JP2017029897A - 塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】容器内において塗布液の部分的な残存発生を抑えることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置１は、塗布液Ｍを凹版９０に塗布するディスペンサ６０と、配管８０を介して塗布器Ｍに圧縮空気を供給する圧縮空気供給装置７０と、を備え、ディスペンサは、一端に上部開口６１３を有し、第１の貫通孔６１４が形成された底面６１２を他端に有し、内部に塗布液を収容するシリンジ６１と、第１の貫通孔に連通した第２の貫通孔６２１を有し、第２の貫通孔の吐出開口６２２から凹版に向けて塗布液を吐出するニードル６２と、上部開口に装着され、配管とシリンジとを接続するアダプタ６３と、配管の出口８１と塗布液の液面との間に介在する介在部材６５と、を備え、介在部材は、平面視において少なくとも出口の一部と重なるように配置された第１のバッフル板６５１を有し、第１のバッフル板は、シリンジの内形に対応した外形を有し、シリンジの内径よりも小さい径を有している。
【選択図】 図３

Description

本発明は、塗布装置に関するものである。

タンクに塗布液を蓄えて、連結された圧力源から任意の背圧を塗布液に付加することで、タンク内の塗布液を吐出する塗布装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

特開２０１４−１８０６０３号公報

上記塗布装置は、圧縮空気の動圧が塗布液の液面に局所的に作用するため、当該圧縮空気が吹き付けられるところで塗布液が優先的に流動してしまい、一部の塗布液がタンク内に残存し続けてしまうおそれがある、という問題がある。

本発明が解決しようとする課題は、容器内において塗布液の部分的な残存発生を抑えることができる塗布装置を提供することである。

［１］本発明に係る塗布装置は、塗布液を被塗布体に塗布する塗布器と、配管を介して前記塗布器に圧縮空気を供給する供給装置と、を備え、前記塗布器は、一端に開口を有し、第１の貫通孔が形成された底面を他端に有し、内部に前記塗布液を収容する筒状の容器と、前記第１の貫通孔に連通した第２の貫通孔を有し、前記第２の貫通孔の先端から前記被塗布体に向けて前記塗布液を吐出する吐出部と、前記開口に装着され、前記配管と前記容器とを接続する接続部材と、前記配管の出口と前記塗布液の液面との間に介在する介在部材と、を備え、前記介在部材は、平面視において少なくとも前記出口の一部と重なるように配置された第１のバッフル板を有し、前記第１のバッフル板は、前記容器の内形に対応した外形を有し、前記容器の内径よりも小さい径を有している塗布装置。

［２］上記発明において、前記介在部材は、前記接続部材に含まれていてもよい。

［３］上記発明において、前記容器は、前記接続部材は、前記開口を介して前記出口と前記容器の収容空間とを連通する連通孔を有し、前記介在部材は、前記第１のバッフル板が前記連通孔内に位置するように、前記第１のバッフル板を保持するサポート部材を有していてもよい。

［４］上記発明において、前記容器の中心と、前記出口の中心と、前記第１のバッフル板の中心とが実質的に一致していてもよい。

［５］上記発明において、前記第１のバッフル板は、前記出口に向かって突出する凸部を有していてもよい。

［６］上記発明において、前記介在部材は、環状の第２のバッフル板をさらに有し、前記第２のバッフル板は、平面視において前記第１のバッフル板と同軸上に配置され、前記容器の径方向において前記第１のバッフル板と離間するように前記第１のバッフル板を囲繞していてもよい。

［７］上記発明において、前記介在部材は、複数の前記第２のバッフル板を有し、隣り合う前記第２のバッフル板は、前記径方向において相互に離間して配置されていてもよい。

本発明によれば、配管の出口から噴射される圧縮空気が第１のバッフル板に衝突して拡散されるので、一部の塗布液が優先的に流動してしまうのを抑制することができる。これにより、容器内において塗布液の部分的な残存発生を抑えることができる。

図１は、本発明の一実施の形態に係る配線基板を示す断面図である。 図２は、本発明の一実施の形態に係る塗布装置の断面図である。 図３（ａ）は、本発明の一実施の形態に係る塗布器を示す断面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）のIIIb-IIIb線に沿った断面図である。 図４は、本発明の一実施形態に係る塗布器の第１変形例を示す断面図である。 図５（ａ）は、本発明の一実施の形態に係る塗布器の第２変形例を示す断面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＶb-Ｖb線に沿った断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明で用いる図は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。

