JP2017034224A - Electronic module - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子部品が搭載された絶縁基板と外部回路基板との間に補強樹脂が配置された電子モジュールに関するものである。 The present invention relates to an electronic module in which a reinforcing resin is disposed between an insulating substrate on which electronic components are mounted and an external circuit board.
IC、LSI等の半導体集積回路素子、LD(半導体レーザーダイオード)、LED(発光ダイオード)、PD(フォトダイオード)、イメージセンサ等の光半導体素子およびその他の種々の電子部品は、配線基板等に実装されて電子モジュールとなり、種々の電子機器に部品として実装されている。この配線基板として、次のようなものが多用されている。すなわち、ガラスセラミック質焼結体等からなる矩形状等の絶縁基板と、絶縁基板の一方の主面に設けられ、電子部品および外部回路基板を電気的に接続するための複数の電極端子と、絶縁基板の他方の主面に設けられた外部接続用の複数の接続パッドとを有するものが多用されている。電極端子と接続パッドとは、互いに対応する信号用等のもの同士が互いに電気的に接続されている。 Semiconductor integrated circuit elements such as IC and LSI, LD (semiconductor laser diode), LED (light emitting diode), PD (photodiode), optical semiconductor elements such as image sensors, and other various electronic components are mounted on a wiring board, etc. Thus, an electronic module is formed and mounted as a component in various electronic devices. The following are frequently used as this wiring board. That is, an insulating substrate such as a rectangular shape made of a glass-ceramic sintered body, etc., and a plurality of electrode terminals provided on one main surface of the insulating substrate for electrically connecting an electronic component and an external circuit board, One having a plurality of connection pads for external connection provided on the other main surface of the insulating substrate is often used. The electrode terminals and the connection pads are electrically connected to each other corresponding to signals and the like.
配線基板が電気的および機械的に接続される外部回路基板には、絶縁基板の主面に設けられた複数の接続パッドにそれぞれ対向するように複数の端子が配置されており、互いに対向し合うそれぞれの接続パッドと端子とが、はんだ等の金属からなる接続バンプを介して電気的に接続されて、電子モジュールとなる。 On the external circuit board to which the wiring board is electrically and mechanically connected, a plurality of terminals are arranged so as to face the plurality of connection pads provided on the main surface of the insulating board, and face each other. Each connection pad and terminal are electrically connected via connection bumps made of metal such as solder to form an electronic module.
また、近年、半導体集積回路素子等の電子部品が有する配線の高密度化に伴い、絶縁基板の大型化の要求がある。絶縁基板が大型化すると、電子モジュールに温度変化が起きた際に、絶縁基板の主面の外周部(特に角部およびその近傍)において、絶縁基板と外部回路基板間との線熱膨張係数の差に起因して生じる熱応力が従来よりも大きくなる。この応力によって、接続バンプおよびその周辺にクラック等の破壊が生じる可能性が高くなる。 In recent years, there has been a demand for a larger insulating substrate as the wiring density of electronic components such as semiconductor integrated circuit elements has increased. When the insulating substrate becomes larger, when the temperature of the electronic module changes, the coefficient of linear thermal expansion between the insulating substrate and the external circuit substrate is increased at the outer peripheral portion (especially the corner portion and its vicinity) of the main surface of the insulating substrate. The thermal stress caused by the difference is larger than before. This stress increases the possibility of breakage such as cracks in the connection bumps and the periphery thereof.
そこで、この破壊を抑制するために、絶縁基板と外部回路基板との間に補強樹脂(いわゆるアンダーフィル)を設ける場合がある。 Therefore, in order to suppress this destruction, a reinforcing resin (so-called underfill) may be provided between the insulating substrate and the external circuit substrate.
上述した補強樹脂については、電子モジュールが実装された後、電子部品等に不具合が発見されたときに、電子部品を交換するいわゆるリペア処理が必要になった場合等を考慮して、絶縁基板と外部回路基板との間の外周部の一部に設けられる場合がある。この場合には、少なくとも、上記の応力が特に集中しやすい部分、つまり平面視で絶縁基板の角部と重なる部分に補強樹脂が設けられる。 Regarding the above-mentioned reinforcing resin, in the case where a so-called repair process is required to replace an electronic component when a defect is found in the electronic component after the electronic module is mounted, It may be provided in a part of the outer periphery between the external circuit board. In this case, the reinforcing resin is provided at least in a portion where the stress is particularly likely to be concentrated, that is, in a portion overlapping the corner portion of the insulating substrate in plan view.
しかしながら、上記角部等の、絶縁基板と外部回路基板との間の外周部の一部に補強樹脂が設けられる場合、次のような問題が生じる可能性があることを本発明の発明者は予見し、検討の結果、本発明を完成させるに至ったものである。 However, when the reinforcing resin is provided on a part of the outer peripheral portion between the insulating substrate and the external circuit substrate such as the corner portion, the inventor of the present invention may cause the following problem. As a result of prediction and examination, the present invention has been completed.
すなわち、上記のような場合には、絶縁基板と外部回路基板との間の外周部において補強樹脂が設けられていない部分があるため、例え応力が比較的小さい領域であったとしても、補強樹脂の設けられていない部分の近傍に位置する接続バンプおよびその周辺にクラック等の破壊が生じるという新たな問題が発生する可能性がある。 That is, in the above case, since there is a portion where the reinforcing resin is not provided in the outer peripheral portion between the insulating substrate and the external circuit board, even if the stress is a relatively small region, the reinforcing resin There is a possibility that a new problem that a crack such as a breakage occurs in the connection bump located in the vicinity of the portion where the metal layer is not provided and the periphery thereof may occur.
本発明の一つの態様による電子モジュールは、矩形状の主面を有する絶縁基板と、該絶縁基板の前記主面に配列された信号用、基準電位用および電源用の複数の電極パッドを含む複数の接続パッドと、該複数の接続パッドとそれぞれに対向して配置された複数の端子を有する外部回路基板と、前記複数の接続パッドと前記複数の端子との間に介在しており、前記複数の接続パッドと前記複数の端子とをそれぞれに電気的に接続している複数の接続バンプと、少なくとも前記絶縁基板の前記主面の角部と平面視で重なる部分において前記絶縁基板と前記外部回路基板との間に設けられている補強樹脂とを備えており、前記複数の電極パッドのうち配列の最外周に位置する信号用の前記電極パッドは、前記補強樹脂が設けられていない領域に配置されているものが、前記補強樹脂が設けられている領域に配置されたものよりも内側に位置していることを特徴とする。 An electronic module according to one aspect of the present invention includes an insulating substrate having a rectangular main surface, and a plurality of electrode pads for signals, reference potentials, and power supplies arranged on the main surface of the insulating substrate. Each of the plurality of connection pads, the external circuit board having a plurality of terminals disposed opposite to the plurality of connection pads, and the plurality of connection pads and the plurality of terminals. A plurality of connection bumps electrically connecting the connection pads and the plurality of terminals, respectively, and at least a portion overlapping the corner portion of the main surface of the insulating substrate in plan view and the external circuit And the signal electrode pad located on the outermost periphery of the array among the plurality of electrode pads is disposed in a region where the reinforcement resin is not provided. Those, characterized in that the reinforcing resin is located inside the ones arranged in the area provided.
本発明の一つの態様による電子モジュールは、複数の電極パッドのうち配列の最外周に位置する信号用の電極パッドは、補強樹脂が設けられていない領域に配置されているものが、補強樹脂が設けられている領域に配置されたものよりも内側に位置していることから、信号用の電極パッドについて外部回路基板の端子との電気的な接続信頼性が従来の電子モジュールよりも向上している。 In the electronic module according to one aspect of the present invention, the signal electrode pad located on the outermost periphery of the array among the plurality of electrode pads is arranged in a region where the reinforcement resin is not provided. Because it is located on the inner side than the one arranged in the provided area, the reliability of electrical connection between the signal electrode pad and the terminal of the external circuit board is improved compared to the conventional electronic module. Yes.
