JP2017029896A - 塗布器及び塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】当該塗布液を組成する成分同士の分離を抑制できる塗布器を提供する。【解決手段】 塗布液Ｍを凹版９０に塗布するディスペンサ６０は、塗布液Ｍを収容する収容空間Ｓと、開口６１４が形成された第１底面６１２と、を有するシリンジ６１と、開口６１４に連通する貫通孔６２１を有し、吐出開口６２２から凹版９０に向けて塗布液Ｍを吐出するニードル６２と、開口６１４に対応して設けられた内孔６５３を有し、収容空間Ｓの底部Ｓ２１に収容されている環状の挿入部材６５と、を備える。【選択図】 図３

Description

本発明は、塗布器及び塗布装置に関するものである。

先端から塗布液を被塗布部材上に吐出する吐出口を備える塗布器が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

特開２０１４−１８０６０３号公報

上記塗布器では、塗布器内に貯留される塗布液が沈降分離性を有する場合、比較的比重の大きい成分が沈降してしまい、塗布液を組成する成分同士が分離してしまう場合がある。また、塗布液の種類に応じて、分離の程度に差が生じるため、設定した条件下において塗布液の分離の抑制を図ることが難しい場合がある、という問題がある。

本発明が解決しようとする課題は、当該塗布液を組成する成分同士の分離を抑制できる塗布器及び塗布装置を提供することである。

［１］本発明に係る塗布液を被塗布体に塗布する塗布器は、前記塗布液を収容する収容空間と、開口が形成された第１底面と、を有する筒状の容器と、前記開口に連通する貫通孔を有し、前記貫通孔の一方端部から前記被塗布体に向けて前記塗布液を吐出する吐出部と、前記開口に対応して設けられた内孔を有し、前記収容空間の底部に収容されている環状の挿入部材と、を備える。

［２］上記発明において、前記挿入部材は、前記第１底面と接触する第２底面と、前記第２底面の反対側に位置する拡散面と、を有し、前記拡散面は、前記容器の軸方向に対して交差する方向に延在していてもよい。

［３］上記発明において、前記拡散面は、前記軸方向に対して実質的に直交する方向に延在する略平坦な面であってもよい。

［４］上記発明において、前記第２底面は、前記第１底面に対応した形状を有し、前記第１及び第２底面が相互に密接していてもよい。

［５］上記発明において、平面視において、前記開口の外形は、前記内孔の外形に包囲されていてもよい。

［６］上記発明において、平面視において、前記開口の中心と、前記内孔の中心とは実質的に一致していてもよい。

［７］上記発明において、前記内孔は、前記開口に接近するにしたがって漸次的に縮径されていてもよい。

［８］本発明に係る塗布装置は、上記塗布器と、前記収容空間に昇圧空気を供給する供給手段と、を備える。

本発明によれば、前記開口に対応して設けられた内孔を有する挿入部材を、収容空間の底部に収容することで、流下する塗布液が当該挿入部材に衝突して、塗布液の流動が阻害され乱れを生じる。これにより、塗布液が撹拌されて、当該塗布液を組成する成分同士の分離を抑制することができる。

また、挿入部材を交換することで、塗布液の種類に応じた最適な塗布液の撹拌を実施することもできる。

図１は、本発明の一実施の形態に係る配線基板を示す断面図である。 図２は、本発明の一実施の形態に係る塗布装置の断面図である。 図３（ａ）は、本発明の一実施の形態に係る塗布器を示す断面図であり、図３（ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る挿入部材を示す平面図である。 図４（ａ）は、本発明の一実施の形態に係る塗布器の変形例を示す断面図であり、図４（ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る挿入部材の変形例を示す平面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明で用いる図は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。

図１は本発明の一実施の形態に係る配線基板を示す断面図、図２は本発明の一実施の形態に係る塗布装置の断面図である。

本実施形態の塗布装置１は、基材１１０に塗布液Ｍを塗布するために用いられ、基材１１０上に塗布された塗布液Ｍから導体層１２０を形成することで配線基板１００を製造する。ここでは、まず、配線基板１００について、簡単に説明する。

