JP2017026730A

JP2017026730A - Optical scanner, image forming apparatus and head-mounted display

Info

Publication number: JP2017026730A
Application number: JP2015143687A
Authority: JP
Inventors: 溝口　安志; Yasushi Mizoguchi; 安志溝口; 幸秀山野; Yukihide Yamano
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2015-07-21
Filing date: 2015-07-21
Publication date: 2017-02-02

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical scanner, an image forming apparatus and a head-mounted display capable of being down sized.SOLUTION: An optical scanner 3 has: a moving unit 311; shaft units 312, 313 for supporting the moving unit 311 to be capable of being rocked around the first shaft J1; a reflection unit 314 positioned in the moving unit 311 having a reflection surface 3142a; a moving unit 321; shaft units 322, 323 for supporting the moving unit 321 around a second shaft J2; a reflection unit 324 positioned in the moving unit 321 and having a reflection surface 3242a; and a reflection unit 35 for reflecting light reflected by the reflection surface 3142a and making incidence to the reflection surface 3242a and the reflection unit 314 is positioned overlapping with at least one portion of the shaft units 312, 313 and the reflection unit 324 is positioned overlapping with at least one portion of the shaft units 322, 323.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイに関するものである。 The present invention relates to an optical scanner, an image display device, and a head mounted display.

例えば、特許文献１には、光を２次元的に走査する光スキャナーが開示されている。このような光スキャナーは、レーザービームを水平方向に走査する第１揺動部と、光を垂直方向に走査する第２揺動部と、を有するブレーナ型をなし、第１揺動部で走査されたレーザービームは、固定ミラーで反射されて第２揺動部に入射するようになっている。 For example, Patent Document 1 discloses an optical scanner that scans light two-dimensionally. Such an optical scanner has a brainer type having a first oscillating portion that scans a laser beam in a horizontal direction and a second oscillating portion that scans light in a vertical direction, and is scanned by the first oscillating portion. The laser beam thus reflected is reflected by a fixed mirror and enters the second oscillating portion.

特開２００５−１８１５６６号公報JP-A-2005-181656

しかしながら、特許文献１の光スキャナーでは、第１揺動部および第２揺動部が、それぞれ、反射面を有するミラー部と、ミラー部を揺動可能に支持する梁部と、を有しており、これらが平面的に配置された構成となっている。すなわち、ミラー部の周囲に長尺な梁部を配置しなければならず、その分、光スキャナーが大型化してしまうという問題がある。 However, in the optical scanner of Patent Document 1, each of the first oscillating portion and the second oscillating portion includes a mirror portion having a reflecting surface and a beam portion that supports the mirror portion so as to be able to oscillate. These are arranged in a plane. That is, there is a problem that a long beam portion has to be arranged around the mirror portion, and the optical scanner is enlarged accordingly.

本発明の目的は、小型化を図ることのできる光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイを提供することにある。 An object of the present invention is to provide an optical scanner, an image display device, and a head mounted display that can be miniaturized.

このような目的は、下記の発明により達成される。
本発明の光スキャナーは、第１可動部と、
前記第１可動部を第１軸まわりに揺動可能に支持する第１軸部と、
前記第１可動部に配置され、光を反射する第１反射面を有する第１反射部と、
第２可動部と、
前記第２可動部を第２軸まわりに揺動可能に支持する第２軸部と、
前記第２可動部に配置され、光を反射する第２反射面を有する第２反射部と、
前記第１反射面で反射した光を反射し、前記第２反射面に入射させる第３反射面を有する第３反射部と、を有し、
前記第１反射部は、前記第１軸部と離間し、かつ、前記第１反射面の法線方向から見た平面視で、前記第１軸部の少なくとも一部と重なって配置され、
前記第２反射部は、前記第２軸部と離間し、かつ、前記第２反射面の法線方向から見た平面視で、前記第２軸部の少なくとも一部と重なって配置されていることを特徴とする。
これにより、光スキャナーの小型化を図ることができる。 Such an object is achieved by the following invention.
The optical scanner of the present invention includes a first movable part,
A first shaft portion that supports the first movable portion so as to be swingable about a first axis;
A first reflecting portion disposed on the first movable portion and having a first reflecting surface for reflecting light;
A second movable part;
A second shaft portion that supports the second movable portion so as to be swingable about a second axis;
A second reflecting portion disposed on the second movable portion and having a second reflecting surface for reflecting light;
A third reflecting portion having a third reflecting surface that reflects the light reflected by the first reflecting surface and makes the light incident on the second reflecting surface;
The first reflecting portion is spaced apart from the first shaft portion and is disposed so as to overlap with at least a part of the first shaft portion in a plan view as viewed from the normal direction of the first reflecting surface.
The second reflecting portion is disposed apart from the second shaft portion and overlaps at least a part of the second shaft portion in a plan view as viewed from the normal direction of the second reflecting surface. It is characterized by that.
Thereby, size reduction of an optical scanner can be achieved.

本発明の光スキャナーでは、前記第１反射部は、前記第１反射面の法線方向から見た平面視で、前記第１軸部の一部または全域と重なって配置されていることが好ましい。
これにより、光スキャナーのさらなる小型化を図ることができる。 In the optical scanner according to the aspect of the invention, it is preferable that the first reflecting portion is disposed so as to overlap a part or the entire area of the first shaft portion in a plan view when viewed from the normal direction of the first reflecting surface. .
Thereby, further miniaturization of the optical scanner can be achieved.

本発明の光スキャナーでは、前記第２反射部は、前記第２反射面の法線方向から見た平面視で、前記第２軸部の全域と重なって配置されていることが好ましい。
これにより、光スキャナーのさらなる小型化を図ることができる。 In the optical scanner according to the aspect of the invention, it is preferable that the second reflecting portion is disposed so as to overlap with the entire area of the second shaft portion in a plan view as viewed from the normal direction of the second reflecting surface.
Thereby, further miniaturization of the optical scanner can be achieved.

本発明の光スキャナーでは、前記第２反射部は、前記第２反射面の法線方向からみた平面視で、前記第２軸に沿う方向に延在する長手形状をなしていることが好ましい。
これにより、第２反射部の小型化を図ることができる。 In the optical scanner according to the aspect of the invention, it is preferable that the second reflecting portion has a longitudinal shape extending in a direction along the second axis in a plan view seen from the normal direction of the second reflecting surface.
Thereby, size reduction of a 2nd reflection part can be achieved.

本発明の光スキャナーでは、前記第１可動部は、共振駆動で前記第１軸まわりに揺動し、
前記第２可動部は、非共振駆動で前記第２軸まわりに揺動することが好ましい。
これにより、２次元画像を表示するのに適した駆動となる。 In the optical scanner of the present invention, the first movable portion swings around the first axis by resonance driving,
Preferably, the second movable part swings around the second axis by non-resonant driving.
Thereby, it becomes a drive suitable for displaying a two-dimensional image.

本発明の光スキャナーでは、前記第１軸部の延在方向と前記第２軸部の延在方向とが直交していることが好ましい。
これにより、２次元画像を表示するのに適した構成となる。 In the optical scanner according to the aspect of the invention, it is preferable that the extending direction of the first shaft portion and the extending direction of the second shaft portion are orthogonal to each other.
Thereby, it becomes a structure suitable for displaying a two-dimensional image.

本発明の光スキャナーでは、前記第１可動部、前記第１軸部、前記第２可動部および前記第２軸部は、同一基板に形成されていることが好ましい。
これにより、第１可動部および第１軸部を含む第１揺動体と第２可動部および第２軸部を含む第２揺動体とを一体形成することができるため、第１揺動体と第２揺動体のアライメントを精度よく取ることができる。 In the optical scanner according to the aspect of the invention, it is preferable that the first movable portion, the first shaft portion, the second movable portion, and the second shaft portion are formed on the same substrate.
As a result, the first oscillating body including the first movable portion and the first shaft portion and the second oscillating body including the second movable portion and the second shaft portion can be integrally formed. 2 The alignment of the rocking body can be accurately taken.

本発明の光スキャナーでは、前記第３反射部は、静止状態の前記第１反射面に対して、前記第３反射面が前記第２反射面側を向くように傾斜していることが好ましい。
これにより、第２反射面に入射する光の領域を小さくすることができるため、第２反射面を小型化することができる。 In the optical scanner according to the aspect of the invention, it is preferable that the third reflecting portion is inclined with respect to the first reflecting surface in a stationary state so that the third reflecting surface faces the second reflecting surface.
Thereby, since the area | region of the light which injects into a 2nd reflective surface can be made small, a 2nd reflective surface can be reduced in size.

本発明の光スキャナーでは、前記第１可動部を前記第１軸まわりに揺動させ、前記第２可動部を前記第２軸まわりに揺動させる駆動機構を有し、
前記駆動機構は、前記第１可動部に配置された第１永久磁石と、前記第２可動部に配置された第２永久磁石と、を有し、
前記第１永久磁石の磁極を結ぶ第１仮想線は、前記第１反射面の法線方向から見た平面視で、前記第１軸に対して交差し、
前記第２永久磁石の磁極を結ぶ第２仮想線は、前記第２反射面の法線方向から見た平面視で、前記第２軸に対して交差していることが好ましい。
これにより、簡単な構成で、第１可動部および第２可動部をそれぞれ揺動させることができる。 In the optical scanner of the present invention, the optical scanner has a drive mechanism that swings the first movable part around the first axis and swings the second movable part around the second axis,
The drive mechanism includes a first permanent magnet disposed on the first movable portion, and a second permanent magnet disposed on the second movable portion,
The first imaginary line connecting the magnetic poles of the first permanent magnet intersects the first axis in a plan view viewed from the normal direction of the first reflecting surface,
It is preferable that the second imaginary line connecting the magnetic poles of the second permanent magnet intersects the second axis in a plan view as viewed from the normal direction of the second reflecting surface.
Thereby, the first movable part and the second movable part can be swung with a simple configuration.

