詳細な説明
過去、所与の研磨層の研磨面に関するGSQ及びGFQ値が、効果的な研磨層を設計するための動作可能範囲を提供した。驚くことに、本発明は、研磨層設計の研磨層剛性とスラリー分布性能とを切り離すことにより、研磨層に関してこれまで定着していたGSQ及びGFQパラメータの型を打破するための手段を提供して、それにより、研磨層設計の範囲を、これまで得られなかった研磨性能特性のバランスへと拡大する。
明細書及び特許請求の範囲の中でポリマー相を参照して使用される「不揮発性」とは、ポリマー相(たとえば第2の連続不揮発性ポリマー相)が、研磨層中に存在する別のポリマー相(たとえば第1の連続不揮発性ポリマー相)に対して選択的に融解、溶解、分解又は他のやり方で消失しないことをいう。
明細書及び特許請求の範囲の中で、研磨面(14)を有するケミカルメカニカル研磨パッド(10)を参照して使用される「平均全厚さTT-avg」とは、研磨面(14)に対して垂直に研磨面(14)からサブパッド(25)の下面(27)までで計測される、ケミカルメカニカル研磨パッドの平均厚さTTをいう(図3及び7を参照)。
明細書及び特許請求の範囲の中で研磨層(20)を参照して使用される「実質的に円形の断面」とは、中心軸(12)から研磨層(20)の研磨面(14)の外周(15)までの断面の最長半径rが、中心軸(12)から研磨面(14)の外周(15)までの断面の最短半径rよりも≦20%しか長くないことをいう(図1を参照)。
本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)は、好ましくは、中心軸(12)を中心に回転するように適合されている(図1を参照)。好ましくは、研磨層(20)の研磨面(14)は、中心軸(12)に対して垂直な平面(28)にある。ケミカルメカニカル研磨パッド(10)は、任意選択で、中心軸(12)に対して85〜95°、好ましくは中心軸(12)に対して90°の角度γにある平面(28)において回転するように適合されている。好ましくは、研磨層(20)は、中心軸(12)に対して垂直な実質的に円形の断面を有する研磨面(14)を有する。好ましくは、中心軸(12)に対して垂直な研磨面(14)の断面の半径rは、断面に関して≦20%、より好ましくは断面に関して≦10%しか変化しない。
明細書及び特許請求の範囲の中で使用される「研磨媒」とは、粒子含有研磨溶液及び非粒子含有研磨溶液、たとえば無砥粒及び反応液研磨溶液を包含する。
明細書及び特許請求の範囲の中で使用される「化学結合」とは、原子間の引力を指し、共有結合、イオン結合、金属結合、水素結合及びファンデルワールス力を包含する。
明細書及び特許請求の範囲の中で使用される「ポリ(ウレタン)」とは、(a)(i)イソシアネート類と(ii)ポリオール類(ジオール類を含む)との反応から形成されるポリウレタン類、ならびに(b)(i)イソシアネート類と(ii)ポリオール類(ジオール類を含む)及び(iii)水、アミン類(ジアミン類及びポリアミン類を含む)又は水とアミン類(ジアミン類及びポリアミン類を含む)との混合物との反応から形成されるポリ(ウレタン)を包含する。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)は、特に、磁性基材、光学基材及び半導体基材の少なくとも一つから選択される基材の研磨を容易にするように設計されている。より好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)は、特に、半導体基材の研磨を容易にするように設計されている。もっとも好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)は、特に、半導体基材の研磨を容易にするように設計され、半導体基材は半導体ウェーハである。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)は、研磨面(14)、ベース面(17)及び研磨面(14)に対して垂直にベース面(17)から研磨面(14)までで計測される平均厚さTP-avgを有する研磨層(20)を含み、研磨層(20)は第1の連続不揮発性ポリマー相(30)及び第2の不揮発性ポリマー相(50)を含み、第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は、研磨面(14)に対して垂直に研磨面(14)からベース面(17)に向けて計測される、研磨面(14)からの平均凹部深さDavgを有する複数の周期性凹部(40)を有し、平均凹部深さDavgは平均厚さTP-avg未満であり(好ましくはDavg≦0.5*TP-avg、より好ましくはDavg≦0.4*TP-avg、もっとも好ましくはDavg≦0.375*TP-avg)、複数の周期性凹部(40)は第2の不揮発性ポリマー相(50)によって埋められ、第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は、8〜12重量%の未反応NCO基を有する第1の連続相末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーと第1の連続相硬化剤との反応生成物であり、第2の不揮発性ポリマー相(50)は第2の連続不揮発性ポリマー相及び第2の不連続不揮発性ポリマー相から選択され、第2の不揮発性ポリマー相(50)は、ポリ側(P)液状成分とイソ側(I)液状成分とを合わせることによって形成され、ポリ側(P)液状成分は、(P)側ポリオール類、(P)側ポリアミン類及び(P)側アルコールアミン類の少なくとも一つを含み、イソ側(I)液状成分は少なくとも一つの(I)側多官能イソシアネート類を含み、任意選択で、第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は複数の中空コアポリマー材料を含み、複数の中空コアポリマー材料は0〜58容量%で第1の連続不揮発性ポリマー相(30)に配合され、第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は≦6容量%(好ましくは≦5容量%、より好ましくは≦4容量%、もっとも好ましくは≦3容量%)の連続気泡気孔率を有し、第2の不揮発性ポリマー相(50)は≧10容量%(好ましくは25〜75容量%、より好ましくは30〜60容量%、もっとも好ましくは45〜55容量%)の連続気泡気孔率を有し、研磨面は、基材を研磨するように適されている(図1〜15)。