−、Ar−(CH2)m−(NR)n−、又はNH2−(CH2)m−(NR)n−を表し、Arは置換基を有していてもよいフェニル基を表し、Rは、水素原子、又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表し、mは0〜6の整数を表し、nは0又は1の整数を表し、Yは、置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルキレン基、又は置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルケニレン基を表し、R1は、置換基を有していてもよい炭素原子数1〜6のアルキル基を表し、複数のR1は同一であってもよく、異なっていてもよい。)
(R2O)3Si−Z−Si(OR3)3 ・・・(2)
(Zは、置換基を有していてもよいアルキレン基、−NR−、酸素原子、硫黄原子、又はこれらの2以上の組み合わせからなる基を表し、Rは、水素原子、又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表し、R2及びR3は、それぞれ独立に置換基を有していてもよい炭素原子数1〜6のアルキル基を表し、複数のR2及びR3は同一であってもよく、異なっていてもよい。)
<(C) Inorganic filler>
The resin composition of the present invention contains (C) an inorganic filler (hereinafter also referred to as (C) component), wherein the (C) component is a compound represented by the following general formula (1), and the following general formula: Surface treatment is performed with at least one surface treatment agent selected from the group consisting of compounds represented by (2).
X—Y—Si (OR 1 ) 3 (1)
(In general formula (1), X is a vinyl group, an epoxy group, a glycidyl ether group, a methacryloyl group, a methacryloyloxy group, an acryloyl group, an acryloyloxy group, an amino group, Ar— (NR) n — (CH 2 ) m. -, Ar- (CH 2) m - (NR) n -, or NH 2 - (CH 2) m - (NR) n - represents, Ar represents a phenyl group which may have a substituent, R represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, m represents an integer of 0 to 6, n represents an integer of 0 or 1, and Y may have a substituent. Represents an alkylene group having 4 or more carbon atoms, or an alkenylene group having 4 or more carbon atoms which may have a substituent, and R 1 represents 1 to 6 carbon atoms which may have a substituent. A plurality of R 1 may be the same And may be different.)
(R 2 O) 3 Si—Z—Si (OR 3 ) 3 (2)
(Z represents an alkylene group which may have a substituent, —NR—, an oxygen atom, a sulfur atom, or a group consisting of a combination of two or more thereof, and R is a hydrogen atom or a carbon atom having 1 carbon atom. Represents an alkyl group of ˜3, R 2 and R 3 each independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a substituent, and a plurality of R 2 and R 3 are the same. Or it may be different.)
本発明における(C)成分は、一般式(1)で表される化合物、及び一般式(2)で表される化合物からなる群から選択される少なくとも1種の表面処理剤で表面処理されている。本発明者らの鋭意研究の結果、一般式(1)で表される化合物のように、ケイ素原子と官能基部位(一般式(1)中のX)とを結合する2価の基(一般式(1)中のY)の主鎖が長鎖である化合物で無機充填材を表面処理すると、樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層のリフロー時の反り量(リフロー挙動最大変異)を小さくすることができることを見出した。また、上記化合物で無機充填材を表面処理することで、最低溶融粘度が低くなり、良好な回路埋め込み性を得ることを見出した。また、本発明者らは、一般式(2)で表される化合物のように両末端にケイ素原子を有する化合物でそれぞれのケイ素原子と結合する2価の基(一般式(2)中のZ)の主鎖が長鎖である化合物で無機充填材を表面処理しても同様の効果が得られることを見出した。 The component (C) in the present invention is surface-treated with at least one surface treatment agent selected from the group consisting of the compound represented by the general formula (1) and the compound represented by the general formula (2). Yes. As a result of diligent research by the present inventors, a divalent group (general) that bonds a silicon atom and a functional group site (X in the general formula (1)) as in the compound represented by the general formula (1). When the inorganic filler is surface-treated with a compound in which the main chain of Y) in formula (1) is a long chain, the amount of warpage during reflow of the insulating layer formed by the cured product of the resin composition (maximum variation in reflow behavior) It was found that can be reduced. Further, it has been found that by subjecting the inorganic filler to the surface treatment with the above compound, the minimum melt viscosity is lowered and good circuit embedding property is obtained. In addition, the inventors of the present invention have a divalent group (Z in the general formula (2) which is bonded to each silicon atom in a compound having silicon atoms at both ends, such as a compound represented by the general formula (2). It has been found that the same effect can be obtained even when the inorganic filler is surface-treated with a compound having a long chain as the main chain.
本明細書では、特に断りがない限り、(C)成分は表面処理剤で表面処理されている無機充填材を表すものとする。 In the present specification, unless otherwise specified, the component (C) represents an inorganic filler surface-treated with a surface treatment agent.
無機充填材の材料は特に限定されないが、例えば、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられる。これらの中でもシリカが特に好適である。またシリカとしては球形シリカが好ましい。無機充填材は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 The material of the inorganic filler is not particularly limited. For example, silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, water Aluminum oxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide , Zirconium oxide, barium titanate, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate. Of these, silica is particularly preferred. As silica, spherical silica is preferable. An inorganic filler may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.
無機充填材の平均粒径は特に限定されないが、表面粗さの小さい絶縁層を得る観点や微細配線形成性向上の観点から、好ましくは5μm以下、より好ましくは3μm以下、さらに好ましくは2μm以下、又は1μm以下である。該平均粒径の下限は、特に限定されないが、好ましくは0.01μm以上、より好ましくは0.1μm以上、さらに好ましくは0.3μm以上である。このような平均粒径を有する無機充填材の市販品としては、例えば、(株)アドマテックス製「YC100C」、「YA050C」、「YA050C−MJE」、「YA010C」、電気化学工業(株)製「UFP−30」、(株)トクヤマ製「シルフィルNSS−3N」、「シルフィルNSS−4N」、「シルフィルNSS−5N」、(株)アドマテックス製「SC2500SQ」、「SO−C2」、「SO−C1」等が挙げられる。 The average particle size of the inorganic filler is not particularly limited, but is preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, and even more preferably 2 μm or less, from the viewpoint of obtaining an insulating layer having a small surface roughness and improving the fine wiring formability. Or it is 1 micrometer or less. Although the minimum of this average particle diameter is not specifically limited, Preferably it is 0.01 micrometer or more, More preferably, it is 0.1 micrometer or more, More preferably, it is 0.3 micrometer or more. Examples of commercially available inorganic fillers having such an average particle size include, for example, “YC100C”, “YA050C”, “YA050C-MJE”, “YA010C” manufactured by Admatechs, manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd. “UFP-30”, “Silfil NSS-3N”, “Silfil NSS-4N”, “Sylfil NSS-5N” manufactured by Tokuyama Corporation, “SC2500SQ”, “SO-C2”, “SO-C2” manufactured by Admatechs Co., Ltd. -C1 "and the like.
無機充填材の平均粒径はミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折散乱式粒度分布測定装置により、無機充填材の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折散乱式粒度分布測定装置としては、(株)堀場製作所製「LA−500」等を使用することができる。 The average particle diameter of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the inorganic filler can be prepared on a volume basis by a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus, and the median diameter can be measured as the average particle diameter. As the measurement sample, an inorganic filler dispersed in water by ultrasonic waves can be preferably used. As the laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus, “LA-500” manufactured by Horiba, Ltd. or the like can be used.
表面処理剤としては、一般式(1)で表される化合物、又は一般式(2)で表される化合物を単独で使用してもよく、一般式(1)で表される化合物、及び一般式(2)で表される化合物を組み合わせて使用してもよい。 As the surface treatment agent, the compound represented by the general formula (1) or the compound represented by the general formula (2) may be used alone, the compound represented by the general formula (1), and the general You may use combining the compound represented by Formula (2).
一般式(1)で表される化合物は以下の構造を有する。
X−Y−Si(OR1)3 ・・・(1)
(一般式(1)中、Xは、ビニル基、エポキシ基、グリシジルエーテル基、メタクリロイル基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイル基、アクリロイルオキシ基、アミノ基、Ar−(NR)n−(CH2)m−、Ar−(CH2)m−(NR)n−、又はNH2−(CH2)m−(NR)n−を表し、Arは置換基を有していてもよいフェニル基を表し、Rは、水素原子、又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表し、mは0〜6の整数を表し、nは0又は1の整数を表し、Yは、置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルキレン基、又は置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルケニレン基を表し、R1は、置換基を有していてもよい炭素原子数1〜6のアルキル基を表し、複数のR1は同一であってもよく、異なっていてもよい。)
The compound represented by the general formula (1) has the following structure.
X—Y—Si (OR 1 ) 3 (1)
(In general formula (1), X is a vinyl group, an epoxy group, a glycidyl ether group, a methacryloyl group, a methacryloyloxy group, an acryloyl group, an acryloyloxy group, an amino group, Ar— (NR) n — (CH 2 ) m. -, Ar- (CH 2) m - (NR) n -, or NH 2 - (CH 2) m - (NR) n - represents, Ar represents a phenyl group which may have a substituent, R represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, m represents an integer of 0 to 6, n represents an integer of 0 or 1, and Y may have a substituent. Represents an alkylene group having 4 or more carbon atoms, or an alkenylene group having 4 or more carbon atoms which may have a substituent, and R 1 represents 1 to 6 carbon atoms which may have a substituent. A plurality of R 1 may be the same And may be different.)
Xは、ビニル基、エポキシ基、グリシジルエーテル基、メタクリロイル基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイル基、アクリロイルオキシ基、アミノ基、Ar−(NR)n−(CH2)m−、Ar−(CH2)m−(NR)n−、又はNH2−(CH2)m−(NR)n−を表す。 X is a vinyl group, an epoxy group, a glycidyl ether group, a methacryloyl group, a methacryloyloxy group, an acryloyl group, an acryloyloxy group, an amino group, Ar— (NR) n — (CH 2 ) m —, Ar— (CH 2 ). m - (NR) n -, or NH 2 - (CH 2) m - (NR) n - represents a.
Arは、置換基を有していてもよいフェニル基を表す。該フェニル基が有していてもよい置換基については後述する。
mは0〜6の整数を表し、1〜4の整数が好ましく、1〜3の整数がより好ましい。nは0又は1の整数を表し、1が好ましい。
Ar represents a phenyl group which may have a substituent. The substituent which the phenyl group may have will be described later.
m represents an integer of 0 to 6, an integer of 1 to 4 is preferable, and an integer of 1 to 3 is more preferable. n represents an integer of 0 or 1, and 1 is preferable.
Rは、水素原子、又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表す。炭素原子数1〜3のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基等が挙げられる。Rは、水素原子が好ましい。 R represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms. Examples of the alkyl group having 1 to 3 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, and a propyl group. R is preferably a hydrogen atom.
Ar−(NR)n−(CH2)m−、Ar−(CH2)m−(NR)n−、又はNH2−(CH2)m−(NR)n−としては、例えば、アミノエチレンアミノ基、ベンジルアミノ基、フェニルアミノ基等が挙げられる。 Ar— (NR) n — (CH 2 ) m —, Ar— (CH 2 ) m — (NR) n —, or NH 2 — (CH 2 ) m — (NR) n — includes, for example, aminoethylene An amino group, a benzylamino group, a phenylamino group, etc. are mentioned.
これらの中でも、Xとしては、ビニル基、エポキシ基、グリシジルエーテル基、メタクリロイルオキシ基、アミノエチレンアミノ基、フェニルアミノ基が好ましく、エポキシ基、グリシジルエーテル基、メタクリロイルオキシ基、アミノエチレンアミノ基、フェニルアミノ基がより好ましい。 Among these, X is preferably a vinyl group, an epoxy group, a glycidyl ether group, a methacryloyloxy group, an aminoethyleneamino group, or a phenylamino group, and an epoxy group, a glycidyl ether group, a methacryloyloxy group, an aminoethyleneamino group, phenyl. An amino group is more preferable.
Yは、置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルキレン基、又は置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルケニレン基を表す。該アルキレン基及び該アルケニレン基の炭素原子数は、4以上であり、好ましくは5以上、より好ましくは6以上、さらに好ましくは7以上である。上限については特に限定されないが、好ましくは20以下、より好ましくは15以下、さらに好ましくは10以下である。炭素原子数が4未満であると、ケイ素原子と官能基部位との間の結合距離が短く、樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層の反り量がリフロー時に大きくなるとともに、最低溶融粘度が高くなり、回路埋め込み性が劣ってしまう。 Y represents an alkylene group having 4 or more carbon atoms which may have a substituent, or an alkenylene group having 4 or more carbon atoms which may have a substituent. The alkylene group and the alkenylene group have 4 or more carbon atoms, preferably 5 or more, more preferably 6 or more, and still more preferably 7 or more. The upper limit is not particularly limited, but is preferably 20 or less, more preferably 15 or less, and even more preferably 10 or less. When the number of carbon atoms is less than 4, the bond distance between the silicon atom and the functional group site is short, the amount of warping of the insulating layer formed by the cured product of the resin composition increases during reflow, and the minimum melt viscosity Becomes higher and the circuit embedding property becomes poor.
置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルキレン基は直鎖状、又は分岐状のいずれであってもよい。置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルキレン基としては、例えば、ブチレン基、ペンチレン基、ヘキシレン基、ヘプチレン基、オクチレン基、ノニレン基、デシレン基、ドデシレン基等が挙げられ、ペンチレン基、ヘキシレン基、ヘプチレン基、オクチレン基、ノニレン基、デシレン基が好ましく、ヘキシレン基、ヘプチレン基、オクチレン基、ノニレン基がより好ましく、オクチレン基がさらに好ましい。 The alkylene group having 4 or more carbon atoms which may have a substituent may be either linear or branched. Examples of the alkylene group having 4 or more carbon atoms that may have a substituent include butylene, pentylene, hexylene, heptylene, octylene, nonylene, decylene, and dodecylene. A pentylene group, a hexylene group, a heptylene group, an octylene group, a nonylene group and a decylene group are preferred, a hexylene group, a heptylene group, an octylene group and a nonylene group are more preferred, and an octylene group is more preferred.
置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルケニレン基は直鎖状、又は分岐状のいずれであってもよい。置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルケニレン基としては、例えば、1−ブテニレン基、1−ペンテニレン基、1−ヘキセニレン基、1−ヘプテニレン基、1−オクテニレン基等が挙げられる。これらの中でも、1−ブテニレン基、1−ペンテニレン基、1−ヘキセニレン基、1−ヘプチニレン基、1−オクチニレン基が好ましく、1−ペンテニレン基がより好ましい。 The alkenylene group having 4 or more carbon atoms which may have a substituent may be linear or branched. Examples of the alkenylene group having 4 or more carbon atoms which may have a substituent include 1-butenylene group, 1-pentenylene group, 1-hexenylene group, 1-heptenylene group, 1-octenylene group and the like. . Among these, a 1-butenylene group, a 1-pentenylene group, a 1-hexenylene group, a 1-heptynylene group, and a 1-octynylene group are preferable, and a 1-pentenylene group is more preferable.