すなわち、電極パッドと、その電極パッドと接続バンプを介して接続されている端子とを含む絶縁基板(配線基板)と外部回路基板との接続部分について、補強樹脂で補強されていないもに作用する熱応力が効果的に低減されている。これによって、熱応力による接続バンプ等の機械的な破壊が効果的に抑制されている。したがって、外部回路基板と電子部品との信号の送受の長期信頼性が高い電子モジュールを提供することができる。 That is, the connection portion between the insulating substrate (wiring substrate) including the electrode pad and the terminal connected to the electrode pad via the connection bump and the external circuit substrate acts even if it is not reinforced with the reinforcing resin. Thermal stress is effectively reduced. As a result, mechanical destruction of the connection bumps and the like due to thermal stress is effectively suppressed. Therefore, it is possible to provide an electronic module with high long-term reliability of signal transmission / reception between the external circuit board and the electronic component.
本発明の電子モジュールについて、添付の図面を参照して説明する。なお、以下の説明における上下の区別は便宜的なものであり、実際に配線基板等が使用されるときの上下を限定するものではない。 The electronic module of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Note that the distinction between the upper and lower sides in the following description is for convenience, and does not limit the upper and lower sides when a wiring board or the like is actually used.
図1(a)は本発明の第1の実施形態の電子モジュールにおける断面図であり、図1(b)は図1(a)の平面透視図であり、図1(c)は図1(b)の変形例を示す平面透視図である。なお、図1(b)および(c)は、第1の実施形態の電子モジュールを後述する絶縁基板の主面側から外部回路基板を通して(透視して)見た状態を示す平面図であり、後述する補強樹脂と接続パッドとの位置関係を示している。また、以下の説明においても、図1(b)および(c)と同様の図を平面透視図という。また、以下の説明において、電子モジュールを絶縁基板の主面側から見ることを単に平面視という場合がある。 1A is a cross-sectional view of the electronic module according to the first embodiment of the present invention, FIG. 1B is a plan perspective view of FIG. 1A, and FIG. It is a plane perspective view which shows the modification of b). FIGS. 1B and 1C are plan views showing a state in which the electronic module of the first embodiment is viewed from the main surface side of the insulating substrate described later through the external circuit board (see through). The positional relationship between a reinforcing resin, which will be described later, and connection pads is shown. Also in the following description, a view similar to FIGS. 1B and 1C is referred to as a plan perspective view. In the following description, viewing the electronic module from the main surface side of the insulating substrate may be simply referred to as a plan view.
矩形状の主面を有する絶縁基板1と、絶縁基板1の主面に配列された複数の接続パッド2と、接続バンプ3によって接続パッド2に接続された端子5を有する外部回路基板4と、絶縁基板1と外部回路基板4との間に介在している補強樹脂6とによって、絶縁基板1に搭載された電子部品9を含む電子モジュール10が基本的に形成されている。
An
なお、図1の例では、絶縁基板1のうち接続パッド2が設けられた主面は下面である。以下の説明において、その主面を下面という場合があり、また、その主面と反対側の主面を上面という場合がある。
In the example of FIG. 1, the main surface of the
絶縁基板1は、例えば、平板状であり、矩形状の主面(前述したように図1の例では下面)と、その主面と反対側の主面(上面)とをしている。なお、絶縁基板1がセラミック質焼結体等の欠けやすい材質である場合、絶縁基板1の端縁部を起点とする欠けを抑制するために、絶縁基板1の端縁部が面取り加工されていてもよい。このような場合、絶縁基板1は、矩形状の主面と側面との間の角部が切り落とされたような形状となる。
The
絶縁基板1の下面には上記のように複数の接続パッド2が配列されている。図1の例においては、複数の接続パッド2は平面視で円形状であるが、楕円形状および多角形状等の形状であっても構わない。
A plurality of
また、絶縁基板1の上面には、電子部品9が搭載される搭載部(図示せず)を有し、この搭載部に電子部品9が搭載されている。電子部品の搭載部は、例えば絶縁基板1の上面の中央部であって、上面側から見たときに電子部品9と重なるような部分である。なお、搭載部は絶縁基板1の上面の中央部から外周の一方向に偏っていてもよい。つまり、絶縁基板1の主面の中央部に対して搭載部の中央部が同じ位置に位置していなくてもよい。
The insulating
なお図1(a)の例では、電子部品9を覆うように蓋体11が配置されている。この蓋体11は、絶縁基板1の上面の外周部に樹脂材料やはんだ材料等(図示せず)で機械的に接続されている。蓋体11は、例えば、電子部品9を保護するために設けられている。また、蓋体11は、電子部品9が駆動する際に発生する熱を外部に放散するために(いわゆる放熱材として)設けられているものでもよい。この場合、電子部品9の上面と、蓋体11が熱伝導
性樹脂等の接着剤(図示せず)で接続されていてもよい。
In the example of FIG. 1A, a lid 11 is disposed so as to cover the electronic component 9. The lid 11 is mechanically connected to the outer peripheral portion of the upper surface of the insulating
絶縁基板1は、電子部品9を搭載して固定するための基体として機能する。また、絶縁基板1は、接続パッド2等の、電子部品9と外部回路基板4とを電気的に接続する導体等の導体を、互いの電気的な短絡を避けて配置するための基体等としても機能する。
The insulating
絶縁基板1は、例えば、ガラスセラミック質焼結体、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体または窒化アルミニウム質焼結体等や、ガラス繊維の布にエポキシ樹脂等を含浸させ熱硬化処理を施して板状にした有機樹脂系材料からなる複数の絶縁層(絶縁層としては符号なし)が互いに上下に積層されて形成されている。
The insulating
絶縁基板1は、例えばガラスセラミック焼結体からなる場合であれば、次のようにして製作することができる。まず、酸化ケイ素、酸化ホウ素および酸化アルミニウム等の粉末を主成分とする原料粉末を、有機溶剤、バインダと混練するとともに、ドクターブレード法やリップコータ法等の成形方法でシート状に成形してガラスセラミックグリーンシート(以下、グリーンシートという)を作製する。次に、複数のグリーンシートを積層した後、約900〜1000℃程度の焼成温度で焼成することによって絶縁基板1を製作することがで
きる。
If the insulating
複数の接続パッド2は、信号用、基準電位用および電源用の複数の電極パッド2aを含んでいる。また、外部回路基板4の複数の端子5は、複数の接続パッド2とそれぞれに対向して配置されている。複数の接続バンプ3は、互いに対向し合う複数の接続パッド2と複数の端子5とにそれぞれ電気的に接続している。接続パッド2を介して複数の接続パッド2と複数の端子5とが互いに電気的に接続されている。この場合、接続パッド2のうち信号用、基準電位用および電源用の電極パッド2aがそれぞれに、対応する端子5に電気的に接続されている。接続パッド2は、電極パッド2a以外にダミー用のもの等を含んでいてもよい。ダミー用の接続パッド2については後述する。