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は、8〜12重量%の未反応NCO基を有する第1の連続相末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーと第1の連続相硬化剤との反応生成物を含む。より好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は、8.75〜12重量%の未反応NCO基を有する第1の連続相末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーと第1の連続相硬化剤との反応生成物を含む。より好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は、9.0〜9.25重量%の未反応NCO基を有する第1の連続相末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーと第1の連続相硬化剤との反応生成物を含む。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は、8〜12重量%の未反応NCO基を有する第1の連続相末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーと第1の連続相硬化剤との反応生成物であり、第1の連続相末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーは、第1の連続相ポリイソシアネート類(好ましくはジイソシアネート類)と第1の連続相ポリオール類との相互作用から得られ、第1の連続相ポリオール類は、ジオール類、ポリオール類、ポリオールジオール類、それらのコポリマー及びそれらの混合物からなる群から選択される。好ましくは、第1の連続相ポリオール類は、ポリテトラメチレンエーテルグリコール(PTMEG)、PTMEGとポリプロピレンエーテルグリコール(PPG)とのブレンド、及び低分子量ジオール類(たとえば1,2−ブタンジオール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール)とのそれらの混合物からなる群から選択される。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は、8〜12重量%の未反応NCO基を有する第1の連続相末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーと第1の連続相硬化剤との反応生成物であり、第1の連続相硬化剤は第1の連続相ポリアミン類である。好ましくは、第1の連続相ポリアミン類は芳香族ポリアミン類である。より好ましくは、第1の連続相ポリアミン類は、4,4′−メチレン−ビス−o−クロロアニリン(MbOCA)、4,4′−メチレン−ビス−(3−クロロ−2,6−ジエチルアニリン)(MCDEA)、ジメチルチオトルエンジアミン、トリメチレングリコールジ−p−アミノベンゾエート、ポリテトラメチレンオキシドジ−p−アミノベンゾエート、ポリテトラメチレンオキシドモノ−p−アミノベンゾエート、ポリプロピレンオキシドジ−p−アミノベンゾエート、ポリプロピレンオキシドモノ−p−アミノベンゾエート、1,2−ビス(2−アミノフェニルチオ)エタン、4,4′−メチレン−ビス−アニリン、ジエチルトルエンジアミン、5−tert−ブチル−2,4−トルエンジアミン、3−tert−ブチル−2,6−トルエンジアミン、5−tert−アミル−2,4−トルエンジアミン、3−tert−アミル−2,6−トルエンジアミン、5−tert−アミル−2,4−クロロトルエンジアミン及び3−tert−アミル−2,6−クロロトルエンジアミンからなる群から選択される芳香族ポリアミン類である。もっとも好ましくは、第1の連続相ポリアミン類は4,4′−メチレン−ビス−o−クロロアニリン(MbOCA)である。
市販のPTMEG系の末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーの例は、Imuthane(登録商標)プレポリマー(COIM USA, Inc.から市販されている、たとえばPET-80A、PET-85A、PET-90A、PET-93A、PET-95A、PET-60D、PET-70D、PET-75D)、Adiprene(登録商標)プレポリマー(Chemturaから市販されている、たとえばLF800A、LF900A、LF910A、LF930A、LF931A、LF939A、LF950A、LF952A、LF600D、LF601D、LF650D、LF667、LF700D、LF750D、LF751D、LF752D、LF753D及びL325)、Andur(登録商標)プレポリマー(Anderson Development Companyから市販されている、たとえば70APLF、80APLF、85APLF、90APLF、95APLF、60DPLF、70APLF、75APLF)を含む。
好ましくは、本発明の方法に使用される第1の連続相末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーは、0.1重量%未満の遊離トルエンジイソシアネート(TDI)モノマー含量を有する、低遊離イソシアネートで末端修飾されたウレタンプレポリマーである。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は、多孔構造及び無孔(すなわち非充填)構造の両方で提供されることができる。好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は、ASTM D1622にしたがって計測して≧0.5の比重を有する。より好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は、ASTM D1622にしたがって計測して0.5〜1.2(さらに好ましくは0.55〜1.1、もっとも好ましくは0.6〜0.95)の比重を有する。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は、ASTM D2240にしたがって計測して40〜90のショアーD硬さを有する。より好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は、ASTM D2240にしたがって計測して50〜75のショアーD硬さを有する。もっとも好ましくは、ケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は、ASTM D2240にしたがって計測して55〜70のショアーD硬さを有する。