配線基板１００は、図１に示すように、基材１１０と、導体層１２０と、を備えている。基材１１０は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミド（ＰＩ）等の絶縁性を有する基材である。導体層１２０は、配線基板の製造装置１によって基材１１０上に転写された塗布液Ｍを硬化させることにより形成されている。なお、図１において、符号（Ｍ）は、導体層１２０に相当する、硬化させる前の状態の塗布液Ｍを示す。

塗布液Ｍとしては、たとえば導電性インクを挙げることができ、この導電性インクは、導電性材料、バインダ樹脂、各種添加剤及び溶剤を混合して構成されている。導電性材料としては、銀や銅、ニッケル、スズ、ビスマス、亜鉛、インジウム、パラジウム、グラファイト等を例示することができる。なお、導電性材料としては、０．５μｍ以上３０μｍ以下の直径φ（０．５μｍ≦φ≦３０μｍ）の粒径を有する導電性粒子を用いることが好ましい。

バインダ樹脂としては、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ビニル樹脂、ウレタン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等を例示することができる。なお、塗布液Ｍを構成する材料からバインダ樹脂を省略してもよい。

溶剤としては、用いるバインダ樹脂の種類に応じて適宜、選択すればよいが、たとえば、バインダ樹脂としてポリエステル系樹脂を用いる場合には、酢酸シクロヘキシル、酢酸ブチルカルビトーレ、酢酸−２−ブトキシエチル、イソブチルアルコール、２−エチルブチルアルコール、エチルカルビトール、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、ブチルセロソルブ、イソホロンなどが挙げられる。添加剤としては、硬化剤、カップリング剤、腐食抑制剤などを例示することができる。

塗布液Ｍは、導体層１２０として求められる性能にもよるが、複数の成分を混合して構成される分散系の物質である。たとえば、塗布液Ｍとしては、分散質として導電性材料（たとえば、銀粒子）を８０重量％で含有し、バインダ樹脂を２重量％で含有するものを例示することができるが、この場合、導電性材料の比重が１０程度であるのに対して、バインダ樹脂の比重が２程度であるため、塗布液Ｍにおいては、経時的に導電性材料が沈降する共にバインダ樹脂が浮遊して、これらが分離してしまう。

塗布液Ｍを組成する成分同士が分離した状態で、当該塗布液Ｍを基材１１０上に塗布すると、導体層１２０として求められる性能を達成できない等、配線基板１００の品質を低下させる要因となり得る。また、塗布液Ｍの組成としては、当然に上述に限定されるものではなく、用途に応じて種々の組み合わせが存在する。したがって、塗布液Ｍの種類に応じて、成分同士の分離の程度に違いが生じるため、設定した条件下において塗布液Ｍの分離の抑制を図ることが困難となる場合がある。本実施形態における「塗布液Ｍ」が本発明における「塗布液」の一例に相当する。

次に、塗布装置１について説明する。

塗布装置１は、図２に示すように、版テーブル１０と、ドクター３０と、ディスペンサ６０と、圧縮空気供給装置７０と、導管８０と、を備えている。本実施形態における「塗布装置１」が本発明における「塗布装置」の一例に相当する。

版テーブル１０は、凹版９０が載置されている保持面１１を有している。この保持面１１は、特に図示しない複数の吸引口が開口しており、凹版９０を吸着保持することが可能となっている。なお、版テーブル１０に凹版９０を固定する方法は、特にこれに限定されない。

本実施形態の凹版９０は、平板状とされた凹版であり、その上面９１に銅等からなる金属層をエッチング等することで凹パターン９２が形成されている。この凹パターン９２は、配線基板１００の導体層１２０に対応したパターンとされている。このような凹パターン９２としては、たとえば、相互に平行に複数の細線を配列するストライプ状のパターンであってもよいし、異なる方向に延在する第１及び第２の細線（不図示）を相互に交差させてなる網目状（メッシュ状）のパターンであってもよい。本実施形態における「凹版９０」が本発明における「被塗布体」の一例に相当する。