The plurality of
複数の電極パッド2aは、例えば、絶縁基板1の下面から内部を経て上面に至るように形成された配線導体(符号なし)を介して絶縁基板1の上面の電子部品9の搭載部に電気的に導出されている。この配線導体のうち搭載部に設けられた部分に電子部品9の電極が電気的に接続されて、電子部品9(電極)と電極パッド2aとが互いに電気的に接続されている。配線導体は、絶縁基板1の厚み方向の一部(上記複数の絶縁層のうち所定のもの等)を貫通している部分、いわゆるビア導体を含んでいてもよい。
The plurality of
複数の接続パッド2および配線導体等の導体は、例えば、銅、銀、パラジウム、金、白金タングステン、モリブデンもしくはマンガン等の金属材料、またはこれらの金属材料を主成分とする合金材料もしくは混合材料等によって形成されている。
The conductors such as the plurality of
接続パッド2等は、例えば、銅等の金属材料の粉末を有機溶剤およびバインダとともに混練して金属ペーストを作製し、この金属ペーストを絶縁基板1となるグリーンシートに所定パターンで印刷し、同時焼成することによって形成することができる。この場合、絶縁層となるセラミックグリーンシートにあらかじめ貫通孔を形成しておいて、この貫通孔内に上記の金属ペーストを充填して同時焼成すれば、配線導体のうちビア導体の部分も他の導体と同時に形成することができる。
For example, the
補強樹脂6は、少なくとも絶縁基板1の主面の角部と重なる部分(以下、単に角部または絶縁基板1の角部ともいう)において絶縁基板1と外部回路基板4との間に設けられている。補強樹脂6は、絶縁基板1と外部回路基板4との機械的な接続をより有効に補強するために、平面視で絶縁基板1の角部と重なる部分から内側もしくは外側、または内外両
側に延びて設けられている。補強樹脂6について、平面視で絶縁基板1の角部と重なる位置から内側に延びている場合には、この延びた部分(つまり角部の近傍)において絶縁基板1(主面)および外部回路基板4に接合している。すなわち、平面透視で絶縁基板1の主面の外周部と重なる部分(以下、単に外周部ともいう)のうち少なくとも角部分と平面透視で重なる部分(以下、単に角部分ともいう)において、絶縁基板1と外部回路基板4との間に補強樹脂6が介在する。
The reinforcing
補強樹脂6は、絶縁基板1と外部回路基板4とを機械的に接続することで、接続バンプ3に生じる熱応力を低減させるためのものである。そのため、補強樹脂6は、電子モジュール10に温度変化が生じた際に絶縁基板1と外部回路基板4との間の熱変形量(熱膨張量または熱収縮量)の差で生じる熱応力が最も大きくなる部位である上記角部およびその近傍に設けられている。
The reinforcing
補強樹脂6は、上記のように、少なくとも平面視で絶縁基板1の角部と重なる位置に設けられている。これは、角部およびその近傍において熱応力が最も大きくなることに対応したものである。接続パッド2と端子5との接続バンプ3による接続が、熱応力が比較的大きい部分において、補強樹脂6によって効果的に補強されている。
As described above, the reinforcing
また、複数の電極パッド2aのうち配列の最外周に位置する信号用の電極パッド2aは、外周部のうち補強樹脂6が設けられていない領域(以下、補強樹脂6の非形成部または単に非形成部という場合がある)に配置されているものが、補強樹脂6が設けられている領域に配置されたものよりも内側に位置している。
Further, among the plurality of
なお、この場合の内側とは、配列された電極パッド2aの縦横の並びの最外周よりも絶縁基板1の主面の中央部に近い位置を意味する。例えば図1(b)の例では、縦横の並びに(格子状に)配列された複数の接続パッド2(電極パッド2a)について、その配列の最外周に位置するもののうち補強樹脂6が設けられていない部分、つまり辺部分に位置するものは、一列分が配列されていない。言い換えれば、電極パッド2aは、絶縁基板1の主面の外周部においては、補強樹脂が設けられた部分(角部分)のみに配置されている。また、補強樹脂6が設けられた領域にある接続バンプ3は、補強樹脂6が接続バンプ3の一部に接している。
The inner side in this case means a position closer to the center of the main surface of the insulating
そのため、実施形態の電子モジュール10は、信号用の電極パッド2aについて外部回路基板4の端子5との電気的な接続信頼性が従来の電子モジュールよりも向上している。
Therefore, in the
すなわち、上記構成の電子モジュール10においては、電極パッド2aと、その電極パッド2aと接続バンプ3を介して接続されている端子5とを含む絶縁基板1と外部回路基板4との接続部分について、補強樹脂6で補強されていないものは、熱応力がより小さい領域(絶縁基板1の中心からの距離が小さい領域)に位置している。(絶縁基板1の中心からの距離が小さい接続部分ほど、絶縁基板1と外部回路基板4との熱変形量の差が小さくなり、熱応力は小さくなる。)これによって、熱応力による接続バンプ3等の機械的な破壊が効果的に抑制されている。したがって、外部回路基板4と電子部品9との信号の送受の長期信頼性が高い電子モジュール10を提供することができる。
That is, in the
また図1(a)に示したような蓋体11を絶縁基板1の上面に接続させる場合、蓋体11と絶縁基板1の熱膨張係数が異なると、蓋体11が絶縁基板1の上面に及ぼす熱応力が、絶縁基板1の下面に位置する接続バンプ3に影響を及ぼす。そのため、接続バンプ3の接続信頼性を向上させる効果が低下する可能性がある。特に、蓋体11と絶縁基板1の接続面と、接続バンプ3とが平面透視で重なっている接続バンプ3において影響が大きい。そのため、この場合には、蓋体11と絶縁基板1の接続面と、補強樹脂6が設けられている領域とが
平面透視で互いに重なるように配置されていることが望ましい。
Further, when the lid 11 as shown in FIG. 1A is connected to the upper surface of the insulating
なお、補強樹脂6は、例えば図1(c)に示す例のように、必ずしも接続パッド2および接続バンプ3を内側に含むような形態(補強樹脂6が接続バンプ3の一部に接している形態)で形成されているものである必要はない。図1(c)の例では、角部および角部から外側にのみ補強樹脂6が配置されている。この補強樹脂6のすぐ内側に接して、角部分に複数の接続パッド2が配置されている。
Note that the reinforcing
この場合も、上記実施形態の例と同様の効果を得ることができ、熱応力による接続バンプ3等の機械的な破壊が効果的に抑制されている。したがって、この場合にも、外部回路基板4と電子部品9との信号の送受の長期信頼性が高い電子モジュール10を提供することができる。角部近傍(角部分)に配置される接続バンプ3の機械的な破壊を防止するには図1(b)の例の方が適している。また、リペア性を向上させるためには、図1(c)の例の方が適している。
Also in this case, the same effect as in the above embodiment can be obtained, and mechanical destruction of the connection bumps 3 and the like due to thermal stress is effectively suppressed. Therefore, also in this case, it is possible to provide the
図2および図3は、図1(c)の例のように、接続パッド2および接続バンプ3を内側に含まない形態で補強樹脂6が形成された場合の変形例を示す要部拡大断面図である。また、図2および図3の例では、絶縁基板1の主面のうち接続パッド2等が設けられた部分以外の広い範囲で、被覆層1aが設けられている。この被覆層1aは、例えば絶縁基板1の主面から接続パッド2の外周部分にかけて被覆している。これによって、接続パッド2の外周部分の絶縁基板1に対する機械的な接続の強度が向上している。被覆層1aは、例えば絶縁基板1と同様のセラミック材料または有機樹脂系材料によって形成されている。この例では、平面視において、被覆層1aの外周は絶縁基板1の外周とほぼ一致している。
2 and 3 are enlarged cross-sectional views of the main part showing a modification in the case where the reinforcing
図2(a)は、絶縁基板1の側面部と、外部回路基板4が接続されるように補強樹脂6が配置された例であり、図2(b)は絶縁基板1の主面と外部回路基板4との間に補強樹脂6が介在している例である。これらの例も、リペア性の向上に対してより有効である。
2A is an example in which the reinforcing
また、図3(a)は絶縁基板の端縁部が面取りされた場合の例である。この例において、面取りされた部分と、外部回路基板4が接続されるように補強樹脂6が配置されており、絶縁基板1の端縁部を補強樹脂6で保護していることから、端縁部を起点とする欠けをさらに抑制することができる。また、絶縁基板1の主面等に対して垂直な方向でも補強樹脂6と絶縁基板1とが接合されるため、絶縁基板1の主面に沿った方向の位置ずれの可能性がより効果的に低減される。
