JP7152223B2 - 画像測定装置 - Google Patents
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Description
ワークが載置されるステージと、
前記ステージ上の撮像視野内の画像を生成する撮像手段と、
前記撮像手段に対してXY方向に相対的に前記ステージを移動させることで、前記ステージ上の撮像視野を切り替える駆動手段と、
前記撮像手段により生成された画像に前記ワークが含まれるかを判定する判定手段と、
前記撮像手段、前記駆動手段および前記判定手段を制御する制御手段であって、
前記判定手段により前記画像に前記ワークが含まれないと判定された場合、予め定められたシーケンスに従って前記駆動手段を制御することで前記ステージを移動させながら前記撮像手段に各撮像視野における画像を生成させ、各画像に前記ワークが含まれるかを前記判定手段に判定させるワーク探索処理を繰り返す第一ステージ動作を実行し、
前記判定手段により前記画像に前記ワークが含まれると判定された場合、当該画像が取得された前記ステージ上の撮像視野の周囲に位置する複数の撮像視野のうち、前記ワークが延出する方向に位置する一つ以上の撮像視野内の画像を前記撮像手段に生成させるよう前記駆動手段に前記ステージを移動させる第二ステージ動作を実行し、
前記第一ステージ動作において前記ワークを含む画像が見つかった場合、前記第一ステージ動作から前記第二ステージ動作に切り替える制御手段と、
前記第二ステージ動作において生成された複数の画像を連結し、前記ワークの全体を含む連結画像を生成する画像連結手段と、
連結画像を表示する表示手段とを有し、
前記判定手段により、前記撮像視野内にワークの少なくとも一部が含まれないと判定された場合には、前記撮像手段の撮像条件に従って、所定のシーケンスに従って連結画像の生成を続けることを特徴とする画像測定装置を提供する。
図1は画像測定装置1の一構成例を示した斜視図である。画像測定装置1は、ワークを撮像してワーク画像を生成し、ワーク画像内のワークの寸法を測定する装置である。図1において、画像測定装置1は、測定ユニット10、制御ユニット20、キーボード31およびポインティングデバイス32を有している。ワークは画像測定装置1により形状や寸法を測定される測定対象物である。
図2は測定ユニット10の構成例を模式的に示した断面図である。ここでは測定ユニット10が撮像軸と平行な垂直面(YZ平面)により切断した場合の切断面が示されている。測定ユニット10は、ディスプレイ装置11、可動ステージ12、筐体100、ステージ駆動部101、鏡筒部102、照明位置調整部103、カメラ110、120、同軸落射照明130、リング照明140および透過照明150を有している。
図2が示すように、受光レンズ114およびリング照明140は可動ステージ12のかなりの部分を覆っている。そのため、俯瞰カメラ17は受光レンズ114およびリング照明140を避けた位置に配置される。俯瞰カメラ17は一つのカメラによって実現されてもよいが、複数のカメラによって実現されてもよい。
図5Aおよび図5Bはワークの自動検出を説明する図である。図5Aが示すように、一般に、可動ステージ12には1個のワークWが載置される。この場合、ユーザは可動ステージ12の中心付近にワークWを載置するため、制御ユニット20は可動ステージ12の中央を基準としてワークWを探索する。なお、可動ステージ12がホームポジションに位置しているときに、受光レンズ114の光軸は可動ステージ12の中心を通る。この例で制御ユニット20は低倍率のカメラ110で4枚のワーク画像を取得することで、可動ステージ12上におけるワークWの位置と姿勢(基準モデルに対する回転角度)とを取得できる。具体的には、制御ユニット20は低倍率画像43aを取得し、低倍率画像43aに存在するワークWを抽出し、ワークWの延出方向を解析する。ここで、ワークWの延出方向は、低倍率画像43aを解析し、所定の輝度値以下になる部分(いわゆる影となる部分)が延出する方向をワークWの延出方向としている。