ドクター３０は、凹版９０の上方に当該凹版９０と対向して配置されている。ドクター３０は、凹版９０に対してＸ方向に沿って動作して、凹版９０の上面９１と摺接するものであり、当該凹版９０に形成された凹パターン９２に塗布液Ｍを充填しつつ、上面９１上に残余する塗布液Ｍを掻き取る機能を有する。

ドクター３０の具体的な動作としては、以下のとおりである。すなわち、ディスペンサ６０によって凹版９０上に塗布液Ｍが塗布されると、まず、ドクター３０を下降して凹版９０の上面９１と接触させ、版テーブル１０とドクター３０とを相対的に水平移動させることで、ドクター３０が凹版９０と摺接しながら、当該凹版９０上を進行する。これにより、ドクター３０による塗布液Ｍの充填、及び、凹版９０上に残余する塗布液Ｍの掻き取りが実行される。

なお、特に図示しないが、版テーブル１０とドクター３０を相対的に水平移動させる方法としては、版テーブル１０に移動機構を設けて、版テーブル１０がドクター３０に対して水平移動してもよいし、ドクター３０に移動機構を設けて、ドクター３０が版テーブルに対して水平移動してもよいし、ドクター及び版テーブルのそれぞれに移動機構を設け、これらの移動機構の同期駆動下において相対移動させてもよい。因みに、移動機構としては、モータを用いたボールねじ機構等を用いることができる。

本実施形態の塗布装置１を用いて配線基板１００を製造するに際しては、凹版９０に充填された塗布液Ｍを基材１１０に直接転写してもよい。あるいは、塗布液Ｍをいったん転写体に転写してから、当該塗布液Ｍを基材１１０に転写してもよい。この場合、転写体としては、平板状の転写用基板を用いてもよいし、円筒状の転写ローラを用いてもよい。そして、上述したように、基材１１０に転写された塗布液Ｍを硬化させることで、導体層１２０が形成され、基材１１０と導体層１２０とからなる配線基板１００を得ることができる。

次に、塗布液Ｍを凹版９０に塗布するディスペンサ６０について説明する。図３（ａ）は本発明の一実施の形態に係る塗布器を示す断面図、図３（ｂ）は本発明の一実施の形態に係る挿入部材を示す平面図である。

ディスペンサ６０は、図２に示すように、ドクター３０の近傍に設けられており、その内部に塗布液Ｍを収容している。このディスペンサ６０は、移動機構５０によってＹ方向に沿った平行移動が可能となっている。移動機構５０としては、たとえば、モータを用いたボールねじ機構等を例示することができる。

なお、ディスペンサに塗布液を供給する方法としては、供給ポンプをディスペンサに接続して連続的に塗布液を供給する方法を採用してもよいし、要求に応じて都度ディスペンサに塗布液を供給するバッチ方式を採用してもよい。

このディスペンサ６０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、有底の筒形状とされたシリンジ６１と、シリンジ６１の一方端部側（第１底面６１２（後述）側）に設けられたニードル６２と、シリンジ６１の他方端部側（上部開口６１３（後述）側）に設けられたアダプタ６３と、シリンジ６１とアダプタ６３との間に圧設されるＯリング６４と、シリンジ６１の内部に収容される挿入部材６５と、を備えている。本実施形態における「ディスペンサ６０」が本発明における「塗布器」の一例に相当する。

シリンジ６１は、特に限定しないが、ポリプロピレン、ポリエチレン、ナイロン、ポリテトラフルオロエチレン等の樹脂材料、あるいは、ソーダライムガラス、ホウケイ酸ガラス等のガラス材料から構成されているが、内部を視認可能な程度の透明性を有する材料を用いることが好ましい。

