JP2017031450A - 粉末コーティング装置及びその使用方法 - Google Patents
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Abstract
Description
バレル3を不図示の真空室に入れてもよい。この場合、バレル3にはシールを施す必要がなくなるため、バレルの構造を簡易にすることができる。
図1に示した粉末コーティング装置を用いて、ガラスビーズの表面にPt‐Au合金薄膜を成膜した粉末を作製する。まず初めに、Ptターゲット(純度99.9%、ターゲット面は150×35mm)を1枚準備し、固定部10aに取り付けた。またAuターゲット(純度99.99%、ターゲット面は150×35mm)を1枚準備し、固定部10cに取り付けた。固定部10bにはターゲットを取り付けずにブランクとした。スパッタリング電源1は高周波電源(周波数13.56MHz)とした。次に、バレル3内に粉末を入れない状態で3×10−3Pa以下まで真空に引いた後、アルゴンガスを流して、0.4Paの圧力を保つように調整し、スパッタを行い、高周波電源の出力に応じたPtターゲットとAuターゲットそれぞれのレートを確認した。続いて、バレル3に直径1mmのガラスビーズ150gを投入し,1.3×10−3Paまで真空引きを行いった後、アルゴンガスを流して,0.4Paの圧力を保つように調整した。その後、Ptターゲットに200W、Auターゲットに100Wの出力をかけ、バレル3を回転させ、均し部品9(丸棒型)を搖動させながら、ガラスビーズ表面に成膜を行った。バレルに入れる粉末量(150g)は、均し部品が、バレルの回転方向に搖動運動をするときに粉末の山の内部を通過し、かつ、バレルの回転方向とは反対方向に搖動運動をするときに粉末の山をならす量であった。なお、上記の高周波電源の出力は、前述で確認したスパッタレートから、Pt−50wt%Auになるように計算して求めた。成膜時間は30分間とした。成膜後取り出したガラスビーズを分析したところ、Pt−48wt%Au合金薄膜が表面に成膜されていることが確認された。薄膜の組成は、ICP発光分光分析装置(リガク製SPECTRO‐CIROS)を用いて求めた。
図1に示した粉末コーティング装置を用いて、ガラスビーズの表面にTi薄膜(下層)、Au薄膜(上層)の2層膜を成膜した粉末を作製する。まず初めに、Tiターゲット(純度99.9%、ターゲット面は150×35mm)を1枚準備し、固定部10bに取り付けた。またAuターゲット(純度99.99%、ターゲット面は150×35mm)を1枚準備し、固定部10cに取り付けた。固定部10aにはターゲットを取り付けずにブランクとした。スパッタリング電源1は高周波電源(周波数13.56MHz)とした。次に、バレル3内に粉末を入れない状態でスパッタを行い、3×10−3Pa以下まで真空に引いた後,アルゴンガスを流して、0.4Paの圧力を保つように調整し、高周波電源の出力に応じたTiターゲットとAuターゲットそれぞれのレートを確認した。続いて、バレル3に直径1mmのガラスビーズ150gを投入し,2.1×10−3Paまで真空引きを行った後、アルゴンガスを流して、0.4Paの圧力を保つように調整した。その後、まずTiターゲットのみに200Wを印可し、バレル3を回転させ、均し部品9(丸棒型)を搖動させながら、30分間スパッタを行い、ガラスビーズ表面にTi膜を成膜した。続いて、Auターゲットのみに200Wを印可し、バレル3を回転させ、均し部品9(丸棒型)を搖動させながら、1時間スパッタを行い、Ti膜の表面にさらにAu膜を成膜した。その結果、途中でバレル3を大気開放することなく、Ti(下層)/Au(上層)の2層が成膜されたガラスビーズを得られた。バレルに入れる粉末量(150g)は、均し部品が、バレルの回転方向に搖動運動をするときに粉末の山の内部を通過し、かつ、バレルの回転方向とは反対方向に搖動運動をするときに粉末の山をならす量であった。成膜した薄膜は密着性が良好であった。なお、Au膜をガラスビーズに直接成膜すると密着性が悪い。そこでTi膜を密着性向上のための中間層として成膜した。
1a 真空シール型軸受け
1b アーム
1c ターゲット冷却水通路入口
1d ターゲット冷却水通路出口
1e アルゴンガス入口
2 スパッタリング装置
3 バレル
3a バレルの内側側壁
3b バレルの最も低い位置
3c バレルの最も低い位置を越えた位置
3d バレル本体
3e 蓋体
4 排気手段
4a 真空シール型軸受け
5 駆動モーター
5a 駆動ロール
5b 従動ロール
6,6a,6b,6c ターゲット
7 粉末
7a,7b 粉末の山
7f1,7f2,7f3,7f4 粉末の流れ
8 角度調整機構
9 均し部品
9a 真空シール型軸受け
9b 撹拌モーター
9c 第1面
9d 第2面
10,10a,10b,10c 固定部
12 アーム
13 粉末上昇抑制部品
ha,hb,hc ターゲット面の法線
2U ターゲットユニット
100 粉末コーティング装置
R バレルの回転方向
C 主軸
Claims (6)
- バレルと、該バレル内を真空引きする排気手段と、前記バレル内に設置されたスパッタリング装置と、を有し、前記バレルは、主軸が水平方向を向いており、かつ、該主軸を中心に回転し、前記スパッタリング装置は、前記バレルに入れられた粉末の表面にコーティング膜を形成する粉末コーティング装置において、
前記バレルの内側側壁のうち、前記バレルの回転によって上方向に移動する部分の側壁に接した状態で配置され、前記粉末が迫り上がる上限位置を定める粉末上昇抑制部品と、
該粉末上昇抑制部品よりも下方の位置で、前記バレルの内側側壁に間隔をあけて配置され、前記主軸を回転中心として搖動運動をする前記粉末の均し部品と、を有することを特徴とする粉末コーティング装置。 - 前記粉末上昇抑制部品は、ブラシ又はヘラであることを特徴とする請求項1に記載の粉末コーティング装置。
- 前記均し部品は、棒又は板であることを特徴とする請求項1又は2に記載の粉末コーティング装置。
- 前記均し部品は、前記バレルの回転方向とは反対方向に搖動運動をするときに、前記バレルの内側側壁のうち、最も低い位置又は該位置を越えたところで折り返すことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の粉末コーティング装置。
- 前記均し部品は、前記バレルの回転方向に沿って搖動運動をするときに、前記粉末上昇抑制部品の下方で折り返すことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の粉末コーティング装置。
- 請求項1〜5のいずれか一つに記載の粉末コーティング装置の使用方法であって、
前記バレルに入れる粉末量は、前記均し部品が、前記バレルの回転方向に搖動運動をするときに前記粉末の山の内部を通過し、かつ、前記バレルの回転方向とは反対方向に搖動運動をするときに前記粉末の山をならす量であることを特徴とする粉末コーティング装置の使用方法。
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