JP2017032361A - 画像検査装置、画像検査方法および画像検査プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の一実施の形態に係る画像検査装置の構成を示すブロック図である。図2は、図1の画像検査装置500の測定部の構成を示す模式図である。以下、本実施の形態に係る画像検査装置500について、図1および図2を参照しながら説明する。図1に示すように、画像検査装置500は、測定部100、PC(パーソナルコンピュータ)200、制御部300および表示部400を備える。
測定部100には、装置固有の三次元座標系と原点位置とが定義されている。本例の三次元座標系は、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を有する。図2においては、X軸に平行な方向をX方向として矢印Xで示し、Y軸に平行な方向をY方向として矢印Yで示し、Z軸に平行な方向をZ方向として矢印Zで示す。また、Z方向に平行な軸を中心に回転する方向をθ方向と定義し、矢印θで示す。本実施の形態においては、Z方向は受光部120の光軸に平行な方向である。
測定部100においては、三角測距方式により測定対象物Sの形状が測定される。図3は、三角測距方式の原理を説明するための図である。図3に示すように、投光部110から出射される測定光の光軸と受光部120に入射する測定光の光軸(受光部120の光軸)との間の角度αが予め設定される。角度αは、0度よりも大きく90度よりも小さい。
図5は、ステージ141上に載置される測定対象物Sの一例を示す外観斜視図である。図5の測定対象物Sは、薄肉部s10、厚肉部s20および円柱部s30を有する。薄肉部s10および厚肉部s20の各々は、矩形の板形状を有する。薄肉部s10の一側部と厚肉部s20の一側部とが互いに接合されている。薄肉部s10と厚肉部s20とが接合された状態で、薄肉部s10の下面s12と厚肉部s20の下面s22とは面一となっている。Z方向において厚肉部s20の厚みは薄肉部s10の厚みよりも大きい。厚肉部s20の上面s21上に上方に延びるように円柱部s30が設けられている。
(5−1)設定モードおよび検査モード
以下の説明では、画像検査装置500の使用者のうち測定対象物Sの検査作業を管理する使用者を適宜設定作成者と呼び、設定作成者の管理の下で測定対象物Sの検査作業を行う使用者を適宜検査作業者と呼ぶ。また、測定対象物Sの姿勢とは、ステージ141上の測定対象物Sの回転角度を意味する。
図8は、画像検査装置500の表示部400に表示される初期画面の一例を示す図である。図8に示すように、画像検査装置500の初期画面には、検査設定ボタン601、検査実行ボタン602、統計解析ボタン603および設定編集ボタン604が表示される。
検査作業者が図8の検査実行ボタン602を操作することにより、図1のCPU210が検査モードで動作する。検査モードにおいては、設定作成者によって生成された検査設定情報に基づいて検査作業者が検査対象物Sの検査を行う。
設定作成者は、図8の設定編集ボタン604を操作することにより、検査設定ファイルの編集に加えて、複数の検査設定ファイルを結合して新たな検査設定ファイルを生成することもできる。この機能を検査設定結合機能と呼ぶ。
設定モードにおいては、X−Yステージ10を移動させつつ設定用対象物Sのテクスチャ画像データおよび高さ画像データを取得することができる。検査モードにおいても、X−Yステージ10を移動させつつ検査対象物Sのテクスチャ画像データおよび高さ画像データを取得することができる。
(6−1)CPUの構成
測定部100において測定された高さ画像データを用いることにより、複数の測定対象物Sの各々について予め設定された検査対象部分の寸法を計測することができる。それにより、複数の測定対象物Sを検査することが可能になる。一方で、高さ画像データの測定においては、検査対象部分に正確な測定が不可能または困難な部分を含むことが多い。正確な測定が不可能または困難な部分とは、例えば影が発生する部分または光の多重反射が発生する部分である。
図41〜図45は、設定モードにおけるCPU210の制御動作を示すフローチャートである。まず、設定作成者は、ステージ141に設定用対象物Sを載置し、適切な測定条件を設定する。この測定条件には、上記の撮像条件が含まれる。CPU210は、設定作成者による操作部250の操作に基づいて、測定条件を登録する(ステップS101)。
図46および図47は、検査モードにおけるCPU210の制御動作を示すフローチャートである。図46および図47の処理は、検査作業者が任意の検査設定ファイルを指定することにより、指定された検査設定ファイルの検査設定情報に基づいて実行される。