Arが表すフェニル基、Yが表す炭素原子数4以上のアルキレン基及び炭素原子数4以上のアルケニレン基は置換基を有していてもよい。置換基としては、特に制限はなく、例えば、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、シクロアルキルオキシ基、アリール基、アリールオキシ基、アリールアルキル基、アリールアルコキシ基、1価の複素環基、アルキリデン基、アミノ基、シリル基、アシル基、アシルオキシ基、カルボキシ基、スルホ基、シアノ基、ニトロ基、ヒドロキシ基、メルカプト基、オキソ基等が挙げられる。また、置換基は複数有していてもよく、複数の置換基は互いに結合して環を形成していてもよい。 The phenyl group represented by Ar, the alkylene group having 4 or more carbon atoms and the alkenylene group having 4 or more carbon atoms represented by Y may have a substituent. The substituent is not particularly limited, and examples thereof include halogen atoms, alkyl groups, cycloalkyl groups, alkenyl groups, alkoxy groups, cycloalkyloxy groups, aryl groups, aryloxy groups, arylalkyl groups, arylalkoxy groups, monovalent groups. And heterocyclic groups, alkylidene groups, amino groups, silyl groups, acyl groups, acyloxy groups, carboxy groups, sulfo groups, cyano groups, nitro groups, hydroxy groups, mercapto groups, oxo groups, and the like. A plurality of substituents may be present, and the plurality of substituents may be bonded to each other to form a ring.
置換基として用いられるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。 Examples of the halogen atom used as a substituent include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
置換基として用いられるアルキル基は、直鎖状、又は分岐状のいずれであってもよい。該アルキル基の炭素原子数は、好ましくは1〜12、より好ましくは1〜6、より好ましくは1〜3である。該アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、s−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、及びデシル基が挙げられる。 The alkyl group used as a substituent may be either linear or branched. The number of carbon atoms of the alkyl group is preferably 1 to 12, more preferably 1 to 6, and more preferably 1 to 3. Examples of the alkyl group include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, s-butyl, isobutyl, t-butyl, pentyl, hexyl, heptyl, octyl, and nonyl groups. And decyl group.
置換基として用いられるシクロアルキル基の炭素原子数は、好ましくは3〜12、より好ましくは3〜6である。該シクロアルキル基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、及びシクロヘキシル基等が挙げられる。 The number of carbon atoms of the cycloalkyl group used as a substituent is preferably 3 to 12, more preferably 3 to 6. Examples of the cycloalkyl group include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, and a cyclohexyl group.
置換基として用いられるアルケニル基の炭素原子数は、好ましくは2〜12、より好ましくは2〜6である。該アルケニル基としては、例えば、ビニル基、プロペニル基(アリル基)、1−ブテニル基、1−ヘキセニル基等が挙げられる。置換基としてのアルケニル基が複数有する場合、複数のアルケニル基は互いに結合して環を形成してもよい。例えば、炭素原子数4以上のアルケニレン基のエチレン部位に置換基として2つのビニル基を含む場合、ビニル基が互いに結合し、1,2−フェニレン基を形成してもよい。 The number of carbon atoms of the alkenyl group used as a substituent is preferably 2 to 12, more preferably 2 to 6. Examples of the alkenyl group include a vinyl group, a propenyl group (allyl group), a 1-butenyl group, and a 1-hexenyl group. When a plurality of alkenyl groups as substituents are present, the plurality of alkenyl groups may be bonded to each other to form a ring. For example, when an ethylene moiety of an alkenylene group having 4 or more carbon atoms contains two vinyl groups as substituents, the vinyl groups may be bonded to each other to form a 1,2-phenylene group.
置換基として用いられるアルコキシ基は、直鎖状又は分岐状のいずれであってもよい。該アルコキシ基の炭素原子数は、好ましくは1〜20、より好ましくは1〜12、さらに好ましくは1〜6である。該アルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ブトキシ基、s−ブトキシ基、イソブトキシ基、t−ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、ノニルオキシ基、及びデシルオキシ基が挙げられる。 The alkoxy group used as a substituent may be either linear or branched. The number of carbon atoms of the alkoxy group is preferably 1-20, more preferably 1-12, still more preferably 1-6. Examples of the alkoxy group include methoxy group, ethoxy group, propyloxy group, isopropyloxy group, butoxy group, s-butoxy group, isobutoxy group, t-butoxy group, pentyloxy group, hexyloxy group, heptyloxy group, Examples include octyloxy group, nonyloxy group, and decyloxy group.
置換基として用いられるシクロアルキルオキシ基の炭素原子数は、好ましくは3〜20、より好ましくは3〜12、さらに好ましくは3〜6である。該シクロアルキルオキシ基としては、例えば、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、及びシクロヘキシルオキシ基が挙げられる。 The number of carbon atoms of the cycloalkyloxy group used as a substituent is preferably 3 to 20, more preferably 3 to 12, and still more preferably 3 to 6. Examples of the cycloalkyloxy group include a cyclopropyloxy group, a cyclobutyloxy group, a cyclopentyloxy group, and a cyclohexyloxy group.
置換基として用いられるアリール基は、芳香族炭化水素から芳香環上の水素原子を1個除いた基である。置換基として用いられるアリール基の炭素原子数は、好ましくは6〜24、より好ましくは6〜18、さらに好ましくは6〜14、さらにより好ましくは6〜10である。該アリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、及びアントラセニル基が挙げられる。 The aryl group used as a substituent is a group obtained by removing one hydrogen atom on an aromatic ring from an aromatic hydrocarbon. The number of carbon atoms of the aryl group used as a substituent is preferably 6 to 24, more preferably 6 to 18, still more preferably 6 to 14, and even more preferably 6 to 10. Examples of the aryl group include a phenyl group, a naphthyl group, and an anthracenyl group.
置換基として用いられるアリールオキシ基の炭素原子数は、好ましくは6〜24、より好ましくは6〜18、さらに好ましくは6〜14、さらにより好ましくは6〜10である。置換基として用いられるアリールオキシ基としては、例えば、フェノキシ基、1−ナフチルオキシ基、及び2−ナフチルオキシ基が挙げられる。 The number of carbon atoms of the aryloxy group used as a substituent is preferably 6 to 24, more preferably 6 to 18, still more preferably 6 to 14, and even more preferably 6 to 10. Examples of the aryloxy group used as a substituent include a phenoxy group, a 1-naphthyloxy group, and a 2-naphthyloxy group.
置換基として用いられるアリールアルキル基の炭素原子数は、好ましくは7〜25、より好ましくは7〜19、さらに好ましくは7〜15、さらにより好ましくは7〜11である。該アリールアルキル基としては、例えば、フェニル−C1〜C12アルキル基、ナフチル−C1〜C12アルキル基、及びアントラセニル−C1〜C12アルキル基が挙げられる。 The number of carbon atoms of the arylalkyl group used as a substituent is preferably 7 to 25, more preferably 7 to 19, still more preferably 7 to 15, and even more preferably 7 to 11. Examples of the arylalkyl group include a phenyl-C 1 -C 12 alkyl group, a naphthyl-C 1 -C 12 alkyl group, and an anthracenyl-C 1 -C 12 alkyl group.
置換基として用いられるアリールアルコキシ基の炭素原子数は、好ましくは7〜25、より好ましくは7〜19、さらに好ましくは7〜15、さらにより好ましくは7〜11である。該アリールアルコキシ基としては、例えば、フェニル−C1〜C12アルコキシ基、及びナフチル−C1〜C12アルコキシ基が挙げられる。 The number of carbon atoms of the arylalkoxy group used as a substituent is preferably 7 to 25, more preferably 7 to 19, still more preferably 7 to 15, and even more preferably 7 to 11. Examples of the arylalkoxy group include a phenyl-C 1 -C 12 alkoxy group and a naphthyl-C 1 -C 12 alkoxy group.
置換基として用いられる1価の複素環基とは、複素環式化合物の複素環から水素原子1個を除いた基をいう。該1価の複素環基の炭素原子数は、好ましくは3〜21、より好ましくは3〜15、さらに好ましくは3〜9である。該1価の複素環基には、1価の芳香族複素環基(ヘテロアリール基)も含まれる。該1価の複素環としては、例えば、チエニル基、ピロリル基、フラニル基、フリル基、ピリジル基、ピリダジニル基、ピリミジル基、ピラジニル基、トリアジニル基、ピロリジル基、ピペリジル基、キノリル基、及びイソキノリル基が挙げられる。 The monovalent heterocyclic group used as a substituent refers to a group obtained by removing one hydrogen atom from a heterocyclic ring of a heterocyclic compound. The number of carbon atoms of the monovalent heterocyclic group is preferably 3-21, more preferably 3-15, and still more preferably 3-9. The monovalent heterocyclic group includes a monovalent aromatic heterocyclic group (heteroaryl group). Examples of the monovalent heterocyclic ring include thienyl group, pyrrolyl group, furanyl group, furyl group, pyridyl group, pyridazinyl group, pyrimidyl group, pyrazinyl group, triazinyl group, pyrrolidyl group, piperidyl group, quinolyl group, and isoquinolyl group. Is mentioned.
置換基として用いられるアルキリデン基とは、アルカンの同一の炭素原子から水素原子を2個除いた基をいう。該アルキリデン基の炭素原子数は、好ましくは1〜20、より好ましくは1〜14、さらに好ましくは1〜12、さらにより好ましくは1〜6、特に好ましくは1〜3である。該アルキリデン基としては、例えば、メチリデン基、エチリデン基、プロピリデン基、イソプロピリデン基、ブチリデン基、s−ブチリデン基、イソブチリデン基、t−ブチリデン基、ペンチリデン基、ヘキシリデン基、ヘプチリデン基、オクチリデン基、ノニリデン基、及びデシリデン基が挙げられる。 The alkylidene group used as a substituent refers to a group obtained by removing two hydrogen atoms from the same carbon atom of an alkane. The number of carbon atoms of the alkylidene group is preferably 1-20, more preferably 1-14, still more preferably 1-12, even more preferably 1-6, and particularly preferably 1-3. Examples of the alkylidene group include methylidene group, ethylidene group, propylidene group, isopropylidene group, butylidene group, s-butylidene group, isobutylidene group, t-butylidene group, pentylidene group, hexylidene group, heptylidene group, octylidene group, nonylidene group. Group and decylidene group.
置換基として用いられるアシル基は、式:−C(=O)−R4で表される基(式中、R4はアルキル基又はアリール基)をいう。R4で表されるアルキル基は直鎖状又は分岐状のいずれであってもよい。Rで表されるアリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、及びアントラセニル基が挙げられる。該アシル基の炭素原子数は、好ましくは2〜20、より好ましくは2〜13、さらに好ましくは2〜7である。該アシル基としては、例えば、アセチル基、プロピオニル基、ブチリル基、イソブチリル基、ピバロイル基、及びベンゾイル基が挙げられる。 The acyl group used as a substituent refers to a group represented by the formula: —C (═O) —R 4 (wherein R 4 is an alkyl group or an aryl group). The alkyl group represented by R 4 may be linear or branched. Examples of the aryl group represented by R include a phenyl group, a naphthyl group, and an anthracenyl group. The number of carbon atoms of the acyl group is preferably 2 to 20, more preferably 2 to 13, and further preferably 2 to 7. Examples of the acyl group include an acetyl group, a propionyl group, a butyryl group, an isobutyryl group, a pivaloyl group, and a benzoyl group.
置換基として用いられるアシルオキシ基は、式:−O−C(=O)−R5で表される基(式中、R5はアルキル基又はアリール基)をいう。Rで表されるアルキル基は直鎖状又は分岐状のいずれであってもよい。R5で表されるアリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、及びアントラセニル基が挙げられる。該アシルオキシ基の炭素原子数は、好ましくは2〜20、より好ましくは2〜13、さらに好ましくは2〜7である。該アシルオキシ基としては、例えば、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基、イソブチリルオキシ基、ピバロイルオキシ基、及びベンゾイルオキシ基が挙げられる。 The acyloxy group used as a substituent refers to a group represented by the formula: —O—C (═O) —R 5 (wherein R 5 is an alkyl group or an aryl group). The alkyl group represented by R may be linear or branched. Examples of the aryl group represented by R 5 include a phenyl group, a naphthyl group, and an anthracenyl group. The number of carbon atoms of the acyloxy group is preferably 2 to 20, more preferably 2 to 13, and further preferably 2 to 7. Examples of the acyloxy group include an acetoxy group, a propionyloxy group, a butyryloxy group, an isobutyryloxy group, a pivaloyloxy group, and a benzoyloxy group.
上述の置換基は、さらに置換基(以下、「二次置換基」という場合がある。)を有していてもよい。二次置換基としては、特に記載のない限り、上述の置換基と同じものを用いてよい。 The above-described substituent may further have a substituent (hereinafter sometimes referred to as “secondary substituent”). As the secondary substituent, the same substituents as described above may be used unless otherwise specified.
R1は、置換基を有していてもよい炭素原子数1〜6のアルキル基を表し、複数のR1は同一であってもよく、異なっていてもよい。置換基を有していてもよい炭素原子数1〜6のアルキル基は、直鎖状、又は分岐状のいずれであってもよい。炭素原子数1〜6のアルキル基としては、炭素原子数1〜4のアルキル基が好ましく、炭素原子数1〜3のアルキル基がより好ましい。炭素原子数1〜6のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、n−ブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、n−ヘキシル基等が挙げられ、メチル基、エチル基、プロピル基、n−ブチル基が好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基がより好ましく、メチル基、エチル基がさらに好ましい。 R 1 represents an optionally substituted alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and a plurality of R 1 may be the same or different. The alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a substituent may be either linear or branched. As the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms is preferable, and an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms is more preferable. Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms include methyl group, ethyl group, propyl group, n-butyl group, t-butyl group, pentyl group, n-hexyl group, and the like. , A propyl group and an n-butyl group are preferred, a methyl group, an ethyl group and a propyl group are more preferred, and a methyl group and an ethyl group are more preferred.
R1が表す、炭素原子数1〜6のアルキル基は置換基を有していてもよい。置換基としては、Yが表す炭素原子数4以上のアルキレン基が有していてもよい置換基と同様であり、好ましい範囲も同様である。 The alkyl group having 1 to 6 carbon atoms represented by R 1 may have a substituent. The substituent is the same as the substituent which the alkylene group having 4 or more carbon atoms represented by Y may have, and the preferred range is also the same.