図6Aは制御ユニット20に搭載さされるコントローラ60の機能を説明する図である。図6Bは俯瞰画像41を生成する際に必要となるオプションの機能を示している。コントローラ60はCPUなどにより構成され、測定ユニット10を制御する。CPUは中央演算処理装置の略称である。コントローラ60の機能の一部またはすべてはASICやFPGAなどのハードウエアによって実現されてもよい。ASICは特定用途集積回路の略称である。FPGAはフィールドプログラマブルゲートアレイの略称である。照明制御部81は制御ユニット20または測定ユニット10に搭載され、コントローラ60からの制御信号にしたがって同軸落射照明130、リング照明140および透過照明150を制御する。撮像制御部82は制御ユニット20または測定ユニット10に搭載され、コントローラ60からの制御信号にしたがって測定用のカメラ110、120および俯瞰カメラ17R、17Lを制御する。記憶装置70はメモリやハードディスクドライブなどを有し、設定データ71、低倍率画像43、俯瞰画像41などを記憶する。
図7は電源スイッチ15がオンに切り替えるとコントローラ60によって実行されるメインの処理を示すフローチャートである。
図8は設定モードを示すフローチャートである。S800はワークを探索するための第一ステージ動作である。S800はS801ないしS803を有する。S810はワークの全体(輪郭)を探索するための第二ステージ動作である。S810はS811ないしS817を有する。なお、第一ステージ動作および第二ステージ動作については、低倍率のカメラ110を用いて探索する例が説明される。しかし、高倍率のカメラ120を用いて探索が実行されてもよいし、低倍率のカメラ110と高倍率のカメラ120とを適宜に併用して探索が実行されてもよい。
図9は連続測定モードを示すフローチャートである。すでに説明されたステップと同一または類似したステップには同一の参照符号が付与されている。ここでは俯瞰画像41を取得してワークWの位置と姿勢とをラフに特定するための俯瞰モード(S901ないしS903)が記載されているが、これは必須ではない。
図10は俯瞰画像の生成処理を示すフローチャートである。
図5Bに示すように、多数のワークW(W1~W8)がステージ上に載置され、ユーザが一度実行ボタンをおすことで、多数のワークを測定することができる複数一括測定モードについてさらに説明する。
可動ステージ12はワークWが載置されるステージの一例である。カメラ110はステージ上における撮像視野内の画像を生成する撮像手段の一例である。ステージ駆動部101は撮像手段に対してXY方向に相対的にステージを移動させることで、ステージ上の撮像視野を切り替える駆動手段の一例である。なお、ステージ駆動部101はカメラ110、120を可動ステージ12に対して移動させてもよいし、可動ステージ12をカメラ110、120に対して移動してもよい。ワーク判定部63は撮像手段により生成された画像にワークが含まれるかを判定する判定手段の一例である。コントローラ60や測定制御部62は撮像手段、駆動手段および判定手段を制御する制御手段の一例である。S800に関して説明されたように測定制御部62は判定手段により画像にワークWが含まれないと判定された場合、予め定められたシーケンスに従って駆動手段を制御することでステージを移動させながら撮像手段に各撮像視野における画像を生成させ、各画像にワークが含まれるかを判定手段に判定させるワーク探索処理を繰り返す第一ステージ動作を実行する。S810に関して説明されたように測定制御部62は判定手段により画像にワークWが含まれると判定された場合、当該画像が取得されたステージ上の撮像視野の周囲に位置する複数の撮像視野のうち、ワークWが延出する方向に位置する一つ以上の撮像視野内の画像を撮像手段に生成させるよう駆動手段にステージを移動させる第二ステージ動作を実行する。測定制御部62は第一ステージ動作においてワークWを含む画像が見つかった場合、第一ステージ動作から第二ステージ動作に切り替える。画像連結部64は第二ステージ動作において生成された複数の画像を連結し、ワークWの全体を含む連結画像を生成する画像連結手段の一例である。このように、本発明によれば、カメラ110、120の撮像倍率が高く、カメラ110、120の撮像視野内にワークWが収まらないケースにおいて特に有用である。本発明によれば、カメラ110により取得された画像からワークWが検出され、ワークWに基づきワークWの全体を含む連結画像42が生成される。よって、画像測定装置1のユーザビリティがさらに改善する。