本実施の形態に係る画像検査装置500においては、設定モードにおいて、設定用対象物Sの位置および姿勢を示す位置決め用画像データが登録される。位置決め用画像データに基づく位置決め用画像は、設定用対象物Sの位置および姿勢を示す。設定モードにおいては、設定作成者が設定用対象物Sの計測対象部分に影または光の多重反射等が発生しないように設定用対象物Sの位置および姿勢を調整した状態で位置決め用画像データを取得することができる。
(8−1)上記実施の形態では、設定モードにおいて設定用対象物Sのテクスチャ画像データおよび高さ画像データが取得された後、基準画像データの登録に用いる画像データが選択されるが、本発明はこれに限定されない。基準画像データの登録に用いる画像データの選択は、テクスチャ画像データおよび高さ画像データの取得される前に行われてもよい。この場合、画像検査装置500においては、基準画像データの登録時に選択された画像データのみが基準画像データとして取得されてもよい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各構成要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
20 Zステージ
30 θステージ
100 測定部
100H 測定ヘッド
110,110A,110B 投光部
111 測定光源
112 パターン生成部
113,114,115,122,123 レンズ
120 受光部
121 カメラ
121a 撮像素子
130 照明光出力部
140 ステージ装置
141 ステージ
142 ステージ操作部
143 ステージ駆動部
144 治具
150,310 制御基板
200 PC
210 CPU
210A 登録部
210B 取得指令部
210C 表示指令部
210D 計測部
210E 受け付け部
210F 一致度算出部
210G 位置合わせ部
210H 判定部
220 ROM
230 RAM
240 記憶装置
250 操作部
300 制御部
320 照明光源
400 表示部
411 主表示欄
412 上部副表示欄
413 側部副表示欄
415 登録ボタン
417 完了ボタン
419 表示画像切替ボタン
421 ステージ操作ボタン
431 位置決め設定ボタン
432,513 測定ボタン
433 画像選択ボタン
434 解析ボタン
435,484 戻るボタン
441,524 保存ボタン
442 基準面設定ボタン
443 位置合わせボタン
444 プロファイルボタン
451 オフボタン
452 オンボタン
453 詳細位置合わせ設定ボタン
454 テストボタン
455 OKボタン
456 キャンセルボタン
461,473 画像選択操作部
462 矩形領域設定ボタン
463 全領域設定ボタン
464 回転範囲設定操作部
471 描画ボタン
472 エッジ検出ボタン
474 詳細位置合わせ方法ボタン
481 標本画像選択操作部
482 表示画像選択操作部
483 テスト実行ボタン
491 寸法計測方法ボタン
492,522 入力欄
493,525 工程情報ボタン
494 保存オプションボタン
500 画像検査装置
511 検査設定ファイル選択部
512 一致度インジケータ
514 閉じるボタン
515 次へボタン
521 結合ボタン
523 追加ボタン
601 検査設定ボタン
602 検査実行ボタン
603 統計解析ボタン
604 設定編集ボタン
HE,TE 輪郭
HI 高さ画像
S 検査対象物、設定用対象物、測定対象物
Sx 平面映像
TI テクスチャ画像
s10 薄肉部
s11,s21,s31 上面
s12,s22 下面
s20 厚肉部
s30 円柱部
tp1 第1の計測対象部分
tp2 第2の計測対象部分
tp3 第3の計測対象部分
tp4 第4の計測対象部分
Claims (15)
- 測定対象物が載置されるステージと、
前記ステージに載置された前記測定対象物の表面のテクスチャ画像を表す第1の画像データを取得する第1の画像データ取得手段と、
前記ステージに載置された前記測定対象物の表面の高さ画像を表す第2の画像データを取得する第2の画像データ取得手段と、
検査のための設定を行う設定モードと検査を実行する検査モードとで制御動作を行う制御手段と、
表示手段とを備え、
前記制御手段は、
前記設定モードにおいて、前記ステージに前記測定対象物として設定用対象物が載置された状態で、位置決めのための第1または第2の画像データを取得するように前記第1または第2の画像データ取得手段に指令を与える第1の取得指令手段と、
前記設定モードにおいて、前記第1の取得指令手段の指令により取得された位置決めのための画像データに基づいて、前記設定用対象物の位置および姿勢を示す位置決め用画像データを登録する第1の登録手段と、
前記設定モードにおいて、前記ステージに前記設定用対象物が載置された状態で、位置合わせのための第1または第2の画像データを取得するように前記第1または第2の画像データ取得手段に指令を与える第2の取得指令手段と、