一般式(1)で表される化合物の具体例としては、8−グリシドキシオクチルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−8−アミノオクチルトリメトキシシラン、N−フェニル−8−アミノオクチル−トリメトキシシラン、3−(2−グリシジルフェニル)プロピルトリメトキシシラン、6−ビニルヘキシルトリメトキシシラン、8−メタクリロイルオキシオクチルトリメトキシシラン等を挙げることができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。 Specific examples of the compound represented by the general formula (1) include 8-glycidoxyoctyltrimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -8-aminooctyltrimethoxysilane, and N-phenyl-8-amino. Examples include octyl-trimethoxysilane, 3- (2-glycidylphenyl) propyltrimethoxysilane, 6-vinylhexyltrimethoxysilane, and 8-methacryloyloxyoctyltrimethoxysilane, but the present invention is not limited to these. It is not something.
一般式(2)で表される化合物は以下の構造を有する。
(R2O)3Si−Z−Si(OR3)3 ・・・(2)
(Zは、置換基を有していてもよいアルキレン基、−NR−、酸素原子、硫黄原子、又はこれらの2以上の組み合わせからなる基を表し、Rは、水素原子、又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表し、R2及びR3は、それぞれ独立に置換基を有していてもよい炭素原子数1〜6のアルキル基を表し、複数のR2及びR3は同一であってもよく、異なっていてもよい。)
The compound represented by the general formula (2) has the following structure.
(R 2 O) 3 Si—Z—Si (OR 3 ) 3 (2)
(Z represents an alkylene group which may have a substituent, —NR—, an oxygen atom, a sulfur atom, or a group consisting of a combination of two or more thereof, and R is a hydrogen atom or a carbon atom having 1 carbon atom. Represents an alkyl group of ˜3, R 2 and R 3 each independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a substituent, and a plurality of R 2 and R 3 are the same. Or it may be different.)
Zは、置換基を有していてもよいアルキレン基、−NR−、酸素原子、硫黄原子、又はこれらの2以上の組み合わせからなる基を表し、Rは、水素原子、又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表す。Zの主鎖は長鎖であることが好ましく、主鎖を構成する原子数(両末端のケイ素原子間の主鎖の原子数)は、好ましくは4以上、より好ましくは5以上、さらに好ましくは6以上である。上限については特に限定されないが、好ましくは20以下、より好ましくは15以下、さらに好ましくは10以下、又は9以下である。主鎖を構成する原子数が4未満であると、樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層の反り量がリフロー時に大きくなるとともに、最低溶融粘度が高くなり、回路埋め込み性が劣ってしまう場合がある。Zの主鎖を構成する原子とは、アルキレン基の主鎖の炭素原子、−NR−の窒素原子、酸素原子、及び硫黄原子を示す。 Z represents an alkylene group which may have a substituent, -NR-, an oxygen atom, a sulfur atom, or a group consisting of a combination of two or more thereof, and R represents a hydrogen atom or a carbon atom number of 1 to Represents an alkyl group of 3; The main chain of Z is preferably a long chain, and the number of atoms constituting the main chain (the number of main chain atoms between silicon atoms at both ends) is preferably 4 or more, more preferably 5 or more, and still more preferably 6 or more. Although it does not specifically limit about an upper limit, Preferably it is 20 or less, More preferably, it is 15 or less, More preferably, it is 10 or less, or 9 or less. When the number of atoms constituting the main chain is less than 4, the amount of warping of the insulating layer formed by the cured product of the resin composition becomes large at the time of reflow, the minimum melt viscosity becomes high, and the circuit embedding property becomes poor. There is a case. The atom constituting the main chain of Z represents a carbon atom of the main chain of the alkylene group, a nitrogen atom of -NR-, an oxygen atom, and a sulfur atom.
Zが、置換基を有していてもよいアルキレン基を表す場合、置換基を有していてもよいアルキレン基の炭素原子数としては、好ましくは4以上、より好ましくは5以上、さらに好ましくは6以上である。上限については特に限定されないが、好ましくは20以下、より好ましくは15以下、さらに好ましくは10以下、又は9以下である。該アルキレン基の具体例及び好ましい範囲等は、一般式(1)のYが表す炭素原子数4以上のアルキレン基と同様である。 When Z represents an alkylene group which may have a substituent, the number of carbon atoms of the alkylene group which may have a substituent is preferably 4 or more, more preferably 5 or more, and still more preferably 6 or more. Although it does not specifically limit about an upper limit, Preferably it is 20 or less, More preferably, it is 15 or less, More preferably, it is 10 or less, or 9 or less. Specific examples and preferred ranges of the alkylene group are the same as those of the alkylene group having 4 or more carbon atoms represented by Y in the general formula (1).
Zが、上記2以上の組み合わせからなる基を表す場合、2以上の組み合わせからなる基を構成するアルキレン基の炭素原子数としては、好ましくは1〜10、より好ましくは1〜6、さらに好ましくは1〜3である。このようなアルキレン基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基、ヘキシレン基などが挙げられ、メチレン基、エチレン基、プロピレン基が好ましく、エチレン基、プロピレン基が好ましい。置換基を有していてもよいアルキレン基は、直鎖状、又は分岐状のいずれであってもよい。 When Z represents a group consisting of the above two or more combinations, the number of carbon atoms of the alkylene group constituting the group consisting of two or more combinations is preferably 1 to 10, more preferably 1 to 6, and even more preferably. 1-3. Examples of such an alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a butylene group, a pentylene group, and a hexylene group. A methylene group, an ethylene group, and a propylene group are preferable, and an ethylene group and a propylene group are preferable. . The alkylene group which may have a substituent may be linear or branched.
上記2以上の組み合わせからなる基としては、置換基を有していてもよいアルキレン基と−NR−が結合したもの、複数の置換基を有していてもよいアルキレン基と複数の−NR−が交互に結合したもの、置換基を有していてもよいアルキレン基と酸素原子が結合したもの、置換基を有していてもよいアルキレン基と硫黄原子が結合したもの等が挙げられ、置換基を有していてもよいアルキレン基と−NR−が結合したもの、複数の置換基を有していてもよいアルキレン基と複数の−NR−が交互に結合したもの、即ち置換基を有していてもよいアルキレン基と−NR−との組み合わせからなる基が好ましい。上記2以上の組み合わせからなる基の具体例としては以下の基を挙げることができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
Rは、水素原子、又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表す。Rは、一般式(1)のRと同義であり、好ましい範囲も同様である。 R represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms. R is synonymous with R of General formula (1), and its preferable range is also the same.
R2及びR3は、それぞれ独立に置換基を有していてもよい炭素原子数1〜6のアルキル基を表し、複数のR2及びR3は同一であってもよく、異なっていてもよい。R2及びR3は、一般式(1)のR1と同義であり、好ましい範囲も同様である。 R 2 and R 3 each independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms that may have a substituent, and a plurality of R 2 and R 3 may be the same or different. Good. R 2 and R 3 have the same meaning as R 1 in the general formula (1), and the preferred range is also the same.
一般式(2)で表される化合物の具体例としては、ビストリメトキシシリルヘキサン、ビストリメトキシシリルオクタン、ビス(トリメトキシシリルプロピル)エチレンジアミン等を挙げることができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。 Specific examples of the compound represented by the general formula (2) include bistrimethoxysilylhexane, bistrimethoxysilyloctane, and bis (trimethoxysilylpropyl) ethylenediamine, but the present invention is limited to these. It is not a thing.
一般式(1)で表される化合物、及び一般式(2)で表される化合物は、市販品を用いてもよく、公知の合成方法を用いて合成してもよい。 A commercial item may be used for the compound represented by General formula (1), and the compound represented by General formula (2), and you may synthesize | combine using a well-known synthesis method.
表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の分散性向上の観点から、(C)成分100質量部に対して、0.2質量部〜2質量部の表面処理剤で表面処理されていることが好ましく、0.2質量部〜1質量部で表面処理されていることが好ましく、0.3質量部〜0.8質量部で表面処理されていることが好ましい。 The degree of the surface treatment with the surface treatment agent is 0.2 to 2 parts by mass of the surface treatment agent with respect to 100 parts by mass of component (C) from the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler. The surface treatment is preferably performed at 0.2 parts by mass to 1 part by mass, and preferably at 0.3 parts by mass to 0.8 parts by mass.
表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.05mg/m2以上が好ましく、0.1mg/m2以上がより好ましく、0.2mg/m2以上が更に好ましい。一方、樹脂ワニスの溶融粘度やシート形態での溶融粘度の上昇を防止する観点から、1mg/m2以下が好ましく、0.8mg/m2以下がより好ましく、0.5mg/m2以下が更に好ましい。 The degree of surface treatment with the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. From the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler, the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler is preferably 0.05 mg / m 2 or more, more preferably 0.1 mg / m 2 or more, and 0.2 mg / m 2. The above is more preferable. On the other hand, 1 mg / m 2 or less is preferable, 0.8 mg / m 2 or less is more preferable, and 0.5 mg / m 2 or less is more preferable from the viewpoint of preventing an increase in the melt viscosity of the resin varnish or the sheet form. preferable.
無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、(株)堀場製作所製「EMIA−320V」等を使用することができる。 The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured after the surface-treated inorganic filler is washed with a solvent (for example, methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler surface-treated with the surface treatment agent and ultrasonically cleaned at 25 ° C. for 5 minutes. After removing the supernatant and drying the solid, the carbon amount per unit surface area of the inorganic filler can be measured using a carbon analyzer. As the carbon analyzer, “EMIA-320V” manufactured by Horiba, Ltd. can be used.
無機充填材は、一般式(1)で表される化合物及び一般式(2)で表される化合物からなる群から選択される表面処理剤に加えて、さらに他の表面処理剤で表面処理されていてもよい。他の表面処理剤としては、例えば、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等が挙げられる。このような他の表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業(株)製「KBM403」(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM803」(3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBE903」(3−アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM573」(N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「SZ−31」(ヘキサメチルジシラザン)、信越化学工業(株)製「KBM103」(フェニルトリメトキシシラン)等が挙げられる。 In addition to the surface treatment agent selected from the group consisting of the compound represented by the general formula (1) and the compound represented by the general formula (2), the inorganic filler is further surface-treated with another surface treatment agent. It may be. Examples of other surface treatment agents include aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, mercaptosilane coupling agents, silane coupling agents, organosilazane compounds, and titanate coupling agents. Examples of such commercially available surface treatment agents include “KBM403” (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. and “KBM803” (3 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). -Mercaptopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. “KBE903” (3-aminopropyltriethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. “KBM573” (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane) ), “SZ-31” (hexamethyldisilazane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “KBM103” (phenyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and the like.
樹脂組成物中の無機充填材の含有量は、熱膨張率の低い絶縁層を得る観点から、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、さらに好ましくは70質量%以上である。樹脂組成物中の無機充填材の含有量の上限は、絶縁層の機械強度の観点から、好ましくは95質量%以下、より好ましくは90質量%以下、さらに好ましくは85質量%以下、80質量%以下、又は75質量%以下である。 The content of the inorganic filler in the resin composition is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and still more preferably 70% by mass or more from the viewpoint of obtaining an insulating layer having a low coefficient of thermal expansion. The upper limit of the content of the inorganic filler in the resin composition is preferably 95% by mass or less, more preferably 90% by mass or less, still more preferably 85% by mass or less, and 80% by mass from the viewpoint of the mechanical strength of the insulating layer. Or 75% by mass or less.
<(D)熱可塑性樹脂>
本発明の樹脂組成物は、(A)〜(C)成分の他に(D)熱可塑性樹脂(以下、(D)成分ともいう)を含有することが好ましい。
<(D) Thermoplastic resin>
The resin composition of the present invention preferably contains (D) a thermoplastic resin (hereinafter also referred to as (D) component) in addition to the components (A) to (C).
熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂が挙げられ、フェノキシ樹脂が好ましい。熱可塑性樹脂は、1種単独で用いてもよく、又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of the thermoplastic resin include phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyolefin resin, polybutadiene resin, polyimide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, polysulfone resin, polyethersulfone resin, polyphenylene ether resin, polycarbonate resin, and polyether. Examples include ether ketone resins and polyester resins, and phenoxy resins are preferred. A thermoplastic resin may be used individually by 1 type, or may be used in combination of 2 or more type.
熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は8,000〜70,000の範囲が好ましく、10,000〜60,000の範囲がより好ましく、20,000〜60,000の範囲がさらに好ましい。熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法で測定される。具体的には、熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、測定装置として(株)島津製作所製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工(株)製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度を40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。 The weight average molecular weight in terms of polystyrene of the thermoplastic resin is preferably in the range of 8,000 to 70,000, more preferably in the range of 10,000 to 60,000, and still more preferably in the range of 20,000 to 60,000. The weight average molecular weight in terms of polystyrene of the thermoplastic resin is measured by a gel permeation chromatography (GPC) method. Specifically, the polystyrene-reduced weight average molecular weight of the thermoplastic resin is LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, and Shodex K-800P / K- manufactured by Showa Denko KK as a column. 804L / K-804L can be calculated using a standard polystyrene calibration curve by measuring the column temperature at 40 ° C. using chloroform or the like as a mobile phase.
フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。フェノキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。フェノキシ樹脂の具体例としては、三菱化学(株)製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂)、「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂)、及び「YX6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂)が挙げられ、その他にも、新日鉄住金化学(株)製の「FX280」及び「FX293」、三菱化学(株)製の「YX6954BH30」、「YX7553」、「YX7553BH30」、「YL7769BH30」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」及び「YL7482」等が挙げられる。 Examples of the phenoxy resin include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenolacetophenone skeleton, novolac skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantane skeleton, terpene Examples thereof include phenoxy resins having a skeleton and one or more skeletons selected from the group consisting of a trimethylcyclohexane skeleton. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group. A phenoxy resin may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. Specific examples of the phenoxy resin include “1256” and “4250” (both bisphenol A skeleton-containing phenoxy resin), “YX8100” (bisphenol S skeleton-containing phenoxy resin), and “YX6954” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation). In addition, "FX280" and "FX293" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., "YX6954BH30", "YX7553", "YX7553BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, “YL7769BH30”, “YL6794”, “YL7213”, “YL7290”, “YL7482” and the like.
ポリビニルアセタール樹脂としては、例えば、ポリビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂が挙げられ、ポリビニルブチラール樹脂が好ましい。ポリビニルアセタール樹脂の具体例としては、例えば、電気化学工業(株)製の「電化ブチラール4000−2」、「電化ブチラール5000−A」、「電化ブチラール6000−C」、「電化ブチラール6000−EP」、積水化学工業(株)製のエスレックBHシリーズ、BXシリーズ、KSシリーズ、BLシリーズ、BMシリーズ等が挙げられる。 Examples of the polyvinyl acetal resin include a polyvinyl formal resin and a polyvinyl butyral resin, and a polyvinyl butyral resin is preferable. Specific examples of the polyvinyl acetal resin include, for example, “Electrical butyral 4000-2”, “Electrical butyral 5000-A”, “Electrical butyral 6000-C”, and “Electrical butyral 6000-EP” manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd. Sekisui Chemical Co., Ltd.'s S-REC BH series, BX series, KS series, BL series, BM series and the like.