FIG. 3A shows an example in which the edge portion of the insulating substrate is chamfered. In this example, the reinforcing
図3(b)は、絶縁基板1の主面の外周部に凹部(符号なし)が設けられており、補強樹脂6が凹部内を充填している例である。凹部は、例えば断面視において溝状(くぼみ)であり、全体として環状である。また、外周部のうち補強樹脂が設けられる領域の内周側に部分的に設けてもよい。この形態の補強樹脂6によって絶縁基板1の主面の外周部と外部回路基板4とがより大きい接触面積で互いに強固に接続されている。図3(b)の例では、絶縁基板1の主面に凹部が設けられているが、外部回路基板4側に凹部(図示せず)を設けても構わない。図2および図3で示した例はリペア性と接続バンプ3の接続信頼性を考慮して選択すればよい。
FIG. 3B is an example in which a recess (no reference numeral) is provided on the outer peripheral portion of the main surface of the insulating
また、例えば図4(a)および(b)に示す例のように、配列の最外周に位置する信号用の電極パッド2aのうち補強樹脂6が設けられていない領域に配置されているものの並びが、補強樹脂6が設けられている領域に配置されたものの並びよりもよりも内側に偏っている形態でも構わない。図4(a)および(b)はそれぞれ図1(b)の他の変形例を示す平面透視図である。図4において図1と同様の部位には同様の符号を付している。こ
の場合も、電極パッド2aについて、補強樹脂6が設けられていない領域に配置されているものが、補強樹脂6が設けられているものよりも内側に(配列から絶縁基板1の主面の中央部の方向に偏って)位置している。
Further, for example, as in the example shown in FIGS. 4A and 4B, among the
この場合も、上記実施形態の例と同様の効果を得ることができ、熱応力による接続バンプ3等の機械的な破壊が効果的に抑制されている。したがって、この場合にも、外部回路基板4と電子部品9との信号の送受の長期信頼性が高い電子モジュール10を提供することができる。
Also in this case, the same effect as in the above embodiment can be obtained, and mechanical destruction of the connection bumps 3 and the like due to thermal stress is effectively suppressed. Therefore, also in this case, it is possible to provide the
図5(a)および(b)はそれぞれ図1(b)の他の変形例を示す平面透視図である。図5において図1と同様の部位には同様の符号を付している。これらの例においては、補強樹脂6が絶縁基板1の主面の外周部と外部回路基板4との間のほぼ全周にわたって設けられているとともに、その一部において非形成部を有している。また、図1(c)に示す例と同様に、絶縁基板1の角部および角部を含む主面の外周から外側にのみ補強樹脂6が配置されている。
FIGS. 5A and 5B are plan perspective views showing other modifications of FIG. 1B, respectively. 5, parts similar to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals. In these examples, the reinforcing
図5(a)に示す例では、この補強樹脂6の非形成部に隣接する部分において、縦横の並びに配列された電極パッド2aの一部(この例では1つ)が非形成となっている。また、図5(b)の例では、この補強樹脂6の非形成部に隣接する部分において、縦横の並びに配列された電極パッド2aの一部(この例では1つ)が他のものよりも内側に偏って配置されている。つまり、これらの例においても、電極パッド2aについて、補強樹脂6が設けられていない領域に配置されているものが、非形成部を有するか、または絶縁基板1の主面の中央部の方向に偏って位置して、補強樹脂6が設けられているものよりも内側に位置している。
In the example shown in FIG. 5A, a part (one in this example) of the
これらの場合も、上記実施形態および変形例の場合と同様の効果を得ることができ、熱応力による接続バンプ3等の機械的な破壊が効果的に抑制されている。したがって、この場合にも、外部回路基板4と電子部品9との信号の送受の長期信頼性が高い電子モジュール10を提供することができる。
In these cases, the same effects as those in the above-described embodiment and the modification can be obtained, and mechanical destruction of the connection bumps 3 and the like due to thermal stress is effectively suppressed. Therefore, also in this case, it is possible to provide the
図6は、図1(b)の他の変形例を示す平面透視図である。図6において図1と同様の部位には同様の符号を付している。この例においては、補強樹脂6が絶縁基板1と外部回路基板4の角部およびこれに隣接した比較的広い範囲にわたって設けられているとともに、辺部分の中央部に非形成部を有している。また、図1(c)に示す例と同様に、絶縁基板1の角部を含む外周から外側にのみ補強樹脂6が配置されている。
FIG. 6 is a plan perspective view showing another modification of FIG. In FIG. 6, the same parts as those in FIG. In this example, the reinforcing
図6の例では、この補強樹脂6の非形成部に隣接する部分において、千鳥状(斜め格子状)の並びに配列された電極パッド2aの一部(この例では配列の最上列と最下列において2つ、配列の最左列と最右列において1つ)が非形成となっている。この例では、電極パッド2aについて、補強樹脂6が設けられていない領域に配置されているものが、非形成部を有して、補強樹脂6が設けられているものよりも内側に位置している。
In the example of FIG. 6, in a portion adjacent to the non-formed portion of the reinforcing
この場合も、上記実施形態および変形例の場合と同様の効果を得ることができ、熱応力による接続バンプ3等の機械的な破壊が効果的に抑制されている。したがって、この場合にも、外部回路基板4と電子部品9との信号の送受の長期信頼性が高い電子モジュール10を提供することができる。
Also in this case, the same effects as those of the above-described embodiment and the modification can be obtained, and mechanical destruction of the connection bumps 3 and the like due to thermal stress is effectively suppressed. Therefore, also in this case, it is possible to provide the
また、絶縁基板1の主面の外周部において補強樹脂が配置されている領域のみに配置された電極パッド2aは、基準電位用および電源用の電極パッド2aであってもよい。この場合には、基準電位用および電源用の電極パッド2aと外部回路基板4に設けられた基準
電位または電源の安定性をより高くすることができる。したがって、この場合には、上記第1の実施形態および各変形例と同様に外部回路基板4と電子部品9との信号の送受の長期信頼性の向上の効果に加えて、電気的な特性の向上においてより有利な電子モジュールを提供することができる。
Further, the
なお、外部回路基板4等に含まれる基準電位および電源(そのための導体パターン等)は、複数の電極パッド2aと電気的に接続されるため、そのうちいくつかが破断しても電位の維持は可能であるが、接続されている電極パッド2aの個数が多いほど、電位の安定に対しては有利である。
Note that the reference potential and the power source (such as a conductor pattern) included in the
図7(a)は本発明の第2の実施形態の電子モジュールにおける断面図であり、図7(b)は図7(a)の平面透視図であり、図7(c)は図7(b)の変形例を示す平面透視図である。図7において図1と同様の部位には同様の符号を付している。 FIG. 7A is a cross-sectional view of an electronic module according to a second embodiment of the present invention, FIG. 7B is a plan perspective view of FIG. 7A, and FIG. It is a plane perspective view which shows the modification of b). In FIG. 7, the same parts as those in FIG.