好ましくは、ケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は多孔性である。好ましくは、第1の連続不揮発性ポリマー相は複数の微小要素を含む。好ましくは、複数の微小要素は、ケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)全体に均一に分散している。好ましくは、複数の微小要素は、閉じ込められた気泡、中空コアポリマー材料、液体充填中空コアポリマー材料、水溶性材料及び不溶相材料(たとえば鉱油)から選択される。より好ましくは、複数の微小要素は、第1の連続不揮発性ポリマー相(30)全体に均一に分散した閉じ込められた気泡及び中空コアポリマー材料から選択される。好ましくは、複数の微小要素は、150μm未満(より好ましくは50μm未満、もっとも好ましくは10〜50μm)の重量平均直径を有する。好ましくは、複数の微小要素は、ポリアクリロニトリル又はポリアクリロニトリルコポリマーのシェル壁を有するポリマーマイクロバルーン(たとえば、Akzo NobelのExpancel(登録商標))を含む。好ましくは、複数の微小要素は、0〜58容量%の気孔率(より好ましくは1〜58容量%、もっとも好ましくは10〜35容量%の気孔率)でケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)に配合される。好ましくは、ケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は≦6容量%(より好ましくは≦5容量%、さらに好ましくは≦4容量%、もっとも好ましくは≦3容量%)の連続気泡気孔率を有する。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第2の不揮発性ポリマー相(50)は、第2の連続不揮発性ポリマー相(52)(たとえば図7及び11を参照)及び第2の不連続不揮発性ポリマー相(58)(たとえば図3及び15を参照)から選択される。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第2の不揮発性ポリマー相(50)は、ポリ側(P)液状成分とイソ側(I)液状成分とを合わせることによって形成される。
好ましくは、ポリ側(P)液状成分は、(P)側ポリオール類、(P)側ポリアミン類及び(P)側アルコールアミン類の少なくとも一つを含む。
好ましくは、(P)側ポリオール類は、ジオール類、ポリオール類、ポリオールジオール類、それらのコポリマー及びそれらの混合物からなる群から選択される。より好ましくは、(P)側ポリオール類は、ポリエーテルポリオール類(たとえばポリ(オキシテトラメチレン)グリコール、ポリ(オキシプロピレン)グリコール及びそれらの混合物)、ポリカーボネートポリオール類、ポリエステルポリオール類、ポリカプロラクトンポリオール類、それらの混合物、ならびにエチレングリコール、1,2−プロピレングリコール、1,3−プロピレングリコール、1,2−ブタンジオール、1,3−ブタンジオール、2−メチル−1,3−プロパンジオール、1,4−ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、1,5−ペンタンジオール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール及びトリプロピレングリコールからなる群から選択される一つ以上の低分子量ポリオール類とのそれらの混合物からなる群から選択される。さらに好ましくは、(P)側ポリオール類は、ポリテトラメチレンエーテルグリコール(PTMEG)、エステル系ポリオール類(たとえばエチレンアジペート、ブチレンアジペート)、ポリプロピレンエーテルグリコール類(PPG)、ポリカプロラクトンポリオール類、それらのコポリマー及びそれらの混合物からなる群から選択される。
好ましくは、使用されるポリ側(P)液状成分は(P)側ポリオール類を含み、(P)側ポリオール類は、2,500〜100,000の数平均分子量MNを有する高分子量ポリオール類を含む。より好ましくは、使用される高分子量ポリオール類は、5,000〜50,000(さらに好ましくは7,500〜25,000、もっとも好ましくは10,000〜12,000)の数平均分子量MNを有する。
好ましくは、使用されるポリ側(P)液状成分は(P)側ポリオール類を含み、(P)側ポリオール類は、1分子あたり平均3〜10個のヒドロキシル基を有する高分子量ポリオール類を含む。より好ましくは、使用される高分子量ポリオール類は、1分子あたり平均4〜8個(さらに好ましくは5〜7個、もっとも好ましくは6個)のヒドロキシル基を有する。
市販の高分子量ポリオール類の例は、Specflex(登録商標)ポリオール類、Voranol(登録商標)ポリオール類及びVoralux(登録商標)ポリオール類(The Dow Chemical Companyから市販)、Multranol(登録商標)スペシャルティーポリオール及びUltracel(登録商標)フレキシブルポリオール(Bayer MaterialScience LLCから市販)ならびにPluracol(登録商標)ポリオール(BASFから市販)を含む。いくつかの好ましい高分子量ポリオール類を表1に挙げる。
好ましくは、(P)側ポリアミン類は、ジアミン類及び他の多官能アミン類からなる群から選択される。より好ましくは、(P)側ポリアミン類は、芳香族ジアミン類及び他の多官能芳香族アミン類、たとえば4,4′−メチレン−ビス−o−クロロアニリン(MbOCA)、4,4′−メチレン−ビス−(3−クロロ−2,6−ジエチルアニリン)(MCDEA)、ジメチルチオトルエンジアミン、トリメチレングリコールジ−p−アミノベンゾエート、ポリテトラメチレンオキシドジ−p−アミノベンゾエート、ポリテトラメチレンオキシドモノ−p−アミノベンゾエート、ポリプロピレンオキシドジ−p−アミノベンゾエート、ポリプロピレンオキシドモノ−p−アミノベンゾエート、1,2−ビス(2−アミノフェニルチオ)エタン、4,4′−メチレン−ビス−アニリン、ジエチルトルエンジアミン、5−tert−ブチル−2,4−トルエンジアミン、3−tert−ブチル−2,6−トルエンジアミン、5−tert−アミル−2,4−トルエンジアミン及び3−tert−アミル−2,6−トルエンジアミン及びクロロトルエンジアミンからなる群から選択される。