・図12(A)が示すように、コントローラ60は可動ステージ12を移動させる。
・図12(B)が示すように、コントローラ60は俯瞰カメラ12Rに撮像を実行させることで、部分的な俯瞰画像41aを取得する。
・図12(C)が示すように、コントローラ60は可動ステージ12を左方向に移動させ、俯瞰カメラ12Lに撮像を実行させることで、部分的な俯瞰画像41bを取得する。
・図12(D)が示すようにコントローラ60は俯瞰画像41aと俯瞰画像41bとを合成することで可動ステージ12の全体を示す俯瞰画像41dを生成する。
・図13(A)が示すように、コントローラ60は可動ステージ12を移動させ、俯瞰カメラ12Rに撮像を実行させることで、部分的な俯瞰画像41aを取得する。
・図13(B)が示すように、コントローラ60は可動ステージ12を左方向に移動させ、俯瞰カメラ12Rに撮像を実行させることで、部分的な俯瞰画像41bを取得する。
・図13(C)が示すように、コントローラ60は可動ステージ12を左方向に移動させ、俯瞰カメラ12Lに撮像を実行させることで、部分的な俯瞰画像41cを取得する。
・図13(D)が示すように、コントローラ60は可動ステージ12を左方向に移動させ、俯瞰カメラ12Lに撮像を実行させることで、部分的な俯瞰画像41eを取得する。
・図13(E)が示すように、コントローラ60は可動ステージ12を左方向に移動させ、俯瞰カメラ12Lに撮像を実行させることで、部分的な俯瞰画像41fを取得する。
・図13(F)が示すようにコントローラ60は俯瞰画像41a、41b、41c、41d、41e、41fを合成することで可動ステージ12の全体を示す俯瞰画像41dを生成する。
Claims (12)
- ワークが載置されるステージと、
前記ステージ上の撮像視野内の画像を生成する撮像手段と、
前記撮像手段に対してXY方向に相対的に前記ステージを移動させることで、前記ステージ上の撮像視野を切り替える駆動手段と、
前記撮像手段により生成された画像に前記ワークが含まれるかを判定する判定手段と、
前記撮像手段、前記駆動手段および前記判定手段を制御する制御手段であって、
前記判定手段により前記画像に前記ワークが含まれないと判定された場合、予め定められたシーケンスに従って前記駆動手段を制御することで前記ステージを移動させながら前記撮像手段に各撮像視野における画像を生成させ、各画像に前記ワークが含まれるかを前記判定手段に判定させるワーク探索処理を繰り返す第一ステージ動作を実行し、
前記判定手段により前記画像に前記ワークが含まれると判定された場合、当該画像が取得された前記ステージ上の撮像視野の周囲に位置する複数の撮像視野のうち、前記ワークが延出する方向に位置する一つ以上の撮像視野内の画像を前記撮像手段に生成させるよう前記駆動手段に前記ステージを移動させる第二ステージ動作を実行し、
前記第一ステージ動作において前記ワークを含む画像が見つかった場合、前記第一ステージ動作から前記第二ステージ動作に切り替える制御手段と、
前記第二ステージ動作において生成された複数の画像を連結し、前記ワークの全体を含む連結画像を生成する画像連結手段と、
連結画像を表示する表示手段とを有し、
前記判定手段により、前記撮像視野内にワークの少なくとも一部が含まれないと判定された場合には、前記撮像手段の撮像条件に従って、所定のシーケンスに従って連結画像の生成を続けることを特徴とする画像測定装置。 - 前記制御手段は、前記第一ステージ動作において前記ワークを含む画像が見つかった場合、当該画像に基づいて前記撮像手段の撮像条件を調整し、前記第二ステージ動作において当該調整された撮像条件を使用することを特徴とする請求項1に記載の画像測定装置。
- ワークが載置されるステージと、
前記ステージ上の撮像視野内の画像を生成する撮像手段と、