前記設定モードにおいて、前記第2の取得指令手段の指令により取得された位置合わせのための画像データを基準画像データとして登録する第2の登録手段と、
前記設定モードにおいて、前記ステージに前記設定用対象物が載置された状態で、計測のための第2の画像データを取得するように前記第2の画像データ取得手段に指令を与える第3の取得指令手段と、
前記設定モードにおいて、前記第3の取得指令手段の指令により取得された計測のための第2の画像データに基づいて、前記設定用対象物の計測対象部分の高さ方向に成分を持つ寸法を計測する第1の計測手段と、
前記設定モードにおいて、前記設定用対象物の計測対象部分の設計値および公差の少なくともいずれかの値の入力を受け付ける受け付け手段と、
前記検査モードにおいて、前記第1の登録手段により登録された前記位置決め用画像データに基づいて位置決め用画像を表示するように前記表示手段に指令を与える第1の表示指令手段と、
前記検査モードにおいて、前記ステージに前記測定対象物として検査対象物が載置された状態で、位置決めのための第1または第2の画像データを取得するように前記第1または第2の画像データ取得手段に指令を与える第4の取得指令手段と、
前記検査モードにおいて、前記第4の取得指令手段の指令により取得された位置決めのための画像データに基づいて画像を表示するように前記表示手段に指令を与える第2の表示指令手段と、
前記検査モードにおいて、前記ステージに前記検査対象物が載置された状態で、前記第1および第2の表示指令手段による指令の後に、前記第2の登録手段により登録された前記基準画像データに対応する位置合わせのための画像データを取得するように前記第1または第2の画像データ取得手段に指令を与える第5の取得指令手段と、
前記検査モードにおいて、前記第5の取得指令手段の指令により取得された位置合わせのための画像データを位置合わせ用画像データとして登録する第3の登録手段と、
前記検査モードにおいて、前記ステージに前記検査対象物が載置された状態で、計測のための第2の画像データを取得するように前記第2の画像データ取得手段に指令を与える第6の取得指令手段と、
前記検査モードにおいて、パターンマッチングにより前記位置合わせ用データと前記基準画像データとを位置合わせすることにより、前記第6の取得指令手段の指令により取得された第2の画像データの位置合わせを行う位置合わせ手段と、
前記検査モードにおいて、前記位置合わせ手段により位置合わせされた計測のための第2の画像データに基づいて、前記設定用対象物の計測対象箇所に対応する前記検査対象物の計測対象箇所の寸法を計測する第2の計測手段と、
前記検査モードにおいて、前記第1の計測手段により計測された寸法と、前記第2の計測手段により計測された寸法と、前記受け付け手段により受け付けられた設計値および公差の少なくともいずれかの値とに基づいて前記検査対象物の良否を判定する判定手段と、
前記検査モードにおいて、前記判定手段により判定された判定結果を表示するように前記表示手段に指令を与える第3の表示指令手段とを含む、画像検査装置。 - 前記第1の登録手段は、前記設定モードにおいて、前記設定用対象物の複数の部分をそれぞれ示す複数の位置決め用画像データ、または倍率が互いに異なる複数の位置決め用画像データを登録する、請求項1記載の画像検査装置。
- 前記第1の登録手段により登録された複数の位置決め用画像を前記表示部に順次表示させるために操作される第1の操作手段をさらに備え、
前記第1の表示指令手段は、前記検査モードにおいて、前記第1の操作手段の操作に基づいて、前記第1の登録手段により登録された複数の位置決め用画像データに基づく位置決め用画像を順次表示するように前記表示手段に指令を与える、請求項2記載の画像検査装置。 - 前記制御手段は、
前記検査モードにおいて、前記第1の登録手段により登録された前記位置決め用画像データと前記第4の取得指令手段の指令により取得された位置決めのための画像データとの一致度を算出する一致度算出手段と、
前記検査モードにおいて、前記一致度算出手段による算出結果を表示するように前記表示手段に指令を与える第4の表示指令手段とをさらに含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の画像検査装置。 - 前記第4の表示指令手段は、予め定められた一致度についてのしきい値を示す情報を表示するように前記表示手段に指令を与える、請求項4記載の画像検査装置。
- 前記第4の取得指令手段は、前記検査モードにおいて、前記ステージに載置された前記検査対象物の時間的変化を示す第1の画像データをライブ画像データとして取得するように前記第1の画像データ取得手段に指令を与え、