第2の実施形態の電子モジュール10において、複数の接続パッド2は、第1の実施形態の電子モジュール10と同様に複数の電極パッド2aを含んでいるとともに、これらの電極パッド2aと電気的に独立したダミーパッド2bをさらに含んでいる。ダミーパッド2bは、絶縁基板1の主面の外周部のうち電極パッド2aが配置されていない領域に配置されている。このダミーパッド2bは、第1の実施形態の電子モジュールにおける電極パッド2aが配置されていない部分に位置して、接続パッド2全体として縦横の並び等に配列されるようにするためのものとみなすこともできる。第2の実施形態の電子モジュール10は、接続パッド2がダミーパッド2bを含むこと以外は第1の実施形態の電子モジュールと同様であり、この同様の点については説明を省略する。
In the
なお、この例においても、電極パッド2aが設けられていない部分は補強樹脂6が設けられていない部分であり、これによって、補強樹脂6が設けられていない領域に配置されている電極パッド2aが、補強樹脂6が設けられている電極パッド2aよりも内側に位置するものになっている。
In this example as well, a portion where the
ダミーパッド2bは、例えばダミーバンプ3bを介して外部回路基板4に設けられたダミー用の端子(ダミー用としては符号なし)と機械的に接続されている。ダミーパッド2bは、電子部品9と外部回路基板4との間の電気的な接続にかかわるものではなく、絶縁基板1および外部回路基板4に対して機械的に接続されていればよい。
The
この場合には、電極パッド2aが設けられていない部分における絶縁基板1と外部回路基板4との機械的な接続がより強くなる。また、仮に接続パッド2の一部において熱応力によるクラック等が生じるとしても、そのクラック等は、まず、熱応力が比較的大きく作用する最外周の接続パッド2であって、補強樹脂6で補強されていない部分に位置するものであるダミーパッド2bにおいて生じる可能性が高い。そのため、電極パッド2aと端子5との電気的な接続をより効果的に、長期にわたって維持することができる。
In this case, the mechanical connection between the insulating
図7(b)に示す例は、図1(b)に示す例と同様に、縦横の並びに(格子状に)配列された複数の電極パッド2aについて、その配列の最外周に位置するもののうち補強樹脂6が設けられていない部分、つまり辺部分に位置するものは、一列分が配列されていない。また、この電極パッド2aが設けられていない部分には、ダミーパッド2bが配置されている。すなわち、複数の電極パッド2aと複数のダミーパッド2bとによって構成されている複数の接続パッド2が、全体として縦横の並びに(格子状に)配列されている。言い換えれば、格子点に相当する位置の全てに接続パッド2が配置されている。
The example shown in FIG. 7B is similar to the example shown in FIG. 1B. Among the
この場合にも、第1の実施形態の電子モジュール10と同様に、信号用の電極パッド2a
について外部回路基板4の端子5との電気的な接続信頼性が従来の電子モジュールよりも向上している。
Also in this case, like the
The electrical connection reliability with the
また、この場合には、前述したように、ダミーパッド2bによる絶縁基板1と外部回路基板4との機械的な接続強度の向上等の効果が得られるため、電極パッド2aと端子5との電気的な接続をより効果的に、長期にわたって維持する上で有利な電子モジュール10を提供することができる。
In this case, as described above, since the effect of improving the mechanical connection strength between the insulating
図7(c)に示す例は、図1(c)に示す例と同様に、絶縁基板1の角部から外側にのみ補強樹脂6が配置されている。この補強樹脂6のすぐ内側に接して、角部から内側の部分(角部分)に複数の接続パッド2が配置されている。また、補強樹脂6が設けられた角部の近傍には電極パッド2aが配置されているとともに、補強樹脂6が設けられていない辺部分には電極パッド2aが配置されていない。この電極パッド2aが配置されていない部分にダミーパッド2bが配置されている。これによって、複数の接続パッド2は、全体として縦横の並びに配列されている。
In the example shown in FIG. 7C, the reinforcing
この場合も、上記第1の実施形態の例と同様の効果を得ることができるとともに、図7(b)に示す例と同様に、ダミーパッド2bによる絶縁基板1と外部回路基板4との機械的な接続強度の向上等の効果が得られるため、電極パッド2aと端子5との電気的な接続をより効果的に、長期にわたって維持する上で有利な電子モジュール10を提供することができる。
Also in this case, the same effect as the example of the first embodiment can be obtained, and similarly to the example shown in FIG. 7B, the machine between the insulating
図8(a)および(b)はそれぞれ図7(b)の他の変形例を示す平面透視図である。図8において図7と同様の部位には同様の符号を付している。図8(a)および(b)に示す例は、図5に示す各例と同様に、補強樹脂6が絶縁基板1と外部回路基板4との間のほぼ全周にわたって設けられているとともに、その一部において非形成部を有している。この補強樹脂6の非形成部に隣接した部分で、縦横の並びに配列されている電極パッド2a(1つ分)が非形成であり、補強樹脂6が設けられていない領域に配置されている電極パッド2aが、補強樹脂6が設けられている電極パッド2aよりも内側に位置するものになっている。
FIGS. 8A and 8B are plan perspective views showing other modifications of FIG. 7B, respectively. In FIG. 8, the same parts as those in FIG. In the example shown in FIGS. 8A and 8B, the reinforcing
図8(a)の例では、この補強樹脂6の非形成部に隣接する部分において、縦横の並びに配列された電極パッド2aの一部(この例では1つ)が非形成となっているとともに、この、電極パッド2aが設けられていない部分にダミーパッド2bが配置されている。また、図1(c)に示す例と同様に、絶縁基板1の角部を含む外周から外側にのみ補強樹脂6が配置されている。この例においても、ダミーパッド2bによる絶縁基板1と外部回路基板4との機械的な接続強度の向上等の効果が得られる。つまり、電極パッド2aと端子5との電気的な接続をより効果的に、長期にわたって維持する上で有利な電子モジュール10を提供することができる。
In the example of FIG. 8A, a part (one in this example) of the
また、図8(b)の例においても、この補強樹脂6の非形成部に隣接する部分において、縦横の並びに配列された電極パッド2aの一部(この例では1つ)が他のものよりも内側に偏って配置されている。また、図8(b)に示す例では、縦横の並びに配列された接続パッド2のうち配列の最外周に位置するものにも直接に接するように補強樹脂6が設けられている。言い換えれば、図8(b)の例においては、図8(a)の例よりも内側にまで補強樹脂6が、より広い幅で設けられている。
Also in the example of FIG. 8B, a part (one in this example) of the
この場合にも、図8(a)に示す例と同様に、ダミーパッド2bによる絶縁基板1と外部回路基板4との機械的な接続強度の向上等の効果が得られる。また、より広い範囲で補強樹脂6が設けられていることによって、絶縁基板1と外部回路基板4との機械的な接続
の強度の向上、および電極パッド2aと端子5との電気的な接続の長期信頼性のより一層の向上に対して有利な電子モジュール10を提供することができる。
Also in this case, as in the example shown in FIG. 8A, effects such as improvement in mechanical connection strength between the insulating
図9は、図7(b)の他の変形例を示す平面透視図である。図9において図7と同様の部位には同様の符号を付している。図9に示す例は、図1(c)に示す例と同様に、絶縁基板1の角部およびこれに隣接する外周から外側にのみ補強樹脂6が配置されている。また、図6に示す例と同様に、補強樹脂6が絶縁基板1と外部回路基板4の角部分の比較的広い範囲にわたって設けられているとともに、辺部分の中央部に非形成部を有している。この補強樹脂6の非形成部に隣接する部分において、千鳥状(斜め格子状)の並びに配列された電極パッド2aの一部(この例では配列の最上列と最下列において2つ、配列の最左列と最右列において1つ)が非形成となっている。この、電極パッド2aが設けられていない部分に、ダミーパッド2bが配置されている。