前記撮像手段に対してXY方向に相対的に前記ステージを移動させることで、前記ステージ上の撮像視野を切り替える駆動手段と、
前記撮像手段により生成された画像に前記ワークが含まれるかを判定する判定手段と、
前記撮像手段、前記駆動手段および前記判定手段を制御する制御手段であって、
前記判定手段により前記画像に前記ワークが含まれないと判定された場合、予め定められたシーケンスに従って前記駆動手段を制御することで前記ステージを移動させながら前記撮像手段に各撮像視野における画像を生成させ、各画像に前記ワークが含まれるかを前記判定手段に判定させるワーク探索処理を繰り返す第一ステージ動作を実行し、
前記判定手段により前記画像に前記ワークが含まれると判定された場合、当該画像が取得された前記ステージ上の撮像視野の周囲に位置する複数の撮像視野のうち、前記ワークが延出する方向に位置する一つ以上の撮像視野内の画像を前記撮像手段に生成させるよう前記駆動手段に前記ステージを移動させる第二ステージ動作を実行し、
前記第一ステージ動作において前記ワークを含む画像が見つかった場合、前記第一ステージ動作から前記第二ステージ動作に切り替える制御手段と、
前記第二ステージ動作において生成された複数の画像を連結し、前記ワークの全体を含む連結画像を生成する画像連結手段と、
連結画像を表示する表示手段とを有し、
前記制御手段は、
前記ワークの測定箇所を設定する設定モードと、当該設定モードにより設定された測定箇所に対して測定をおこなう測定モードとを有し、
前記測定モードにおいて、前記連結画像に対してパターンサーチを実行することで前記設定モードにおいて設定された測定箇所のステージ座標を特定し、当該ステージ座標において、前記設定モードにおいて当該測定箇所に設定された撮像条件を使用して、当該測定箇所を前記撮像手段に再度撮像させ、当該再度撮像して生成された画像を用いて前記測定箇所のエッジを抽出することを特徴する画像測定装置。 - ワークが載置されるステージと、
前記ステージ上の撮像視野内の画像を生成する撮像手段と、
前記撮像手段に対してXY方向に相対的に前記ステージを移動させることで、前記ステージ上の撮像視野を切り替える駆動手段と、
前記撮像手段により生成された画像に前記ワークが含まれるかを判定する判定手段と、
前記撮像手段、前記駆動手段および前記判定手段を制御する制御手段であって、
前記判定手段により前記画像に前記ワークが含まれないと判定された場合、予め定められたシーケンスに従って前記駆動手段を制御することで前記ステージを移動させながら前記撮像手段に各撮像視野における画像を生成させ、各画像に前記ワークが含まれるかを前記判定手段に判定させるワーク探索処理を繰り返す第一ステージ動作を実行し、
前記判定手段により前記画像に前記ワークが含まれると判定された場合、当該画像が取得された前記ステージ上の撮像視野の周囲に位置する複数の撮像視野のうち、前記ワークが延出する方向に位置する一つ以上の撮像視野内の画像を前記撮像手段に生成させるよう前記駆動手段に前記ステージを移動させる第二ステージ動作を実行し、
前記第一ステージ動作において前記ワークを含む画像が見つかった場合、前記第一ステージ動作から前記第二ステージ動作に切り替える制御手段と、
前記第二ステージ動作において生成された複数の画像を連結し、前記ワークの全体を含む連結画像を生成する画像連結手段と、
連結画像を表示する表示手段とを有し、
前記ステージにおける各撮像視野のステージ座標に関する情報を記憶する記憶手段をさらに有し、
前記制御手段は、前記第一ステージ動作において見つかった前記ワークの少なくとも一部を含む画像の撮像視野のステージ座標と、当該ワークが延出する方向に関する情報と、前記記憶手段に記憶されている各撮像視野のステージ座標に関する情報とに基づき、前記第二ステージ動作における前記ステージの移動方向を決定することを特徴とする画像測定装置。 - 前記撮像条件は、前記撮像手段の光学系の合焦位置、光学倍率、絞り条件、照明条件および露光時間の少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の画像測定装置。