このシリンジ６１は、図３（ａ）に示すように、Ｚ方向に沿って延在する、略一様な径を有する筒状部６１１を有し、当該筒状部６１１の一方端部には第１底面６１２が形成され、他方端部には外部に向かって開口する上部開口６１３が形成されている。第１底面６１２は、下方に向かって漸次的に縮径する円錐台形状を有しており、その頂面において、当該第１底面６１２の両方の主面で開口し、当該第１底面６１２をＺ方向に沿って貫通する開口６１４を有している。本実施形態では、筒状部６１１（すなわち、シリンジ６１）の中心と、開口６１４の中心とを、互いに同軸上に配置している。なお、第１底面６１２の形状は、特に上述に限定されない。

シリンジ６１の内部には、塗布液Ｍを収容するための円筒状の収容空間Ｓが形成されている。収容空間Ｓは、塗布液Ｍを受容する第１の部分Ｓ１と、圧縮空気供給装置７０から圧縮空気が導入される第２の部分Ｓ２とを含んでいる。第１の部分Ｓ１は、その下部に挿入部材６５が収容される底部Ｓ１１を有している。本実施形態の底部Ｓ１１は、断面視において、第１底面６１２に囲繞される領域及びその近傍に相当する。

本実施形態における「シリンジ６１」が本発明における「容器」の一例に相当し、本実施形態における「第１底面６１２」が本発明における「第１底面」の一例に相当し、本実施形態における「開口６１４」が本発明における「開口」の一例に相当し、本実施形態における「収容空間Ｓ」が本発明における「収容空間」の一例に相当する。

ニードル６２は、特に限定しないが、ステンレス等の金属素材、あるいは、上述したシリンジ６１を構成する材料と同様の材料から構成されており、シリンジ６１の第１底面６１２に取り付けられている。なお、図３（ａ）においては、ニードル６２はシリンジ６１の第１底面６１２に直接取り付けられたように表しているが、実際は、ねじ結合機構を用いて着脱可能に装着されるものである。因みに、上述のねじ結合機構に限らず、ルアーロック機構等を形成することでシリンジ６１にニードル６２を装着してもよい。

このニードル６２は、第１底面６１２からＺ方向に沿って延在する小径の円筒形状を有しており、その内部に、開口６１４と同軸上に位置し、当該開口６１４に連通する貫通孔６２１を有している。この貫通孔６２１の先端には、塗布液Ｍを塗布する姿勢において、凹版９０の上面９１に対して僅かな隙間を空けて対向する吐出開口６２２が形成されている。この吐出開口６２２から凹版９０に向けて塗布液Ｍを吐出し、凹版９０上に塗布液Ｍが塗布・供給される。本実施形態における「ニードル６２」が本発明における「吐出部」の一例に相当し、本実施形態における「貫通孔６２１」が本発明における「貫通孔」の一例に相当する。

アダプタ６３は、上部開口６１３を覆うようにシリンジ６１に装着されるものである。このアダプタ６３の略中心には、Ｚ方向に沿って延設された連通孔６３１が形成されている。連通孔６３１の下端は、シリンジ６１（具体的には、筒状部６１１）内に収容されている。一方、連通孔６３１の上端は、導管８０の外径よりも若干小さい径を有しており、導管８０を連通孔６３１に挿し込むと、これらが相互に密接するようになっている。連通孔６３１に挿し込まれた状態の導管８０は、その出口が塗布液Ｍの液面に対向するように連通孔６３１によって保持される。本実施形態では、導管８０及びアダプタ６３を介してシリンジ６１と圧縮空気供給装置７０とが接続されている（図２参照）。

また、連通孔６３１は、下方に向かうに従い漸次的に拡径するテーパ部６３２を有している。このテーパ部６３２は、シリンジ６１と、当該シリンジ６１に対して小径の導管８０と、を相互に滑らかに連通させている。圧縮空気供給装置７０から供給される圧縮空気は、連通孔６３１を介して収容空間Ｓに導入される。この際、圧縮空気は、テーパ部６３２の内面に沿って拡散され、塗布液Ｍの液面（すなわち、第１及び第２の部分Ｓ１、Ｓ２の界面）の略全体を加圧する。

アダプタ６３の下面には、シリンジ６１（具体的には、筒状部６１１の上部開口６１３）に対応して形成され、−Ｚ方向側に開放する環状の溝部６３３が設けられている。この溝部６３３の内部には、シリンジ６１の中心側から順に、Ｏリング６４と、シリンジ６１（具体的には、筒状部６１１）と、が収容されている。