FIG. 9 is a plan perspective view showing another modification of FIG. 9, parts similar to those in FIG. 7 are given the same reference numerals. In the example shown in FIG. 9, as in the example shown in FIG. 1C, the reinforcing
つまり図9に示す例においても、図8に示す例と同様に、補強樹脂6の非形成部に隣接した部分で、縦横の並びに配列されている電極パッド2a(1つ分または2つ分)が非形成であり、補強樹脂6が設けられていない領域に配置されている電極パッド2aが、補強樹脂6が設けられている電極パッド2aよりも内側に位置している。
That is, in the example shown in FIG. 9 as well, as in the example shown in FIG. 8, the
この例においても、ダミーパッド2bによる絶縁基板1と外部回路基板4との機械的な接続強度の向上等の効果が得られる。つまり、電極パッド2aと端子5との電気的な接続をより効果的に、長期にわたって維持する上で有利な電子モジュール10を提供することができる。
Also in this example, effects such as improvement of mechanical connection strength between the insulating
なお、補強樹脂6を設けず、最外周に位置する接続パッド2をすべてダミーパッドにすることで、電気的な接続の長期信頼性を向上することも考えられるが、絶縁基板1と外部回路基板4との間に補強樹脂6を設けた場合の方が電極パッド2aと端子5との電気的な接続強度を向上するとともに、配列できる電極パッド数を多くする上では有利である。
Although it is possible to improve the long-term reliability of electrical connection by providing all the
図10は、本発明の第3の実施形態の電子モジュールにおける平面透視図である。図10において図1と同様の部位には同様の符号を付している。図10に示す例においては、絶縁基板1の線熱膨張係数と外部回路基板4の線熱膨張係数との差が、平面視で絶縁基板1の1つの辺に沿った第1方向よりも、その1つの辺に垂直な第2方向において小さくされている。また、補強樹脂6は、第1方向において第2方向よりも長い範囲にわたって設けられている。言い換えれば、矩形状の絶縁基板1の主面のうち互いに対向し合う一対の辺部分に設けられた補強樹脂6の長さが、他の一対の辺部分に設けられた補強樹脂6の長さよりも大きい。なお、この補強樹脂6は、絶縁基板1の角部を含む外周から外側に延びて設けられている。図10に示す例においても、図8および図9に示す例と同様に、補強樹脂6が設けられていない領域に配置されている電極パッド2aが、補強樹脂6が設けられている電極パッド2aよりも内側に位置している。
FIG. 10 is a plan perspective view of the electronic module according to the third embodiment of the present invention. 10, parts similar to those in FIG. 1 are given the same reference numerals. In the example shown in FIG. 10, the difference between the linear thermal expansion coefficient of the insulating
この場合には、絶縁基板1の線熱膨張係数と外部回路基板4の線熱膨張係数との差がより大きく、両者の間に生じる熱応力がより大きい第2方向において、絶縁基板1と外部回路基板4との機械的な接続の強度が補強樹脂6によってより効果的に高められている。つまり、熱応力の大きさに応じて、絶縁基板1と外部回路基板4との機械的な接続の強度が効果的に高められている。したがって、この場合にも、電極パッド2aと端子5との電気的な接続をより効果的に、長期にわたって維持する上で有利な電子モジュール10を提供することができる。
In this case, the difference between the linear thermal expansion coefficient of the insulating
なお、絶縁基板1の線熱膨張係数と外部回路基板4の線熱膨張係数との差が、平面視で絶縁基板1の1つの辺に沿った第1方向よりも、その1つの辺に垂直な第2方向において
小さい例としては、例えば、絶縁基板1の熱膨張係数が第1方向と第2方向とで、つまり縦横で、互いに異なるような場合を挙げることができる。このような熱膨張係数の差は、例えば外部回路基板4がガラス繊維の布にエポキシ樹脂等を含浸させ熱硬化処理を施して板状にした有機材料である場合、ガラス繊維の布の織り方等に起因する。
Note that the difference between the coefficient of linear thermal expansion of the insulating
図11は、本発明の第4の実施形態の電子モジュール10における平面透視図である。図11において図1と同様の部位には同様の符号を付している。図11の例において、補強樹脂6は、複数の接続バンプ3の一部に接している。また、補強樹脂6に接した接続バンプ3に接続された電極パッド2aの平面視における面積(以下、単に面積ともいう)は、補強樹脂6に接していない接続バンプ3に接続された電極パッド2aの平面視における面積よりも小さい。また、補強樹脂6が設けられていない部分では、配列の最外周の電極パッド2aが設けられていない。図11に示す例においても、図1に示す例と同様の形態で、補強樹脂6が設けられていない領域に配置されている電極パッド2aが、補強樹脂6が設けられている電極パッド2aよりも内側に位置している。
FIG. 11 is a plan perspective view of the
この場合にも、補強樹脂6による絶縁基板1と外部回路基板4との機械的な接続の補強の効果に加えて、補強樹脂6が設けられていない部分に電極パッド2aを設けていないことによる効果、つまり熱応力による接続バンプ3等の機械的な破壊を抑制する効果を得ることができる。したがって、この場合にも、外部回路基板4と電子部品9との信号の送受の長期信頼性が高い電子モジュール10を提供することができる。
Also in this case, in addition to the effect of reinforcing the mechanical connection between the insulating
また、この場合には、一部の電極パッド2aの面積が他の電極パッド2aよりも面積よりも小さいため、この部分において電極パッド2aの微細化および高密度化が容易であるとともに、電極パッド2aおよび電極パッド2aに接続される接続バンプ3を内側に含むような形態で補強樹脂6が配置されるため、電極パッド2aを比較的小さく形成しても接続バンプ3が効果的に補強される。そのため、絶縁基板1と外部回路基板4との電気的および機械的な接続の信頼性の向上および小型化等に対してより有効な電子モジュール10を提供することができる。また、信号用の電極パッド2aの面積を小さくした場合、電極パッド2aにおける寄生容量を小さくすることができるため、特性インピーダンスの調整が容易になり、高周波信号の伝送特性を向上することが可能となる。
In this case, since the area of some of the
図12(a)は本発明の第5の実施形態の電子モジュールにおける平面透視図であり、図12(b)は図12(a)の要部拡大平面図(透視図)であり、図12(c)は図12(b)のA−A線における要部拡大断面図である。図12において図1と同様の部位には同様の符号を付している。 FIG. 12A is a plan perspective view of an electronic module according to a fifth embodiment of the present invention, and FIG. 12B is an enlarged plan view (perspective view) of the main part of FIG. (C) is a principal part expanded sectional view in the AA line of FIG.12 (b). 12, parts similar to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.