好ましくは、(P)側アルコールアミン類は、アミン開始ポリオール類からなる群から選択される。より好ましくは、(P)側アルコールアミン類は、1分子あたり1〜4個(さらに好ましくは2〜4個、もっとも好ましくは2個)の窒素原子を含むアミン開始ポリオール類からなる群から選択される。好ましくは、(P)側アルコールアミン類は、1分子あたり平均少なくとも3個のヒドロキシル基を有するアミン開始ポリオール類からなる群から選択される。より好ましくは、(P)側アルコールアミン類は、1分子あたり平均3〜6個(さらに好ましくは3〜5個、もっとも好ましくは4個)のヒドロキシル基を有するアミン開始ポリオール類からなる群から選択される。特に好ましいアミン開始ポリオール類は、≦700(好ましくは150〜650、より好ましくは200〜500、もっとも好ましくは250〜300)の数平均分子量MN(を有し)、350〜1,200mgKOH/gのヒドロキシル価(ASTM試験法D4274−11によって測定)を有する。より好ましくは、使用されるアミン開始ポリオール類は400〜1,000mgKOH/g(もっとも好ましくは600〜850mgKOH/g)のヒドロキシル価を有する。市販のアミン開始ポリオール類の例は、Voranol(登録商標)ファミリーのアミン開始ポリオール類(The Dow Chemical Companyから市販)、Quadrol(登録商標)スペシャルティーポリオール(N,N,N′,N′−テトラキス(2−ヒドロキシプロピルエチレンジアミン)(BASFから市販)、Pluracol(登録商標)アミン系ポリオール類(BASFから市販)、Multranol(登録商標)アミン系ポリオール類(Bayer MaterialScience LLCから市販)、トリイソプロパノールアミン(TIPA)(The Dow Chemical Companyから市販)及びトリエタノールアミン(TEA)(Mallinckrodt Baker Inc.から市販)を含む。いくつかの好ましいアミン開始ポリオール類を表2に挙げる。
好ましくは、イソ側(I)液状成分は少なくとも一つの(I)側多官能イソシアネート類を含む。好ましくは、少なくとも一つの(I)側多官能イソシアネート類は二つの反応性イソシアネート基(すなわちNCO)を含む。
好ましくは、少なくとも一つの(I)側多官能イソシアネート類は、(I)側脂肪族多官能イソシアネート類、(I)側芳香族多官能イソシアネート類及びそれらの混合物からなる群から選択される。より好ましくは、(I)側多官能イソシアネート類は、2,4−トルエンジイソシアネート、2,6−トルエンジイソシアネート、4,4′−ジフェニルメタンジイソシアネート、ナフタレンジ−1,5−ジイソシアネート、トリジンジイソシアネート、パラ−フェニレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、4,4′−ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、シクロヘキサンジイソシアネート及びそれらの混合物からなる群から選択される(I)側ジイソシアネート類である。さらに好ましくは、少なくとも一つの(I)側多官能イソシアネート類は、(I)側ジイソシアネート類と(I)側プレポリマーポリオール類との反応によって形成される(I)側末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーである。
好ましくは、少なくとも一つの(I)側多官能イソシアネート類は(I)側末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーであり、(I)側末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーは2〜12重量%の未反応イソシアネート(NCO)基を有する。より好ましくは、本発明の方法に使用される(I)側末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーは2〜10重量%(さらに好ましくは4〜8重量%、もっとも好ましくは5〜7重量%)の未反応イソシアネート(NCO)基を有する。
好ましくは、使用される(I)側末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーは、(I)側ジイソシアネート類及び(I)側プレポリマーポリオール類から反応し、(I)側プレポリマーポリオール類は、ジオール類、ポリオール類、ポリオールジオール類、それらのコポリマー及びそれらの混合物からなる群から選択される。より好ましくは、(I)側プレポリマーポリオール類は、ポリエーテルポリオール類(たとえばポリ(オキシテトラメチレン)グリコール、ポリ(オキシプロピレン)グリコール及びそれらの混合物)、ポリカーボネートポリオール類、ポリエステルポリオール類、ポリカプロラクトンポリオール類、それらの混合物、ならびにエチレングリコール、1,2−プロピレングリコール、1,3−プロピレングリコール、1,2−ブタンジオール、1,3−ブタンジオール、2−メチル−1,3−プロパンジオール、1,4−ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、1,5−ペンタンジオール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール及びトリプロピレングリコールからなる群から選択される一つ以上の低分子量ポリオール類とのそれらの混合物からなる群から選択される。さらに好ましくは、(I)側プレポリマーポリオール類は、ポリテトラメチレンエーテルグリコール(PTMEG)、エステル系ポリオール類(たとえばエチレンアジペート、ブチレンアジペート)、ポリプロピレンエーテルグリコール類(PPG)、ポリカプロラクトンポリオール類、それらのコポリマー及びそれらの混合物からなる群から選択される。もっとも好ましくは、(I)側プレポリマーポリオール類は、PTMEG及びPPGからなる群から選択される。