ポリイミド樹脂の具体例としては、新日本理化(株)製の「リカコートSN20」及び「リカコートPN20」が挙げられる。ポリイミド樹脂の具体例としてはまた、2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、ジイソシアネート化合物及び四塩基酸無水物を反応させて得られる線状ポリイミド(特開2006−37083号公報記載のポリイミド)、ポリシロキサン骨格含有ポリイミド(特開2002−12667号公報及び特開2000−319386号公報等に記載のポリイミド)等の変性ポリイミドが挙げられる。 Specific examples of the polyimide resin include “Rika Coat SN20” and “Rika Coat PN20” manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd. Specific examples of the polyimide resin include linear polyimide obtained by reacting a bifunctional hydroxyl group-terminated polybutadiene, a diisocyanate compound and a tetrabasic acid anhydride (polyimide described in JP-A-2006-37083), a polysiloxane skeleton. Examples thereof include modified polyimides such as containing polyimide (polyimides described in JP-A Nos. 2002-12667 and 2000-319386).
ポリアミドイミド樹脂の具体例としては、東洋紡績(株)製の「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。ポリアミドイミド樹脂の具体例としてはまた、日立化成工業(株)製の「KS9100」、「KS9300」(ポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド)等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。 Specific examples of the polyamide-imide resin include “Bilomax HR11NN” and “Bilomax HR16NN” manufactured by Toyobo Co., Ltd. Specific examples of the polyamideimide resin also include modified polyamideimides such as “KS9100” and “KS9300” (polysiloxane skeleton-containing polyamideimide) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.
ポリエーテルスルホン樹脂の具体例としては、住友化学(株)製の「PES5003P」等が挙げられる。 Specific examples of the polyethersulfone resin include “PES5003P” manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.
ポリスルホン樹脂の具体例としては、ソルベイアドバンストポリマーズ(株)製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。 Specific examples of the polysulfone resin include polysulfone “P1700” and “P3500” manufactured by Solvay Advanced Polymers Co., Ltd.
中でも、熱可塑性樹脂としては、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂が好ましい。したがって好適な一実施形態において、(D)成分は、フェノキシ樹脂及びポリビニルアセタール樹脂からなる群から選択される1種以上を含む。 Of these, phenoxy resin and polyvinyl acetal resin are preferable as the thermoplastic resin. Therefore, in one suitable embodiment, (D) component contains 1 or more types selected from the group which consists of a phenoxy resin and polyvinyl acetal resin.
樹脂組成物中の熱可塑性樹脂の含有量は、好ましくは0.1質量%〜20質量%、より好ましくは0.5質量%〜10質量%、さらに好ましくは1質量%〜5質量%である。 The content of the thermoplastic resin in the resin composition is preferably 0.1% by mass to 20% by mass, more preferably 0.5% by mass to 10% by mass, and further preferably 1% by mass to 5% by mass. .
<(E)硬化促進剤>
本発明の樹脂組成物は、(A)〜(C)成分の他に(E)硬化促進剤(以下、(E)成分ともいう)を含有することが好ましい。
<(E) Curing accelerator>
The resin composition of the present invention preferably contains (E) a curing accelerator (hereinafter also referred to as (E) component) in addition to the components (A) to (C).
硬化促進剤としては、例えば、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤等が挙げられ、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤が好ましく、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤がより好ましい。硬化促進剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of the curing accelerator include phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, and imidazole-based accelerators. A curing accelerator is preferable, and an amine-based curing accelerator and an imidazole-based curing accelerator are more preferable. A hardening accelerator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.
リン系硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、ホスホニウムボレート化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、n−ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4−メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等が挙げられ、トリフェニルホスフィン、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩が好ましい。 Examples of phosphorus curing accelerators include triphenylphosphine, phosphonium borate compounds, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium decanoate, (4-methylphenyl) triphenylphosphonium thiocyanate. , Tetraphenylphosphonium thiocyanate, butyltriphenylphosphonium thiocyanate and the like, and triphenylphosphine and tetrabutylphosphonium decanoate are preferable.
アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミンなどのトリアルキルアミン、4−ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセン等が挙げられ、4−ジメチルアミノピリジン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセンが好ましい。 Examples of amine curing accelerators include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6, -tris (dimethylaminomethyl) phenol, 1,8-diazabicyclo. (5,4,0) -undecene and the like are mentioned, and 4-dimethylaminopyridine and 1,8-diazabicyclo (5,4,0) -undecene are preferable.
イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3−ジヒドロ−1H−ピロロ[1,2−a]ベンズイミダゾール、1−ドデシル−2−メチル−3−ベンジルイミダゾリウムクロライド、2−メチルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられ、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾールが好ましい。 Examples of the imidazole curing accelerator include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl- 2 Phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-ethyl-4′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino- 6- [2′-Methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl- 4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo [1,2-a] benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl Examples include imidazole compounds such as 3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline, and 2-phenylimidazoline, and adducts of imidazole compounds and epoxy resins, such as 2-ethyl-4-methylimidazole and 1-benzyl-2-phenyl. Imidazole is preferred.
イミダゾール系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三菱化学(株)製の「P200−H50」等が挙げられる。 Commercially available products may be used as the imidazole curing accelerator, and examples thereof include “P200-H50” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.
グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1−メチルグアニジン、1−エチルグアニジン、1−シクロヘキシルグアニジン、1−フェニルグアニジン、1−(o−トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、7−メチル−1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン、1−メチルビグアニド、1−エチルビグアニド、1−n−ブチルビグアニド、1−n−オクタデシルビグアニド、1,1−ジメチルビグアニド、1,1−ジエチルビグアニド、1−シクロヘキシルビグアニド、1−アリルビグアニド、1−フェニルビグアニド、1−(o−トリル)ビグアニド等が挙げられ、ジシアンジアミド、1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エンが好ましい。 Examples of the guanidine curing accelerator include dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1- (o-tolyl) guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, trimethylguanidine, Tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] Deca-5-ene, 1-methyl biguanide, 1-ethyl biguanide, 1-n-butyl biguanide, 1-n-octadecyl biguanide, 1,1-dimethyl biguanide, 1,1-diethyl biguanide, 1-cyclohexyl biguanide, 1 -Allyl biguanide, 1-phenyl biguanide, 1- ( - tolyl) biguanide, and the like, dicyandiamide, 1,5,7-triazabicyclo [4.4.0] dec-5-ene are preferred.
樹脂組成物中の硬化促進剤の含有量は特に限定されないが、エポキシ樹脂と硬化剤の不揮発成分合計量を100質量%としたとき、0.05質量%〜3質量%の範囲で使用することが好ましい。 The content of the curing accelerator in the resin composition is not particularly limited, but when the total amount of the nonvolatile components of the epoxy resin and the curing agent is 100% by mass, it should be used in the range of 0.05% by mass to 3% by mass. Is preferred.
<(F)難燃剤>
本発明の樹脂組成物は、難燃剤(以下、(F)成分ともいう)を含んでもよい。難燃剤としては、例えば、有機リン系難燃剤、有機系窒素含有リン化合物、窒素化合物、シリコーン系難燃剤、金属水酸化物等が挙げられる。難燃剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
<(F) Flame retardant>
The resin composition of the present invention may contain a flame retardant (hereinafter also referred to as component (F)). Examples of the flame retardant include an organic phosphorus flame retardant, an organic nitrogen-containing phosphorus compound, a nitrogen compound, a silicone flame retardant, and a metal hydroxide. A flame retardant may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.
難燃剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三光(株)製の「HCA−HQ」等が挙げられる。 Commercially available products may be used as the flame retardant, and examples thereof include “HCA-HQ” manufactured by Sanko Co., Ltd.
樹脂組成物中の難燃剤の含有量は特に限定されないが、好ましくは0.5質量%〜20質量%、より好ましくは0.5質量%〜15質量%、さらに好ましくは0.5質量%〜10質量%がさらに好ましい。 The content of the flame retardant in the resin composition is not particularly limited, but is preferably 0.5% by mass to 20% by mass, more preferably 0.5% by mass to 15% by mass, and even more preferably 0.5% by mass to 10 mass% is more preferable.
<(G)有機充填材>
樹脂組成物は、伸びを向上させる観点から、さらに有機充填材(以下、(G)成分ともいう)を含んでもよい。(G)成分としては、プリント配線板の絶縁層を形成するに際し使用し得る任意の有機充填材を使用してよく、例えば、ゴム粒子、ポリアミド微粒子、シリコーン粒子等が挙げられる。
<(G) Organic filler>
The resin composition may further contain an organic filler (hereinafter also referred to as (G) component) from the viewpoint of improving elongation. As the component (G), any organic filler that can be used for forming an insulating layer of a printed wiring board may be used, and examples thereof include rubber particles, polyamide fine particles, and silicone particles.
ゴム粒子としては、市販品を用いてもよく、例えば、ダウ・ケミカル日本(株)製の「EXL−2655」、ガンツ化成(株)製の「AC3816N」等が挙げられる。 As the rubber particles, commercially available products may be used. Examples thereof include “EXL-2655” manufactured by Dow Chemical Japan Co., Ltd., “AC3816N” manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., and the like.
樹脂組成物中の(G)成分の含有量は、好ましくは0.1質量%〜20質量%、より好ましくは0.2質量%〜10質量%、さらに好ましくは0.3質量%〜5質量%、又は0.5質量%〜3質量%である。 The content of the component (G) in the resin composition is preferably 0.1% by mass to 20% by mass, more preferably 0.2% by mass to 10% by mass, and further preferably 0.3% by mass to 5% by mass. %, Or 0.5 mass% to 3 mass%.
樹脂組成物は、さらに必要に応じて、他の添加剤を含んでいてもよく、斯かる他の添加剤としては、例えば、有機銅化合物、有機亜鉛化合物及び有機コバルト化合物等の有機金属化合物、アクリレート樹脂(例えばダイセル・オルネクス(株)製の(ACA)Z251、共栄社化学(株)製のライトアクリレートDCP−A等)、フォスフィンオキサイド化合物(例えばBASFジャパン(株)製のI819等)、増粘剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤、並びに着色剤等の樹脂添加剤等が挙げられる。 The resin composition may further contain other additives as necessary. Examples of such other additives include organic metal compounds such as organic copper compounds, organic zinc compounds, and organic cobalt compounds, Acrylate resin (for example, (ACA) Z251 manufactured by Daicel Ornex Co., Ltd., light acrylate DCP-A manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), phosphine oxide compound (for example, I819 manufactured by BASF Japan Ltd.), etc. Examples thereof include resin additives such as a sticking agent, an antifoaming agent, a leveling agent, an adhesion imparting agent, and a coloring agent.
本発明の樹脂組成物は、良好なリフロー挙動を示す絶縁層をもたらす。したがって本発明の樹脂組成物は、プリント配線板の絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物)として好適に使用することができ、プリント配線板の層間絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の層間絶縁層用樹脂組成物)としてより好適に使用することができる。 The resin composition of the present invention provides an insulating layer that exhibits good reflow behavior. Therefore, the resin composition of the present invention can be suitably used as a resin composition for forming an insulating layer of a printed wiring board (resin composition for an insulating layer of a printed wiring board), and interlayer insulation of the printed wiring board. It can be more suitably used as a resin composition for forming a layer (a resin composition for an interlayer insulating layer of a printed wiring board).
[シート状積層材料]
本発明の樹脂組成物は、ワニス状態で塗布して使用することもできるが、工業的には一般に、該樹脂組成物で形成された樹脂組成物層を含むシート状積層材料の形態で用いることが好適である。
[Sheet laminated material]
The resin composition of the present invention can be used by being applied in a varnish state, but industrially generally, it is used in the form of a sheet-like laminate material including a resin composition layer formed of the resin composition. Is preferred.
シート状積層材料としては、以下に示す接着フィルム、プリプレグが好ましい。 As the sheet-like laminated material, the following adhesive films and prepregs are preferable.
一実施形態において、接着フィルムは、支持体と、該支持体と接合している樹脂組成物層(接着層)とを含んでなり、樹脂組成物層(接着層)が本発明の樹脂組成物から形成される。 In one embodiment, the adhesive film includes a support and a resin composition layer (adhesive layer) bonded to the support, and the resin composition layer (adhesive layer) is the resin composition of the present invention. Formed from.
樹脂組成物層の厚さは、プリント配線板の薄型化の観点から、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm以下、さらに好ましくは60μm以下、さらにより好ましくは50μm以下又は40μm以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、通常、1μm以上、5μm以上、10μm以上等とし得る。 The thickness of the resin composition layer is preferably 100 μm or less, more preferably 80 μm or less, still more preferably 60 μm or less, and even more preferably 50 μm or less or 40 μm or less, from the viewpoint of reducing the thickness of the printed wiring board. Although the minimum of the thickness of a resin composition layer is not specifically limited, Usually, it may be 1 micrometer or more, 5 micrometers or more, 10 micrometers or more, etc.
支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。 Examples of the support include a film made of a plastic material, a metal foil, and a release paper, and a film made of a plastic material and a metal foil are preferable.
支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート(以下「PEN」と略称することがある。)等のポリエステル、ポリカーボネート(以下「PC」と略称することがある。)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミド等が挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。 When a film made of a plastic material is used as the support, examples of the plastic material include polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as “PET”) and polyethylene naphthalate (hereinafter abbreviated as “PEN”). .) Polyester, polycarbonate (hereinafter sometimes abbreviated as “PC”), polymethyl methacrylate (PMMA) and other acrylics, cyclic polyolefin, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether Examples include ketones and polyimides. Among these, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferable.
支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。 When using metal foil as a support body, as metal foil, copper foil, aluminum foil, etc. are mentioned, for example, Copper foil is preferable. As the copper foil, a foil made of a single metal of copper may be used, and a foil made of an alloy of copper and another metal (for example, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.). It may be used.
支持体は、樹脂組成物層と接合する面にマット処理、コロナ処理を施してあってもよい。 The support may be subjected to mat treatment or corona treatment on the surface to be bonded to the resin composition layer.