図１は本発明の一実施の形態に係る配線基板を示す断面図、図２は本発明の一実施の形態に係る塗布装置の断面図である。

本実施形態の塗布装置１は、基材１１０に塗布液Ｍを塗布するために用いられ、基材１１０上に塗布された塗布液Ｍから導体層１２０を形成することで配線基板１００を製造する。ここでは、以下に、まず、配線基板１００について、簡単に説明する。

配線基板１００は、図１に示すように、基材１１０と、導体層１２０と、を備えている。基材１１０は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミド（ＰＩ）等の絶縁性を有する基材である。導体層１２０は、配線基板の製造装置１によって基材１１０上に転写された塗布液Ｍを硬化させることにより形成されている。なお、図１において、符号（Ｍ）は、導体層１２０に相当する、硬化させる前の状態の塗布液Ｍを示す。

塗布液Ｍとしては、たとえば導電性インクを用いることができ、この導電性インクは、導電性材料、バインダ樹脂、各種添加剤及び溶剤を混合して構成されている。導電性材料としては、銀や銅、ニッケル、スズ、ビスマス、亜鉛、インジウム、パラジウム、グラファイト等を例示することができる。なお、導電性材料としては、０．５μｍ以上３０μｍ以下の直径φ（０．５μｍ≦φ≦３０μｍ）の粒径を有する導電性粒子を用いることが好ましい。

バインダ樹脂としては、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ビニル樹脂、ウレタン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等を例示することができる。なお、塗布液Ｍを構成する材料からバインダ樹脂を省略してもよい。

溶剤としては、用いるバインダ樹脂の種類に応じて適宜、選択すればよいが、たとえば、バインダ樹脂としてポリエステル系樹脂を用いる場合には、酢酸シクロヘキシル、酢酸ブチルカルビトーレ、酢酸−２−ブトキシエチル、イソブチルアルコール、２−エチルブチルアルコール、エチルカルビトール、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、ブチルセロソルブ、イソホロンなどが挙げられる。添加剤としては、硬化剤、カップリング剤、腐食抑制剤などを例示することができる。本実施形態における「塗布液Ｍ」が本発明における「塗布液」の一例に相当する。

次に、塗布装置１について説明する。

塗布装置１は、図１及び図２に示すように、版テーブル１０と、ドクター３０と、ディスペンサ６０と、圧縮空気供給装置７０と、配管８０と、を備えている。本実施形態における「塗布装置１」が本発明における「塗布装置」の一例に相当する。

版テーブル１０は、凹版９０が載置されている保持面１１を有している。この保持面１１は、特に図示しない複数の吸引口が開口しており、凹版９０を吸着保持することが可能となっている。なお、版テーブル１０に凹版９０を固定する方法は、特にこれに限定されない。

本実施形態の凹版９０は、平板状とされた凹版であり、その上面９１に銅等からなる金属層をエッチング等することで凹パターン９２が形成されている。この凹パターン９２は、配線基板１００の導体層１２０に対応したパターンとされている。このような凹パターン９２としては、たとえば、相互に平行に複数の細線を配列するストライプ状のパターンであってもよいし、異なる方向に延在する第１及び第２の細線（不図示）を相互に交差させてなる網目状（メッシュ状）のパターンであってもよい。本実施形態における「凹版９０」が本発明における「被塗布体」の一例に相当する。

ドクター３０は、凹版９０の上方に当該凹版９０と対向して配置されている。ドクター３０は、凹版９０に対してＸ方向に沿って動作して、凹版９０の上面９１と摺接するものであり、当該凹版９０に形成された凹パターン９２に塗布液Ｍを充填しつつ、上面９１上に残余する塗布液Ｍを掻き取る機能を有する。

ドクター３０の具体的な動作としては、以下のとおりである。すなわち、ディスペンサ６０によって凹版９０上に塗布液Ｍが塗布されると、まず、ドクター３０を下降して凹版９０の上面９１と接触させ、版テーブル１０とドクター３０とを相対的に水平移動させることで、ドクター３０が凹版９０と摺接しながら、当該凹版９０上を進行する。これにより、ドクター３０による塗布液Ｍの充填、及び、凹版９０上に残余する塗布液Ｍの掻き取りが実行される。