図12に示す例では、図7(a)に示す例と同様に、絶縁基板1の主面の角部と平面透視で重なる部分のみに補強樹脂6が設けられ、この補強樹脂6が設けられた部分のみに電極パッド2aが配置されている。言い換えれば、補強樹脂6が設けられていない部分には電極パッド2aが配置されていない。また、絶縁基板1の外周部のうち電極パッド2aが配置されていない領域にダミーパッド2bが配置されている。図12に示す例においても、図7に示す例と同様の形態で、補強樹脂6が設けられていない領域に配置されている電極パッド2aが、補強樹脂6が設けられている電極パッド2aよりも内側に位置している。
In the example shown in FIG. 12, similarly to the example shown in FIG. 7A, the reinforcing
第5の実施形態の電子モジュール10は、絶縁基板1の主面に設けられた複数の接続パッド用導体7と、絶縁基板1の主面から複数の接続パッド用導体のそれぞれの外縁部にかけて被覆している被覆絶縁層8とをさらに有している。
The
この例における被覆絶縁層8は、前述した被覆層1aに類似しているが、接続パッド用導体7(接続パッド2としての所定の面積よりも面積が大きいもの)の外縁部を被覆して
、所定の面積の接続パッド2を形成するものである点において、被覆層1aとは異なる。
The covering insulating
第5の実施形態の電子モジュール10において、複数の接続パッド用導体7のうち被覆絶縁層8で被覆された外縁部よりも内側の露出部分により、複数の接続パッド2が形成されている。また、補強樹脂6は、複数の接続バンプ3の一部に接している。補強樹脂6に接した接続バンプ3に接続された接続パッド用導体7の平面視における面積は、補強樹脂6に接触していない接続バンプ3に接続された接続パッド用導体7の平面視における面積よりも小さい。また、複数の接続パッド2の面積は互いに同じである。つまり、互いに面積が異なる接続パッド用導体7は、互いに異なる範囲で外縁部が被覆絶縁層8で被覆されている。これにより複数の接続パッド用導体7の露出部分(接続パッド2)の面積が互いに同じになっている。
In the
この場合には、例えば図11に示した例と異なり、同じ体積のはんだボール等で、接続バンプ3を形成できるため、比較的容易に組立てを行うことが可能である。また、信号用の接続パッド用導体7の面積を小さくした場合、電極パッド2aにおける寄生容量を小さくすることができるため、特性インピーダンスの調整が容易となり、高周波信号の伝送特性を向上することが可能となる。
In this case, unlike the example shown in FIG. 11, for example, the connection bumps 3 can be formed with solder balls having the same volume, so that assembly can be performed relatively easily. Further, when the area of the signal
図13(a)は本発明の第6の実施形態の電子モジュールにおける平面透視図であり、図13(b)は図13(a)の変形例示す平面透視図である。図13において図1と同様の部位には同様の符号を付している。 FIG. 13A is a plan perspective view of an electronic module according to a sixth embodiment of the present invention, and FIG. 13B is a plan perspective view showing a modification of FIG. 13A. In FIG. 13, the same parts as those in FIG.
図13に示す例では、補強樹脂6は、絶縁基板1の主面の角に最も近い接続パッド2から主面の中央部方向に、複数の接続パッド2を内側に含んで設けられている。図13(a)に示す例において、主面の角に最も近い接続パッド(以下、最外接続パッドともいう)2は、複数の接続パッド2のうち縦横の配列の角部分に位置するものである。また、図13(a)に示す例における最外接続パッド2は電極パッド2aである。
In the example shown in FIG. 13, the reinforcing
言い換えれば、第6の実施形態の電子モジュール10は、最外接続パッド2から配列の内側の接続パッド2にかけて、複数列の接続パッド2を内側に含むように補強樹脂6が延びて設けられた形態である。また、補強樹脂6の延びる方向は、絶縁基板1の主面の対角線に沿って、主面の中央部に向かう方向であり。これ以外の点について、第6の実施形態は第1の実施形態と同様である。
In other words, the
このように補強樹脂6が絶縁基板1の主面の中央部の方向に延びて設けられた場合には、絶縁基板1の角部において接続パッド6を介した絶縁基板1と外部回路基板4との接合が効果的に補強される。そのため、信号用の電極パッド2aと外部回路基板の端子との電気的な接続信頼性を効果的に向上させることができる。
When the reinforcing
なお、図13(a)に示す例において、補強樹脂6の内側に含まれている電極パッド2aは、基準電位用および電源用の電極パッド2aであってもよい。これによって、第1の実施形態で説明したように、基準電位および電源の安定性を向上させることもできる。
In the example shown in FIG. 13A, the
また、複数の電極パッド2aの配置位置について、補強樹脂6が設けられている領域に配置されたものよりも内側の位置とは、例えば図13(a)に示す仮想線Aで囲まれた領域である。つまり、縦横それぞれの並びについて、補強樹脂6に含まれている電極パッド2aのうち最も内側に位置するものが各角の外側に近接しているような、四角形状の領域である。電極パッド2aのうち信号用の電極パッド2aは、この四角形状の領域内に配置される。後述する各例においても、補強樹脂6が設けられている領域に配置された電極パッド2aよりも内側の位置は、これと同様であり、仮想線Aで囲まれた領域である。
Further, with respect to the arrangement positions of the plurality of
また、図13(a)に示す例においても、第2の実施形態で説明したようなダミーパッド2bが配置されている。電極パッド2aとダミーパッド2bとを合わせて、縦横の並び(格子状)になるように、複数パッド2が配列されている。
Also in the example shown in FIG. 13A, the
また、複数のダミーパッド2bが配列の外周に配置されている。そのため、仮に、熱応力が比較的大きい外周の接続パッド2(ダミーパッド2b)に機械的な破壊が生じたとし
ても、電極パッド2aを介した配線基板10と外部回路基板4との電気的な接続信頼性を向上させることができる。
A plurality of
第6の実施形態において、補強樹脂6は、図13(b)に示す例のように、最外接続パッド2、およびそのすぐ内側で主面の中央部方向に隣り合っている接続パッド2のみを内側に含むようなパターンで設けられていても構わない。この場合にも、最外接続パッド2から主面の中央部方向に、複数の接続パッド2を内側に含んで補強樹脂6が設けられている。そのため、補強樹脂6による、絶縁基板1の角部における配線基板10と外部回路基板4
との接続を効果的に補強することができる。したがって、電極パッド2aを介した配線基板10と外部回路基板4との電気的な接続信頼性を向上させることができる。
In the sixth embodiment, the reinforcing
Can be effectively reinforced. Therefore, the electrical connection reliability between the
なお、図13(a)および(b)に示す例においては、補強樹脂6の延びる範囲ができるだけ狭くなるように設定されている。平面視における補強樹脂6の形状は、図13(a)に示すおいてはかぎ(鉤)形または「く」字状であり、図13(b)に示す例においては帯状である。これによって、リペア性も向上している。
In the example shown in FIGS. 13A and 13B, the extending range of the reinforcing
図14(a)および(b)は、それぞれ図13(a)の他の変形例示す平面透視図である。図14において図1および図13と同様の部位には同様の符号を付している。図14に示す例においては、図13(a)に示す例に対して、絶縁基板1の主面の中央部に向かって、より広い範囲で補強樹脂6が設けられて、複数の接続パッド2が補強樹脂6の内側に含まれている。これらの場合にも、絶縁基板1の角部における外部回路基板4との接合を補強して、電極パッド2aを介した配線基板10と外部回路基板4との電気的な接続信頼性を向上させることができる。
14 (a) and 14 (b) are plan perspective views showing other modifications of FIG. 13 (a), respectively. 14, parts similar to those in FIGS. 1 and 13 are denoted by the same reference numerals. In the example shown in FIG. 14, the reinforcing
図14(a)に示す例では、補強樹脂6が平面視において四角形状(正方形に近い形状)である。また、最外接続パッド2から内側に、絶縁基板1の主面の対角線に沿って、主面の中央部に向かう方向に複数列(3列)の接続パッド2が補強樹脂6の内側に含まれている。これによって、上記対角線方向に配線基板10と外部回路基板4との接合を効果的に補強している。
In the example shown in FIG. 14A, the reinforcing
図14(b)に示す例についても、補強樹脂6が平面視において四角形状(正方形に近い形状)であり、上記対角線方向に配線基板10と外部回路基板4との接合を補強樹脂6によって効果的に補強している。
Also in the example shown in FIG. 14B, the reinforcing
また、図14(b)に示す例においては、複数の接続パッド2の縦横の並びのうち角部に相当する3つの位置において接続パッド2が非形成になっている。これによって、絶縁基板1の角部における熱膨張および収縮の自由度を高めて、この角部に生じる可能性がある熱応力自体を低減している。そのため、電極パッド2aを介した配線基板10と外部回路基板4との電気的な接続信頼性を向上させることができる。
In the example shown in FIG. 14B, the
なお、図14(b)に示す例における最外接続パッド2は、絶縁基板1の矩形状の主面の対角線方向に並んでいる複数の接続パッド2のうち最も外側に位置している4つの接続パッド2である。
The
また、図14に示す例においても、補強樹脂6の内側に含まれている電極パッド2aは、基準電位用および電源用の電極パッド2aであってもよい。これによって、第1の実施形態で説明したように、基準電位および電源の安定性を向上させることもできる。
Also in the example shown in FIG. 14, the
なお、上記の各例において、補強樹脂6は、例えば、エポキシ樹脂を含むエポキシ系樹脂によって形成されている。また、補強樹脂6は、ガラス等の無機物からなるフィラー粒子が添加された、エポキシ系樹脂からなるものでもよい。
In each example described above, the reinforcing
未硬化のエポキシ系樹脂を硬化剤等とともに絶縁基板1と外部回路基板4との間に配置して、加熱等の手段で硬化すれば、絶縁基板1と外部回路基板4との間に補強樹脂6を介在させることができる。この場合、例えば外部回路基板4の上面の所定部位にあらかじめ未硬化のエポキシ樹脂等を塗布しておいて、外部回路基板4上に絶縁基板1の下面を位置合わせしてセットすれば、絶縁基板1と外部回路基板4との間に未硬化のエポキシ樹脂を配置させることができる。