また、支持体としては、樹脂組成物層と接合する面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型層付き支持体は、市販品を用いてもよく、例えば、アルキド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムである、リンテック(株)製の「SK−1」、「AL−5」、「AL−7」、東レ(株)製「ルミラーT6AM」等が挙げられる。 Moreover, as a support body, you may use the support body with a release layer which has a release layer in the surface joined to a resin composition layer. Examples of the release agent used for the release layer of the support with a release layer include one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, urethane resins, and silicone resins. . As the support with a release layer, a commercially available product may be used. For example, “SK-1” manufactured by Lintec Corporation, which is a PET film having a release layer mainly composed of an alkyd resin release agent. , “AL-5”, “AL-7”, “Lumirror T6AM” manufactured by Toray Industries, Inc., and the like.
支持体の厚みとしては、特に限定されないが、5μm〜75μmの範囲が好ましく、10μm〜60μmの範囲がより好ましい。なお、離型層付き支持体を使用する場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。 Although it does not specifically limit as thickness of a support body, The range of 5 micrometers-75 micrometers is preferable, and the range of 10 micrometers-60 micrometers is more preferable. In addition, when using a support body with a release layer, it is preferable that the thickness of the whole support body with a release layer is the said range.
接着フィルムは、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーター等を用いて支持体上に塗布し、更に乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。 For the adhesive film, for example, a resin varnish obtained by dissolving a resin composition in an organic solvent is prepared, and this resin varnish is applied onto a support using a die coater or the like, and further dried to form a resin composition layer. Can be manufactured.
有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(MEK)及びシクロヘキサノン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル類、セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール類、トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びN−メチルピロリドン等のアミド系溶媒等を挙げることができる。有機溶剤は1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。 Examples of the organic solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone, acetates such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate, cellosolve and butyl carbitol, etc. Carbitols, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc), and N-methylpyrrolidone. An organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.
乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の方法により実施してよい。乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層中の有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。樹脂ワニス中の有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%〜60質量%の有機溶剤を含む樹脂ワニスを用いる場合、50℃〜150℃で3分間〜10分間乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。 Drying may be performed by a known method such as heating or hot air blowing. The drying conditions are not particularly limited, but the drying is performed so that the content of the organic solvent in the resin composition layer is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Depending on the boiling point of the organic solvent in the resin varnish, for example, when using a resin varnish containing 30% by mass to 60% by mass of the organic solvent, the resin composition is dried at 50 ° C. to 150 ° C. for 3 minutes to 10 minutes. A physical layer can be formed.
接着フィルムにおいて、樹脂組成物層の支持体と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)には、支持体に準じた保護フィルムをさらに積層することができる。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、1μm〜40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを防止することができる。接着フィルムは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。接着フィルムが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。 In the adhesive film, a protective film according to the support can be further laminated on the surface of the resin composition layer that is not joined to the support (that is, the surface opposite to the support). Although the thickness of a protective film is not specifically limited, For example, they are 1 micrometer-40 micrometers. By laminating the protective film, it is possible to prevent dust and the like from being attached to the surface of the resin composition layer and scratches. The adhesive film can be stored in a roll. When an adhesive film has a protective film, it can be used by peeling off the protective film.
一実施形態において、プリプレグは、シート状繊維基材に本発明の樹脂組成物を含浸させて形成される。 In one embodiment, the prepreg is formed by impregnating the sheet-like fiber base material with the resin composition of the present invention.
プリプレグに用いるシート状繊維基材は特に限定されず、ガラスクロス、アラミド不織布、液晶ポリマー不織布等のプリプレグ用基材として常用されているものを用いることができる。プリント配線板の薄型化の観点から、シート状繊維基材の厚さは、好ましくは50μm以下であり、より好ましくは40μm以下、さらに好ましくは30μm以下、さらにより好ましくは20μm以下である。シート状繊維基材の厚さの下限は特に限定されないが、通常、10μm以上である。 The sheet-like fiber base material used for a prepreg is not specifically limited, What is used normally as base materials for prepregs, such as a glass cloth, an aramid nonwoven fabric, a liquid crystal polymer nonwoven fabric, can be used. From the viewpoint of reducing the thickness of the printed wiring board, the thickness of the sheet-like fiber substrate is preferably 50 μm or less, more preferably 40 μm or less, still more preferably 30 μm or less, and even more preferably 20 μm or less. Although the minimum of the thickness of a sheet-like fiber base material is not specifically limited, Usually, it is 10 micrometers or more.
プリプレグは、ホットメルト法、ソルベント法等の公知の方法により製造することができる。 The prepreg can be produced by a known method such as a hot melt method or a solvent method.
プリプレグの厚さは、上述の接着フィルムにおける樹脂組成物層と同様の範囲とし得る。 The thickness of the prepreg can be in the same range as the resin composition layer in the adhesive film described above.
シート状積層材料における樹脂組成物層の最低溶融粘度は、良好な回路埋め込み性を得る観点から、6000poise(600Pa・s)以下が好ましく、5000poise(500Pa・s)以下がより好ましく、4000poise(400Pa・s)以下、3500poise(350Pa・s)以下、又は3000poise(300Pa・s)以下がさらに好ましい。該最低溶融粘度の下限は、100poise(10Pa・s)以上が好ましく、200poise(20Pa・s)以上がより好ましく、250poise(25Pa・s)以上がさらに好ましい。 The minimum melt viscosity of the resin composition layer in the sheet-shaped laminated material is preferably 6000 poise (600 Pa · s) or less, more preferably 5000 poise (500 Pa · s) or less, and 4000 poise (400 Pa · s) from the viewpoint of obtaining good circuit embedding properties. s) or less, 3500 poise (350 Pa · s) or less, or 3000 poise (300 Pa · s) or less is more preferable. The lower limit of the minimum melt viscosity is preferably 100 poise (10 Pa · s) or more, more preferably 200 poise (20 Pa · s) or more, and further preferably 250 poise (25 Pa · s) or more.
樹脂組成物層の最低溶融粘度とは、樹脂組成物層の樹脂が溶融した際に樹脂組成物層が呈する最低の粘度をいう。詳細には、一定の昇温速度で樹脂組成物層を加熱して樹脂を溶融させると、初期の段階は溶融粘度が温度上昇とともに低下し、その後、ある程度を超えると温度上昇とともに溶融粘度が上昇する。最低溶融粘度とは、斯かる極小点の溶融粘度をいう。樹脂組成物層の最低溶融粘度は、動的粘弾性法により測定することができ、例えば、後述する<最低溶融粘度の測定>に記載の方法に従って測定することができる。 The minimum melt viscosity of the resin composition layer refers to the minimum viscosity exhibited by the resin composition layer when the resin of the resin composition layer is melted. Specifically, when the resin composition layer is heated at a constant temperature increase rate to melt the resin, the melt viscosity decreases in the initial stage as the temperature rises, and then exceeds a certain level, the melt viscosity increases as the temperature rises. To do. The minimum melt viscosity refers to the melt viscosity at such a minimum point. The minimum melt viscosity of the resin composition layer can be measured by a dynamic viscoelastic method, and can be measured, for example, according to the method described in <Measurement of minimum melt viscosity> described later.
[プリント配線板]
本発明のプリント配線板は、本発明の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含むことを特徴とする。
[Printed wiring board]
The printed wiring board of the present invention includes an insulating layer formed of a cured product of the resin composition of the present invention.
例えば、本発明のプリント配線板は、上述の接着フィルムを用いて、下記(I)及び(II)の工程を含む方法により製造することができる。
(I)内層基板上に、接着フィルムを、該接着フィルムの樹脂組成物層が内層基板と接合するように積層する工程
(II)樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する工程
For example, the printed wiring board of the present invention can be produced by a method including the following steps (I) and (II) using the above-mentioned adhesive film.
(I) A step of laminating an adhesive film on an inner layer substrate so that the resin composition layer of the adhesive film is bonded to the inner layer substrate (II) A step of thermosetting the resin composition layer to form an insulating layer
工程(I)で用いる「内層基板」とは、主として、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の基板、又は該基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成された回路基板をいう。またプリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物の内層回路基板も本発明でいう「内層基板」に含まれる。プリント配線板が部品内蔵回路板である場合、部品を内蔵した内層基板を使用すればよい。 The “inner layer substrate” used in step (I) is mainly a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a thermosetting polyphenylene ether substrate, or one or both surfaces of the substrate. A circuit board on which a patterned conductor layer (circuit) is formed. Further, when the printed wiring board is manufactured, an inner layer circuit board of an intermediate product in which an insulating layer and / or a conductor layer is further formed is also included in the “inner layer board” in the present invention. When the printed wiring board is a component built-in circuit board, an inner layer board with built-in components may be used.
内層基板と接着フィルムの積層は、例えば、支持体側から接着フィルムを内層基板に加熱圧着することにより行うことができる。接着フィルムを内層基板に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を接着フィルムに直接プレスするのではなく、内層基板の表面凹凸に接着フィルムが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。 Lamination | stacking of an inner layer board | substrate and an adhesive film can be performed by heat-pressing an adhesive film to an inner layer board | substrate from the support body side, for example. Examples of the member that heat-presses the adhesive film to the inner layer substrate (hereinafter also referred to as “heat-pressing member”) include a heated metal plate (SUS end plate, etc.) or a metal roll (SUS roll). In addition, it is preferable not to press the thermocompression bonding member directly on the adhesive film but to press it through an elastic material such as heat resistant rubber so that the adhesive film sufficiently follows the surface irregularities of the inner layer substrate.
内層基板と接着フィルムの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃〜160℃、より好ましくは80℃〜140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa〜1.77MPa、より好ましくは0.29MPa〜1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間〜400秒間、より好ましくは30秒間〜300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施する。 Lamination of the inner layer substrate and the adhesive film may be performed by a vacuum laminating method. In the vacuum laminating method, the thermocompression bonding temperature is preferably in the range of 60 ° C to 160 ° C, more preferably 80 ° C to 140 ° C, and the thermocompression bonding pressure is preferably 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably 0. The thermocompression bonding time is preferably in the range of 20 seconds to 400 seconds, more preferably in the range of 30 seconds to 300 seconds. Lamination is preferably performed under reduced pressure conditions with a pressure of 26.7 hPa or less.
積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、(株)名機製作所製の真空加圧式ラミネーター、ニチゴー・モートン(株)製のバキュームアップリケーター等が挙げられる。 Lamination can be performed with a commercially available vacuum laminator. Examples of the commercially available vacuum laminator include a vacuum pressure laminator manufactured by Meiki Seisakusho, a vacuum applicator manufactured by Nichigo Morton, and the like.
積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された接着フィルムの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。 After lamination, the laminated adhesive film may be smoothed under normal pressure (atmospheric pressure), for example, by pressing a thermocompression bonding member from the support side. The pressing conditions for the smoothing treatment can be the same conditions as the thermocompression bonding conditions for the laminate. The smoothing treatment can be performed with a commercially available laminator. In addition, you may perform lamination | stacking and a smoothing process continuously using said commercially available vacuum laminator.
支持体は、工程(I)と工程(II)の間に除去してもよく、工程(II)の後に除去してもよい。 The support may be removed between step (I) and step (II), or may be removed after step (II).
工程(II)において、樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する。 In step (II), the resin composition layer is thermally cured to form an insulating layer.
樹脂組成物層の熱硬化条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。 The thermosetting conditions for the resin composition layer are not particularly limited, and the conditions normally employed when forming the insulating layer of the printed wiring board may be used.
例えば、樹脂組成物層の熱硬化条件は、樹脂組成物の種類等によっても異なるが、硬化温度は120℃〜240℃の範囲(好ましくは150℃〜220℃の範囲、より好ましくは170℃〜200℃の範囲)、硬化時間は5分間〜120分間の範囲(好ましくは10分間〜100分間、より好ましくは15分間〜90分間)とすることができる。 For example, although the thermosetting conditions of the resin composition layer vary depending on the type of the resin composition, the curing temperature is in the range of 120 ° C to 240 ° C (preferably in the range of 150 ° C to 220 ° C, more preferably in the range of 170 ° C to 200 ° C.) and the curing time can be in the range of 5 minutes to 120 minutes (preferably 10 minutes to 100 minutes, more preferably 15 minutes to 90 minutes).
樹脂組成物層を熱硬化させる前に、樹脂組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化させるのに先立ち、50℃以上120℃未満(好ましくは60℃以上110℃以下、より好ましくは70℃以上100℃以下)の温度にて、樹脂組成物層を5分間以上(好ましくは5分間〜150分間、より好ましくは15分間〜120分間)予備加熱してもよい。 Before the resin composition layer is thermally cured, the resin composition layer may be preheated at a temperature lower than the curing temperature. For example, prior to thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer is formed at a temperature of 50 ° C. or higher and lower than 120 ° C. (preferably 60 ° C. or higher and 110 ° C. or lower, more preferably 70 ° C. or higher and 100 ° C. or lower). Preheating may be performed for 5 minutes or more (preferably 5 minutes to 150 minutes, more preferably 15 minutes to 120 minutes).
プリント配線板を製造するに際しては、(III)絶縁層に穴あけする工程、(IV)絶縁層を粗化処理する工程、(V)導体層を形成する工程をさらに実施してもよい。これらの工程(III)乃至(V)は、プリント配線板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、支持体を工程(II)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(II)と工程(III)との間、工程(III)と工程(IV)の間、又は工程(IV)と工程(V)との間に実施してよい。 When manufacturing a printed wiring board, you may further implement (III) the process of drilling in an insulating layer, (IV) the process of roughening an insulating layer, and (V) the process of forming a conductor layer. These steps (III) to (V) may be carried out according to various methods known to those skilled in the art, which are used in the production of printed wiring boards. In addition, when removing a support body after process (II), removal of this support body is performed between process (II) and process (III), between process (III) and process (IV), or process ( It may be carried out between IV) and step (V).
工程(III)は、絶縁層に穴あけする工程であり、これにより絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(III)は、絶縁層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。 Step (III) is a step of making a hole in the insulating layer, whereby holes such as via holes and through holes can be formed in the insulating layer. Step (III) may be performed using, for example, a drill, laser, plasma, or the like, depending on the composition of the resin composition used for forming the insulating layer. The dimensions and shape of the holes may be appropriately determined according to the design of the printed wiring board.