前記第2の表示指令手段は、前記検査モードにおいて、前記第4の取得指令手段の指令により取得されたライブ画像データに基づいて前記検査対象物の時間的変化を示すライブ画像を位置決め用画像と重ねて表示するように前記表示手段に指令を与える、請求項1〜5のいずれか一項に記載の画像検査装置。 - 第2の取得指令手段は、前記設定モードにおいて、前記ステージに前記設定用対象物が載置された状態で、第1および第2の画像データを取得するように前記第1および第2の画像データ取得手段にそれぞれ指令を与え、
前記画像検査装置は、前記第2の取得指令手段の指令により取得された前記第1および第2の画像データのうちいずれか一方を選択するために操作される第2の操作手段をさらに備え、
前記第2の登録手段は、前記設定モードにおいて、前記第2の操作手段の操作により選択された画像データを前記基準画像データとして登録する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の画像検査装置。 - 前記制御手段は、前記設定モードにおいて、前記第2の取得指令手段の指令により取得された第1の画像データに基づくテクスチャ画像および第2の画像データに基づく高さ画像のうち少なくとも一方の画像を表示するように前記表示手段に指令を与える第5の表示指令手段をさらに含む、請求項7記載の画像検査装置。
- パターンマッチングのための探索範囲を指定するために操作される第3の操作手段をさらに備え、
前記位置合わせ手段は、前記検査モードにおいて、前記第3の操作手段の操作により指定された前記探索範囲内でパターンマッチングにより前記位置合わせ用画像データを前記基準画像データに位置合わせする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の画像検査装置。 - 前記第1および前記第2の画像データ取得手段は、共通の軸上から第1および第2の画像データをそれぞれ取得するように配置される、請求項1〜9記載の画像検査装置。
- 前記第2の画像データ取得手段により取得された第2の画像データにおいて、任意の基準面を指定するために操作される第4の操作手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記設定モードにおいて、前記第4の操作手段の操作により指定された前記基準面を登録する第4の登録手段をさらに含み、
前記第2の画像データ取得手段は、前記測定対象物の表面の各部分の位置が前記第4の登録手段により登録された前記基準面に直交する方向において前記基準面からの距離を表すように、取得した第2の画像データを補正する、請求項1〜10のいずれか一項に記載の画像検査装置。 - 設定モードにおいて、ステージに測定対象物として設定用対象物が載置された状態で、位置決めのための画像データとして前記設定用対象物の表面のテクスチャ画像を表す第1の画像データまたは前記設定用対象物の表面の高さ画像を表す第2の画像データを取得するステップと、
前記設定モードにおいて、取得された位置決めのための画像データに基づいて、前記設定用対象物の位置および姿勢を示す位置決め用画像データを登録するステップと、
前記設定モードにおいて、前記ステージに前記設定用対象物が載置された状態で、位置合わせのための第1または第2の画像データを取得するステップと、
前記設定モードにおいて、取得された位置合わせのための画像データを基準画像データとして登録するステップと、
前記設定モードにおいて、前記ステージに前記設定用対象物が載置された状態で、計測のための第2の画像データを取得するステップと、
前記設定モードにおいて、取得された計測のための第2の画像データに基づいて、前記設定用対象物の計測対象部分の高さ方向に成分を持つ寸法を計測するステップと、
前記設定モードにおいて、前記設定用対象物の計測対象部分の設計値および公差の少なくともいずれかの値の入力を受け付けるステップと、
検査モードにおいて、前記ステージに前記測定対象物として検査対象物が載置された状態で、登録された前記位置決め用画像データに基づいて前記検査対象物の表面の高さ画像を表す第2の画像データを取得可能な位置に前記ステージまたは前記検査対象物を移動させるステップと、
前記検査モードにおいて、前記ステージに前記検査対象物が載置された状態で、前記ステージまたは前記検査対象物の移動後に、登録された前記基準画像データに対応する位置合わせのための画像データを取得するステップと、
前記検査モードにおいて、取得された位置合わせのための画像データを位置合わせ用画像データとして登録するステップと、
前記検査モードにおいて、前記ステージに前記検査対象物が載置された状態で、計測のための第2の画像データを取得するステップと、
前記検査モードにおいて、パターンマッチングにより前記位置合わせ用データと前記基準画像データとを位置合わせすることにより、前記検査対象物についての計測のための第2の画像データの位置合わせを行うステップと、