本発明の光スキャナーでは、前記第１仮想線は、前記第１軸部の延在方向に対して傾斜していることが好ましい。
これにより、着磁の際に、光スキャナーが破損してしまうことを抑制することができる。 In the optical scanner according to the aspect of the invention, it is preferable that the first imaginary line is inclined with respect to the extending direction of the first shaft portion.
Thereby, it can suppress that an optical scanner breaks in the case of magnetization.

本発明の光スキャナーでは、前記第２仮想線は、前記第２軸部の延在方向に対して傾斜していることが好ましい。
これにより、着磁の際に、光スキャナーが破損してしまうことを抑制することができる。 In the optical scanner according to the aspect of the invention, it is preferable that the second imaginary line is inclined with respect to the extending direction of the second shaft portion.
Thereby, it can suppress that an optical scanner breaks in the case of magnetization.

本発明の光スキャナーでは、前記第１永久磁石は、結晶磁気異方性を有し、
前記第１永久磁石の磁化容易軸が前記第１軸部の延在方向に対して傾斜していることが好ましい。
これにより、着磁の際に、光スキャナーが破損してしまうことを抑制することができる。 In the optical scanner of the present invention, the first permanent magnet has crystal magnetic anisotropy,
It is preferable that an easy magnetization axis of the first permanent magnet is inclined with respect to an extending direction of the first shaft portion.
Thereby, it can suppress that an optical scanner breaks in the case of magnetization.

本発明の光スキャナーでは、前記第２永久磁石は、結晶磁気異方性を有し、
前記第２永久磁石の磁化容易軸が前記第２軸部の延在方向に対して傾斜していることが好ましい。
これにより、着磁の際に、光スキャナーが破損してしまうことを抑制することができる。 In the optical scanner of the present invention, the second permanent magnet has crystal magnetic anisotropy,
It is preferable that the easy magnetization axis of the second permanent magnet is inclined with respect to the extending direction of the second shaft portion.
Thereby, it can suppress that an optical scanner breaks in the case of magnetization.

本発明の光スキャナーでは、前記第１可動部は、共振駆動で前記第１軸まわりに揺動し、
前記第２可動部は、非共振駆動で前記第２軸まわりに揺動し、
前記第１永久磁石の前記第１仮想線が第１軸部の延在方向に対して傾斜していることが好ましい。
これにより、第１可動部および第２可動部をそれぞれスムーズに揺動させることができると共に、着磁の際に、光スキャナーが破損してしまうことを抑制することができる。 In the optical scanner of the present invention, the first movable portion swings around the first axis by resonance driving,
The second movable part swings around the second axis by non-resonant driving,
It is preferable that the first imaginary line of the first permanent magnet is inclined with respect to the extending direction of the first shaft portion.
Thereby, while being able to rock | fluctuate each 1st movable part and 2nd movable part smoothly, it can suppress that an optical scanner breaks in the case of magnetization.

本発明の画像表示装置は、本発明の光スキャナーを有することを特徴とする。
これにより、小型化を図ることのできる画像表示装置が得られる。 The image display apparatus of the present invention includes the optical scanner of the present invention.
Thus, an image display device that can be reduced in size can be obtained.

本発明のヘッドマウントディスプレイは、本発明の光スキャナーと、
前記光スキャナーを搭載し、観察者の頭部に装着されるフレームと、を有することを特徴とする。
これにより、小型化を図ることのできるヘッドマウントディスプレイが得られる。 The head-mounted display of the present invention includes the optical scanner of the present invention,
And a frame mounted on the head of the observer.
As a result, a head mounted display that can be reduced in size can be obtained.

本発明の第１実施形態に係る画像表示装置の構成図である。1 is a configuration diagram of an image display device according to a first embodiment of the present invention. 図１に示す画像表示装置が備える光スキャナーの断面図である。It is sectional drawing of the optical scanner with which the image display apparatus shown in FIG. 1 is provided. 図２に示す光スキャナーの上面図である。FIG. 3 is a top view of the optical scanner shown in FIG. 2. レーザー光が入射する領域を示す平面図である。It is a top view which shows the area | region where a laser beam enters. 反射部を斜めに配置することによる効果を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the effect by arrange | positioning a reflection part diagonally. 図２に示す光スキャナーが有する駆動機構を説明する上面図である。It is a top view explaining the drive mechanism which the optical scanner shown in FIG. 2 has. 図６中のＡ−Ａ線断面図である。It is the sectional view on the AA line in FIG. 駆動電圧を示す図である。It is a figure which shows a drive voltage. 光スキャナーで走査されたレーザー光の走査線を示す平面図である。It is a top view which shows the scanning line of the laser beam scanned with the optical scanner. 本発明の第２実施形態に係る画像表示装置が有する光スキャナーの平面図である。It is a top view of the optical scanner which the image display apparatus concerning 2nd Embodiment of this invention has. 本発明の第３実施形態に係るヘッドアップディスプレイを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the head-up display which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態に係るヘッドマウントディスプレイを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the head mounted display which concerns on 4th Embodiment of this invention.

以下、本発明の光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイの好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。 DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of an optical scanner, an image display device, and a head mounted display according to the invention will be described with reference to the accompanying drawings.

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る画像表示装置の構成図である。図２は、図１に示す画像表示装置が備える光スキャナーの断面図である。図３は、図２に示す光スキャナーの上面図である。図４は、レーザー光が入射する領域を示す平面図である。図５は、反射部を斜めに配置することによる効果を説明する模式図である。図６は、図２に示す光スキャナーが有する駆動機構を説明する上面図である。図７は、図６中のＡ−Ａ線断面図である。図８は、駆動電圧を示す図である。図９は、光スキャナーで走査されたレーザー光の走査線を示す平面図である。 <First Embodiment>
FIG. 1 is a configuration diagram of an image display apparatus according to the first embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view of an optical scanner provided in the image display apparatus shown in FIG. 3 is a top view of the optical scanner shown in FIG. FIG. 4 is a plan view showing a region where laser light is incident. FIG. 5 is a schematic diagram for explaining the effect of arranging the reflecting portion obliquely. FIG. 6 is a top view for explaining a drive mechanism of the optical scanner shown in FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. FIG. 8 is a diagram illustrating the drive voltage. FIG. 9 is a plan view showing scanning lines of laser light scanned by the optical scanner.

図１に示す画像表示装置１は、スクリーン、壁面などの対象物１０に描画用のレーザー光ＬＬを二次元的に走査することにより画像を表示する装置である。このような画像表示装置１は、レーザー光ＬＬを出射する光源ユニット２と、レーザー光ＬＬを二次元的に走査する光スキャナー３と、を有している。 An image display apparatus 1 shown in FIG. 1 is an apparatus that displays an image by two-dimensionally scanning a drawing laser beam LL on an object 10 such as a screen or a wall surface. Such an image display device 1 includes a light source unit 2 that emits laser light LL and an optical scanner 3 that scans the laser light LL two-dimensionally.

≪光源ユニット≫
光源ユニット２は、図１に示すように、赤色、緑色、青色、各色のレーザー光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂを有する光源部と、レーザー光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂを駆動する駆動回路２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂと、レーザー光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂから出射されたレーザー光を平行光化するコリメータレンズ２４Ｒ、２４Ｇ、２４Ｂと、光合成部２３と、集光レンズ２６と、を有する。 ≪Light source unit≫
As shown in FIG. 1, the light source unit 2 includes a light source unit having laser light sources 21R, 21G, and 21B of red, green, and blue, and driving circuits 22R, 22G, and 22B that drive the laser light sources 21R, 21G, and 21B. And collimator lenses 24R, 24G, and 24B that collimate laser beams emitted from the laser light sources 21R, 21G, and 21B, a light combining unit 23, and a condensing lens 26.

レーザー光源２１Ｒは、赤色光を射出するものであり、レーザー光源２１Ｇは、緑色光を射出するものであり、レーザー光源２１Ｂは、青色光を射出するものである。このような３色の光を用いることにより、フルカラーの画像を表示することができる。なお、レーザー光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂとしては、特に限定されないが、例えば、レーザーダイオード、ＬＥＤ等を用いることができる。 The laser light source 21R emits red light, the laser light source 21G emits green light, and the laser light source 21B emits blue light. By using such three colors of light, a full color image can be displayed. The laser light sources 21R, 21G, and 21B are not particularly limited. For example, laser diodes, LEDs, and the like can be used.

駆動回路２２Ｒは、レーザー光源２１Ｒを駆動する機能を有し、駆動回路２２Ｇは、レーザー光源２１Ｇを駆動する機能を有し、駆動回路２２Ｂは、レーザー光源２１Ｂを駆動する機能を有する。これら駆動回路２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂは、図示しない制御部によって独立して駆動が制御されている。このような駆動回路２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂにより駆動されたレーザー光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂから射出された３つのレーザー光は、それぞれ、コリメータレンズ２４Ｒ、２４Ｇ、２４Ｂによって平行光化されて光合成部２３に入射する。 The drive circuit 22R has a function of driving the laser light source 21R, the drive circuit 22G has a function of driving the laser light source 21G, and the drive circuit 22B has a function of driving the laser light source 21B. These drive circuits 22R, 22G, and 22B are independently driven by a control unit (not shown). The three laser beams emitted from the laser light sources 21R, 21G, and 21B driven by the driving circuits 22R, 22G, and 22B are collimated by the collimator lenses 24R, 24G, and 24B, respectively, and enter the light combining unit 23. Incident.

光合成部２３は、複数のレーザー光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂからの光を合成する。本実施形態では、光合成部２３は、２つのダイクロイックミラー２３１、２３２を有する。ダイクロイックミラー２３１は、赤色光を透過させるとともに緑色光を反射する機能を有し、ダイクロイックミラー２３２は、赤色光および緑色光を透過させるとともに青色光を反射する機能を有する。このようなダイクロイックミラー２３１、２３２を用いることにより、レーザー光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂからの赤色光、緑色光および青色光の３色のレーザー光を合成することができる。この際、図示しない制御部によってレーザー光源２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂからの光の強度をそれぞれ独立して変調することで、所定の色の描画用のレーザーＬＬが生成される。生成されたレーザーＬＬは、集光レンズ２６によって所望のＮＡ（開口数）に変更された後、光スキャナー３に導かれる。 The light combining unit 23 combines light from the plurality of laser light sources 21R, 21G, and 21B. In the present embodiment, the light combining unit 23 includes two dichroic mirrors 231 and 232. The dichroic mirror 231 has a function of transmitting red light and reflecting green light, and the dichroic mirror 232 has a function of transmitting red light and green light and reflecting blue light. By using such dichroic mirrors 231 and 232, it is possible to synthesize laser light of three colors of red light, green light, and blue light from the laser light sources 21R, 21G, and 21B. At this time, a laser LL for drawing of a predetermined color is generated by independently modulating the intensity of light from the laser light sources 21R, 21G, and 21B by a control unit (not shown). The generated laser LL is changed to a desired NA (numerical aperture) by the condenser lens 26 and then guided to the optical scanner 3.

以上、光源ユニット２について説明したが、この光源ユニット２の構成としては、レーザーＬＬを生成することができれば、本実施形態の構成に限定されない。 Although the light source unit 2 has been described above, the configuration of the light source unit 2 is not limited to the configuration of the present embodiment as long as the laser LL can be generated.

≪光スキャナー≫
図２ないし図７に示す光スキャナー３は、レーザー光ＬＬの走査方向が直交する２つの揺動体３１、３２と、揺動体３１、３２を支持する支持部３３と、支持部３３に固定された蓋体３４と、蓋体３４に設けられた反射部（第３反射部）３５と、揺動体３１、３２を駆動する駆動機構３６と、を有している。このような光スキャナー３は、揺動体３１に入射したレーザー光ＬＬを揺動体３１によって水平方向（第１軸Ｊ１まわり）に走査し、揺動体３１で走査されたレーザー光ＬＬを反射部３５で反射して揺動体３２に入射し、揺動体３２に入射したレーザー光ＬＬを揺動体３２によって垂直方向（水平方向に直交する方向。第２軸Ｊ２まわり）に走査することで、レーザー光ＬＬを２次元走査するように構成されている。なお、レーザー光ＬＬは、光スキャナー３の平面視で、第１軸Ｊ１に対して直交する方向（言い換えると、後述する反射面３１４２ａの法線に対して第１軸Ｊ１まわりに傾斜した方向）から揺動体３１に入射するようになっている。 ≪Optical scanner≫
The optical scanner 3 shown in FIGS. 2 to 7 is fixed to the two oscillating bodies 31 and 32 whose scanning directions of the laser beam LL are orthogonal to each other, the support portion 33 that supports the oscillating bodies 31 and 32, and the support portion 33. It has a lid 34, a reflection part (third reflection part) 35 provided on the lid 34, and a drive mechanism 36 that drives the rocking bodies 31 and 32. Such an optical scanner 3 scans the laser beam LL incident on the oscillating body 31 in the horizontal direction (around the first axis J1) by the oscillating body 31, and the laser beam LL scanned by the oscillating body 31 is reflected by the reflecting portion 35. The laser beam LL is reflected and incident on the oscillating body 32, and the laser beam LL incident on the oscillating body 32 is scanned by the oscillating body 32 in the vertical direction (direction perpendicular to the horizontal direction, around the second axis J <b> 2). It is configured to perform two-dimensional scanning. The laser beam LL is a direction orthogonal to the first axis J1 in a plan view of the optical scanner 3 (in other words, a direction inclined about the first axis J1 with respect to a normal line of a reflection surface 3142a described later). To the oscillating body 31.

−揺動体３１−
揺動体（第１揺動体）３１は、可動部（第１可動部）３１１と、可動部３１１を第１軸Ｊ１まわりに揺動（回動）可能に支持する軸部（第１軸部）３１２、３１３と、可動部３１１に設けられた反射部（第１反射部）３１４と、を有している。支持部３３には第１開口３３１が形成されており、この第１開口３３１内に可動部３１１および軸部３１２、３１３が配置され、光スキャナー３の平面視で、可動部３１１と重なって反射部３１４が配置されている。 -Oscillator 31-
The oscillating body (first oscillating body) 31 includes a movable portion (first movable portion) 311 and a shaft portion (first shaft portion) that supports the movable portion 311 so as to be able to oscillate (rotate) about the first axis J1. 312 and 313, and a reflection part (first reflection part) 314 provided in the movable part 311. A first opening 331 is formed in the support portion 33, and a movable portion 311 and shaft portions 312 and 313 are disposed in the first opening 331, and overlap with the movable portion 311 in a plan view of the optical scanner 3 to be reflected. A part 314 is arranged.

また、軸部３１２、３１３は、可動部３１１を介して（挟んで）互いに対向して配置され、それぞれ、第１軸Ｊ１に沿って延在している。そして、その一端部が可動部３１１に接続されており、他端部が支持部３３に接続されている。軸部３１２、３１３は、それぞれ、可動部３１１を第１軸Ｊ１まわりに揺動可能に支持し、可動部３１１の第１軸Ｊ１まわりの揺動に伴って捩れ変形する。なお、可動部３１１を第１軸Ｊ１まわりに揺動可能に支持することができれば、軸部３１２、３１３の形状は特に限定されない。 The shaft portions 312 and 313 are arranged to face each other via (moving between) the movable portion 311 and each extend along the first axis J1. One end thereof is connected to the movable portion 311, and the other end is connected to the support portion 33. The shaft portions 312 and 313 respectively support the movable portion 311 so as to be able to swing around the first axis J1, and torsionally deform as the movable portion 311 swings around the first axis J1. The shape of the shaft portions 312 and 313 is not particularly limited as long as the movable portion 311 can be supported so as to be swingable around the first axis J1.

また、反射部３１４は、可動部３１１に支持された保持部３１４１と、保持部３１４１に保持され、光反射性を有するミラー３１４２と、を有している。また、保持部３１４１は、可動部３１１および軸部３１２、３１３に対して板厚方向に離間する板状の基部３１４１ａと、基部３１４１ａと可動部３１１の間に位置し、これらを連結（接合）する柱部３１４１ｂと、を有している。そして、基部３１４１ａの上面（可動部３１１と反対側に位置する面）にミラー３１４２が設けられており、その表面がレーザー光ＬＬを反射する反射面（第１反射面）３１４２ａとなっている。なお、基部３１４１ａと柱部３１４１ｂとは一体形成されていてもよい。 The reflection unit 314 includes a holding unit 3141 supported by the movable unit 311 and a mirror 3142 that is held by the holding unit 3141 and has light reflectivity. The holding portion 3141 is positioned between the movable portion 311 and the shaft portions 312 and 313 in a plate-like direction separated from the movable portion 311 and the shaft portions 312 and 313, and between the base portion 3141 a and the movable portion 311. And a column portion 3141b. A mirror 3142 is provided on the upper surface of the base 3141a (the surface located on the side opposite to the movable portion 311), and the surface thereof is a reflective surface (first reflective surface) 3142a that reflects the laser light LL. Note that the base 3141a and the pillar 3141b may be integrally formed.

また、基部３１４１ａは、可動部３１１よりも大きく形成されており、平面視（静止状態の反射面３１４２ａの法線方向から見た平面視）で、軸部３１２、３１３と重なって設けられている。そのため、軸部３１２、３１３の間の距離を短くしつつ（すなわち、可動部３１１を小さくしつつ）、基部３１４１ａの上面の面積（すなわち、ミラー３１４２の面積）を大きくすることができる。すなわち、レーザー光ＬＬを走査するのに必要な大きさのミラー３１４２を配置しつつ、揺動体３１の小型化を図ることができる。 The base portion 3141a is formed larger than the movable portion 311 and is provided so as to overlap with the shaft portions 312 and 313 in plan view (plan view seen from the normal direction of the reflective surface 3142a in a stationary state). . Therefore, the area of the upper surface of the base portion 3141a (that is, the area of the mirror 3142) can be increased while the distance between the shaft portions 312 and 313 is shortened (that is, the movable portion 311 is decreased). That is, it is possible to reduce the size of the oscillator 31 while arranging the mirror 3142 having a size necessary for scanning with the laser beam LL.

なお、本実施形態に対して、従来のように可動部３１１の上面にミラー３１４２を設ける構成の場合、レーザー光ＬＬを走査するのに必要な大きさのミラー３１４２を配置するために可動部３１１を本実施形態よりも大きく確保する必要がある。そのため、軸部３１２、３１３の離間距離が本実施形態よりも大きくなり、その結果、揺動体が大型化してしまう。 In contrast to the present embodiment, in the case where the mirror 3142 is provided on the upper surface of the movable portion 311 as in the prior art, the movable portion 311 is disposed in order to arrange the mirror 3142 having a size necessary for scanning the laser beam LL. Needs to be secured larger than in the present embodiment. Therefore, the separation distance between the shaft portions 312 and 313 is larger than that of the present embodiment, and as a result, the swinging body is enlarged.

特に、基部３１４１ａは、その平面視で、軸部３１２、３１３の一部と重なり、支持部３３との接続部側の端部とは重なっていない。前述したように、光スキャナー３では、まず、揺動体３１によってレーザー光ＬＬを走査するため、図４（ａ）に示すように、レーザー光ＬＬがミラー３１４２へ入射する領域Ｓ１は、レーザー光ＬＬのスポット径とほぼ同じである（詳細には、レーザー光ＬＬがミラー３１４２に対して傾いて入射するため、傾きの分だけ領域Ｓ１がスポット径よりも若干大きくなる）。 In particular, the base portion 3141a overlaps with a part of the shaft portions 312 and 313 and does not overlap with the end portion on the connection portion side with the support portion 33 in the plan view. As described above, in the optical scanner 3, since the laser beam LL is first scanned by the oscillator 31, the region S1 where the laser beam LL is incident on the mirror 3142 as shown in FIG. (Specifically, since the laser beam LL is incident on the mirror 3142 with an inclination, the region S1 is slightly larger than the spot diameter by the inclination).

そのため、レーザー光ＬＬの径にもよるが、軸部３１２、３１３の全域と重なる程、ミラー３１４２を大きくする必要がない。したがって、本実施形態のように、基部３１４１ａを軸部３１２、３１３の一部と重なる程度の大きさとすることにより、基部３１４１ａの過度な大型化が防止される。よって、反射部３１４の質量を抑えることができ、例えば、反射部３１４の重みによる軸部３１２、３１３の撓みを効果的に抑制することができる。その結果、反射部３１４をより安定して第１軸Ｊ１まわり揺動させることができる。さらには、反射部３１４の質量を抑えることで、慣性モーメントが小さくなるため、反射部３１４をより円滑に揺動させることができる。 Therefore, although it depends on the diameter of the laser beam LL, it is not necessary to enlarge the mirror 3142 so as to overlap the entire area of the shaft portions 312 and 313. Therefore, as in the present embodiment, the base portion 3141a is set to a size that overlaps with a part of the shaft portions 312, 313, thereby preventing the base portion 3141a from being excessively large. Therefore, the mass of the reflecting portion 314 can be suppressed, and for example, the bending of the shaft portions 312 and 313 due to the weight of the reflecting portion 314 can be effectively suppressed. As a result, the reflecting portion 314 can be swung around the first axis J1 more stably. Furthermore, since the moment of inertia is reduced by suppressing the mass of the reflecting portion 314, the reflecting portion 314 can be swung more smoothly.

なお、軸部３１２、３１３の長さによっては、基部３１４１ａが軸部３１２、３１３の全域と重なっていてもよい。また、本実施形態では、基部３１４１ａおよびミラー３１４２が略円形をなしているが、これらの形状は、特に限定されず、例えば、楕円形、長円形であってもよいし、正方形、長方形であってもよい。反射部３１４が楕円形、長円形または長方形のように長尺状の場合、反射部３１４の平面視で第１軸Ｊ１の軸方向に対して垂直な方向に長軸を有することが好ましい。このような形状とすることによって、反射部３１４、３２４が揺動しレーザー光ＬＬが反射部３１４、３２４に斜入射した場合でも、走査に用いられない領域を減らすことができ効率的にレーザー光ＬＬを反射することができる。 Depending on the length of the shaft portions 312, 313, the base portion 3141a may overlap the entire area of the shaft portions 312, 313. In this embodiment, the base 3141a and the mirror 3142 are substantially circular. However, these shapes are not particularly limited, and may be, for example, elliptical or oval, square, or rectangular. May be. In the case where the reflecting portion 314 has an elongated shape such as an ellipse, an oval, or a rectangle, it is preferable that the reflecting portion 314 has a long axis in a direction perpendicular to the axial direction of the first axis J1 in a plan view. By adopting such a shape, even when the reflecting portions 314 and 324 are oscillated and the laser beam LL is obliquely incident on the reflecting portions 314 and 324, an area that is not used for scanning can be reduced and the laser beam can be efficiently used. LL can be reflected.

−揺動体３２−
揺動体（第２揺動体）３２は、前述した揺動体３１とほぼ同様の構成である。揺動体３２は、可動部（第２可動部）３２１と、可動部３２１を第１軸Ｊ１と直交する第２軸Ｊ２まわりに揺動（回動）可能に支持する軸部（第２軸部）３２２、３２３と、可動部３２１に設けられた反射部（第２反射部）３２４と、を有している。支持部３３には第１開口３３１と並んで第２開口３３２が形成されており、この第２開口３３２内に可動部３２１および軸部３２２、３２３が配置され、可動部３２１と重なるようにして反射部３２４が配置されている。 −Oscillator 32−
The rocking body (second rocking body) 32 has substantially the same configuration as the rocking body 31 described above. The oscillating body 32 includes a movable portion (second movable portion) 321 and a shaft portion (second shaft portion) that supports the movable portion 321 so as to be able to oscillate (turn) about a second axis J2 orthogonal to the first axis J1. ) 322 and 323, and a reflection part (second reflection part) 324 provided in the movable part 321. A second opening 332 is formed in the support portion 33 along with the first opening 331, and the movable portion 321 and the shaft portions 322 and 323 are disposed in the second opening 332 so as to overlap the movable portion 321. A reflection part 324 is arranged.

また、軸部３２２、３２３は、可動部３２１を介して互いに対向して配置され、それぞれ、第２軸Ｊ２に沿って延在している。そして、その一端部が可動部３２１に接続されており、他端部が支持部３３に接続されている。軸部３２２、３２３は、それぞれ、可動部３２１を第２軸Ｊ２まわりに揺動可能に支持し、可動部３２１の第２軸Ｊ２まわりの揺動に伴って捩れ変形する。なお、可動部３２１を第２軸Ｊ２まわりに揺動可能に支持することができれば、軸部３２２、３２３の形状は特に限定されない。 The shaft portions 322 and 323 are disposed to face each other via the movable portion 321 and extend along the second axis J2. One end thereof is connected to the movable portion 321 and the other end is connected to the support portion 33. Each of the shaft portions 322 and 323 supports the movable portion 321 so as to be swingable about the second axis J2, and is torsionally deformed as the movable portion 321 swings around the second axis J2. Note that the shape of the shaft portions 322 and 323 is not particularly limited as long as the movable portion 321 can be swingably supported around the second axis J2.

また、反射部３２４は、可動部３２１に接合された保持部３２４１と、保持部３２４１に保持され、光反射性を有するミラー３２４２と、を有している。また、保持部３２４１は、可動部３２１および軸部３２２、３２３に対して板厚方向に離間する板状の基部３２４１ａと、基部３２４１ａと可動部３２１の間に位置し、これらを連結（接合）する柱部３２４１ｂと、を有している。そして、基部３２４１ａの上面（可動部３２１と反対側に位置する面）にミラー３２４２が設けられており、その表面がレーザー光ＬＬを反射する反射面（第２反射面）３２４２ａとなっている。 The reflection unit 324 includes a holding unit 3241 joined to the movable unit 321 and a mirror 3242 that is held by the holding unit 3241 and has light reflectivity. The holding portion 3241 is positioned between the movable portion 321 and the shaft portions 322 and 323 in a plate-like direction spaced apart in the plate thickness direction, and between the base portion 3241a and the movable portion 321 and connects (joins) them. A column portion 3241b. A mirror 3242 is provided on the upper surface of the base 3241a (the surface located on the side opposite to the movable portion 321), and the surface thereof is a reflective surface (second reflective surface) 3242a that reflects the laser light LL.

また、基部３２４１ａは、可動部３２１よりも大きく形成されており、平面視（静止状態の反射面３２４２ａの法線方向から見た平面視）で、軸部３２２、３２３と重なって設けられている。そのため、軸部３２２、３２３の間の距離を短くしつつ、基部３２４１ａの上面の面積（すなわち、ミラー３２４２の面積）を大きくすることができる。すなわち、レーザー光ＬＬを走査するのに必要な大きさのミラー３２４２を配置しつつ、揺動体３２の小型化を図ることができる。 The base portion 3241a is formed larger than the movable portion 321 and is provided so as to overlap with the shaft portions 322 and 323 in a plan view (a plan view seen from the normal direction of the reflective surface 3242a in a stationary state). . Therefore, the area of the upper surface of the base portion 3241a (that is, the area of the mirror 3242) can be increased while shortening the distance between the shaft portions 322 and 323. That is, it is possible to reduce the size of the oscillator 32 while disposing the mirror 3242 having a size necessary for scanning with the laser beam LL.

特に、基部３２４１ａは、その平面視で、軸部３２２、３２３の全域と重なっている。前述したように、光スキャナー３では、揺動体３１によって第１軸Ｊ１まわりに走査されたレーザー光ＬＬを揺動体３２が走査するため、図４（ｂ）に示すように、レーザー光ＬＬがミラー３２４２へ入射する領域Ｓ２は、第２軸Ｊ２に沿う方向に延びる線状となる。そのため、領域Ｓ２と同じ方向に延びる軸部３２２、３２３の全域と重なる程、ミラー３２４２を大きくすることで、領域Ｓ２を内包できる大きさのミラー３２４２とすることができる。 In particular, the base portion 3241a overlaps the entire area of the shaft portions 322 and 323 in the plan view. As described above, in the optical scanner 3, since the oscillating body 32 scans the laser beam LL scanned around the first axis J1 by the oscillating body 31, the laser beam LL is mirrored as shown in FIG. The region S2 incident on the 3242 has a linear shape extending in the direction along the second axis J2. Therefore, the mirror 3242 can be made large enough to contain the region S2 by enlarging the mirror 3242 so as to overlap the entire region of the shaft portions 322 and 323 extending in the same direction as the region S2.

また、前述したように、領域Ｓ２は、第２軸Ｊ２に沿って延びる線状をなしており、幅が狭い。そのため、基部３２４１ａおよびミラー３２４２を第２軸Ｊ２に沿った方向を長手とする長尺状（本実施形態は、略長方形）とすることで、ミラー３２４２のレーザー光ＬＬの走査に用いられない領域を減らすことができ、反射部３２４の過度な大型化が防止される。よって、反射部３２４の質量を抑えることができ、反射部３２４の重みによる軸部３２２、３２３の撓み等を効果的に抑制することができる。その結果、より確実に、反射部３２４を第２軸Ｊ２まわり揺動させることができる。さらには、基部３２４１ａの質量を抑えることで、慣性モーメントが小さくなるため、反射部３２４をより円滑に揺動させることができる。 Further, as described above, the region S2 has a linear shape extending along the second axis J2, and has a narrow width. Therefore, by making the base 3241a and the mirror 3242 into a long shape (in the present embodiment, a substantially rectangular shape) having the direction along the second axis J2 as a length, an area that is not used for scanning the laser light LL of the mirror 3242 Can be reduced, and an excessive increase in size of the reflecting portion 324 is prevented. Therefore, the mass of the reflection part 324 can be suppressed, and the bending of the shaft parts 322 and 323 due to the weight of the reflection part 324 can be effectively suppressed. As a result, the reflecting portion 324 can be swung around the second axis J2 more reliably. Furthermore, since the moment of inertia is reduced by suppressing the mass of the base portion 3241a, the reflecting portion 324 can be swung more smoothly.

なお、軸部３２２、３２３の長さや領域Ｓ２の長さによっては、基部３２４１ａが軸部３２２、３２３の全域と重なっておらず、一部とのみ重なっていてもよい。また、本実施形態では、基部３２４１ａおよびミラー３２４２が第２軸Ｊ２に沿って延びる略長方形をなしているが、これらの形状は、特に限定されず、例えば、第２軸Ｊ２に沿って延びる楕円形、長円形等であってもよいし、長手形状ではない円形、四角形等であってもよい。 Note that, depending on the length of the shaft portions 322 and 323 and the length of the region S2, the base portion 3241a may not overlap the entire area of the shaft portions 322 and 323 but may overlap only a part thereof. In the present embodiment, the base 3241a and the mirror 3242 have a substantially rectangular shape extending along the second axis J2. However, these shapes are not particularly limited, and for example, an ellipse extending along the second axis J2. It may be a shape, an oval shape, etc., or may be a circle, a quadrangle, or the like that is not a longitudinal shape.

以上、揺動体３１、３２について説明した。これら揺動体３１、３２のうち、可動部３１１、３２１および軸部３１２、３１３、３２２、３２３は、シリコン基板やＳＯＩ基板（第１Ｓｉ層、ＳｉＯ_２層、第２Ｓｉ層が積層してなる基板）等をフォトリソグラフィー技法およびエッチング技法を用いてパターニングすることで、支持部３３と一体的に形成されている。すなわち、可動部３１１、３２１および軸部３１２、３１３、３２２、３２３は、同一の基板内（同一基板の同一基板面）に、当該基板の面内方向に並んで形成されている。このような光スキャナー３によれば、揺動体３１、３２のアライメントを精度よく実現することができる。言い換えると、例えば、別体である２つの光スキャナーを用いてレーザー光ＬＬを２次元的に走査する場合には、画像表示装置１を組み立てる際に２つの光スキャナーのアライメントを精度よく取らなければならない。これに対して、本実施形態の光スキャナー３によれば、設計（製造）の段階でアライメントを取っておけばよく、装置を組み立てる際に揺動体３１、３２のアライメントを取る必要がない。したがって、画像表示装置１の組み立てが容易となる。 The rocking bodies 31 and 32 have been described above. Among these oscillating bodies 31, 32, the movable portions 311 and 321 and the shaft portions 312, 313, 322, and 323 are a silicon substrate or an SOI substrate (a substrate formed by laminating a first Si layer, a SiO ₂ layer, and a second Si layer). And the like are patterned using a photolithography technique and an etching technique to form the support part 33 integrally. That is, the movable portions 311 and 321 and the shaft portions 312, 313, 322, and 323 are formed in the same substrate (the same substrate surface of the same substrate) side by side in the in-plane direction of the substrate. According to such an optical scanner 3, the alignment of the rocking bodies 31 and 32 can be realized with high accuracy. In other words, for example, when the laser light LL is two-dimensionally scanned using two separate optical scanners, the two optical scanners must be aligned accurately when the image display device 1 is assembled. Don't be. On the other hand, according to the optical scanner 3 of this embodiment, it is only necessary to keep alignment at the design (manufacturing) stage, and it is not necessary to align the rocking bodies 31 and 32 when assembling the apparatus. Therefore, the assembly of the image display device 1 is facilitated.

また、保持部３１４１、３２４１は、例えば、ＳＯＩ基板（第１Ｓｉ層、ＳｉＯ_２層、第２Ｓｉ層が積層してなる基板）から形成することができる。具体的には、例えば、ＳＯＩ基板をフォトリソグラフィー技法およびエッチング技法を用いてパターニングして、第１Ｓｉ層から基部３１４１ａ、３２４１ａを形成し、ＳｉＯ_２層および第２Ｓｉ層から柱部３１４１ｂ、３２４１ｂを形成することで保持部３１４１、３２４１を形成することができる。また、保持部３１４１、３２４１と可動部３１１、３２１との接合方法としては、特に限定されず、例えば、接着剤等の接合部材を介して接合することができる。また、ミラー３１４２、３２４２は、例えば、アルミニウム等の金属材料を基部３１４１ａ、３２４１ａの上面へ成膜することにより形成することができる。 The holding portions 3141 and 3241 can be formed from, for example, an SOI substrate (a substrate in which a first Si layer, a SiO ₂ layer, and a second Si layer are stacked). Specifically, for example, an SOI substrate is patterned by using a photolithography technique and an etching technique to form base portions 3141a and 3241a from the first Si layer, and pillar portions 3141b and 3241b from the SiO ₂ layer and the second Si layer. Thus, the holding portions 3141 and 3241 can be formed. Moreover, it does not specifically limit as a joining method of holding | maintenance part 3141,3241 and movable part 311,321, For example, it can join via joining members, such as an adhesive agent. The mirrors 3142 and 3242 can be formed by, for example, forming a metal material such as aluminum on the upper surfaces of the base portions 3141a and 3241a.

なお、本実施形態では、ミラー３１４２の反射面３１４２ａとミラー３２４２の反射面３２４２ａとが静止状態において同一平面に位置しているが、反射面３１４２ａと反射面３２４２ａは、同一平面に位置しておらず、上下（可動部３１１、３２１の板厚方向）にずれて配置されていてもよい。 In the present embodiment, the reflection surface 3142a of the mirror 3142 and the reflection surface 3242a of the mirror 3242 are located on the same plane in a stationary state, but the reflection surface 3142a and the reflection surface 3242a are not located on the same plane. Instead, they may be arranged shifted in the vertical direction (the thickness direction of the movable parts 311 and 321).

−蓋体３４−
蓋体３４は、揺動体３１、３２の上方を覆うように配置され、支持部３３に接合されている。この蓋体３４は、主に、反射部３５を保持するために設けられている。また、蓋体３４には、レーザー光ＬＬを揺動体３１に入射するための入射窓部３４１と、揺動体３２で走査されたレーザー光ＬＬを出射するための出射窓部３４２と、が形成されている。なお、本実施形態では、入射窓部３４１および出射窓部３４２は、それぞれ、貫通孔（切り欠き）で構成されている。 -Lid 34-
The lid body 34 is disposed so as to cover the upper side of the rocking bodies 31 and 32, and is joined to the support portion 33. The lid 34 is mainly provided to hold the reflecting portion 35. Further, the lid 34 is formed with an incident window 341 for entering the laser beam LL into the oscillator 31 and an emission window 342 for emitting the laser beam LL scanned by the oscillator 32. ing. In the present embodiment, the entrance window 341 and the exit window 342 are each configured with a through hole (notch).

なお、このような蓋体３４は、例えば、シリコン基板やガラス基板をパターニングすることで得られる。特に、支持部３３がシリコン基板から形成されている場合には、蓋体３４をガラスで構成することが好ましい。これにより、蓋体３４を陽極接合によって支持部３３に接合することができるため、蓋体３４を支持部３３に容易かつ高い接合強度で接合することができる。 Such a lid 34 can be obtained, for example, by patterning a silicon substrate or a glass substrate. In particular, when the support portion 33 is formed of a silicon substrate, the lid body 34 is preferably made of glass. Thereby, since the cover body 34 can be joined to the support part 33 by anodic bonding, the cover body 34 can be easily joined to the support part 33 with high joining strength.

−反射部３５−
反射部３５は、蓋体３４に保持されている。また、反射部３５の表面は、反射面（第３反射面）３５１となっており、揺動体３１で走査したレーザー光ＬＬを反射して揺動体３２に入射する機能を有している。このような反射部３５を有することで、上述したように、揺動体３１、３２を平面的に並べて配置することが可能となる。 -Reflecting portion 35-
The reflection part 35 is held by the lid 34. The surface of the reflecting portion 35 is a reflecting surface (third reflecting surface) 351 and has a function of reflecting the laser beam LL scanned by the oscillating body 31 and entering the oscillating body 32. By having such a reflection part 35, it becomes possible to arrange the rocking bodies 31 and 32 side by side in a plane as described above.

また、反射面３５１は、静止状態の反射面３１４２ａ、３２４２ａに対して傾斜して設けられている。具体的には、反射面３５１は、静止状態の反射面３１４２ａに対して、反射面３２４２ａ側を向くように傾斜している。言い換えると、静止状態において反射面３５１の反射面３１４２ａに最も近い端部と、反射面３１４２ａを拡張した面との距離は、反射面３５１の反射面３２４２ａ側の端部と、反射面３２４２ａを拡張した面との距離より近くなっている。 Further, the reflecting surface 351 is provided to be inclined with respect to the reflecting surfaces 3142a and 3242a in a stationary state. Specifically, the reflecting surface 351 is inclined so as to face the reflecting surface 3242a side with respect to the stationary reflecting surface 3142a. In other words, the distance between the end of the reflecting surface 351 closest to the reflecting surface 3142a and the surface obtained by extending the reflecting surface 3142a in the stationary state is the same as the end of the reflecting surface 351 on the reflecting surface 3242a side and the reflecting surface 3242a. It is closer than the distance to the surface.

これにより、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、例えば、反射面３５１が静止状態の反射面３１４２ａと平行な場合と比較して、反射部３５を揺動体３１、３２に近づけて配置することができる。そのため、その分、光スキャナー３の薄型化（低背化）を図ることができる。また、このように反射部３５を揺動体３１、３２に近づけて配置することができるため、領域Ｓ２（レーザー光ＬＬがミラー３２４２へ入射する領域）を小さくすることができる。そのため、その分、ミラー３２４２を小さくすることができる。なお、静止状態の反射面３１４２ａに対する反射面３５１の傾斜角θ１としては、特に限定されないが、５°以上、２０°以下程度であることが好ましい。このような範囲とすることで、上述した効果をより効果的に発揮することができる。 Thereby, as shown in FIGS. 5A and 5B, for example, the reflecting portion 35 is brought closer to the oscillating bodies 31 and 32 as compared with the case where the reflecting surface 351 is parallel to the reflecting surface 3142a in a stationary state. Can be arranged. Therefore, the optical scanner 3 can be reduced in thickness (reduced height) accordingly. In addition, since the reflecting portion 35 can be disposed close to the oscillating bodies 31 and 32 as described above, the area S2 (area where the laser light LL enters the mirror 3242) can be reduced. Therefore, the mirror 3242 can be made smaller accordingly. The tilt angle θ1 of the reflection surface 351 with respect to the reflection surface 3142a in a stationary state is not particularly limited, but is preferably about 5 ° or more and 20 ° or less. By setting it as such a range, the effect mentioned above can be exhibited more effectively.

−駆動機構３６−
駆動機構３６は、図６および図７に示すように、揺動体３１の可動部３１１の下面（ミラー３１４２と反対側の面）に設けられた永久磁石（第１永久磁石）３６１と、揺動体３２の可動部３２１の下面（ミラー３２４２と反対側の面）に設けられた永久磁石（第２永久磁石）３６２と、これら永久磁石３６１、３６２に作用する磁界を発生させるコイル３６３と、を有する電磁アクチュエーターである。このように、駆動機構３６を電磁アクチュエーターとすることで、簡単な構成で、揺動体３１、３２を駆動するのに十分な駆動力を発生させることができる。 -Drive mechanism 36-
As shown in FIGS. 6 and 7, the drive mechanism 36 includes a permanent magnet (first permanent magnet) 361 provided on the lower surface (surface opposite to the mirror 3142) of the movable portion 311 of the oscillating body 31, and the oscillating body. A permanent magnet (second permanent magnet) 362 provided on the lower surface of the movable portion 321 (surface opposite to the mirror 3242), and a coil 363 that generates a magnetic field acting on the permanent magnets 361 and 362. It is an electromagnetic actuator. Thus, by using the drive mechanism 36 as an electromagnetic actuator, it is possible to generate a driving force sufficient to drive the rocking bodies 31 and 32 with a simple configuration.

永久磁石３６１は、平面視にて、第１軸Ｊ１に直交（交差）して配置された棒状をなし、その一端側にＳ極が位置し、他端側にＮ極が位置している。すなわち、永久磁石３６１の磁極を結ぶ第１仮想線Ｌ１は、第１軸Ｊ１に対して直交している。また、永久磁石３６２は、平面視にて、第２軸Ｊ２に直交（交差）して配置された棒状をなし、その一端側にＳ極が位置し、他端側にＮ極が位置している。すなわち、永久磁石３６２の磁極を結ぶ第２仮想線Ｌ２は、第２軸Ｊ２に対して直交している。これら永久磁石３６１、３６２としては、例えば、ネオジム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石等を好適に用いることができる。 The permanent magnet 361 has a rod shape arranged perpendicularly (crossing) to the first axis J1 in a plan view, and the S pole is located on one end side and the N pole is located on the other end side. That is, the first imaginary line L1 connecting the magnetic poles of the permanent magnet 361 is orthogonal to the first axis J1. Further, the permanent magnet 362 has a rod-like shape arranged orthogonally (crossing) to the second axis J2 in a plan view, the S pole is located on one end side, and the N pole is located on the other end side. Yes. That is, the second imaginary line L2 connecting the magnetic poles of the permanent magnet 362 is orthogonal to the second axis J2. As these permanent magnets 361 and 362, for example, neodymium magnets, ferrite magnets, samarium cobalt magnets, alnico magnets, bond magnets, and the like can be suitably used.

また、コイル３６３は、永久磁石３６１、３６２の下方に、これらと対向して配置されている。このコイル３６３に駆動電圧Ｖ（具体的には、揺動体３１の駆動電圧Ｖ１と、揺動体３２の駆動電圧Ｖ２を重畳させた電圧）を印加することにより、永久磁石３６１、３６２に作用する磁界が発生し、可動部３１１（反射部３１４）が所定の周波数で第１軸Ｊ１まわりに揺動すると共に、可動部３２１（反射部３２４）が所定の周波数で第２軸Ｊ２まわりに揺動する。なお、揺動体３１を共振で駆動させることが好ましく、揺動体３２を非共振で駆動させることが好ましい。これにより、２次元画像を描画するのに適した駆動となる。特に、揺動体３１の反射部３１４は、揺動体３２の反射部３２４よりも小さく、軽いため、揺動体３１を共振駆動とすることで、水平方向へのレーザー光ＬＬの走査をより高速にかつスムーズに行うことができる。 The coil 363 is disposed below the permanent magnets 361 and 362 so as to face them. A magnetic field acting on the permanent magnets 361 and 362 by applying a driving voltage V (specifically, a voltage obtained by superimposing the driving voltage V1 of the oscillating body 31 and the driving voltage V2 of the oscillating body 32) to the coil 363. And the movable part 311 (reflecting part 314) swings around the first axis J1 at a predetermined frequency, and the movable part 321 (reflecting part 324) swings around the second axis J2 at a predetermined frequency. . In addition, it is preferable to drive the oscillating body 31 by resonance, and it is preferable to drive the oscillating body 32 non-resonant. Thereby, it becomes a drive suitable for drawing a two-dimensional image. In particular, the reflecting portion 314 of the oscillating body 31 is smaller and lighter than the reflecting portion 324 of the oscillating body 32, so that the oscillating body 31 is driven by resonance to scan the laser beam LL in the horizontal direction at a higher speed. It can be done smoothly.

なお、駆動電圧Ｖ１の周波数としては、特に限定されないが、１０〜４０ｋＨｚ程度であるのが好ましい。また、駆動電圧Ｖ１の波形としては、特に限定されないが、図８（ａ）に示すように、正弦波のような波形であることが好ましい。一方、駆動電圧Ｖ２の周波数としては、特に限定されないが、３０〜１２０Ｈｚ程度（６０Ｈｚ程度）であるのが好ましい。また駆動電圧Ｖ２の波形としては、図８（ｂ）に示すように、鋸波のような波形であることが好ましい。 The frequency of the drive voltage V1 is not particularly limited, but is preferably about 10 to 40 kHz. Further, the waveform of the drive voltage V1 is not particularly limited, but as shown in FIG. 8A, a waveform like a sine wave is preferable. On the other hand, the frequency of the drive voltage V2 is not particularly limited, but is preferably about 30 to 120 Hz (about 60 Hz). Further, the waveform of the drive voltage V2 is preferably a sawtooth waveform as shown in FIG.

以上、駆動機構３６について詳細に説明したが、駆動機構３６の構成としては、揺動体３１、３２を独立して駆動させることができれば上述の構成に限定されない。例えば、本実施形態では、コイル３６３が１つであるが、コイル３６３を２つ、すなわち、永久磁石３６１と対向する第１コイルと、永久磁石３６２と対向する第２コイルを配置してもよい。この場合には、第１コイルに駆動電圧Ｖ１を印加し、第２コイルに駆動電圧Ｖ２を印加することで、揺動体３１、３２を独立して駆動することができる。 Although the drive mechanism 36 has been described in detail above, the configuration of the drive mechanism 36 is not limited to the above-described configuration as long as the rocking bodies 31 and 32 can be driven independently. For example, in the present embodiment, there is one coil 363, but two coils 363, that is, a first coil facing the permanent magnet 361 and a second coil facing the permanent magnet 362 may be arranged. . In this case, the oscillators 31 and 32 can be driven independently by applying the drive voltage V1 to the first coil and applying the drive voltage V2 to the second coil.

さらに、駆動電圧Ｖ２の駆動信号に揺動体３１の駆動周波数の略２倍の周波数をもつ正弦波を重畳させることで、光スキャナー３で走査されたレーザー光ＬＬの走査線ＳＬ（対象物１０上でのレーザー光ＬＬの軌跡）が、図９に示すように、略矩形とすることができる。そのため、例えば、対象物１０の水平方向の中央部と両端部とで画素密度がほぼ均一になり、より鮮明な画像を表示することが可能となる。 Furthermore, by superimposing a sine wave having a frequency approximately twice the driving frequency of the oscillator 31 on the driving signal of the driving voltage V2, the scanning line SL (on the object 10) of the laser beam LL scanned by the optical scanner 3 is superimposed. As shown in FIG. 9, the locus of the laser beam LL in FIG. Therefore, for example, the pixel density is substantially uniform at the center and both ends of the object 10 in the horizontal direction, and a clearer image can be displayed.

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る画像表示装置について説明する。 Second Embodiment
Next, an image display apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described.

図１０は、本発明の第２実施形態に係る画像表示装置が有する光スキャナーの平面図である。 FIG. 10 is a plan view of an optical scanner included in the image display apparatus according to the second embodiment of the present invention.

以下、第２実施形態の画像表示装置について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。 Hereinafter, the image display apparatus according to the second embodiment will be described focusing on the differences from the above-described embodiment, and description of similar matters will be omitted.

本発明の第２実施形態の画像表示装置は、光スキャナーの構成が異なること以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。 The image display apparatus of the second embodiment of the present invention is the same as that of the first embodiment described above except that the configuration of the optical scanner is different. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure similar to embodiment mentioned above.

本実施形態の光スキャナー３では、図１０に示すように、平面視で、永久磁石３６１の第１仮想線Ｌ１が第１軸Ｊ１に対して直交するのではなくて、傾斜して設けられている。そのため、第１仮想線Ｌ１は、第２仮想線Ｌ２に直交するのではなくて、傾斜した状態となっている。なお、永久磁石３６１、３６２がネオジム磁石等の結晶磁気異方性を持つものである場合、第１仮想線Ｌ１は、永久磁石３６１の磁化容易軸と一致し、第２仮想線Ｌ２は、永久磁石３６２の磁化容易軸と一致する。 In the optical scanner 3 of the present embodiment, as shown in FIG. 10, the first imaginary line L1 of the permanent magnet 361 is not inclined perpendicular to the first axis J1 in a plan view, but is inclined. Yes. Therefore, the first virtual line L1 is not orthogonal to the second virtual line L2, but is in an inclined state. When the permanent magnets 361 and 362 have crystal magnetic anisotropy such as neodymium magnets, the first virtual line L1 coincides with the easy axis of magnetization of the permanent magnet 361, and the second virtual line L2 is permanent. This coincides with the easy magnetization axis of the magnet 362.

このような構成とすることで、例えば、次のような効果を発揮することができる。すなわち、光スキャナー３では、永久磁石３６１、３６２が近接して配置されているため、既に着磁された永久磁石３６１、３６２を可動部３１１、３２１に配置するのが困難な場合がある。そのため、着磁していない永久磁石３６１、３６２を可動部３１１、３２１に配置した後に、永久磁石３６１、３６２を着磁する場合がある。 By setting it as such a structure, the following effects can be exhibited, for example. That is, in the optical scanner 3, since the permanent magnets 361 and 362 are arranged close to each other, it may be difficult to arrange the already magnetized permanent magnets 361 and 362 on the movable portions 311 and 321. Therefore, the permanent magnets 361 and 362 may be magnetized after the non-magnetized permanent magnets 361 and 362 are arranged on the movable portions 311 and 321.

しかしながら、第１仮想線Ｌ１と第２仮想線Ｌ２が平行でないため、この着磁に用いられる磁界の向きによっては、永久磁石３６１に図１０中の矢印Ａで示すような回転方向の力が作用する。そして、例えば、第１実施形態のように第１仮想線Ｌ１が第２仮想線Ｌ２（第１軸Ｊ１）に対して直交していると、前述した力が大きく働いてしまい、軸部３１２、３１３が破損してしまうおそれがある。これに対して、本実施形態のように、第１仮想線Ｌ１が第２仮想線Ｌ２（第１軸Ｊ１）に対して傾斜していると、前述した力が第１実施形態と比較して弱まるため、軸部３１２、３１３の破損を効果的に抑制することができる。 However, since the first imaginary line L1 and the second imaginary line L2 are not parallel, depending on the direction of the magnetic field used for this magnetization, a force in the rotational direction as indicated by the arrow A in FIG. To do. And, for example, if the first imaginary line L1 is orthogonal to the second imaginary line L2 (first axis J1) as in the first embodiment, the above-described force acts greatly, and the shaft portion 312, 313 may be damaged. On the other hand, when the first imaginary line L1 is inclined with respect to the second imaginary line L2 (first axis J1) as in the present embodiment, the force described above is compared with the first embodiment. Since it weakens, damage to shaft parts 312 and 313 can be controlled effectively.

第２仮想線Ｌ２（第１軸Ｊ１）に対する第１仮想線Ｌ１の傾斜角θ２としては、特に限定されないが、３０°以上、６０°以下程度であることが好ましい。これにより、揺動体３１の第１軸Ｊ１まわりの揺動を可能としつつ、上述した効果を効果的に発揮することができる。特に、揺動体３１は、共振で駆動するため、第１仮想線Ｌ１が第１軸Ｊ１に対して傾斜していることが駆動に与える影響はほとんどなく、揺動体３１を第１軸Ｊ１まわりにスムーズに駆動することができる。 The inclination angle θ2 of the first virtual line L1 with respect to the second virtual line L2 (first axis J1) is not particularly limited, but is preferably about 30 ° or more and 60 ° or less. As a result, the above-described effects can be effectively exhibited while enabling the swinging body 31 to swing around the first axis J1. In particular, since the oscillating body 31 is driven by resonance, the tilting of the first imaginary line L1 with respect to the first axis J1 has little influence on the drive, and the oscillating body 31 is moved around the first axis J1. It can be driven smoothly.

以上のような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。 According to the second embodiment as described above, the same effect as that of the first embodiment described above can be exhibited.

なお、本実施形態では、永久磁石３６１の第１仮想線Ｌ１が第１軸Ｊ１に対して傾斜して設けられ、永久磁石３６２の第２仮想線Ｌ２が第２軸Ｊ２に対して直交して設けられているが、反対に、永久磁石３６１の第１仮想線Ｌ１が第１軸Ｊ１に対して直交して設けられ、永久磁石３６２の第２仮想線Ｌ２が第２軸Ｊ２に対して傾斜して設けられていてもよい。また、永久磁石３６１の第１仮想線Ｌ１が第１軸Ｊ１に対して傾斜して設けられ、永久磁石３６２の第２仮想線Ｌ２が第２軸Ｊ２に対して傾斜して設けられていてもよい。この場合は、第１仮想線Ｌ１と第２仮想線Ｌ２が平行となるように永久磁石３６１、３６２を配置することが好ましい。これにより、前述した回転方向の力が発生せず、軸部３１２、３１３や軸部３２２、３２３の破損を効果的に防止することができる。 In the present embodiment, the first virtual line L1 of the permanent magnet 361 is provided to be inclined with respect to the first axis J1, and the second virtual line L2 of the permanent magnet 362 is orthogonal to the second axis J2. In contrast, the first imaginary line L1 of the permanent magnet 361 is provided orthogonal to the first axis J1, and the second imaginary line L2 of the permanent magnet 362 is inclined with respect to the second axis J2. May be provided. Further, even if the first virtual line L1 of the permanent magnet 361 is provided inclined with respect to the first axis J1, and the second virtual line L2 of the permanent magnet 362 is provided inclined with respect to the second axis J2. Good. In this case, it is preferable to arrange the permanent magnets 361 and 362 so that the first virtual line L1 and the second virtual line L2 are parallel. Thereby, the force of the rotation direction mentioned above does not generate | occur | produce, but damage to shaft part 312,313 and shaft part 322,323 can be prevented effectively.

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係るヘッドアップディスプレイついて説明する。 <Third Embodiment>
Next, a head-up display according to a third embodiment of the present invention will be described.

図１１は、本発明の第３実施形態に係るヘッドアップディスプレイを示す斜視図である。 FIG. 11 is a perspective view showing a head-up display according to the third embodiment of the present invention.

図１１に示すように、ヘッドアップディスプレイシステム１０００では、画像表示装置１は、自動車のダッシュボードに、ヘッドアップディスプレイ１１００を構成するよう搭載されている。このヘッドアップディスプレイ１１００により、フロントガラス１２００に、例えば、目的地までの案内表示等の所定の画像を表示することができる。なお、ヘッドアップディスプレイシステム１０００は、自動車に限らず、例えば、航空機、船舶等にも適用することができる。 As shown in FIG. 11, in the head-up display system 1000, the image display device 1 is mounted on a dashboard of an automobile so as to constitute a head-up display 1100. With the head-up display 1100, a predetermined image such as a guidance display to the destination can be displayed on the windshield 1200, for example. Note that the head-up display system 1000 can be applied not only to automobiles but also to aircrafts, ships, and the like.

このような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。 Also according to the third embodiment, the same effects as those of the first embodiment described above can be exhibited.

＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係るヘッドマウントディスプレイついて説明する。 <Fourth embodiment>
Next, a head mounted display according to a fourth embodiment of the present invention will be described.

図１２は、本発明の第４実施形態に係るヘッドマウントディスプレイを示す斜視図である。 FIG. 12 is a perspective view showing a head mounted display according to the fourth embodiment of the present invention.

図１２に示すように、ヘッドマウントディスプレイ２０００は、観察者の頭部に装着されるフレーム２１００と、フレーム２１００に搭載された画像表示装置１とを有している。そして、画像表示装置１により、フレーム２１００の本来レンズである部位に設けられた表示部（光反射層材）２２００に、一方の目で視認される所定の画像を表示する。 As shown in FIG. 12, the head mounted display 2000 includes a frame 2100 attached to the observer's head and the image display device 1 mounted on the frame 2100. Then, the image display device 1 displays a predetermined image visually recognized by one eye on a display unit (light reflecting layer material) 2200 provided in a portion that is originally a lens of the frame 2100.

表示部２２００は、透明であってもよく、また、不透明であってもよい。表示部２２００が透明な場合は、現実世界からの情報に画像表示装置１からの情報を重ねて使用することができる。また、表示部２２００は、入射した光の少なくとも一部を反射すればよく、例えば、ハーフミラー、ホログラム素子などを用いることができる。 Display unit 2200 may be transparent or opaque. When the display unit 2200 is transparent, information from the image display device 1 can be used by being superimposed on information from the real world. The display unit 2200 only needs to reflect at least part of incident light, and for example, a half mirror, a hologram element, or the like can be used.

このような第４実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。 According to the fourth embodiment, the same effect as that of the first embodiment described above can be exhibited.

なお、ヘッドマウントディスプレイ２０００に、２つ画像表示装置１を設け、両方の目で視認される画像を、２つの表示部に表示するようにしてもよい。 Note that the head-mounted display 2000 may be provided with two image display devices 1 so that images viewed with both eyes may be displayed on the two display units.

以上、本発明の光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に他の任意の構成物が付加されていてもよい。 The optical scanner, the image display device, and the head mounted display of the present invention have been described based on the illustrated embodiment. However, the present invention is not limited to this, and the configuration of each part has the same function. Any configuration can be substituted. In addition, any other component may be added to the present invention.

１……画像表示装置
１０……対象物
２……光源ユニット
２１Ｂ、２１Ｇ、２１Ｒ……レーザー光源
２２Ｂ、２２Ｇ、２２Ｒ……駆動回路
２３……光合成部
２３１、２３２……ダイクロイックミラー
２４Ｂ、２４Ｇ、２４Ｒ……コリメータレンズ
２６……集光レンズ
３……光スキャナー
３１……揺動体
３１１……可動部
３１２、３１３……軸部
３１４……反射部
３１４１……保持部
３１４１ａ……基部
３１４１ｂ……柱部
３１４２……ミラー
３１４２ａ……反射面
３２……揺動体
３２１……可動部
３２２、３２３……軸部
３２４……反射部
３２４１……保持部
３２４１ａ……基部
３２４１ｂ……柱部
３２４２……ミラー
３２４２ａ……反射面
３３……支持部
３３１……第１開口
３３２……第２開口
３４……蓋体
３４１……入射窓部
３４２……出射窓部
３５……反射部
３５１……反射面
３６……駆動機構
３６１、３６２……永久磁石
３６３……コイル
１０００……ヘッドアップディスプレイシステム
１１００……ヘッドアップディスプレイ
１２００……フロントガラス
２０００……ヘッドマウントディスプレイ
２１００……フレーム
２２００……表示部
ＬＬ……レーザー光
Ｊ１……第１軸
Ｊ２……第２軸
Ｌ１……第１仮想線
Ｌ２……第２仮想線
Ｓ１、Ｓ２……領域
ＳＬ……走査線
Ｖ、Ｖ１、Ｖ２……駆動電圧
θ１、θ２……傾斜角 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Image display apparatus 10 ... Object 2 ... Light source unit 21B, 21G, 21R ... Laser light source 22B, 22G, 22R ... Drive circuit 23 ... Photosynthesis part 231, 232 ... Dichroic mirror 24B, 24G, 24R …… Collimator lens 26 …… Condenser lens 3 …… Optical scanner 31 …… Oscillator 311 …… Moving part 312, 313 …… Shaft part 314 …… Reflecting part 3141 …… Holding part 3141a …… Base part 3141b …… Column 3142 …… Mirror 3142a …… Reflecting surface 32 …… Oscillator 321 …… Moving part 322,323… Shaft 324 …… Reflecting part 3241 …… Holding part 3241a …… Base 3241b …… Column 3242 …… Mirror 3242a …… Reflecting surface 33 …… Supporting portion 331 …… First opening 332 …… Second opening 34 …… Cover body 341… Incident window part 342... Exiting window part 35... Reflecting part 351... Reflecting surface 36... Drive mechanism 361, 362 ... Permanent magnet 363 ... Coil 1000 ... Head-up display system 1100. ... windshield 2000 ... head mounted display 2100 ... frame 2200 ... display section LL ... laser beam J1 ... first axis J2 ... second axis L1 ... first virtual line L2 ... second virtual line S1 , S2 ... area SL ... scanning lines V, V1, V2 ... drive voltage θ1, θ2 ... inclination angle

Claims

A first movable part;
A first shaft portion that supports the first movable portion so as to be swingable about a first axis;
A first reflecting portion disposed on the first movable portion and having a first reflecting surface for reflecting light;
A second movable part;
A second shaft portion that supports the second movable portion so as to be swingable about a second axis;
A second reflecting portion disposed on the second movable portion and having a second reflecting surface for reflecting light;
A third reflecting portion having a third reflecting surface that reflects the light reflected by the first reflecting surface and makes the light incident on the second reflecting surface;
The first reflecting portion is spaced apart from the first shaft portion and is disposed so as to overlap with at least a part of the first shaft portion in a plan view as viewed from the normal direction of the first reflecting surface.
The second reflecting portion is disposed apart from the second shaft portion and overlaps at least a part of the second shaft portion in a plan view as viewed from the normal direction of the second reflecting surface. An optical scanner characterized by that.

2. The optical scanner according to claim 1, wherein the first reflecting portion is disposed so as to overlap a part or the entire area of the first shaft portion in a plan view as viewed from the normal direction of the first reflecting surface.

3. The optical scanner according to claim 1, wherein the second reflecting portion is disposed so as to overlap the entire area of the second shaft portion in a plan view as viewed from the normal direction of the second reflecting surface.

The said 2nd reflection part has comprised the longitudinal shape extended in the direction in alignment with the said 2nd axis | shaft in the planar view seen from the normal line direction of the said 2nd reflective surface. The optical scanner described.

The first movable part swings around the first axis by resonance driving,
5. The optical scanner according to claim 1, wherein the second movable portion swings around the second axis by non-resonant driving. 6.

The optical scanner according to claim 1, wherein an extending direction of the first shaft portion and an extending direction of the second shaft portion are orthogonal to each other.

The optical scanner according to claim 1, wherein the first movable portion, the first shaft portion, the second movable portion, and the second shaft portion are formed on the same substrate.

The said 3rd reflection part in any one of Claim 1 thru | or 7 which inclines so that the said 3rd reflective surface may face the said 2nd reflective surface side with respect to the said 1st reflective surface in a stationary state. The optical scanner described.

A drive mechanism that swings the first movable part around the first axis and swings the second movable part around the second axis;
The drive mechanism includes a first permanent magnet disposed on the first movable portion, and a second permanent magnet disposed on the second movable portion,
The first imaginary line connecting the magnetic poles of the first permanent magnet intersects the first axis in a plan view viewed from the normal direction of the first reflecting surface,
The second imaginary line connecting the magnetic poles of the second permanent magnet intersects the second axis in a plan view as viewed from the normal direction of the second reflecting surface. The optical scanner according to item 1.

The optical scanner according to claim 9, wherein the first imaginary line is inclined with respect to an extending direction of the first shaft portion.

The optical scanner according to claim 9, wherein the second imaginary line is inclined with respect to an extending direction of the second shaft portion.

The first permanent magnet has crystal magnetic anisotropy,
The optical scanner according to claim 9, wherein an easy magnetization axis of the first permanent magnet is inclined with respect to an extending direction of the first shaft portion.

The second permanent magnet has crystal magnetic anisotropy,
The optical scanner according to claim 9 or 12, wherein an easy magnetization axis of the second permanent magnet is inclined with respect to an extending direction of the second shaft portion.

The first movable part swings around the first axis by resonance driving,
The second movable part swings around the second axis by non-resonant driving,
The optical scanner according to claim 8, wherein the first imaginary line of the first permanent magnet is inclined with respect to the extending direction of the first shaft portion.

An image display apparatus comprising the optical scanner according to claim 1.

An optical scanner according to any one of claims 1 to 14,
A head-mounted display comprising: a frame on which the optical scanner is mounted and which is mounted on an observer's head.