If an uncured epoxy resin is disposed between the insulating
また、エポキシ系樹脂によって補強樹脂6が形成されているときに、絶縁基板1の主面(下面)のうち、補強樹脂6が設けられていない部位において、シリコーンオイルの分子が付着していてもよい。このようにシリコーンオイルの分子が付着している場合には、疎水性のシリコーンオイルの分子による、極性が大きい未硬化のエポキシ樹脂をはじく効果によって補強樹脂6を所定の部分に配置されたものとすることがより容易になる。つまり、補強樹脂6を設けたくない部位を避けて、絶縁基板1の主面の外周部のうち少なくとも角部と平面視で重なる部位に確実に補強樹脂6を形成することが可能である。
Further, when the reinforcing
また、上記の各例において、電子モジュール10は、絶縁基板1の主面のうち、補強樹脂6が設けられている部位における表面粗さが、補強樹脂6が設けられていない部位における表面粗さよりも大きいものであってもよい。
Further, in each of the above examples, the
この場合には、補強樹脂6となる未硬化のエポキシ樹脂の絶縁基板1主面における流れ性が、表面粗さが比較的大きい部分で毛細管現象により向上されている。したがって、この場合には、上記の各例と同様の構成および効果を有する電子モジュール10であって、生産性等においてもより有利な電子モジュール10を提供することができる。
In this case, the flowability of the uncured epoxy resin as the reinforcing
なお、本発明は以上の実施形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。例えば、絶縁基板の複数の角部において、それぞれの角部における補強樹脂6の配置の形態が互いに異なるものであってもよく、1つまたは2つの角部において他の3つまたは2つの角部と互いに異なるものであってもよい。
In addition, this invention is not limited to the example of the above embodiment, A various change is possible in the range which does not deviate from the summary of this invention. For example, in the plurality of corners of the insulating substrate, the arrangement form of the reinforcing
1・・・絶縁基板
2・・・接続パッド
2a・・電極パッド
2b・・ダミーパッド
3・・・接続バンプ
3a・・電極バンプ
3b・・ダミーバンプ
4・・・外部回路基板
5・・・端子
6・・・補強樹脂
7・・・接続パッド用導体
8・・・被覆絶縁層
9・・・電子部品
10・・・電子モジュール
11・・・蓋体
DESCRIPTION OF
10 ... Electronic module
11 ... Cover body
Claims (9)
該絶縁基板の前記主面に配列された信号用、基準電位用および電源用の複数の電極パッドを含む複数の接続パッドと、
該複数の接続パッドとそれぞれに対向して配置された複数の端子を有する外部回路基板と、
前記複数の接続パッドと前記複数の端子との間に介在しており、前記複数の接続パッドと前記複数の端子とをそれぞれに電気的に接続している複数の接続バンプと、
少なくとも前記絶縁基板の前記主面の角部と平面視で重なる部分において前記絶縁基板と前記外部回路基板との間に設けられている補強樹脂とを備えており、
前記複数の電極パッドのうち配列の最外周に位置する信号用の前記電極パッドは、前記補強樹脂が設けられていない領域に配置されているものが、前記補強樹脂が設けられている領域に配置されたものよりも内側に位置していることを特徴とする電子モジュール。 An insulating substrate having a rectangular main surface;
A plurality of connection pads including a plurality of electrode pads for signal, reference potential and power supply arranged on the main surface of the insulating substrate;
An external circuit board having a plurality of terminals disposed opposite to the plurality of connection pads,
A plurality of connection bumps interposed between the plurality of connection pads and the plurality of terminals, and electrically connecting the plurality of connection pads and the plurality of terminals, respectively;
A reinforcing resin provided between the insulating substrate and the external circuit board in a portion overlapping at least a corner portion of the main surface of the insulating substrate in a plan view;
Among the plurality of electrode pads, the signal electrode pad located on the outermost periphery of the array is arranged in a region where the reinforcing resin is not provided, but is arranged in a region where the reinforcing resin is provided. An electronic module characterized in that the electronic module is located on the inner side than the formed one.
前記補強樹脂は、前記第1方向において前記第2方向よりも長い範囲にわたって設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の電子モジュール。 The difference between the linear thermal expansion coefficient of the insulating substrate and the linear thermal expansion coefficient of the external circuit substrate is a second value perpendicular to the one side than the first direction along one side of the insulating substrate in plan view. Is made smaller in the direction,
The electronic module according to claim 1, wherein the reinforcing resin is provided in a longer range in the first direction than in the second direction.
前記複数の接続パッド用導体のうち前記被覆絶縁層で被覆された前記外縁部よりも内側の露出部分により、前記複数の接続パッドが形成されており、
前記補強樹脂は、前記複数の接続バンプの一部に接しており、前記複数の接続バンプのうち、前記補強樹脂に接した接続バンプに接続された信号用の前記接続パッド用導体の平面視における面積は、前記補強樹脂に接触していない接続バンプに接続された前記接続パッド用導体の平面視における面積よりも小さく、前記複数の接続パッドの面積は互いに同じであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の電子モジュール。 A plurality of connection pad conductors provided on the main surface of the insulating substrate, and a covering insulating layer covering the main surface of the insulating substrate and the respective outer edges of the plurality of connection pad conductors. Has
Among the plurality of connection pad conductors, the plurality of connection pads are formed by an exposed portion inside the outer edge portion covered with the covering insulating layer,
The reinforcing resin is in contact with a part of the plurality of connection bumps, and the connection pad conductor for signals connected to the connection bumps in contact with the reinforcement resin among the plurality of connection bumps in a plan view. The area is smaller than the area in a plan view of the connection pad conductor connected to the connection bump not in contact with the reinforcing resin, and the areas of the plurality of connection pads are the same as each other. The electronic module in any one of 1-4.
が設けられていない部位において、シリコーンオイルの分子が付着していることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の電子モジュール。 The said reinforcement resin consists of epoxy-type resin, and the molecule | numerator of the silicone oil has adhered in the site | part in which the said reinforcement resin is not provided among the said main surfaces of the said insulated substrate. The electronic module in any one of.
8. The surface roughness of a portion of the main surface of the insulating substrate where the reinforcing resin is provided is larger than the surface roughness of a portion where the reinforcing resin is not provided. The electronic module in any one of.
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