- 前記制御手段は、前記ワークの測定箇所を設定する設定モードと、当該設定モードにより設定された測定箇所に対して測定をおこなう測定モードとを有し、
前記画像連結手段は、前記設定モードにおいて前記連結画像を生成することを特徴とする請求項1または4に記載の画像測定装置。 - 透光性を有する前記ステージの下方から前記ワークに光を照射する透過照明と、
前記ステージの上方から前記ワークに光を照射する落射照明と、をさらに有し、
前記画像連結手段は、前記落射照明により光を照射された前記ワークの画像を連結することで前記連結画像を生成し、
前記判定手段は、前記透過照明により光を照射された前記ワークの画像に前記ワークが含まれるかを判定することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の画像測定装置。 - 前記設定モードにおいて前記表示手段に表示された前記連結画像に含まれている前記ワークに対して測定箇所となるエッジ抽出領域と前記画像の撮像条件の指定を受け付ける受付手段と、
前記受付手段により受け付けられた撮像条件に基づき、前記測定箇所となるエッジを抽出するために必要となる画像の枚数を設定する設定手段とをさらに有することを特徴とする請求項3または6に記載の画像測定装置。 - 前記判定手段は、前記画像における輝度値に基づき、前記ワークの境界部をエッジとして判定することを特徴する請求項1乃至8のいずれか一項に記載の画像測定装置。
- 前記ステージにおける各撮像視野のステージ座標に関する情報を記憶する記憶手段をさらに有し、
前記制御手段は、前記第一ステージ動作において見つかった前記ワークの少なくとも一部を含む画像の撮像視野のステージ座標と、当該ワークが延出する方向に関する情報と、前記記憶手段に記憶されている各撮像視野のステージ座標に関する情報とに基づき、前記第二ステージ動作における前記ステージの移動方向を決定することを特徴とする請求項1、2、3および5のいずれか一項に記載の画像測定装置。 - 前記制御手段は、前記第二ステージ動作において前記撮像手段による画像の生成と前記駆動手段による前記ステージの移動と並行して前記画像連結手段に前記連結画像を生成させるか、または、前記第二ステージ動作において前記撮像手段による複数の画像の生成が完了した後で前記画像連結手段に連結画像を生成させることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の画像測定装置。
- ワークが載置されるステージと、
前記ステージ上の撮像視野内の画像を生成する撮像手段と、
前記撮像手段に対してXY方向に相対的に前記ステージを移動させることで、前記ステージ上の撮像視野を切り替える駆動手段と、を有する画像測定装置の制御方法であって、
前記撮像手段により生成された画像にワークが含まれないと判定された場合、予め定められたシーケンスに従って前記駆動手段を制御することで前記ステージを移動させながら前記撮像手段に各撮像視野における画像を生成させ、各画像に前記ワークが含まれるかを判定するワーク探索処理を繰り返す第一ステージ動作を実行することと、
前記撮像手段により生成された画像に前記ワークが含まれると判定された場合、当該画像が取得された前記ステージ上の撮像視野の周囲に位置する複数の撮像視野のうち、前記ワークが延出する方向に位置する一つ以上の撮像視野内の画像を前記撮像手段に生成させるよう前記駆動手段に前記ステージを移動させる第二ステージ動作を実行することと、
前記第一ステージ動作において前記ワークを含む画像が見つかった場合、前記第一ステージ動作から前記第二ステージ動作に切り替えることと、
前記第二ステージ動作において生成された複数の画像を連結し、前記ワークの全体を含む連結画像を生成することと、
連結画像を表示することとを有し、
前記撮像視野内にワークの少なくとも一部が含まれないと判定された場合には、前記撮像手段の撮像条件に従って、所定のシーケンスに従って連結画像の生成を続けることを特徴とする画像測定装置の制御方法。
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