好ましくは、(I)側プレポリマーポリオール類がPTMEGである場合、(I)側末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーは2〜10重量%(より好ましくは4〜8重量%、もっとも好ましくは6〜7重量%)の未反応イソシアネート(NCO)濃度を有する。市販のPTMEG系の末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーの例は、Imuthane(登録商標)プレポリマー(COIM USA, Inc.から市販されている、たとえばPET-80A、PET-85A、PET-90A、PET-93A、PET-95A、PET-60D、PET-70D、PET-75D)、Adiprene(登録商標)プレポリマー(Chemturaから市販されている、たとえばLF800A、LF900A、LF910A、LF930A、LF931A、LF939A、LF950A、LF952A、LF600D、LF601D、LF650D、LF667、LF700D、LF750D、LF751D、LF752D、LF753D及びL325)、Andur(登録商標)プレポリマー(Anderson Development Companyから市販されている、たとえば70APLF、80APLF、85APLF、90APLF、95APLF、60DPLF、70APLF、75APLF)を含む。
好ましくは、(I)側プレポリマーポリオール類がPPGである場合、(I)側末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーは3〜9重量%(より好ましくは4〜8重量%、もっとも好ましくは5〜6重量%)の未反応イソシアネート(NCO)濃度を有する。市販のPPG系の末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーの例は、Imuthane(登録商標)プレポリマー(COIM USA, Inc.から市販されている、たとえばPPT-80A、PPT-90A、PPT-95A、PPT-65D、PPT-75D)、Adiprene(登録商標)プレポリマー(Chemturaから市販されている、たとえばLFG963A、LFG964A、LFG740D)及びAndur(登録商標)プレポリマー(Anderson Development Companyから市販されている、たとえば8000APLF、9500APLF、6500DPLF、7501DPLF)を含む。
好ましくは、本発明の方法に使用される(I)側末端イソシアネート修飾ウレタンプレポリマーは、0.1重量%未満の遊離トルエンジイソシアネート(TDI)モノマー含量を有する、低遊離イソシアネートで末端修飾されたウレタンプレポリマーである。
好ましくは、ポリ側(P)液状成分及びイソ側(I)液状成分の少なくとも一つは、任意選択で、さらなる液状物質を含有することができる。たとえば、ポリ側(P)液状成分及びイソ側(I)液状成分の少なくとも一つは、発泡剤(たとえばカルバメート発泡剤、たとえば、The Dow Chemical Companyから市販されているSpecflex(商標)NR556CO2/脂肪族アミンアダクト)、触媒(たとえば第三級アミン触媒、たとえば、Air Products, Inc.から市販されているDabco(登録商標)33LV触媒及びスズ触媒、たとえばMomentiveから市販されているFomrez(登録商標)スズ触媒)及び界面活性剤(たとえば、Evonikから市販されているTegostab(登録商標)シリコン界面活性剤)からなる群から選択される液状物質を含有することができる。好ましくは、ポリ側(P)液状成分はさらなる液状物質を含有する。より好ましくは、ポリ側(P)液状成分はさらなる液状物質を含有し、さらなる液状物質は触媒及び界面活性剤の少なくとも一つである。もっとも好ましくは、ポリ側(P)液状成分は触媒及び界面活性剤を含有する。
好ましくは、ケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第2の不揮発性ポリマー相(50)は、ASTM D2240にしたがって計測して10〜70のショアーD硬さを有する。より好ましくは、ケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第2の不揮発性ポリマー相(50)は、ASTM D2240にしたがって計測して20〜60(さらに好ましくは25〜55、もっとも好ましくは40〜50)のショアーD硬さを有する。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第2の不揮発性ポリマー相(50)は≧10容量%の連続気泡気孔率を有する。より好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)中の第2の不揮発性ポリマー相(50)は25〜75容量%(より好ましくは30〜60容量%、もっとも好ましくは45〜55容量%)の連続気泡気孔率を有する。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は、研磨面(14)に対して垂直に研磨面(14)からベース面に向けて計測される深さDを有する複数の周期性凹部(40)を有する。好ましくは、複数の周期性凹部(40)は平均深さDavg(Davg<TP-avg)を有する。より好ましくは、複数の周期性凹部(40)は平均深さDavg(Davg≦0.5*TP-avg、より好ましくはDavg≦0.4*TP-avg、もっとも好ましくはDavg≦0.375*TP-avg)を有する。好ましくは、複数の周期性凹部は少なくとも一つの溝によって切開されている(図3、7、11及び15を参照)。
好ましくは、複数の周期性凹部(40)は、カーブした凹部、直線状の凹部及びそれらの組み合わせから選択される(図2、5、6、8、9、10、13及び14を参照)。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は複数の周期性凹部(40)を含み、複数の周期性凹部は、少なくとも二つの同心的な凹部(45)の群である(図2、5、6及び9を参照)。好ましくは、少なくとも二つの同心的な凹部(45)は、≧15ミル(好ましくは15〜40ミル、より好ましくは25〜35ミル、もっとも好ましくは30ミル)の平均凹部深さDavg、≧5ミル(好ましくは5〜150ミル、より好ましくは10〜100ミル、もっとも好ましくは15〜50ミル)の幅及び≧10ミル(好ましくは25〜150ミル、より好ましくは50〜100ミル、もっとも好ましくは60〜80ミル)のピッチを有する。好ましくは、少なくとも二つの同心的な凹部(45)は幅及びピッチを有し、幅とピッチは等しい。
