JP2017015983A - 光学製品並びにプラスチックレンズ及び眼鏡 - Google Patents
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Abstract
【課題】シンプルな構成でありながら、優れた反射防止性と高い耐熱性を両立することが可能な光学製品等を提供する。【解決手段】光学製品において、基体の片面又は両面に対し、直接又は中間膜を介して形成された光学多層膜を具備させる。当該光学多層膜は、低屈折率層と高屈折率層が交互となるように合わせて５層以上積層されたものである。当該高屈折率層は、波長が５００ナノメートルである光に係る大気中屈折率が２．１１以上である二酸化ジルコニウム層を含んでいる。そして、当該大気中屈折率が２．１１以上である二酸化ジルコニウム層の物理膜厚の合計は、当該光学多層膜の総物理膜厚の２０パーセント以上となっている。【選択図】図１
Description
本発明は、プラスチックレンズ（サングラスレンズを含む）を始めとする光学製品、及び当該プラスチックレンズを用いた眼鏡（サングラスを含む）に関する。
耐熱性を向上した可視域用プラスチックレンズとして、下記特許文献１のものが知られている。
特許文献１のレンズは、低屈折率層と高屈折率層を交互に積層した７層以上の反射防止膜を備えており、レンズ基材側から第３層目が低屈折率層のＳｉＯ２とされており、第３層目が他の層よりも厚くされることで、可視域での反射率を低くして光学特性を良好にしながら、耐熱性の向上が図られている。
特許文献１のレンズは、低屈折率層と高屈折率層を交互に積層した７層以上の反射防止膜を備えており、レンズ基材側から第３層目が低屈折率層のＳｉＯ２とされており、第３層目が他の層よりも厚くされることで、可視域での反射率を低くして光学特性を良好にしながら、耐熱性の向上が図られている。
特許文献１のものでは、シンプルな構成であり十分な反射防止性能を有しながら耐熱性に優れるものの、更に耐熱性を向上する余地がある。
そこで、本発明は、シンプルな構成でありながら、反射防止性能及び耐熱性能に優れた光学製品，プラスチックレンズ，眼鏡を提供することを目的とするものである。
そこで、本発明は、シンプルな構成でありながら、反射防止性能及び耐熱性能に優れた光学製品，プラスチックレンズ，眼鏡を提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、光学製品にあって、基体の片面又は両面に対し、直接又は中間膜を介して形成された光学多層膜を備えており、前記光学多層膜は、低屈折率層と高屈折率層が交互となるように合わせて５層以上積層されたものであり、前記高屈折率層は、波長が５００ナノメートルである光に係る大気中屈折率が２．１１以上である二酸化ジルコニウム層を含んでおり、前記大気中屈折率が２．１１以上である前記二酸化ジルコニウム層の物理膜厚の合計は、前記光学多層膜の総物理膜厚の２０パーセント以上であることを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明は、上記発明にあって、前記低屈折率層は、波長が５００ナノメートルである光に係る大気中屈折率が１．４７６以上である二酸化シリコン層を含んでいることを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明は、上記発明にあって、前記大気中屈折率が２．１１以上である前記二酸化ジルコニウム層の前記大気中屈折率は、２．１８以下であることを特徴とするものである。
請求項４に記載の発明は、上記発明にあって、前記大気中屈折率が１．４７６以上である前記二酸化シリコン層の前記大気中屈折率は、１．４８４以下であることを特徴とするものである。
請求項５に記載の発明は、上記発明にあって、前記光学多層膜は、二酸化シリコンと二酸化ジルコニウムのみから成ることを特徴とするものである。
請求項６に記載の発明は、上記発明にあって、前記大気中屈折率が２．１１以上である前記二酸化ジルコニウム層及び前記大気中屈折率が１．４７６以上である前記二酸化シリコン層は、イオンアシスト蒸着法により形成されていることを特徴とするものである。
請求項７に記載の発明は、プラスチックレンズにあって、上記発明の光学製品を用いたことを特徴とするものである。