工程(IV)は、絶縁層を粗化処理する工程である。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層を粗化処理することができる。膨潤液としては特に限定されないが、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン(株)製の「スウェリング・ディップ・セキュリガンスP」、「スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU」等が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、特に限定されないが、例えば、30℃〜90℃の膨潤液に絶縁層を1分間〜20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40℃〜80℃の膨潤液に硬化体を5分間〜15分間浸漬させることが好ましい。酸化剤としては、特に限定されないが、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃〜80℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10分間〜30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5質量%〜10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン(株)製の「コンセントレート・コンパクトCP」、「ドージングソリューション・セキュリガンスP」等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。また、中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン(株)製の「リダクションソリューション・セキュリガントP」が挙げられる。中和液による処理は、酸化剤による粗化処理がなされた処理面を30℃〜80℃の中和液に5分間〜30分間浸漬させることにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤による粗化処理がなされた対象物を、40℃〜70℃の中和液に5分間〜20分間浸漬する方法が好ましい。 Step (IV) is a step of roughening the insulating layer. The procedure and conditions for the roughening treatment are not particularly limited, and known procedures and conditions that are usually used when forming an insulating layer of a printed wiring board can be employed. For example, the insulating layer can be roughened by performing a swelling treatment with a swelling liquid, a roughening treatment with an oxidizing agent, and a neutralization treatment with a neutralizing liquid in this order. Although it does not specifically limit as a swelling liquid, An alkaline solution, surfactant solution, etc. are mentioned, Preferably it is an alkaline solution, As this alkaline solution, a sodium hydroxide solution and a potassium hydroxide solution are more preferable. Examples of commercially available swelling liquids include “Swelling Dip Securigans P” and “Swelling Dip Securigans SBU” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. Although the swelling process by a swelling liquid is not specifically limited, For example, it can perform by immersing an insulating layer for 1 minute-20 minutes in 30 degreeC-90 degreeC swelling liquid. From the viewpoint of suppressing the swelling of the resin of the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the cured body in a swelling liquid at 40 ° C. to 80 ° C. for 5 minutes to 15 minutes. Although it does not specifically limit as an oxidizing agent, For example, the alkaline permanganate solution which melt | dissolved potassium permanganate and sodium permanganate in the aqueous solution of sodium hydroxide is mentioned. The roughening treatment with an oxidizing agent such as an alkaline permanganic acid solution is preferably performed by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60 to 80 ° C. for 10 to 30 minutes. The concentration of permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5% by mass to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganic acid solutions such as “Concentrate Compact CP” and “Dosing Solution Securigans P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. The neutralizing solution is preferably an acidic aqueous solution. Examples of commercially available products include “Reduction Solution Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. The treatment with the neutralizing solution can be performed by immersing the treated surface subjected to the roughening treatment with the oxidizing agent in the neutralizing solution at 30 to 80 ° C. for 5 to 30 minutes. From the viewpoint of workability and the like, a method of immersing an object subjected to roughening treatment with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 40 ° C. to 70 ° C. for 5 minutes to 20 minutes is preferable.
一実施形態において、粗化処理後の絶縁層表面の算術平均粗さRaは、好ましくは400nm以下、より好ましくは350nm以下、さらに好ましくは300nm以下、250nm以下、200nm以下、150nm以下、又は100nm以下である。絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)は、非接触型表面粗さ計を用いて測定することができる。非接触型表面粗さ計の具体例としては、ビーコインスツルメンツ社製の「WYKO NT3300」が挙げられる。 In one embodiment, the arithmetic average roughness Ra of the surface of the insulating layer after the roughening treatment is preferably 400 nm or less, more preferably 350 nm or less, further preferably 300 nm or less, 250 nm or less, 200 nm or less, 150 nm or less, or 100 nm or less. It is. The arithmetic average roughness (Ra) of the insulating layer surface can be measured using a non-contact type surface roughness meter. As a specific example of the non-contact type surface roughness meter, “WYKO NT3300” manufactured by Becoins Instruments is cited.
工程(V)は、導体層を形成する工程である。 Step (V) is a step of forming a conductor layer.
導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。 The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductor layer is one or more selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin and indium. Contains metal. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer. As the alloy layer, for example, an alloy of two or more metals selected from the above group (for example, nickel-chromium alloy, copper- A layer formed from a nickel alloy and a copper / titanium alloy). Among them, from the viewpoint of versatility of conductor layer formation, cost, ease of patterning, etc., single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or nickel / chromium alloy, copper / An alloy layer of nickel alloy or copper / titanium alloy is preferable, and a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or an alloy layer of nickel / chromium alloy is more preferable, and a single layer of copper is preferable. A metal layer is more preferred.
導体層は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。 The conductor layer may have a single layer structure or a multilayer structure in which two or more single metal layers or alloy layers made of different types of metals or alloys are laminated. When the conductor layer has a multilayer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc or titanium, or an alloy layer of nickel / chromium alloy.
導体層の厚さは、所望のプリント配線板のデザインによるが、一般に3μm〜35μm、好ましくは5μm〜30μmである。 Although the thickness of a conductor layer is based on the design of a desired printed wiring board, generally it is 3 micrometers-35 micrometers, Preferably it is 5 micrometers-30 micrometers.
一実施形態において、導体層は、めっきにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にめっきして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を示す。 In one embodiment, the conductor layer may be formed by plating. For example, the surface of the insulating layer can be plated by a conventionally known technique such as a semi-additive method or a full additive method to form a conductor layer having a desired wiring pattern. Hereinafter, an example in which the conductor layer is formed by a semi-additive method will be described.
まず、絶縁層の表面に、無電解めっきによりめっきシード層を形成する。次いで、形成されためっきシード層上に、所望の配線パターンに対応してめっきシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出しためっきシード層上に、電解めっきにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なめっきシード層をエッチング等により除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。 First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Next, a mask pattern that exposes a part of the plating seed layer corresponding to a desired wiring pattern is formed on the formed plating seed layer. A metal layer is formed by electrolytic plating on the exposed plating seed layer, and then the mask pattern is removed. Thereafter, an unnecessary plating seed layer can be removed by etching or the like to form a conductor layer having a desired wiring pattern.
本発明の樹脂組成物を使用して形成された絶縁層は、良好なリフロー挙動を示す。一実施形態において、絶縁層のリフロー挙動最大変異(反り量)は、好ましくは350μm以下、より好ましくは330μm以下、さらに好ましくは320μm以下、310μm以下、又は300μm以下である。リフロー挙動最大変異の下限値は特に限定されないが、0.5μm以上、1μm以上等とし得る。絶縁層のリフロー挙動最大変異は、例えば、後述する<リフロー挙動最大変異の測定>に記載の方法に従って測定することができる。 The insulating layer formed using the resin composition of the present invention exhibits good reflow behavior. In one embodiment, the maximum reflow behavior variation (warping amount) of the insulating layer is preferably 350 μm or less, more preferably 330 μm or less, still more preferably 320 μm or less, 310 μm or less, or 300 μm or less. The lower limit of the maximum reflow behavior variation is not particularly limited, but may be 0.5 μm or more, 1 μm or more, and the like. The maximum reflow behavior variation of the insulating layer can be measured, for example, according to the method described in <Measurement of maximum reflow behavior variation> described later.
本発明のプリント配線板における絶縁層は、本発明の樹脂組成物の硬化物により形成されたので、プリント配線板が薄型であっても良好なリフロー挙動を示す。本発明のプリント配線板の厚みは、好ましくは100μm以下、より好ましくは50μm以下、さらに好ましくは40μm以下である。下限については特に限定されないが、5μm以上である。 Since the insulating layer in the printed wiring board of the present invention is formed of a cured product of the resin composition of the present invention, it exhibits good reflow behavior even if the printed wiring board is thin. The thickness of the printed wiring board of the present invention is preferably 100 μm or less, more preferably 50 μm or less, and still more preferably 40 μm or less. Although it does not specifically limit about a minimum, it is 5 micrometers or more.
他の実施形態において、本発明のプリント配線板は、上述のプリプレグを用いて製造することができる。製造方法は基本的に接着フィルムを用いる場合と同様である。 In another embodiment, the printed wiring board of the present invention can be manufactured using the prepreg described above. The manufacturing method is basically the same as when an adhesive film is used.
[半導体装置]
本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を含むことを特徴とする。本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を用いて製造することができる。
[Semiconductor device]
A semiconductor device of the present invention includes the printed wiring board of the present invention. The semiconductor device of the present invention can be manufactured using the printed wiring board of the present invention.
半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。 Examples of the semiconductor device include various semiconductor devices used for electrical products (for example, computers, mobile phones, digital cameras, and televisions) and vehicles (for example, motorcycles, automobiles, trains, ships, and aircrafts).
本発明の半導体装置は、プリント配線板の導通箇所に、部品(半導体チップ)を実装することにより製造することができる。「導通箇所」とは、「プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。 The semiconductor device of the present invention can be manufactured by mounting a component (semiconductor chip) on a conductive portion of a printed wiring board. The “conduction location” is a “location where an electrical signal is transmitted on a printed wiring board”, and the location may be a surface or an embedded location. The semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.
本発明の半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、等が挙げられる。ここで、「バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法」とは、「半導体チップをプリント配線板の凹部に直接埋め込み、半導体チップとプリント配線板上の配線とを接続させる実装方法」のことである。 The semiconductor chip mounting method for manufacturing the semiconductor device of the present invention is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively, but specifically, a wire bonding mounting method, a flip chip mounting method, and no bumps. Examples include a mounting method using a build-up layer (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), and a mounting method using a non-conductive film (NCF). Here, “a mounting method using a build-up layer without a bump (BBUL)” means “a mounting method in which a semiconductor chip is directly embedded in a recess of a printed wiring board and the semiconductor chip and wiring on the printed wiring board are connected”. It is.
以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下の記載において、「部」及び「%」は、別途明示のない限り、それぞれ「質量部」及び「質量%」を意味する。また、構造式中のMeはメチル基を表す。 EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following description, “parts” and “%” mean “parts by mass” and “% by mass”, respectively, unless otherwise specified. In the structural formula, Me represents a methyl group.
まずは各種測定方法・評価方法について説明する。 First, various measurement methods and evaluation methods will be described.
[リフロー挙動最大変異の測定]
(1)測定用基板サンプルの調整
内層回路を形成したガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ3μm、基板厚み0.1mm、日立化成(株)製、MCL−E−770G)の片面に実施例及び比較例で作製した接着フィルム(フィルム厚み40μm)を、バッチ式真空加圧ラミネーター((株)名機製作所製、製品名MLVP−500)を用いて、内層回路基板の両面にラミネートした。ラミネートは、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃、圧力0.74MPaで圧着することにより行った。
[Measurement of maximum reflow behavior variation]
(1) Preparation of measurement substrate sample Glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate with inner layer circuit (copper foil thickness 3 μm, substrate thickness 0.1 mm, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., MCL-E- 770G) on one side of the adhesive film (film thickness 40 μm) produced in the examples and comparative examples, using a batch type vacuum pressure laminator (manufactured by Meiki Seisakusho, product name MLVP-500), an inner layer circuit board Laminated on both sides. Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to a pressure of 13 hPa or less, and then pressure bonding for 30 seconds at 100 ° C. and a pressure of 0.74 MPa.
(2)サンプルの硬化
実施例及び比較例で作製した接着フィルムを片面に圧着したガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板を、治具により四辺を固定してオーブンで200℃にて90分間硬化させて取り出した。
(2) Curing of sample A glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate obtained by pressing the adhesive films prepared in Examples and Comparative Examples on one side was fixed at the four sides with a jig for 90 minutes at 200 ° C. in an oven. Cured and removed.
(3)リフロー挙動最大変異(μm)の測定
測定用に調整したサンプルを2cm角に切り出し、内中心の1.0cm角を測定範囲として、反り測定分析システム(AKROMETRIX社製、サーモレイAXP)を用いてリフロー挙動最大変異の測定を行った。昇温速度は0.67℃/秒で30℃から260℃まで昇温させた後に、放熱して30℃まで戻す過程を2回行い、2回目の測定中におけるサンプルの反り挙動の最大値と最小値の差を算出し、リフロー挙動最大変異(μm)として示した。
(3) Measurement of reflow behavior maximum variation (μm) A sample adjusted for measurement was cut into a 2 cm square, and a warp measurement analysis system (AKMORITRIX, Thermoray AXP) was used with an inner center 1.0 cm square as the measurement range. The maximum reflow behavior variation was measured. The heating rate is 0.67 ° C./sec. After the temperature is raised from 30 ° C. to 260 ° C., the process of releasing heat and returning to 30 ° C. is performed twice, and the maximum value of the warping behavior of the sample during the second measurement The difference between the minimum values was calculated and expressed as the maximum reflow behavior variation (μm).
[最低溶融粘度の測定]
実施例及び比較例で作製した接着フィルムの熱硬化性樹脂組成物層を動的粘弾性測定装置((株)ユー・ビー・エム製「Rheosol−G3000」)を用いて、動的粘弾性を測定した。測定は開始温度60℃から昇温速度5℃/分で測定間隔温度2.5℃、振動数1Hz/degで測定した。
[Measurement of minimum melt viscosity]
The thermosetting resin composition layers of the adhesive films prepared in Examples and Comparative Examples were subjected to dynamic viscoelasticity using a dynamic viscoelasticity measuring apparatus (“Rhesol-G3000” manufactured by UBM). It was measured. The measurement was performed from a starting temperature of 60 ° C. at a heating rate of 5 ° C./minute, a measurement interval temperature of 2.5 ° C., and a frequency of 1 Hz / deg.
[単位表面積当たりのカーボン量の算出]
下記の各無機充填材の3gをそれぞれ試料として用いた。試料と30gのMEK(メチルエチルケトン)とを遠心分離機の遠心管に入れ、撹拌し固形分を懸濁させて、500Wの超音波を5分間照射した。その後、遠心分離により固液分離し、上澄液20gを除去した。さらに、20gのMEKを足し、撹拌して固形分を懸濁させて、500Wの超音波を5分間照射した。その後、遠心分離により固液分離し、上澄液26gを除去した。残りの懸濁液を160℃にて30分間乾燥させた。この乾燥試料0.3gを測定用坩堝に正確に量りとり、さらに測定用坩堝に助燃剤(タングステン3.0g及びスズ0.3g)を入れた。測定用坩堝をカーボン分析計((株)堀場製作所製「EMIA−321V2」)にセットし、カーボン量を測定した。カーボン量の測定値を、使用した無機充填剤の比表面積で除すことにより、単位表面積当たりのカーボン量を算出した。
[Calculation of carbon amount per unit surface area]
3 g of each of the following inorganic fillers was used as a sample. The sample and 30 g of MEK (methyl ethyl ketone) were placed in a centrifuge tube, stirred to suspend the solid content, and irradiated with 500 W ultrasonic waves for 5 minutes. Thereafter, solid-liquid separation was performed by centrifugation, and 20 g of the supernatant was removed. Furthermore, 20 g of MEK was added, the solid content was suspended by stirring, and 500 W ultrasonic waves were irradiated for 5 minutes. Thereafter, solid-liquid separation was performed by centrifugation, and 26 g of the supernatant was removed. The remaining suspension was dried at 160 ° C. for 30 minutes. 0.3 g of this dried sample was accurately weighed in a measuring crucible, and a combustion aid (3.0 g of tungsten and 0.3 g of tin) was further placed in the measuring crucible. The measuring crucible was set in a carbon analyzer (“EMIA-321V2” manufactured by Horiba, Ltd.), and the amount of carbon was measured. The amount of carbon per unit surface area was calculated by dividing the measured amount of carbon by the specific surface area of the inorganic filler used.