好ましくは、複数の周期性凹部(40)は、複数の不連続な周期性凹部(41)及び複数の相互接続された周期性凹部(42)からなる群から選択することができる。好ましくは、複数の周期性凹部(40)が複数の不連続な周期性凹部(41)である場合、第2の不揮発性ポリマー相(50)は第2の不連続不揮発性ポリマー相(58)である(たとえば図2、3及び5を参照)。好ましくは、複数の周期性凹部(40)が複数の相互接続された周期性凹部(42)である場合、第2の不揮発性ポリマー相(50)は第2の連続不揮発性ポリマー相(52)である(たとえば図6及び7を参照)。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は複数の不連続な周期性凹部(41)を含み、複数の不連続な周期性凹部(41)は、少なくとも二つの同心的な凹部(45)の群である(たとえば図2を参照)。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は複数の不連続な周期性凹部(41)を含み、複数の周期性凹部(41)は、少なくとも二つのクロスハッチ状凹部(61)の群であり、複数の周期性凹部(41)は少なくとも一つの溝(62)によって切開されている(たとえば図14及び15を参照)。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)中の第1の連続不揮発性ポリマー相(30)は複数の相互接続された周期性凹部(42)を含み、複数の相互接続された周期性凹部は、少なくとも二つの同心的な凹部(45)の群であり、少なくとも一つの相互接続部(48)が少なくとも二つの同心的な凹部(45)を相互接続している(たとえば図6及び7を参照)。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)中の連続不揮発性ポリマー相(30)は複数の相互接続された周期性凹部(40)を含み、複数の周期性凹部は、少なくとも二つの相互接続されたクロスハッチ状凹部(60)の群である(たとえば図8を参照)。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)中の複数の周期性凹部(40)を埋める第2の不揮発性ポリマー相(50)は、研磨面(14)に対して垂直に研磨層(20)のベース面(17)から研磨面(14)に向けて計測される高さHを有する。好ましくは、複数の周期性凹部(40)を埋める第2の不揮発性ポリマー相(50)は、研磨面(14)に対して垂直に研磨層(20)のベース面(17)から研磨面(14)に向けて計測される平均高さHavgを有し、研磨層(20)の平均厚さTP-avgと第2の不揮発性ポリマー相(50)の平均高さHavgとの差ΔSの絶対値は≦0.5μmである。より好ましくは、複数の周期性凹部(40)を埋める第2の不揮発性ポリマー相(50)は、研磨面(14)に対して垂直に研磨層(20)のベース面(17)から研磨面(14)に向けて計測される平均高さHavgを有し、研磨層(20)の平均厚さTP-avgと第2の不揮発性ポリマー相(50)の平均高さHavgとの差ΔSの絶対値は≦0.2μmである。さらに好ましくは、複数の周期性凹部(40)を埋める第2の不揮発性ポリマー相(50)は、研磨面(14)に対して垂直に研磨層(20)のベース面(17)から研磨面(14)に向けて計測される平均高さHavgを有し、研磨層(20)の平均厚さTP-avgと第2の不揮発性ポリマー相(50)の平均高さHavgとの差ΔSの絶対値は≦0.1μmである。もっとも好ましくは、複数の周期性凹部(40)を埋める第2の不揮発性ポリマー相(50)は、研磨面(14)に対して垂直に研磨層(20)のベース面(17)から研磨面(14)に向けて計測される平均高さHavgを有し、研磨層(20)の平均厚さTP-avgと第2の不揮発性ポリマー相(50)の平均高さHavgとの差ΔSの絶対値は≦0.05μmである(図3、7、11及び15を参照)。
好ましくは、第2の不揮発性ポリマー相(50)は第1の連続不揮発性ポリマー相(30)中の複数の周期性凹部(40)を埋め、第1の連続不揮発性ポリマー相(30)と第2の不揮発性ポリマー相(50)との間には化学結合がある。より好ましくは、第2の不揮発性ポリマー相(50)は第1の連続不揮発性ポリマー相(30)中の複数の周期性凹部(40)を埋め、第1の連続不揮発性ポリマー相(30)と第2の不揮発性ポリマー相(50)との間には共有結合があり、相間の共有結合が分断されない限り、相を分離することはできない。
当業者は、所与の研磨作業のためにケミカルメカニカル研磨パッド(10)における使用に適した厚さTPを有する研磨層(20)を選択することを理解するであろう。好ましくは、研磨層(20)は、研磨面(14)の平面(28)に対して垂直な軸(12)に沿って平均厚さTP-avgを示す。より好ましくは、平均厚さTP-avgは20〜150ミル(より好ましくは30〜125ミル、もっとも好ましくは40〜120ミル)である(図1、3、7、11及び15を参照)。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)の研磨面(14)は、磁性基材、光学基材及び半導体基材の少なくとも一つから選択される基材(より好ましくは半導体基材、もっとも好ましくは半導体ウェーハ)を研磨するように適合されている。好ましくは、研磨層(20)の研磨面(14)は、基材の研磨を促進するためのマクロテキスチャ及びミクロテキスチャの少なくとも一つを有する。好ましくは、研磨面(14)はマクロテキスチャを有し、マクロテキスチャは、(i)ハイドロプレーニングを緩和すること、(ii)研磨媒の流れに影響すること、(iii)研磨層の剛性を変化させること、(iv)エッジ効果を減らすこと、及び(v)研磨面(14)と研磨される基材との間の区域からの研磨くずの移送を促進することの少なくとも一つを実行するように設計されている。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)はさらに、少なくとも一つの穿孔(図示せず)及び少なくとも一つの溝(62)の少なくとも一つを含む。