ここで、Ｏリング６４は、シリンジ６１の内径と略一致する外径を有する環状の部材である。このＯリング６４は、シリンジ６１（具体的には、筒状部６１１の外面）と溝部６３３（具体的には、溝部６３３の内側側面）との間に介在するように配置されている。

溝部６３３の外径は、シリンジ６１の外径とほぼ一致している。一方、溝部６３３の内径は、無負荷状態の当該Ｏリング６４の内径よりも若干大きい径とされている。Ｏリング６４を介してアダプタ６３をシリンジ６１に装着すると、当該アダプタ６３の溝部６３３の内側側面がＯリング６４をシリンジ６１の内面に押し付けるように作用する。これにより、Ｏリング６４が変形（弾性変形）すると共に、復元しようとする反発力が溝部６３３の内側側面及びシリンジ６１の内面に作用する。この結果、溝部６３３の内側側面及びＯリング６４間、並びに、シリンジ６１の内面及びＯリング６４間の隙間が埋没するようにこれらが密接する。すなわち、溝部６３３の内側側面及びＯリング６４間、並びに、シリンジ６１の内面及びＯリング６４間の密封（シール）が行われる。

この場合、Ｏリング６４は、アダプタ６３をシリンジ６１に装着した状態において、当該アダプタ６３の溝部６３３及びシリンジ６１に押圧されて変形（弾性変形）することで、これらの間のシール性（ガス遮蔽性）を確保し得る柔軟性を有する、たとえばニトリルゴム、フッ素ゴム、エチレンプロピレンジエンゴム等の合成ゴムから形成されている。なお、Ｏリング６４を構成する材料は、特に上述に限定されない。

挿入部材６５は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、環状に形成された部材であり、その全体が塗布液Ｍに浸漬された状態でシリンジ６１内に収容されている。挿入部材６５は、平面視において、シリンジ６１の内形に対応した外形を有している。また、本実施形態では、挿入部材６５の外径は、シリンジ６１の内径（すなわち、収容空間Ｓの径）とほぼ一致している。これにより、シリンジ６１内において、挿入部材６５が遊動するのを抑止している。

このような挿入部材６５は、塗布液Ｍに浸食されず、塗布液Ｍと反応性を有さない、たとえば、上述したシリンジ６１を構成する材料と同様の材料から形成されている。これにより、シリンジ６１に挿入部材６５を収容しても、塗布液Ｍの物性に悪影響を及ぼさない。

なお、挿入部材６５を、外力により弾性変形してシリンジ６１の内部に納まる程度の柔軟性を有する材料により構成してもよい。このような挿入部材６５を構成する材料としては、ニトリルゴム、フッ素ゴム、エチレンプロピレンジエンゴム等の合成ゴムを例示することができる。本実施形態における「挿入部材６５」が本発明における「挿入部材」の一例に相当する。

この挿入部材６５は、第２底面６５１と、当該第２底面６５１の反対側の面である拡散面６５２と、第２底面６５１と拡散面６５２の間を貫通する内孔６５３と、を有している。

第２底面６５１は、挿入部材６５の下方の主面である。第２底面６５１は、第１底面６１２に対応した形状を有し、第１底面６１２と相互に密接している。なお、特に図示しないが、相互に接触する第１底面６１２及び第２底面６５１を凹凸係合等の機械的結合手段や接着剤等の化学的結合手段を用いて相互に結合してもよい。これにより、挿入部材６５が塗布液Ｍ中に浮遊するのを防止する。なお、特に上述に限定されず、第１及び第２底面６１２，６５１は、相互に離間して配置されていてもよい。本実施形態における「第２底面６５１」が本発明における「第２底面」の一例に相当する。

拡散面６５２は、挿入部材６５の上方の主面である。本実施形態の挿入部材６５は、上述のように、全体が塗布液Ｍに浸漬された状態でシリンジ６１内に配置される（具体的には、塗布液Ｍを受容する第１の部分Ｓ１に収容され、底部Ｓ１１に位置する）ため、拡散面６５２が塗布液Ｍに面した状態でディスペンサ６０が作動する。

拡散面６５２は、シリンジ６１（具体的には、筒状部６１１）の軸方向に対して直交する方向（すなわち、Ｘ方向及びＹ方向からなるＸ−Ｙ平面）に延在している。本実施形態では、挿入部材６５の周縁から内孔６５３の周縁に至るまで一様に延在する平坦な面として、拡散面６５２が形成されている。

なお、拡散面６５２は、シリンジ６１の軸方向に対して交差する方向に延在していれば、特に上述に限定されない。たとえば、断面視において、内孔６５３から離れるにしたがって第２底面６５１側に接近するように傾斜していてもよい。あるいは、断面視において、内孔６５３に接近するにしたがって第２底面６５１側に接近するように傾斜していてもよい。また、本実施形態では、断面視において、拡散面６５２が直線状に形成されているが、曲線状に形成されていてもよい。本実施形態における「拡散面６５２」が本発明における「拡散面」の一例に相当する。

内孔６５３は、挿入部材６５をＺ方向に沿って貫通する貫通孔である。この内孔６５３は、第２底面６５１で開口すると共に拡散面６５２で開口している。内孔６５３は、その中心が挿入部材６５の中心と同軸上に配置されている。

本実施形態では、挿入部材６５の上方側（すなわち、拡散面６５２の上方側）に塗布液Ｍが収容されている。内孔６５３は、この塗布液Ｍを開口６１４に通じさせる流路を形成する。内孔６５３の径は開口６１４の径よりも大きく、内孔６５３の外形は、平面視において、開口６１４（図中破線により表示）の外形を包囲している。また、当該内孔６５３の中心は、開口６１４の中心と実質的に一致するように配置されている。

なお、塗布液Ｍの吐出性能の低下を抑制する観点から、平面視において、内孔６５３の径は開口６１４の径の５倍以上であることが好ましい。また、塗布液Ｍが沈降分離した状態で内孔６５３内に滞留するのを抑制する観点から、内孔６５３の径は１０ｍｍ以下であることが好ましく、内孔６５３の高さ（すなわち、挿入部材６５の厚さ）は１０ｍｍ以下であることが好ましい。また、ディスペンサ６０における撹拌性能の低下を抑制する観点から、内孔６５３の径は、挿入部材６５の径の１／３倍以下であることが好ましい。本実施形態における「内孔６５３」が本発明における「内孔」の一例に相当する。

圧縮空気供給装置７０は、図２に示すように、導管８０を介してディスペンサ６０に接続されている。圧縮空気供給装置７０は、圧縮空気を製造する高圧源を有し、この高圧源で製造された圧縮空気が導管８０を通過してシリンジ６１の収容空間Ｓ（具体的には、第２の部分Ｓ２）に導入される。

ディスペンサ６０においては、圧縮空気供給装置７０から圧縮空気が導入されると、第２の部分Ｓ２が加圧され、ニードル６２から塗布液Ｍを吐出することで、凹版９０上に塗布液Ｍを供給する。一方、圧縮空気供給装置７０から圧縮空気の導入が停止されると、第２の部分Ｓ２が減圧され、ニードル６２からの塗布液Ｍの吐出が停止することで、凹版９０上への塗布液Ｍの供給を停止する。ディスペンサ６０における塗布液Ｍの吐出条件に応じて、圧縮空気の供給量、供給圧、供給時間等が圧縮空気供給装置７０において制御される。本実施形態における「圧縮空気供給装置７０」が本発明における「供給手段」の一例に相当する。

次に作用を説明する。

本実施形態の塗布装置１を用いて配線基板１００を製造するに際し、凹版９０上に塗布液Ｍを供給する場合においては、まず、ディスペンサ６０に塗布液Ｍを充填する。この塗布液Ｍは沈降分離性を有するものであり、たとえば凹版９０への塗布液Ｍの供給を長時間待機している間に、経時的に当該塗布液Ｍを組成する成分同士の分離が生じる。