前記検査モードにおいて、位置合わせされた計測のための第2の画像データに基づいて、前記設定用対象物の計測対象箇所に対応する前記検査対象物の計測対象箇所の寸法を計測するステップと、
前記検査モードにおいて、前記設定用対象物について計測された寸法と、前記検査対象物について計測された寸法と、受け付けられた設計値および公差の少なくともいずれかの値とに基づいて前記検査対象物の良否を判定するステップと、
前記検査モードにおいて、判定された判定結果を表示手段に表示するステップとを含む、画像検査方法。 - 前記ステージまたは前記検査対象物を移動させるステップは、
前記検査モードにおいて、登録された前記位置決め用画像データに基づいて位置決め用画像を前記表示手段に表示することと、
前記検査モードにおいて、前記ステージに前記検査対象物が載置された状態で、位置決めのための第1または第2の画像データを取得することと、
前記検査モードにおいて、取得された位置決めのための画像データに基づいて画像を前記表示部に表示することと、
前記検査モードにおいて、位置決め用画像および位置決めのための画像データに基づく画像の表示後、前記ステージまたは前記検査対象物の移動を受け付けることとを含む、請求項12記載の画像検査方法。 - 処理装置により実行可能な画像検査プログラムであって、
設定モードにおいて、ステージに測定対象物として設定用対象物が載置された状態で、位置決めのための画像データとして前記設定用対象物の表面のテクスチャ画像を表す第1の画像データまたは前記設定用対象物の表面の高さ画像を表す第2の画像データを取得する処理と、
前記設定モードにおいて、取得された位置決めのための画像データに基づいて、前記設定用対象物の位置および姿勢を示す位置決め用画像データを登録する処理と、
前記設定モードにおいて、前記ステージに前記設定用対象物が載置された状態で、位置合わせのための第1または第2の画像データを取得する処理と、
前記設定モードにおいて、取得された位置合わせのための画像データを基準画像データとして登録する処理と、
前記設定モードにおいて、前記ステージに前記設定用対象物が載置された状態で、計測のための第2の画像データを取得する処理と、
前記設定モードにおいて、取得された計測のための第2の画像データに基づいて、前記設定用対象物の計測対象部分の高さ方向に成分を持つ寸法を計測する処理と、
前記設定モードにおいて、前記設定用対象物の計測対象部分の設計値および公差の少なくともいずれかの値の入力を受け付ける処理と、
検査モードにおいて、前記ステージに前記測定対象物として検査対象物が載置された状態で、登録された前記位置決め用画像データに基づいて前記検査対象物の表面の高さ画像を表す第2の画像データを取得可能な位置に前記ステージまたは前記検査対象物を移動させる処理と、
前記検査モードにおいて、前記ステージに前記検査対象物が載置された状態で、前記ステージまたは前記検査対象物の移動後に、登録された前記基準画像データに対応する位置合わせのための画像データを取得する処理と、
前記検査モードにおいて、取得された位置合わせのための画像データを位置合わせ用画像データとして登録する処理と、
前記検査モードにおいて、前記ステージに前記検査対象物が載置された状態で、計測のための第2の画像データを取得する処理と、
前記検査モードにおいて、パターンマッチングにより前記位置合わせ用データと前記基準画像データとを位置合わせすることにより、前記検査対象物についての計測のための第2の画像データの位置合わせを行う処理と、
前記検査モードにおいて、位置合わせされた計測のための第2の画像データに基づいて、前記設定用対象物の計測対象箇所に対応する前記検査対象物の計測対象箇所の寸法を計測する処理と、
前記検査モードにおいて、前記設定用対象物について計測された寸法と、前記検査対象物について計測された寸法と、受け付けられた設計値および公差の少なくともいずれかの値とに基づいて前記検査対象物の良否を判定する処理と、
前記検査モードにおいて、判定された判定結果を表示手段に表示する処理とを、
前記処理装置に実行させる、画像検査プログラム。 - 前記ステージまたは前記検査対象物を移動させる処理は、
前記検査モードにおいて、登録された前記位置決め用画像データに基づいて位置決め用画像を前記表示手段に表示することと、
前記検査モードにおいて、前記ステージに前記検査対象物が載置された状態で、位置決めのための第1または第2の画像データを取得することと、
前記検査モードにおいて、取得された位置決めのための画像データに基づいて画像を前記表示部に表示することと、
前記検査モードにおいて、位置決め用画像および位置決めのための画像データに基づく画像の表示後、前記ステージまたは前記検査対象物の移動を受け付けることとを含む、請求項14記載の画像検査プログラム。
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