<使用した無機充填材>
無機充填材1:球形シリカ((株)アドマテックス製「SC2500SQ」、平均粒径0.5μm)100部に対して、下記構造式で示される8−グリシドキシオクチルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、分子量306.2)0.6部で表面処理したもの。単位面積当たりのカーボン量は0.33mg/m2であった。
Inorganic filler 1: 8-glycidoxyoctyltrimethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) represented by the following structural formula with respect to 100 parts of spherical silica (“SC2500SQ” manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle size 0.5 μm) The product surface-treated with 0.6 part by molecular weight 306.2. The amount of carbon per unit area was 0.33 mg / m 2 .
無機充填材2:球形シリカ((株)アドマテックス製「SC2500SQ」、平均粒径0.5μm)100部に対して、下記構造式で示されるN−2−(アミノエチル)−8−アミノオクチルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、分子量291.2)0.6部で表面処理したもの。単位面積当たりのカーボン量は0.27mg/m2であった。
無機充填材3:球形シリカ((株)アドマテックス製「SC2500SQ」、平均粒径0.5μm)100部に対して、下記構造式で示されるビストリメトキシシリルヘキサン(信越化学工業(株)製、分子量326.2)0.6部で表面処理したもの。単位面積当たりのカーボン量は0.28mg/m2であった。
無機充填材4:球形シリカ((株)アドマテックス製「SC2500SQ」、平均粒径0.5μm)100部に対して、下記構造式で示されるビストリメトキシシリルオクタン(信越化学工業(株)製、分子量354.2)0.6部で表面処理したもの。単位面積当たりのカーボン量は0.28mg/m2であった。
無機充填材5:球形シリカ((株)アドマテックス製「SC2500SQ」、平均粒径0.5μm)100部に対して、下記構造式で示されるビス(トリメトキシシリルプロピル)エチレンジアミン(信越化学工業(株)製、分子量384.2)0.6部で表面処理したもの。単位面積当たりのカーボン量は0.28mg/m2であった。
無機充填材6:球形シリカ((株)アドマテックス製「SC2500SQ」、平均粒径0.5μm)100部に対して、下記構造式で示されるN−フェニル−8−アミノオクチル−トリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、分子量325.2)0.6部で表面処理したもの。単位面積当たりのカーボン量は0.33mg/m2であった。
無機充填材7:球形シリカ((株)アドマテックス製「SC2500SQ」、平均粒径0.5μm)100部に対して、下記構造式で示される3−(2−グリシジルフェニル)プロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、分子量312.1)0.6部で表面処理したもの。単位面積当たりのカーボン量は0.28mg/m2であった。
無機充填材8:球形シリカ((株)アドマテックス製「SC2500SQ」、平均粒径0.5μm)100部に対して、下記構造式で示される8−メタクリロキシオクチルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、分子量318.2)0.6部で表面処理したもの。単位面積当たりのカーボン量は0.28mg/m2であった。
無機充填材9:球形シリカ((株)アドマテックス製「SC2500SQ」、平均粒径0.5μm)100部に対して、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、「KBM403」、分子量236.3)0.6部で表面処理したもの。単位面積当たりのカーボン量は0.21mg/m2であった。 Inorganic filler 9: 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) with respect to 100 parts of spherical silica (“SC2500SQ” manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle size 0.5 μm) KBM403 ", molecular weight 236.3) surface treated with 0.6 parts. The amount of carbon per unit area was 0.21 mg / m 2 .
無機充填材10:球形シリカ((株)アドマテックス製「SC2500SQ」、平均粒径0.5μm)100部に対して、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、「KBM603」、分子量222.4)0.6部で表面処理したもの。単位面積当たりのカーボン量は0.22mg/m2であった。 Inorganic filler 10: N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) with respect to 100 parts of spherical silica (“SC2500SQ” manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle size 0.5 μm) Surface treatment with 0.6 parts of “KBM603”, molecular weight 222.4, manufactured by Kogyo Co., Ltd. The amount of carbon per unit area was 0.22 mg / m 2 .
無機充填材11:球形シリカ((株)アドマテックス製「SC2500SQ」、平均粒径0.5μm)100部に対して、N−フェニル−3−アミノプロピル−トリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、「KBM573」、分子量255.4)0.6部で表面処理したもの。単位面積当たりのカーボン量は0.24mg/m2であった。 Inorganic filler 11: N-phenyl-3-aminopropyl-trimethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) with respect to 100 parts of spherical silica (“SC2500SQ” manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle size 0.5 μm) “KBM573”, molecular weight 255.4), and surface treated with 0.6 parts. The amount of carbon per unit area was 0.24 mg / m 2 .
無機充填材12:球形シリカ((株)アドマテックス製「SC2500SQ」、平均粒径0.5μm)100部に対して、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、「KBM503」、分子量248.4)0.6部で表面処理したもの。単位面積当たりのカーボン量は0.22mg/m2であった。 Inorganic filler 12: 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “KBM503” with respect to 100 parts of spherical silica (“SC2500SQ” manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle size 0.5 μm)) “Surface treatment with a molecular weight of 248.4) 0.6 parts. The amount of carbon per unit area was 0.22 mg / m 2 .
[実施例1]
ビキシレノール型エポキシ樹脂(エポキシ当量190、三菱化学(株)製「YX4000HK」)14部、液状ビスフェノール型エポキシ樹脂(エポキシ当量約165、新日鉄住金化学(株)製「ZX1059」、ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品)12部、ビフェニル型エポキシ樹脂(エポキシ当量269、日本化薬(株)製「NC3000H」)15部をソルベントナフサ30部に撹拌しながら加熱溶解させ、その後室温にまで冷却した。その混合溶液に、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、AC3816N)0.5部をソルベントナフサ6部に12時間、20℃で静置膨潤したもの、無機充填材1を150部混合し、さらに難燃剤(三光(株)製「HCA−HQ」、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−10−ヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナンスレン−10−オキサイド、平均粒径1μm)2部を添加し、3本ロールで混練し分散させた。そこへ、活性エステル系硬化剤(DIC(株)製「HPC−8000−65T」、活性基当量約223の不揮発分65質量%のトルエン溶液)14部、トリアジン骨格含有フェノールノボラック系硬化剤(DIC(株)製「LA3018−50P」水酸基当量約151)の固形分50%の2−メトキシプロパノール溶液10部、フェノキシ樹脂(重量平均分子量35000、三菱化学(株)製「YX7553BH30」不揮発分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)15部、硬化促進剤として4−ジメチルアミノピリジン(DMAP)の5質量%のMEK溶液2部を混合し、回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。次に、かかる樹脂ワニスをアルキド系離型処理付きポリエチレンテレフタレートフィルム(リンテック(株)製「AL−5」、厚さ38μm)の離型面上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが40μmとなるようにダイコーターにて均一に塗布し、80〜110℃(平均95℃)で5分間乾燥し、接着フィルムを得た。
[Example 1]
14 parts of bixylenol type epoxy resin (epoxy equivalent 190, “YX4000HK” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), liquid bisphenol type epoxy resin (epoxy equivalent of about 165, “ZX1059” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), bisphenol A type and bisphenol F type 1: 1 mixed product) 12 parts, biphenyl type epoxy resin (epoxy equivalent 269, “NC3000H” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) is dissolved in 30 parts of solvent naphtha with stirring, and then brought to room temperature. Until cooled. Into the mixed solution, 0.5 part of rubber particles (manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., AC3816N) was mixed in 6 parts of solvent naphtha for 12 hours at 20 ° C., and 150 parts of inorganic filler 1 were mixed. Flame retardant (“HCA-HQ” manufactured by Sanko Co., Ltd., 10- (2,5-dihydroxyphenyl) -10-hydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide, average particle size 1 μm) Two parts were added and kneaded and dispersed with three rolls. Thereto, 14 parts of an active ester curing agent (“HPC-8000-65T” manufactured by DIC Corporation, a toluene solution having a non-volatile content of 65% by mass with an active group equivalent of about 223), a phenol novolac curing agent containing a triazine skeleton (DIC) 10 parts 2-methoxypropanol solution of 50% solid content of “LA3018-50P” (hydroxyl equivalent: 151) manufactured by Co., Ltd., phenoxy resin (weight average molecular weight: 35000, “YX7553BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd .: 30% by mass 15 parts of MEK and cyclohexanone (1: 1 solution) and 2 parts of a 5% by weight MEK solution of 4-dimethylaminopyridine (DMAP) as a curing accelerator are mixed and uniformly dispersed with a rotary mixer to obtain a resin varnish. Produced. Next, the resin composition layer after drying the resin varnish on the release surface of a polyethylene terephthalate film with an alkyd release treatment (“AL-5” manufactured by Lintec Corporation, thickness 38 μm) has a thickness of 40 μm. Then, it was uniformly coated with a die coater so as to be dried at 80 to 110 ° C. (average 95 ° C.) for 5 minutes to obtain an adhesive film.
[実施例2]
実施例1において、無機充填材1を無機充填材2に変更した以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを得た。
[Example 2]
A resin varnish and an adhesive film were obtained in the same manner as in Example 1 except that the inorganic filler 1 was changed to the inorganic filler 2 in Example 1.
[実施例3]
実施例1において、無機充填材1を無機充填材3に変更した以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを得た。
[Example 3]
A resin varnish and an adhesive film were obtained in the same manner as in Example 1 except that the inorganic filler 1 was changed to the inorganic filler 3 in Example 1.
[実施例4]
実施例1において、無機充填材1を無機充填材4に変更した以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを得た。
[Example 4]
A resin varnish and an adhesive film were obtained in the same manner as in Example 1 except that the inorganic filler 1 was changed to the inorganic filler 4 in Example 1.
[実施例5]
実施例1において、無機充填材1を無機充填材5に変更した以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを得た。
[Example 5]
A resin varnish and an adhesive film were obtained in the same manner as in Example 1 except that the inorganic filler 1 was changed to the inorganic filler 5 in Example 1.
[実施例6]
実施例1において、無機充填材1を無機充填材6に変更した以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを得た。
[Example 6]
A resin varnish and an adhesive film were obtained in the same manner as in Example 1 except that the inorganic filler 1 was changed to the inorganic filler 6 in Example 1.
[実施例7]
実施例1において、無機充填材1を無機充填材7に変更した以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを得た。
[Example 7]
A resin varnish and an adhesive film were obtained in the same manner as in Example 1 except that the inorganic filler 1 was changed to the inorganic filler 7 in Example 1.
[実施例8]
ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP4032SS」)10部、液状ビスフェノール型エポキシ樹脂(新日鐵化学(株)製「ZX1059」、ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品)10部、ナフトール型エポキシ樹脂(新日鐵化学(株)製「ESN−475V」)20部、フェノキシ樹脂(重量平均分子量35000、三菱化学(株)製「YX7553BH30」、不揮発成分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)15部をソルベントナフサ50部に撹拌しながら加熱溶解させ、その後室温にまで冷却した。次いで、活性エステル化合物(DIC(株)製「HPC8000−65T」、活性エステル当量223、固形分65%のトルエン溶液)12部、ビスフェノールAジシアネートのプレポリマー(ロンザジャパン(株)製「BA230S75」、シアネート当量約232、不揮発分75質量%のMEK溶液)12部、フェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン(株)製「PT30S」、シアネート当量約133、不揮発分85質量%のMEK溶液)6部、ゴム粒子(ガンツ化成(株)製、スタフィロイドAC3816N)0.5部をソルベントナフサ5部に室温で12時間膨潤させておいたもの、無機充填剤7を150部、難燃剤(三光(株)製「HCA−HQ」、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−10−ヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナンスレン−10−オキサイド、平均粒径1μm)2部、硬化促進剤(4−ジメチルアミノピリジン、固形分5質量%のMEK溶液)2部を加え、回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。次いで、実施例1と同様にして接着フィルムを得た。
[Example 8]
10 parts of naphthalene type epoxy resin (“HP4032SS” manufactured by DIC Corporation), liquid bisphenol type epoxy resin (“ZX1059” manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., 1: 1 mixture of bisphenol A type and bisphenol F type) 10 Parts, 20 parts of naphthol type epoxy resin (“ESN-475V” manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), phenoxy resin (weight average molecular weight 35000, “YX7553BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), MEK with 30% by mass of nonvolatile components, 15 parts of a cyclohexanone (1: 1 solution) was dissolved in 50 parts of solvent naphtha with stirring and then cooled to room temperature. Next, 12 parts of active ester compound (DIC Corporation "HPC8000-65T", active ester equivalent 223, solid content 65% toluene solution), bisphenol A dicyanate prepolymer (Lonza Japan Co., Ltd. "BA230S75", 12 parts of a cyanate equivalent of about 232, a MEK solution having a nonvolatile content of 75% by mass), a phenol novolac type polyfunctional cyanate ester resin (“PT30S” manufactured by Lonza Japan Co., Ltd., a cyanate equivalent of about 133%, a MEK solution having a nonvolatile content of 85% by mass) 6 parts, 0.5 parts of rubber particles (manufactured by Ganz Kasei Co., Ltd., Staphyloid AC3816N) swollen in 5 parts of solvent naphtha at room temperature for 12 hours, 150 parts of inorganic filler 7, flame retardant (Sanko "HCA-HQ", 10- (2,5-dihydroxyphenyl) -1 manufactured by 2 parts of hydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide, average particle size 1 μm) and 2 parts of a curing accelerator (4-dimethylaminopyridine, MEK solution having a solid content of 5% by mass) were added. The resin varnish was prepared by uniformly dispersing with a rotary mixer. Next, an adhesive film was obtained in the same manner as in Example 1.