より好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)は、研磨面(14)に開口し、研磨面(14)に対して垂直に研磨面(14)からベース面(17)に向けて計測される、研磨層(14)からの溝深さGdepthを有する、研磨層(20)に形成された少なくとも一つの溝(62)を有する。好ましくは、少なくとも一つの溝(62)は研磨面(14)上に配置されて、研磨中にケミカルメカニカル研磨パッド(10)が回転するとき、少なくとも一つの溝(62)が基材の上を掃くようになっている。好ましくは、少なくとも一つの溝(62)は、カーブした溝、直線状の溝及びそれらの組み合わせから選択される。好ましくは、少なくとも一つの溝(62)は≧10ミル(好ましくは10〜150ミル)の溝深さGdepthを有する。好ましくは、少なくとも一つの溝(62)は溝深さGdepth≦複数の周期性凹部の平均深さDavgを有する。好ましくは、少なくとも一つの溝(62)は溝深さGdepth>複数の周期性凹部の平均深さDavgを有する。好ましくは、少なくとも一つの溝(62)は、≧10ミル、≧15ミル及び15〜150ミルから選択される溝深さGdepth、≧10ミル及び10〜100ミルから選択される幅、及び≧30ミル、≧50、50〜200ミル、70〜200ミル及び90〜200ミルから選択されるピッチの組み合わせを有する少なくとも二つの溝(62)を含む溝パターンを形成する。好ましくは、少なくとも一つの溝(62)は、(a)少なくとも二つの同心状の溝、(b)少なくとも一つのらせん溝、(c)クロスハッチ溝パターン、及び(d)それらの組み合わせから選択される(図11及び15を参照)。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)は、その中に配合された砥粒<0.2重量%を有する。より好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)の研磨層(20)は、その中に配合された砥粒<1ppmを有する。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)はさらにサブパッド(25)を含む。好ましくは、サブパッド(25)は、連続気泡発泡体、独立気泡発泡体、織布材料、不織材料(たとえばフェルト、スパンボンデッド及びニードルパンチド材料)及びそれらの組み合わせからなる群から選択される材料でできている。当業者は、サブパッド(25)としての使用に適切な材料構成及び厚さTsを選択することを承知しているであろう。好ましくは、サブパッド(25)は、≧15ミル(より好ましくは30〜100ミル、もっとも好ましくは30〜75ミル)の平均サブパッド厚さTS-avgを有する(図3及び7を参照)。
当業者は、ケミカルメカニカル研磨パッド(10)における使用に適切なスタック接着剤(23)を選択する方法を承知しているであろう。好ましくは、スタック接着剤(23)はホットメルト接着剤である。より好ましくは、スタック接着剤(23)は反応性ホットメルト接着剤である。さらに好ましくは、ホットメルト接着剤(23)は、その非硬化状態で50〜150℃、好ましくは115〜135℃の融解温度を示し、融解後≦90分の可使時間を示す硬化反応性ホットメルト接着剤である。もっとも好ましくは、その非硬化状態の反応性ホットメルト接着剤(23)はポリウレタン樹脂(たとえば、The Dow Chemical Companyから市販されているMor-Melt(商標)R5003)を含む。
好ましくは、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)は、研磨機のプラテンとインタフェースするように適合されている。好ましくは、ケミカルメカニカル研磨パッド(10)は、研磨機のプラテンに固定されるように適合されている。より好ましくは、ケミカルメカニカル研磨パッド(10)は、感圧接着剤及び真空の少なくとも一つを使用してプラテンに固定されることができる。
好ましくは、ケミカルメカニカル研磨パッド(10)は、サブパッド(25)の下面(27)に適用される感圧プラテン接着剤(70)を含む。当業者は、感圧プラテン接着剤(70)としての使用に適切な感圧接着剤を選択する方法を承知しているであろう。好ましくは、ケミカルメカニカル研磨パッド(10)はまた、感圧プラテン接着剤(70)の上に適用される剥離ライナ(75)を含み、感圧プラテン接着剤(70)は硬質層(25)の下面(27)と剥離ライナ(75)との間に挿入される(図3及び7を参照)。
基材研磨作業における重要な工程は、加工の終点を決定することである。終点検出のための一つの一般的なインサイチュー法は、選択された波長の光に対して透過性であるウィンドウを研磨パッドに設けることを含む。研磨中、光ビームがそのウィンドウを通してウェーハ表面に当てられると、そこで反射し、ウィンドウを反対に通過して検出器(たとえば分光光度計)に達する。この戻り信号に基づき、終点検出のために基材表面の性質(たとえばその上の膜の厚さ)を測定することができる。そのような光学終点検出法を容易にするために、本発明のケミカルメカニカル研磨パッド(10)はさらに、任意選択で、終点検出ウィンドウ(65)を含む。好ましくは、終点検出ウィンドウ(65)は、研磨層(20)に組み込まれた一体型ウィンドウ及びケミカルメカニカル研磨パッド(10)に組み込まれた嵌め込み型終点検出ウィンドウブロックから選択される。当業者は、所期の研磨加工に使用するための終点検出ウィンドウに適切な構成材料を選択することを承知しているであろう(図12を参照)。
好ましくは、本発明の基材を研磨する方法は、磁性基材、光学基材及び半導体基材の少なくとも一つから選択される基材(好ましくは半導体基材、より好ましくは半導体ウェーハである半導体基材)を提供する工程、本発明のケミカルメカニカル研磨パッドを提供する工程、研磨層の研磨面と基材との間に動的接触を生じさせて基材の表面を研磨する工程、及び研磨面を砥粒コンディショナによってコンディショニングする工程を含む。より好ましくは、本発明の基材を研磨する方法において、第1の連続不揮発性ポリマー相(30)及び第2の不揮発性ポリマー相(50)は研磨層(20)の研磨面(14)から均等に摩耗する。もっとも好ましくは、本発明の基材を研磨する方法において、第1の連続不揮発性ポリマー相(30)及び第2の不揮発性ポリマー相(50)は、研磨層(20)の研磨面(14)から、研磨層(20)の平均厚さTP-avgと第2の不揮発性ポリマー相(50)の平均高さHavgとの差ΔSの絶対値がケミカルメカニカル研磨パッド(10)の耐用寿命を通して≦0.5μm(好ましくは≦0.2μm、より好ましくは≦0.1μm、もっとも好ましくは≦0.05μm)にとどまるような実質的に同じ速度で摩耗する。