次に、ディスペンサ６０に充填された塗布液Ｍを凹版９０上へ吐出する。ここでは、まず、圧縮空気供給装置７０によって製造された圧縮空気が、導管８０を介してシリンジ６１の収容空間Ｓ（具体的には、第２の部分Ｓ２）に導入される。シリンジ６１内では、図３（ａ）に示すように、第２の部分Ｓ２の内圧が上昇し、塗布液Ｍの液面（すなわち、第１及び第２の部分Ｓ１，Ｓ２の界面）に圧縮空気が作用することで、当該塗布液Ｍを下方（シリンジ６１（筒状部６１１）の軸方向に沿って下向き）に押し下げる。これにより、塗布液Ｍが挿入部材６５の内孔６５３及びニードル６２の貫通孔６２１を通過して、吐出開口６２２から吐出され、凹版９０に塗布液Ｍが供給される。

この際、内孔６５３の上方から流下する塗布液Ｍについては、開口６１４（すなわち、ニードル６２）に向かう流動が許容される。つまり、内孔６５３の上方の範囲に存在する塗布液Ｍは、圧縮空気が液面に作用することで、下方に向かって流下し、内孔６５３及び開口６１４を通過してニードル６２の貫通孔６２１に到達できる。

一方、拡散面６５２の上方から流下する塗布液Ｍについては、その流動が阻害される。つまり、拡散面６５２がシリンジ６１の軸方向に対して交差する方向に延在しているので、当該軸方向に沿って流下しようとする塗布液Ｍが拡散面６５２に衝突し、当該塗布液Ｍの流動が阻害されるのである。この場合、塗布液Ｍ中に乱れが生じる。塗布液Ｍにおいて生じる乱れの挙動としては、たとえば、塗布液Ｍが拡散面６５２に沿ってシリンジ６１の中心側から外側に向かう方向に案内され、さらに、当該シリンジ６１の内面に沿って下方側から上方側に向かう方向に流動する（図３（ａ）中白抜きの矢印で表示）。なお、塗布液Ｍにおいて生じる乱れの挙動としては、上述した態様に限定されるものではない。

このように、本実施形態では、発生する乱れがシリンジ６１内に受容される塗布液Ｍを撹拌し、沈降分離した当該塗布液Ｍを組成する成分同士を混合するので、塗布液Ｍ全体において、これら成分を均一に分散させることができる。これにより、塗布液Ｍを組成する成分同士の分離を抑制することができる。

特に、本実施形態では、拡散面６５２がシリンジ６１の軸方向に対して実質的に直交する方向に延在する略平坦な面であることで、当該軸方向に沿って流下する塗布液Ｍの流動方向が当該拡散面６５２に衝突することによって偏向され易くなり、結果として当該塗布液Ｍがより大きく乱れる。これにより、高い拡散性能を得ることができる。

また、本実施形態では、前記開口の外形は、前記内孔の外形に包囲されていることで、塗布液Ｍが内孔６５３を通じて、円滑に開口６１４に到達することができる。これにより、内孔６５３を通過した後、開口６１４に到達するまでの間に、塗布液Ｍが滞留するのを抑制できるので、ディスペンサ６０における塗布液Ｍの吐出性能が低下するのを抑制することができる。特に、本実施形態では、前記開口の中心と、前記内孔の中心とは実質的に一致させていることで、上述の効果がより顕著となる。

また、本実施形態では、挿入部材６５が第１底面６１２と接触する第２底面６５１を有し、第２底面６５１が第１底面６１２に対応した形状を有していることで、挿入部材６５をシリンジ６１内に安定して保持することができると共に、第１及び第２底面６１２，６５１間に塗布液Ｍが入り込み、撹拌不良が生じるのを抑制することができる。

また、塗布装置１において複数種の配線基板１００の製造する場合、塗布液は製造される配線基板に対応したものが選定されるが、この場合、選定される塗布液ごとに組成が異なるため、塗布液を構成する成分の分離の程度に差が生じる。このような場合においても、本実施形態では、挿入部材６５を交換することで、塗布液Ｍの種類に対応した最適な当該塗布液Ｍの撹拌を実施することもできる。

なお、以上に説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

図４（ａ）は本発明の一実施の形態に係る塗布器の変形例を示す断面図、図４（ｂ）は本発明の一実施の形態に係る挿入部材の変形例を示す平面図である。

図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、挿入部材６５Ｂに形成される内孔６５３Ｂが、第２底面６５１に向かうに従い、漸次的に縮径されるようなテーパ形状を有していてもよい。この場合、塗布液Ｍが内孔６５３Ｂを通過する際に、塗布液Ｍと当該内孔６５３Ｂの内面との間に生じる抵抗（圧力損失）が低減されるので、開口６１４に向かって流下する塗布液Ｍの流動が過度に阻害されるのを抑制する。これにより、ディスペンサ６０における塗布液Ｍの吐出性能が低下するのを抑制することができる。

また、本実施形態では、ディスペンサ６０及びこれを備える塗布装置１を凹版９０に塗布液Ｍを供給するために用いたが、特にこれに限定されず、たとえば、スクリーン印刷等の凹版を用いない場合にも、本発明の塗布器及び塗布装置を用いることができる。

１・・・塗布装置
１０・・・版テーブル
１１・・・保持面
３０・・・ドクター
５０・・・移動機構
６０・・・ディスペンサ
６１・・・シリンジ
Ｓ・・・内部空間
Ｓ１・・・第１の部分
Ｓ１１・・・底部
Ｓ２・・・第２の部分
６１１・・・筒状部
６１２・・・第１底面
６１４・・・開口
６１３・・・上部開口
６２・・・ニードル
６２１・・・貫通孔
６２２・・・吐出開口
６３・・・アダプタ
６３１・・・連通孔
６３２・・・テーパ部
６３３・・・溝部
６４・・Ｏリング
６５，６５Ｂ・・・挿入部材
６５１・・・第２底面
６５２・・・拡散面
６５３，６５３Ｂ・・・内孔
７０・・・圧縮空気供給装置
８０・・・導管
９０・・・凹版
９１・・・上面
９２・・・凹パターン
１００・・・配線基板
１１０・・・基材
１２０・・・導体層
Ｍ・・・塗布液

Claims (8)

1. 塗布液を被塗布体に塗布する塗布器であって、
   前記塗布液を収容する収容空間と、開口が形成された第１底面と、を有する筒状の容器と、
   前記開口に連通する貫通孔を有し、前記貫通孔の一方端から前記被塗布体に向けて前記塗布液を吐出する吐出部と、
   前記開口に対応して設けられた内孔を有し、前記収容空間の底部に収容されている環状の挿入部材と、を備えた塗布器。
2. 請求項１に記載の塗布器であって、
   前記挿入部材は、
   前記第１底面と接触する第２底面と、
   前記第２底面の反対側に位置する拡散面と、を有し、
   前記拡散面は、前記容器の軸方向に対して交差する方向に延在している塗布器。
3. 請求項２に記載の塗布器であって、
   前記拡散面は、前記軸方向に対して実質的に直交する方向に延在する略平坦な面である塗布器。
4. 請求項３に記載の塗布器であって、
   前記第２底面は、前記第１底面に対応した形状を有し、
   前記第１及び第２底面が相互に密接している塗布器。
5. 請求項１〜４の何れか１項に記載の塗布器であって、
   平面視において、前記開口の外形は、前記内孔の外形に包囲されている塗布器。
6. 請求項５に記載の塗布器であって、
   平面視において、前記開口の中心と、前記内孔の中心とは実質的に一致している塗布器。
7. 請求項５又は６に記載の塗布器であって、
   前記内孔は、前記開口に接近するにしたがって漸次的に縮径されている塗布器。
8. 請求項１〜７の何れか１項に記載の塗布器と、
   前記収容空間に圧縮空気を供給する供給手段と、を備えた塗布装置。

Images