なお、特に図示しないが、版テーブル１０とドクター３０を相対的に水平移動させる方法としては、版テーブル１０に移動機構を設けて、版テーブル１０がドクター３０に対して水平移動してもよいし、ドクター３０に移動機構を設けて、ドクター３０が版テーブル１０に対して水平移動してもよいし、ドクター３０及び版テーブル１０のそれぞれに移動機構を設け、これらの移動機構の同期駆動下において相対移動させてもよい。因みに、移動機構としては、モータを用いたボールねじ機構等を用いることができる。

本実施形態の塗布装置１を用いて配線基板１００を製造するに際しては、凹版９０に充填された塗布液Ｍを基材１１０に直接転写してもよい。あるいは、塗布液Ｍをいったん転写体に転写してから、当該塗布液Ｍを基材１１０に転写してもよい。この場合、転写体としては、平板状の転写用基板を用いてもよいし、円筒状の転写ローラを用いてもよい。そして、上述したように、基材１１０に転写された塗布液Ｍを硬化させることで、導体層１２０が形成され、基材１１０と導体層１２０とからなる配線基板１００を得ることができる。

次に、塗布液Ｍを凹版９０に塗布するディスペンサ６０について説明する。図３（ａ）は本発明の一実施の形態に係る塗布器を示す断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のIIIb-IIIb線に沿った断面図である。

ディスペンサ６０は、図２に示すように、ドクター３０の近傍に設けられており、その内部に塗布液Ｍを収容している。このディスペンサ６０は、移動機構５０によってＹ方向に沿った平行移動が可能となっている。移動機構５０としては、たとえば、モータを用いたボールねじ機構等を例示することができる。

なお、ディスペンサに塗布液を供給する方法としては、供給ポンプをディスペンサに接続して連続的に塗布液を供給する方法を採用してもよいし、要求に応じて都度ディスペンサに塗布液を供給するバッチ方式を採用してもよい。

このディスペンサ６０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、有底の筒形状とされたシリンジ６１と、シリンジ６１の一方端部側（底面６１２（後述）側）に設けられたニードル６２と、シリンジ６１の他方端部側（上部開口６１３（後述）側）に設けられたアダプタ６３と、シリンジ６１とアダプタ６３との間に圧設されるＯリング６６と、を備えている。本実施形態における「ディスペンサ６０」が本発明における「塗布器」の一例に相当する。

シリンジ６１は、特に限定しないが、ポリプロピレン、ポリエチレン、ナイロン、ポリテトラフルオロエチレン等の樹脂材料、あるいは、ソーダライムガラス、ホウケイ酸ガラス等のガラス材料から構成されているが、内部を視認可能な程度の透明性を有する材料を用いることが好ましい。

このシリンジ６１は、図３（ａ）に示すように、Ｚ方向に沿って延在する、略一様な径を有する筒状部６１１を有し、当該筒状部６１１の一端には底面６１２が形成され、他端には外部に向かって開口する上部開口６１３が形成されている。底面６１２は、下方に向かって漸次的に縮径する円錐台形状を有しており、その頂面において、当該底面６１２の両方の主面で開口し、当該底面６１２をＺ方向に沿って貫通する第１の貫通孔６１４を有している。本実施形態では、筒状部６１１（すなわち、シリンジ６１）の中心と、第１の貫通孔６１４の中心とを、互いに同軸上に配置している。

シリンジ６１の内部には、塗布液Ｍを収容するための円筒状の収容空間Ｓが形成されている。収容空間Ｓは、塗布液Ｍを受容する第１の部分Ｓ１と、圧縮空気供給装置７０から圧縮空気が導入される第２の部分Ｓ２とを含んでいる。

本実施形態における「シリンジ６１」が本発明における「容器」の一例に相当し、本実施形態における「底面６１２」が本発明における「底面」の一例に相当し、本実施形態における「第１の貫通孔６１４」が本発明における「第１の貫通孔」の一例に相当し、本実施形態における「収容空間Ｓ」が本発明における「収容空間」の一例に相当する。

ニードル６２は、特に限定しないが、ステンレス等の金属素材、あるいは、上述したシリンジ６１を構成する材料と同様の材料から構成されており、シリンジ６１の底面６１２に取り付けられている。なお、図３（ａ）においては、ニードル６２はシリンジ６１の底面６１２に直接取り付けられたように表しているが、実際は、ねじ結合機構を用いて着脱可能に装着されるものである。因みに、上述のねじ結合機構に限らず、ルアーロック機構等を形成することでシリンジ６１にニードル６２を装着してもよい。

このニードル６２は、底面６１２からＺ方向に沿って延在する小径の円筒形状を有しており、その内部に、第１の貫通孔６１４と同軸上に位置し、当該第１の貫通孔６１４に連通する第２の貫通孔６２１を有している。この第２の貫通孔６２１の先端には、塗布液Ｍを塗布する姿勢において、凹版９０の上面９１に対して僅かな隙間を空けて対向する吐出開口６２２が形成されている。この吐出開口６２２から凹版９０に向けて塗布液Ｍを吐出し、凹版９０上に塗布液Ｍが塗布・供給される。本実施形態における「ニードル６２」が本発明における「吐出部」の一例に相当し、本実施形態における「第２の貫通孔６２１」が本発明における「第２の貫通孔」の一例に相当する。

アダプタ６３は、上部開口６１３を覆うようにシリンジ６１に装着されるものであり、配管８０とシリンジ６１とを接続する機能を有する。このようなアダプタ６３は、シリンジ６１に装着する際、上部開口６１３に密接できる程度の柔軟性を有する材料から構成されており、たとえばニトリルゴム、フッ素ゴム、エチレンプロピレンジエンゴム等の合成ゴムを例示することができる。本実施形態における「アダプタ６３」が本発明における「接続部材」の一例に相当する。

本実施形態のアダプタ６３は、本体部６４を有しており、この本体部６４には、連通孔６４１と、溝部６４２と、が形成されている。連通孔６４１は、Ｚ方向に沿って延在しており、本体部６４の略中心に形成されている。連通孔６４１の下端は、シリンジ６１（具体的には、筒状部６１１）内に収容されている。一方、連通孔６４１の上端は、配管８０の外径よりも若干小さい径を有しており、配管８０を連通孔６４１に挿し込むと、これらが相互に密接するようになっている。連通孔６４１に挿し込まれた状態の配管８０は、その出口８１が塗布液Ｍの液面に対向するように連通孔６４１によって保持される。

また、連通孔６４１は、下方に向かうに従い漸次的に拡径するテーパ部６４１ａを有している。このテーパ部６４１ａは、シリンジ６１と、当該シリンジ６１に対して小径の配管８０と、を相互に滑らかに連通させている。本実施形態における「連通孔６４１」が本発明における「連通孔」の一例に相当する。

溝部６４２は、アダプタ６３の下面にシリンジ６１（具体的には、筒状部６１１の上部開口６１３）と対応するようにして設けられている。この溝部６４２は、−Ｚ方向側に開放しており、平面視において連通孔６４１を包囲するように環状に形成されている。この溝部６４２の内部には、シリンジ６１の中心側から順に、Ｏリング６６と、シリンジ６１（具体的には、筒状部６１１）と、が収容されている。

ここで、Ｏリング６６は、シリンジ６１の内径と略一致する外径を有する環状の部材である。このＯリング６６は、シリンジ６１（具体的には、筒状部６１１の外面）と溝部６４２（具体的には、溝部６４２の内側側面）との間に介在するように配置されている。

溝部６４２の外径は、シリンジ６１の外径とほぼ一致している。一方、溝部６４２の内径は、無負荷状態のＯリング６６の内径よりも若干大きい径とされている。Ｏリング６６を介してアダプタ６３をシリンジ６１に装着すると、当該アダプタ６３の溝部６４２の内側側面がＯリング６６をシリンジ６１の内面に押し付けるように作用する。これにより、Ｏリング６６が変形（弾性変形）すると共に、復元しようとする反発力が溝部６４２の内側側面及びシリンジ６１の内面に作用する。この結果、溝部６４２の内側側面及びＯリング６６間、並びに、シリンジ６１の内面及びＯリング６６間の隙間が埋没するようにこれらが密接する。すなわち、溝部６４２の内側側面及びＯリング６６間、並びに、シリンジ６１の内面及びＯリング６６間の密封（シール）が行われる。

この場合、Ｏリング６６は、アダプタ６３をシリンジ６１に装着した状態において、当該アダプタ６３の溝部６４２及びシリンジ６１に押圧されて変形（弾性変形）することで、これらの間のシール性（ガス遮蔽性）を確保し得る柔軟性を有する、たとえばニトリルゴム、フッ素ゴム、エチレンプロピレンジエンゴム等の合成ゴムから形成されている。なお、Ｏリング６６を構成する材料は、特に上述に限定されない。

結果的に、本実施形態では、塗布液Ｍがシリンジ６１に収容されている状態において、配管８０を連通孔６４１に挿し込むことで当該配管８０とアダプタ６３とが相互に密接する一方、Ｏリング６６を介して溝部６４２とシリンジ６１とが相互に密接することで、シリンジ６１内に外部から密閉された収容空間Ｓの第２の部分Ｓ２が画定する。配管８０及び連通孔６４１を介して接続された圧縮空気供給装置７０は、この収容空間Ｓの第２の部分Ｓ２に圧縮空気を導入するが、この際、配管８０の出口８１から対向する塗布液Ｍの液面に向けて圧縮空気が噴射される。

本実施形態のアダプタ６３は、介在部材６５を含んでいる。介在部材６５は、配管８０の出口８１と塗布液Ｍの液面との間に介在するように配置されている。介在部材６５を構成する材料としては、上述のアダプタ６３を構成する材料と同様の材料を例示することができる。

この介在部材６５は、配管８０の出口８１から噴射される圧縮空気が塗布液Ｍの液面に直接吹き付けられるのを遮る第１のバッフル板６５１と、当該第１のバッフル板６５１を保持するサポート部材６５２と、を有している。本実施形態における「介在部材６５」が本発明における「介在部材」の一例に相当し、本実施形態における「第１のバッフル板６５１」が本発明における「第１のバッフル板」の一例に相当し、本実施形態における「サポート部材６５２」が本発明における「サポート部材」の一例に相当する。

第１のバッフル板６５１は、両主面が略平坦な面とされた円板形状の部材であり、シリンジ６１と同軸上に配置されている。このように、本実施形態では、シリンジ６１の中心と、配管８０の中心と、第１のバッフル板６４２の中心と、が実質的に一致している。なお、圧縮空気の噴射方向（すなわち、配管８０の出口８１の法線方向）から視て、当該出口８１と第１のバッフル板６４２とが少なくとも一部で重なり、これが出口８１と塗布液Ｍの液面との間に介在していれば、これらの配置は特に上述に限定されない。

この第１のバッフル板６５１は、配管８０の出口８１の下方に、当該出口８１との間に隙間を形成するように配置されている。なお、このような第１のバッフル板６５１は、配管８０の出口８１から噴射される圧縮空気を拡散させる観点から、出口８１の近くに配置されていることが好ましい。具体的には、出口８１と介在部材６５の間の間隔に対して、介在部材６５と塗布液Ｍの液面と介在部材６５との間の間隔が１倍以上であることが好ましく、出口８１の径の２倍以上であることがより好ましい。

本実施形態では、平面視において、第１のバッフル板６５１の外形とシリンジ６１の内形（すなわち、収容空間Ｓの外形）とは相互に対応した形状であり、且つ、第１のバッフル板６５１の径がシリンジ６１の内径よりも小さい。すなわち、第１のバッフル板６５１の外形とシリンジ６１の内形とは相似的な関係を有している。

この結果、第１のバッフル板６５１の周囲には、当該第１のバッフル板６５１とシリンジ６１との間に環状の間隙Ｃ１が形成されている。本実施形態では、シリンジ６１と第１のバッフル板６５１が同軸上に配置されているため、間隙Ｃ１は、径方向において略均一な幅を有している。配管８０から噴射された圧縮空気は、この間隙Ｃ１を通過して塗布液Ｍの液面に吹き付けられる。

サポート部材６５２は、第１のバッフル板６５１を本体部６４に保持させる部材である。具体的には、サポート部材６５２は、シリンジ６１の径方向に沿って延在しており、一端を第１のバッフル板６５１の側面と接続し、他端を連通孔６４１の内面と接続し、当該第１のバッフル板６５１が貫通孔内に位置するように保持している。本実施形態では、第１のバッフル板６５１の周囲に、複数（具体的には、３つ）のサポート部材６５２が相互に等間隔となるように配設されている。なお、サポート部材６５２の数や配置は特に上述に限定されない。

本実施形態では、アダプタ６３と介在部材６５とを一体的に形成することで、介在部材６５がアダプタ６３に含まれている。なお、介在部材６５をアダプタ６３の連通孔６４１に圧入することで、介在部材６５をアダプタ６３に含めてもよい。あるいは、介在部材６５をアダプタ６３に接着することで、介在部材６５をアダプタ６３に含めてもよい。

圧縮空気供給装置７０は、図２に示すように、配管８０を介してディスペンサ６０に接続されている。圧縮空気供給装置７０は、圧縮空気を製造する高圧源を有し、この高圧源で生成された圧縮空気が配管８０を通過してシリンジ６１の収容空間Ｓ（具体的には、第２の部分Ｓ２）に導入される。

ディスペンサ６０においては、圧縮空気供給装置７０から圧縮空気が導入されると、第２の部分Ｓ２が加圧され、ニードル６２から塗布液Ｍを吐出することで、凹版９０上に塗布液Ｍを供給する。一方、圧縮空気供給装置７０から圧縮空気の導入が停止されると、第２の部分Ｓ２が減圧され、ニードル６２からの塗布液Ｍの吐出が停止することで、凹版９０上への塗布液Ｍの供給を停止する。ディスペンサ６０における塗布液Ｍの吐出条件に応じて、圧縮空気の供給量、供給圧、供給時間等が圧縮空気供給装置７０において制御される。本実施形態における「圧縮空気供給装置７０」が本発明における「供給装置」の一例に相当する。

次に作用を説明する。

本実施形態の塗布装置１を用いて配線基板１００を製造するに際し、凹版９０上に塗布液Ｍを供給する場合においては、まず、ディスペンサ６０に塗布液Ｍを充填する。次に、ディスペンサ６０に充填された塗布液Ｍを凹版９０上に吐出する。ここでは、圧縮空気供給装置７０によって製造された圧縮空気が、配管８０を介してシリンジ６１の収容空間Ｓ（具体的には、第２の部分Ｓ２）に導入される。収容空間Ｓの第２の部分は、外部から密閉されており、圧縮空気が導入されることで内圧（静圧）が上昇する。そして、塗布液Ｍの液面（すなわち、第１及び第２の部分Ｓ１，Ｓ２の界面）の略全体に圧縮空気が作用して、当該塗布液Ｍを下方（筒状部６１１の軸方向に沿って下向き）に押し下げる。これにより、塗布液Ｍがニードル６２の第２の貫通孔６２１を通過して、吐出開口６２２から吐出され、凹版９０上に塗布液Ｍが供給される。

しかしながら、従来では、配管の出口を塗布液の液面に対向するように配置しているため、当該出口から噴射する圧縮空気が液面に直接吹き付けられる。圧縮空気供給装置で製造された圧縮空気は、比較的高速で配管内を圧送されるため、配管内から収容空間内に開放されても直ぐに拡散せず、直下の塗布液の液面に向かって局所的に噴射される。この場合、圧縮空気が噴射される塗布液の液面に、圧縮空気の動圧が作用するため、塗布液の流動に不均一（つまり、塗布液の流動の程度の疎密）が生じる。すなわち、シリンジの中心付近（配管の下方）では塗布液が優先的に流動する一方、シリンジの内面（すなわち、収容空間Ｓの外面）付近では塗布液が中心付近に比べて滞留する。この結果、シリンジの内面付近の塗布液が吐出されず、シリンジ内で残存し続けてしまうおそれがあった。

これに対して、本実施形態では、配管８０の出口８１から噴射される圧縮空気が第１のバッフル板６５１に衝突して、当該第１のバッフル板６５１の上面に沿ってシリンジ６１の中心側から外側に向かって案内され、環状とされた間隙Ｃ１を通過して塗布液Ｍの液面に向けて吹き付けられる。このように、第１のバッフル板６５１によって圧縮空気を円周方向に分散することで、当該圧縮空気が塗布液Ｍの液面に直接作用するのを抑制する。これにより、シリンジ６１の中央付近（配管８０の下方）で塗布液Ｍが優先的に流動するのを抑制することができ、シリンジ６１内において塗布液Ｍの部分的な残存発生を抑えることができる。

また、本実施形態では、連通孔６４１を有するアダプタ６４が介在部材６５を含んでいることで、連通孔６４１によって保持される配管８０の位置と、介在部材６５の第１のバッフル板６５１の位置と、を確実に対応させることができる。

また、本実施形態では、シリンジ６１の中心と、配管８０の中心と、第１のバッフル板６４２の中心と、が実質的に一致していることで、第１のバッフル板６４とシリンジ６１との間に、略均等な幅を有する間隙Ｃ１を形成することができる。これにより、円周方向において、圧縮空気をほぼ均等に分散することができる。

因みに、第１のバッフル板の径をシリンジの内径に近づけて、当該シリンジの内面に沿うように幅狭の間隙を形成してもよい。この場合、圧縮空気は、幅狭の間隙を通過して、シリンジの内面近傍に位置する塗布液の液面に局所的に吹き付けられることになる。シリンジの内面近傍では、当該内面と塗布液との間に生じる抵抗（摩擦抵抗）の影響で塗布液が流動し難く、これにより、塗布液の流動に不均一が生じる場合がある。これに対して、圧縮空気をシリンジの内面近傍に位置する塗布液の液面に局所的に作用させることで、シリンジの中央付近とシリンジの内面付近との間で、塗布液の流動の不均一を抑制することができる。

なお、以上に説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

たとえば、図４に示すように、ディスペンサ６０Ｂにおいて、介在部材６５Ｂの第１のバッフル板６５１Ｂは、配管８０の出口８１側に向かって突出する凸部６５１ａを有していてもよい。図４は、本発明の一実施形態に係る塗布器の第１変形例を示す断面図である。本実施形態における「凸部６５１ａ」が本発明における「凸部」の一例に相当する。

凸部６５１ａは、第１のバッフル板６５１Ｂの外径と一致する円錐形状を有している。本例では、この凸部６５１ａの頂部は、配管８０の出口８１の中心と同軸上に配置されている。配管８０の出口８１から噴射する圧縮空気は、凸部６５１ａの外面に案内されて、円周方向にほぼ均等に分散される。これにより、シリンジ６１内において塗布液Ｍの部分的な残存発生をさらに抑えることができる。

また、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、ディスペンサ６０Ｃにおいて、介在部材６５Ｃは、環状の第２のバッフル板６５３をさらに有していてもよい。図５（ａ）は本発明の一実施の形態に係る塗布器の第２変形例を示す断面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＶb-Ｖb線に沿った断面図である。本実施形態における「第２のバッフル板６５３」が本発明における「第２のバッフル板」の一例に相当する。

第２のバッフル板６５３は、平面視において第１のバッフル板６５１と同軸上に配置されており、径方向において第１のバッフル板６５１と離間するように、当該第１のバッフル板６５１を囲繞している。

また、本例では、第２のバッフル板６５３は複数（具体的には、２つ）設けられている。複数の第２のバッフル板６５３Ａ、６５３Ｂは、径方向において相互に離間して配置されており、第２のバッフル板６５３Ｂは、第２のバッフル板６５３Ａの周囲を囲繞している。なお、第１及び第２のバッフル板６５１，６５２Ａ，６５３Ｂは、共通のサポート部材６５２により、連通孔６４１の内部に保持されている。

第１のバッフル板６５１と第２のバッフル板６５３Ａとの間には、間隙Ｃ２が形成されている。第２のバッフル板６５３Ａ，６５３Ｂの間には、間隙Ｃ３が形成されている。間隙Ｃ２，Ｃ３は、いずれも環状とされ、径方向においてほぼ均一な幅を有している。本例では、この間隙Ｃ２，Ｃ３を圧縮空気が通過して、塗布液Ｍの液面側に向けて吹き付けられる。このように、介在部材６５Ｃが第２のバッフル板６５３Ａ，６５３Ｂを有していることで、配管８０の出口８１から噴射された圧縮空気がシリンジ６１の内面近傍まで案内され易くなるので、圧縮空気をより均一に分散することができる。これにより、シリンジ６１の中央付近（配管８０の下方）で塗布液Ｍが優先的に流動するのをさらに抑制することができ、シリンジ６１内において塗布液Ｍの部分的な残存発生をさらに抑えることができる。

なお、本例では、第２のバッフル板６５３は、複数設けられているが、１つの第２のバッフル板６５３が設けられていてもよい。

また、本例において、間隙Ｃ２の径方向の幅は、間隙Ｃ３の径方向の幅よりも狭いことが好ましい。これにより、配管８０の出口８１から噴射された圧縮空気をシリンジ６１の内面近傍までより案内し易くすることができる。本例における「間隙Ｃ２」が本発明における「第１の間隙」の一例に相当し、本例における「間隙Ｃ３」が本発明における「第２の間隙」の一例に相当する。

なお、相互に隣り合う第２のバッフル板同士の間に形成される第２の間隙が２以上存在する場合（つまり、第２のバッフル板が３つ以上存在する場合）、相互に隣接する２つの第２の間隙のうちシリンジの中心側に位置する第２の間隙の径方向の幅が、他方の第２の間隙の径方向の幅よりも狭いことが好ましい。

また、隣り合う第２のバッフル板６５３Ａ，６５３Ｂのうちシリンジ６１の中心側に位置する第２のバッフル板６５３Ａの径方向の幅は、第２のバッフル板６５３Ｂの径方向の幅よりも広いことが好ましい。これにより、上述と同様、配管８０の出口８１から噴射された圧縮空気をシリンジ６１の内面近傍までより案内し易くすることができる。

また、本実施形態では、介在部材６５は、アダプタ６３に含まれていたが、特にこれに限定されず、アダプタ６３と介在部材６５とを相互に分離してもよい。

また、本実施形態では、塗布装置１を凹版９０に塗布液Ｍを供給するために用いたが、特にこれに限定されず、たとえば、スクリーン印刷等の凹版を用いない場合にも、本発明の塗布装置を用いることができる。

１・・・塗布装置
１０・・・版テーブル
１１・・・保持面
３０・・・ドクター
５０・・・移動機構
６０，６０Ｂ，６０Ｃ・・・ディスペンサ
６１・・・シリンジ
Ｓ・・・内部空間
Ｓ１・・・第１の部分
Ｓ２・・・第２の部分
６１１・・・筒状部
６１２・・・底面
６１４・・・第１の貫通孔
６１３・・・上部開口
６２・・・ニードル
６２１・・・第２の貫通孔
６２２・・・吐出開口
６３・・・アダプタ
６４・・・本体部
６４１・・・連通孔
６４２・・・溝部
６５，６５Ｂ，６５Ｃ・・・介在部材
６５１，６５１Ｂ・・・第１のバッフル板
６５１ａ・・・凸部
６５２・・・サポート部材
６５３Ａ，６５３Ｂ・・・第２のバッフル板
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３・・・間隙
６６・・Ｏリング
７０・・・圧縮空気供給装置
８０・・・配管
８１・・・出口
９０・・・凹版
９１・・・上面
９２・・・凹パターン
１００・・・配線基板
１１０・・・基材
１２０・・・導体層
Ｍ・・・塗布液

Claims (7)

1. 塗布液を被塗布体に塗布する塗布器と、配管を介して前記塗布器に圧縮空気を供給する供給装置と、を備える塗布装置であって、
   前記塗布器は、
   一端に開口を有し、第１の貫通孔が形成された底面を他端に有し、内部に前記塗布液を収容する筒状の容器と、
   前記第１の貫通孔に連通した第２の貫通孔を有し、前記第２の貫通孔の先端から前記被塗布体に向けて前記塗布液を吐出する吐出部と、
   前記開口に装着され、前記配管と前記容器とを接続する接続部材と、
   前記配管の出口と前記塗布液の液面との間に介在する介在部材と、を備え、
   前記介在部材は、平面視において少なくとも前記出口の一部と重なるように配置された第１のバッフル板を有し、
   前記第１のバッフル板は、前記容器の内形に対応した外形を有し、前記容器の内径よりも小さい径を有している塗布装置。
2. 請求項１に記載の塗布装置であって、
   前記介在部材は、前記接続部材に含まれている塗布装置。
3. 請求項２に記載の塗布装置であって、
   前記接続部材は、前記開口を介して前記出口と前記容器の収容空間とを連通する連通孔を有し、
   前記介在部材は、前記第１のバッフル板が前記連通孔内に位置するように、前記第１のバッフル板を保持するサポート部材を有している塗布装置。
4. 請求項１〜３の何れか１項に記載の塗布装置であって、
   前記容器の中心と、前記出口の中心と、前記第１のバッフル板の中心とが実質的に一致している塗布装置。
5. 請求項１〜４の何れか１項に記載の塗布装置であって、
   前記第１のバッフル板は、前記出口に向かって突出する凸部を有している塗布装置。
6. 請求項１〜５の何れか１項に記載の塗布装置であって、
   前記介在部材は、環状の第２のバッフル板をさらに有し、
   前記第２のバッフル板は、平面視において前記第１のバッフル板と同軸上に配置され、前記容器の径方向において前記第１のバッフル板と離間するように前記第１のバッフル板を囲繞している塗布装置。
7. 請求項６に記載の塗布装置であって、
   前記介在部材は、複数の前記第２のバッフル板を有し、
   隣り合う前記第２のバッフル板は、前記径方向において相互に離間して配置されている塗布装置。

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