以下の実施例において本発明のいくつかの実施形態を詳細に説明する。
実施例1〜3:ケミカルメカニカル研磨パッド
市販のポリウレタン研磨パッドを、実施例1〜3それぞれにしたがって調製されたケミカルメカニカル研磨パッド中の第1の連続不揮発性ポリマー相として使用した。特に、実施例1においては、30ミルの平均凹部深さDavg、60ミルの幅及び120ミルのピッチを有する複数の同心円状の周期性凹部を有する市販のIC1000(商標)ポリウレタン研磨パッドを第1の連続不揮発性ポリマー相として提供した。実施例2においては、30ミルの平均凹部深さDavg、35ミルの幅及び70ミルのピッチを有する複数の同心円状の凹部を有する市販のVP5000(商標)ポリウレタン研磨パッドを第1の連続不揮発性ポリマー相として提供した。実施例3においては、30ミルの平均凹部深さDavg、60ミルの幅及び120ミルのピッチを有する複数の同心円状の凹部を有する市販のVP5000(商標)ポリウレタン研磨パッドを第1の連続不揮発性ポリマー相として提供した。
高分子量ポリエーテルポリオール(The Dow Chemical Companyから市販されているVoralux(登録商標)HF505ポリオール)77.62重量%、モノエチレングリコール21.0重量%、シリコーン界面活性剤(Evonikから市販されているTegostab(登録商標)B8418界面活性剤)1.23重量%、スズ触媒(Momentiveから市販されているFomrez(登録商標)UL-28)0.05重量%及び第3級アミン触媒(Air Products, Inc.から市販されているDabco(登録商標)33LV触媒)0.10重量%を含有するポリ側(P)液状成分を提供した。さらなる液状物質(The Dow Chemical Companyから市販されているSpecflex(商標)NR556CO2/脂肪族アミンアダクト)を、ポリ側(P)液状成分100重量部あたり4重量部でポリ側(P)液状成分に加えた。改質ジフェニルメタンジイソシアネート類(The Dow Chemical Companyから市販されているIsonate(商標)181MDIプレポリマー)100重量%を含有するイソ側(I)液状成分を提供した。加圧ガス(乾燥空気)を提供した。
次いで、(P)側液体供給ポート、(I)側液体供給ポート及び四つの接線方向加圧ガス供給ポートを有する軸混合装置(Hennecke GmbHから市販されているMicroLine 45CSM軸混合装置)を使用して、第1の連続不揮発性ポリマー相材料それぞれの複数の同心円状の凹部中に第2の不揮発性ポリマー相を提供した。ポリ側(P)液状成分及びイソ側(I)液状成分を、それぞれの供給ポートを介して、(P)側チャージ圧12,500kPa、(I)側チャージ圧17,200kPa及び(I)/(P)重量比1.564(NCO基に対する反応性水素基の化学量論比0.95を与える)で軸混合装置に供給した。接線方向加圧ガス供給ポートを介して加圧ガスを830kPaの供給圧で供給して、軸混合装置を通過する合計液状成分:ガス質量流量の比3.8:1を与えて混合物を形成した。次いで、混合物を、軸混合装置から、前記第1の連続不揮発性ポリマー相それぞれに向けて254m/secの速度で放出して複数の凹部に充填し、複合構造を形成した。複合構造を100℃で16時間、硬化させた。次いで、複合構造を旋盤上で平坦に機械加工して、実施例1〜3のケミカルメカニカル研磨パッドを得た。次いで、実施例1〜3のケミカルメカニカル研磨パッドそれぞれの研磨面に溝を形成して、70ミルの溝幅、32ミルの溝深さ及び580ミルのピッチを有するX−Y溝パターンを設けた。
連続気泡気孔率
市販のIC1000(商標)研磨パッド研磨層及びVP5000(商標)研磨パッド研磨層の連続気泡気孔率は<3容量%であると報告されている。実施例1〜3それぞれのケミカルメカニカル研磨パッド中に形成された第2の不揮発性ポリマー相の連続気泡気孔率は>10容量%であった。
比較例PC1〜PC2及び実施例P1〜P3
ケミカルメカニカルポリッシング除去速度実験
実施例1〜3それぞれにしたがって調製したケミカルメカニカル研磨パッドを使用して二酸化ケイ素除去速度研磨試験を実施し、実施例に記した同じX−Y溝パターンをそれぞれ有するIC1000(商標)ポリウレタン研磨パッド及びVP5000(商標)(いずれもRohm and Haas Electronic Materials CMP Inc.から市販)を使用して比較例PC1〜PC2で得られた試験と比較した。具体的に、各研磨パッドの場合の二酸化ケイ素除去速度を表3に提示する。研磨除去速度実験は、Novellus Systems, Inc.の200mmブランケットS15KTEN TEOSシートウェーハに対して実施した。Applied Materialsの200mm Mirra(登録商標)研磨機を使用した。すべての研磨実験を、8.3kPa(1.2psi)のダウンフォース、200ml/minのスラリー(Rohm and Haas Electronic Materials CMP Inc.から市販されているACuPlane(商標)5105スラリー)流量、93rpmのテーブル回転速度及び87rpmのキャリヤ回転速度で実施した。Saesol 8031Cダイアモンドパッドコンディショナ(Saesol Diamond Ind. Co., Ltd.から市販)を使用して研磨パッドをコンディショニングした。各研磨パッドを、コンディショナにより、31.1Nのダウンフォースを使用して30分間ならし運用した。さらに、研磨中、研磨パッドを、研磨パッドの中心から1.7〜9.2インチまで、31.1Nのダウンフォースを使用して毎分10スイープで、インサイチューで50%コンディショニングした。研磨の前後で、49点スパイラルスキャンを使用するKLA-Tencor FX200計測ツールを使用して、エッジ除外領域3mmで膜厚さを計測することにより、除去速度を測定した。除去速度実験それぞれを三回実施した。研磨パッドそれぞれの三重反復除去速度実験の平均除去速度を表3に提示する。