[実施例9]
酸基含有アクリレート樹脂(ダイセル・オルネクス(株)製「(ACA)Z251」重量平均分子量14000、樹脂酸価66mgKOH/g、固形分45質量%のジプロピレングリコールモノメチルエーテル溶液)36部、液状1,4−グリシジルシクロヘキサン(新日鐵化学(株)製「ZX1658GS」)3部、液状ビスフェノールAF型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7760」)6部、ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート(共栄社化学(株)製「ライトアクリレートDCP−A」)5部をソルベントナフサ16部に撹拌しながら加熱溶解させ、その後室温にまで冷却した。次いで、無機充填材8を80部、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド(BASFジャパン(株)製「I819」、固形分15%のMEK溶液)5部を加え、回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。次いで、実施例1と同様にして接着フィルムを得た。
[Example 9]
36 parts of acid group-containing acrylate resin ("(ACA) Z251" manufactured by Daicel Ornex Co., Ltd., weight average molecular weight 14000, resin acid value 66 mgKOH / g, dipropylene glycol monomethyl ether solution having a solid content of 45% by mass), liquid 1, 4-glycidylcyclohexane (“ZX1658GS” manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), 6 parts of liquid bisphenol AF type epoxy resin (“YL7760” manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), dimethylol tricyclodecane diacrylate (Kyoeisha Chemical) 5 parts of “Light Acrylate DCP-A” manufactured by Co., Ltd. was dissolved in 16 parts of solvent naphtha with stirring and then cooled to room temperature. Next, 80 parts of inorganic filler 8 and 5 parts of bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide ("I819" manufactured by BASF Japan Ltd., MEK solution with a solid content of 15%) are added and rotated. A resin varnish was prepared by uniformly dispersing with a mixer. Next, an adhesive film was obtained in the same manner as in Example 1.
[比較例1]
実施例1において、無機充填材1を無機充填材9に変更した以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを得た。
[Comparative Example 1]
A resin varnish and an adhesive film were obtained in the same manner as in Example 1 except that the inorganic filler 1 was changed to the inorganic filler 9 in Example 1.
[比較例2]
実施例1において、無機充填材1を無機充填材10に変更した以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを得た。
[Comparative Example 2]
A resin varnish and an adhesive film were obtained in the same manner as in Example 1 except that the inorganic filler 1 was changed to the inorganic filler 10 in Example 1.
[比較例3]
実施例1において、無機充填材1を無機充填材11に変更した以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを得た。
[Comparative Example 3]
A resin varnish and an adhesive film were obtained in the same manner as in Example 1 except that the inorganic filler 1 was changed to the inorganic filler 11 in Example 1.
[比較例4]
実施例8において、無機充填材6を無機充填材11に変更した以外は実施例8と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを得た。
[Comparative Example 4]
A resin varnish and an adhesive film were obtained in the same manner as in Example 8 except that the inorganic filler 6 was changed to the inorganic filler 11 in Example 8.
[比較例5]
実施例9において、無機充填材8を無機充填材12に変更した以外は実施例9と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを得た。
[Comparative Example 5]
A resin varnish and an adhesive film were obtained in the same manner as in Example 9 except that the inorganic filler 8 was changed to the inorganic filler 12 in Example 9.
Claims (18)
(C)無機充填材が、下記一般式(1)で表される化合物、及び下記一般式(2)で表される化合物からなる群から選択される少なくとも1種の表面処理剤で表面処理されている樹脂組成物。
X−Y−Si(OR1)3 ・・・(1)
(一般式(1)中、Xは、ビニル基、エポキシ基、グリシジルエーテル基、メタクリロイル基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイル基、アクリロイルオキシ基、アミノ基、Ar−(NR)n−(CH2)m−、Ar−(CH2)m−(NR)n−、又はNH2−(CH2)m−(NR)n−を表し、Arは置換基を有していてもよいフェニル基を表し、Rは、水素原子、又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表し、mは0〜6の整数を表し、nは0又は1の整数を表し、Yは、置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルキレン基、又は置換基を有していてもよい炭素原子数4以上のアルケニレン基を表し、R1は、置換基を有していてもよい炭素原子数1〜6のアルキル基を表し、複数のR1は同一であってもよく、異なっていてもよい。)
(R2O)3Si−Z−Si(OR3)3 ・・・(2)
(Zは、置換基を有していてもよいアルキレン基、−NR−、酸素原子、硫黄原子、又はこれらの2以上の組み合わせからなる基を表し、Rは、水素原子、又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表し、R2及びR3は、それぞれ独立に置換基を有していてもよい炭素原子数1〜6のアルキル基を表し、複数のR2及びR3は同一であってもよく、異なっていてもよい。) (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, and (C) a resin composition containing an inorganic filler,
(C) The inorganic filler is surface-treated with at least one surface treatment agent selected from the group consisting of a compound represented by the following general formula (1) and a compound represented by the following general formula (2). Resin composition.
X—Y—Si (OR 1 ) 3 (1)
(In general formula (1), X is a vinyl group, an epoxy group, a glycidyl ether group, a methacryloyl group, a methacryloyloxy group, an acryloyl group, an acryloyloxy group, an amino group, Ar— (NR) n — (CH 2 ) m. -, Ar- (CH 2) m - (NR) n -, or NH 2 - (CH 2) m - (NR) n - represents, Ar represents a phenyl group which may have a substituent, R represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, m represents an integer of 0 to 6, n represents an integer of 0 or 1, and Y may have a substituent. Represents an alkylene group having 4 or more carbon atoms, or an alkenylene group having 4 or more carbon atoms which may have a substituent, and R 1 represents 1 to 6 carbon atoms which may have a substituent. A plurality of R 1 may be the same And may be different.)
(R 2 O) 3 Si—Z—Si (OR 3 ) 3 (2)
(Z represents an alkylene group which may have a substituent, —NR—, an oxygen atom, a sulfur atom, or a group consisting of a combination of two or more thereof, and R is a hydrogen atom or a carbon atom having 1 carbon atom. Represents an alkyl group of ˜3, R 2 and R 3 each independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a substituent, and a plurality of R 2 and R 3 are the same. Or it may be different.)
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015157542A JP6672630B2 (en) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | Resin composition |
TW105124328A TWI707911B (en) | 2015-08-07 | 2016-08-01 | Resin composition |
CN201610620630.8A CN106433025B (en) | 2015-08-07 | 2016-08-02 | Resin composition |
KR1020160098986A KR102600199B1 (en) | 2015-08-07 | 2016-08-03 | Resin composition |
JP2019227594A JP6950732B2 (en) | 2015-08-07 | 2019-12-17 | Resin composition |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015157542A JP6672630B2 (en) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | Resin composition |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019227594A Division JP6950732B2 (en) | 2015-08-07 | 2019-12-17 | Resin composition |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017036377A true JP2017036377A (en) | 2017-02-16 |
JP6672630B2 JP6672630B2 (en) | 2020-03-25 |
Family
ID=58048170
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015157542A Active JP6672630B2 (en) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | Resin composition |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6672630B2 (en) |
KR (1) | KR102600199B1 (en) |
CN (1) | CN106433025B (en) |
TW (1) | TWI707911B (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018012777A (en) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 日立化成株式会社 | Insulation resin material, resin film for interlayer insulation and production method of the same, composite film and production method of the same, and printed wiring board and production method of the same |
JP2019077758A (en) * | 2017-10-23 | 2019-05-23 | 味の素株式会社 | Resin composition |
WO2020080069A1 (en) * | 2018-10-16 | 2020-04-23 | 日東シンコー株式会社 | Resin composition |
JP2020075977A (en) * | 2018-11-06 | 2020-05-21 | 味の素株式会社 | Resin composition |
JPWO2019054217A1 (en) * | 2017-09-15 | 2020-10-29 | 日立化成株式会社 | Epoxy resin composition and electronic component equipment |
US11331888B2 (en) | 2016-07-20 | 2022-05-17 | Showa Denko Materials Co., Ltd. | Composite film for electronic devices using high frequency band signals, printed wiring board and manufacturing method therefor |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6950732B2 (en) * | 2015-08-07 | 2021-10-13 | 味の素株式会社 | Resin composition |
JP6866858B2 (en) * | 2017-03-10 | 2021-04-28 | 味の素株式会社 | Resin composition layer |
CN108727942A (en) * | 2017-04-24 | 2018-11-02 | 味之素株式会社 | Resin combination |
TWI637024B (en) * | 2017-05-03 | 2018-10-01 | 晶化科技股份有限公司 | Curing composition and protective film |
JP7210901B2 (en) * | 2017-06-26 | 2023-01-24 | 味の素株式会社 | Resin composition layer |
JP6825517B2 (en) * | 2017-08-21 | 2021-02-03 | 味の素株式会社 | Resin composition |
JP7204214B2 (en) * | 2017-11-24 | 2023-01-16 | ナミックス株式会社 | Thermosetting resin composition, insulating film, interlayer insulating film, multilayer wiring board, and semiconductor device |
JP6922822B2 (en) * | 2018-04-16 | 2021-08-18 | 味の素株式会社 | Resin composition |
JP7124657B2 (en) * | 2018-11-14 | 2022-08-24 | 味の素株式会社 | Resin composition, resin sheet, printed wiring board and semiconductor device |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014015606A (en) * | 2012-06-11 | 2014-01-30 | Ajinomoto Co Inc | Resin composition |
JP2015004010A (en) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 味の素株式会社 | Curable resin compositions |
JP2015038197A (en) * | 2013-07-19 | 2015-02-26 | 味の素株式会社 | Resin composition |
WO2015141347A1 (en) * | 2014-03-17 | 2015-09-24 | ナミックス株式会社 | Resin composition |
JP2015189834A (en) * | 2014-03-27 | 2015-11-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Prepreg, metal-clad laminate, and printed wiring board |
JP2016079215A (en) * | 2014-10-10 | 2016-05-16 | 京セラケミカル株式会社 | Resin composition for semiconductor adhesion and semiconductor device |
JP2016169301A (en) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | 京セラ株式会社 | Resin composition for casting thermistor sensor and thermistor sensor |
JP2016219600A (en) * | 2015-05-20 | 2016-12-22 | 京セラ株式会社 | Die attach paste for semiconductor and semiconductor device |
JP2017031341A (en) * | 2015-08-03 | 2017-02-09 | 京セラ株式会社 | Thermal hardening type resin composition for semiconductor adhesion and semiconductor device using the same |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6450887A (en) * | 1987-08-20 | 1989-02-27 | Kuraray Co | Organosilicon compound |
JPH04169591A (en) * | 1990-11-01 | 1992-06-17 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Organic silicon compound |
JP2000129094A (en) * | 1998-10-26 | 2000-05-09 | Hitachi Chem Co Ltd | Epoxy resin molding material for sealing and electronic component device |
KR20140028880A (en) | 2012-08-31 | 2014-03-10 | 오두환 | Portable gas mask |
CN103756257B (en) * | 2013-12-27 | 2016-01-13 | 广东生益科技股份有限公司 | A kind of thermosetting epoxy resin composition and uses thereof |
-
2015
- 2015-08-07 JP JP2015157542A patent/JP6672630B2/en active Active
-
2016
- 2016-08-01 TW TW105124328A patent/TWI707911B/en active
- 2016-08-02 CN CN201610620630.8A patent/CN106433025B/en active Active
- 2016-08-03 KR KR1020160098986A patent/KR102600199B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014015606A (en) * | 2012-06-11 | 2014-01-30 | Ajinomoto Co Inc | Resin composition |
JP2015004010A (en) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | 味の素株式会社 | Curable resin compositions |
JP2015038197A (en) * | 2013-07-19 | 2015-02-26 | 味の素株式会社 | Resin composition |
WO2015141347A1 (en) * | 2014-03-17 | 2015-09-24 | ナミックス株式会社 | Resin composition |
JP2015189834A (en) * | 2014-03-27 | 2015-11-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Prepreg, metal-clad laminate, and printed wiring board |
JP2016079215A (en) * | 2014-10-10 | 2016-05-16 | 京セラケミカル株式会社 | Resin composition for semiconductor adhesion and semiconductor device |
JP2016169301A (en) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | 京セラ株式会社 | Resin composition for casting thermistor sensor and thermistor sensor |
JP2016219600A (en) * | 2015-05-20 | 2016-12-22 | 京セラ株式会社 | Die attach paste for semiconductor and semiconductor device |
JP2017031341A (en) * | 2015-08-03 | 2017-02-09 | 京セラ株式会社 | Thermal hardening type resin composition for semiconductor adhesion and semiconductor device using the same |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018012777A (en) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 日立化成株式会社 | Insulation resin material, resin film for interlayer insulation and production method of the same, composite film and production method of the same, and printed wiring board and production method of the same |
US11331888B2 (en) | 2016-07-20 | 2022-05-17 | Showa Denko Materials Co., Ltd. | Composite film for electronic devices using high frequency band signals, printed wiring board and manufacturing method therefor |
JPWO2019054217A1 (en) * | 2017-09-15 | 2020-10-29 | 日立化成株式会社 | Epoxy resin composition and electronic component equipment |
JP7375541B2 (en) | 2017-09-15 | 2023-11-08 | 株式会社レゾナック | Epoxy resin composition and electronic component equipment |
JP2019077758A (en) * | 2017-10-23 | 2019-05-23 | 味の素株式会社 | Resin composition |
JP7052286B2 (en) | 2017-10-23 | 2022-04-12 | 味の素株式会社 | Resin composition |
WO2020080069A1 (en) * | 2018-10-16 | 2020-04-23 | 日東シンコー株式会社 | Resin composition |
JP2020063343A (en) * | 2018-10-16 | 2020-04-23 | 日東シンコー株式会社 | Resin composition |
JP2020075977A (en) * | 2018-11-06 | 2020-05-21 | 味の素株式会社 | Resin composition |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6672630B2 (en) | 2020-03-25 |
KR102600199B1 (en) | 2023-11-10 |
KR20170017777A (en) | 2017-02-15 |
TW201726800A (en) | 2017-08-01 |
CN106433025B (en) | 2021-03-12 |
CN106433025A (en) | 2017-02-22 |
TWI707911B (en) | 2020-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6672630B2 (en) | Resin composition | |
JP6558055B2 (en) | Resin composition | |
CN107022169B (en) | Sheet-like laminated material | |
JP6950732B2 (en) | Resin composition | |
KR20170064482A (en) | Resin composition | |
JP2016027097A (en) | Resin composition | |
JP2018044040A (en) | Resin composition | |
KR20170113288A (en) | Resin sheet | |
JP2017008204A (en) | Resin composition | |
JP7020572B2 (en) | Resin composition | |
TWI745363B (en) | Resin composition | |
JP7400883B2 (en) | resin composition | |
JP2019183070A (en) | Resin composition | |
JP7310852B2 (en) | resin composition | |
JP2017179055A (en) | Thermosetting resin composition | |
JP2017177461A (en) | Resin sheet | |
JP2017177469A (en) | Resin sheet | |
JP6620457B2 (en) | Resin composition | |
JP2018021106A (en) | Resin composition | |
JP2018095749A (en) | Resin composition | |
JP6322989B2 (en) | Manufacturing method of component-embedded substrate | |
JP2019210319A (en) | Resin composition, sheet-like laminated material, printed wiring board, and semiconductor device | |
JP2019035056A (en) | Resin composition | |
JP2016210852A (en) | Resin composition | |
JP7188476B2 (en) | resin composition |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180501 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190122 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190320 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190517 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190917 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191217 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20191224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6672630 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |