JP2017022207A - 積層型固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の画素部が一方の主面側に形成された第1の基板と、一方の主面側が第1の基板の他方の主面側に対向するように配された第2の基板と、第1の基板の他方の主面側に形成された複数の第1のバンプパッドと、第2の基板の一方の主面側に形成された複数の第2のバンプパッドと、第1の基板の他方の主面側及び第2の基板の一方の主面側のうちの一方に形成され、複数の第1のバンプパッドまたは複数の第2のバンプパッドの各々から電気的に分離された遮光膜とを有し、複数の第1のバンプパッドと複数の第2のバンプパッドとが複数のバンプによってそれぞれ接合されている。
【選択図】図3
Description
そこで、複数画素をまとめたセル毎にマイクロパッドが形成された裏面入射型のMOS型イメージセンサチップと信号処理チップとがマイクロバンプによって接続された半導体モジュールが提案されている(特許文献1)。特許文献1の技術によれば、読み出し回路が列毎で共有されているわけではなく、セル毎で共有されているため、読み出し速度の高速化を実現することが可能である。
以下に、本発明の好ましい実施の形態を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。
第1実施形態による積層型固体撮像素子について図1乃至図4を用いて説明する。図1は、本実施形態による積層型固体撮像素子を示す斜視図である。図2は、本実施形態による積層型固体撮像素子の回路図である。図3は、本実施形態による積層型固体撮像素子の断面図である。図4は、本実施形態による積層型固体撮像素子におけるレイアウトを示す平面図である。なお、図3は、図4のI−I′断面に対応している。
第2実施形態による積層型固体撮像素子を図5及び図6を用いて説明する。図5は、本実施形態による積層型固体撮像素子を示す断面図である。図6は、本実施形態による積層型固体撮像素子におけるレイアウトを示す平面図である。なお、図5は、図6のII−II′断面に対応している。図1乃至図4に示す第1実施形態による積層型固体撮像素子と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
第3実施形態による積層型固体撮像素子を図7及び図8を用いて説明する。図7は、本実施形態による積層型固体撮像素子を示す断面図である。図8は、本実施形態による積層型固体撮像素子のレイアウトを示す平面図である。なお、図7は、図8のIII−III′断面に対応している。図1乃至図6に示す第1又は第2実施形態による積層型固体撮像素子と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
ることが可能である。
11,21…マイクロパッド
12…導電膜
13…フォトダイオード
14…転送スイッチ
15…フローティングディフュージョン部
16…増幅MOSアンプ
17…選択スイッチ
18…リセットスイッチ
19…信号線
20…信号処理部
22…定電流源
23…信号処理回路
30…画素制御回路
100…第1の基板
110…半導体基板
111…画素アレイ
120,220…多層配線構造
121,122,123,221,222,223…配線層
131…マイクロレンズ
132…カラーフィルタ層
133…遮光部材
200…第2の基板
210…半導体基板
Claims (10)
- 複数の画素部を含む画素アレイが一方の主面側に形成された第1の基板と、
一方の主面側が前記第1の基板の他方の主面側に対向するように配された第2の基板と、
前記第1の基板の前記他方の主面側に形成された複数の第1のバンプパッドと、
前記第2の基板の前記一方の主面側に形成された複数の第2のバンプパッドと、
前記第1の基板の前記他方の主面側及び前記第2の基板の前記一方の主面側のうちの一方に形成され、前記複数の第1のバンプパッドまたは前記複数の第2のバンプパッドの各々から電気的に分離された遮光膜とを有し、
前記複数の第1のバンプパッドと前記複数の第2のバンプパッドとが複数のバンプによってそれぞれ接合されている
ことを特徴とする積層型固体撮像素子。 - 前記複数の第1のバンプパッドまたは前記複数の第2のバンプパッドと前記遮光膜とは、同一導電膜をパターニングすることにより形成されていることを特徴とする請求項1に記載の積層型固体撮像素子。
- 前記複数の画素部のうちの複数の第1の画素部と前記遮光膜が前記複数の第1のバンプパッドまたは前記複数の第2のバンプパッドの各々から電気的に分離された複数の分離領域とが平面視においてそれぞれ重なり合い、且つ、前記複数の画素部のうちの複数の第2の画素部と前記複数の分離領域とが平面視においてそれぞれ重なり合わないように、前記複数の分離領域がレイアウトされていることを特徴とする請求項1又は2に記載の積層型固体撮像素子。
- 前記第1の画素部と平面視において重なり合うように配され、第1の透過波長域を有する第1の光学フィルタと、
前記第2の画素部と平面視において重なり合うように配され、前記第1の透過波長域よりも長波長側に位置する第2の透過波長域を有する第2の光学フィルタとを更に有する
ことを特徴とする請求項3に記載の積層型固体撮像素子。 - 赤色のカラーフィルタと緑色のカラーフィルタと青色のカラーフィルタとを含むカラーフィルタ層を更に有し、
前記第1の画素部と前記青色のカラーフィルタとが平面視において重なり合っている
ことを特徴とする請求項3又は4に記載の積層型固体撮像素子。 - シアン色のカラーフィルタとマゼンタ色のカラーフィルタとイエロー色のカラーフィルタとを含むカラーフィルタ層を更に有し、
前記第1の画素部と前記シアン色のカラーフィルタとが平面視において重なり合っている
ことを特徴とする請求項3又は4に記載の積層型固体撮像素子。 - 前記第1の画素部は、レンズ光学系の複数の瞳領域のうちの一部の瞳領域を通過した光束を遮る遮光部が設けられた焦点検出画素である
ことを特徴とする請求項3乃至6のいずれか1項に記載の積層型固体撮像素子。 - 前記第1の画素部は、入射する光束を遮るための遮光部が設けられたオプティカルブラックの画素部である
ことを特徴とする請求項3乃至6のいずれか1項に記載の積層型固体撮像素子。 - 赤色のカラーフィルタと緑色のカラーフィルタと青色のカラーフィルタとを含むカラーフィルタ層を更に有し、
前記第2の画素部と前記赤色のカラーフィルタとが平面視において重なり合っている
ことを特徴とする請求項3又は4に記載の積層型固体撮像素子。 - シアン色のカラーフィルタとマゼンタ色のカラーフィルタとイエロー色のカラーフィルタとを含むカラーフィルタ層を更に有し、
前記第2の画素部と前記イエロー色のカラーフィルタとが平面視において重なり合っている
ことを特徴とする請求項3又は4に記載の積層型固体撮像素子。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20190139215A (ko) * | 2017-04-12 | 2019-12-17 | 소니 세미컨덕터 솔루션즈 가부시키가이샤 | 고체 촬상 소자 |
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-
2015
- 2015-07-08 JP JP2015137027A patent/JP6633850B2/ja active Active
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KR102525714B1 (ko) | 2017-04-12 | 2023-04-26 | 소니 세미컨덕터 솔루션즈 가부시키가이샤 | 고체 촬상 소자 |
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CN111010103A (zh) * | 2019-05-31 | 2020-04-14 | 天津大学 | 带多层突起结构的谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备 |
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