請求項８に記載の発明は、眼鏡にあって、上記発明のプラスチックレンズを用いたことを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明は、上記発明にあって、前記低屈折率層は、波長が５００ナノメートルである光に係る大気中屈折率が１．４７６以上である二酸化シリコン層を含んでいることを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明は、上記発明にあって、前記大気中屈折率が２．１１以上である前記二酸化ジルコニウム層の前記大気中屈折率は、２．１８以下であることを特徴とするものである。
請求項４に記載の発明は、上記発明にあって、前記大気中屈折率が１．４７６以上である前記二酸化シリコン層の前記大気中屈折率は、１．４８４以下であることを特徴とするものである。
請求項５に記載の発明は、上記発明にあって、前記光学多層膜は、二酸化シリコンと二酸化ジルコニウムのみから成ることを特徴とするものである。
請求項６に記載の発明は、上記発明にあって、前記大気中屈折率が２．１１以上である前記二酸化ジルコニウム層及び前記大気中屈折率が１．４７６以上である前記二酸化シリコン層は、イオンアシスト蒸着法により形成されていることを特徴とするものである。
請求項７に記載の発明は、プラスチックレンズにあって、上記発明の光学製品を用いたことを特徴とするものである。
請求項８に記載の発明は、眼鏡にあって、上記発明のプラスチックレンズを用いたことを特徴とするものである。
本発明によれば、シンプルな構成でありながら、優れた反射防止性と高い耐熱性を両立することが可能な光学製品，プラスチックレンズ，眼鏡を提供することができる、という効果を奏する。
以下、本発明に係る実施の形態の例につき、適宜図面を用いて説明する。尚、本発明の形態は、以下のものに限定されない。
本発明に係る光学製品では、基体の片面あるいは両面に対し、光学多層膜が形成されている。
本発明において、基体はどのような材質であっても良く、好ましくは透光性を有する。基体の材料（基材）として、例えばポリウレタン樹脂、チオウレタン樹脂、エピスルフィド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリ４−メチルペンテン−１樹脂、ジエチレングリコールビスアリルカーボネート樹脂、あるいはこれらの組合せを採用することができる。又、屈折率が高く（特に眼鏡レンズ用として）好適なものとして、エピスルフィド基とポリチオール及び／又は含硫黄ポリオールとを付加重合して得られるエピスルフィド樹脂、あるいはこのエピスルフィド樹脂と他の樹脂の組合せを挙げることができる。
本発明において、基体はどのような材質であっても良く、好ましくは透光性を有する。基体の材料（基材）として、例えばポリウレタン樹脂、チオウレタン樹脂、エピスルフィド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリ４−メチルペンテン−１樹脂、ジエチレングリコールビスアリルカーボネート樹脂、あるいはこれらの組合せを採用することができる。又、屈折率が高く（特に眼鏡レンズ用として）好適なものとして、エピスルフィド基とポリチオール及び／又は含硫黄ポリオールとを付加重合して得られるエピスルフィド樹脂、あるいはこのエピスルフィド樹脂と他の樹脂の組合せを挙げることができる。
又、光学多層膜は、適宜下記の特徴を有する。尚、光学多層膜は、両面に形成される場合、好ましくは何れの膜も下記の特徴を有し、更に好ましくは何れの膜も同一の積層構造となるようにする。
即ち、光学多層膜は、低屈折率層と高屈折率層を交互に積層した５層以上の層を有する構造である。最も基体側の層（基体に最も近い層）を１層目とすると、奇数層目が低屈折率層であり、偶数層目が高屈折率層である。
又、低屈折率層は、シリカ（二酸化ケイ素，ＳｉＯ２）を用いて形成され、高屈折率層は、ジルコニア（二酸化ジルコン，ＺｒＯ２）を用いて形成される。
更に、全ての高屈折率層（ジルコニア）の物理膜厚の合計（高屈折率層の総物理膜厚）のうち、波長５００ナノメートル（ｎｍ）の光に係る大気中屈折率が２．１１以上となっているものの物理膜厚の小計が、総物理膜厚の２割（２０パーセント（％））以上となるように、高屈折率層が形成されている。
又更に、低屈折率層（シリカ）は、波長５００ｎｍにおける大気中屈折率が１．４７６以上となっていることが好ましい。
低屈折率層や高屈折率層は、真空蒸着法やイオンアシスト蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタ法等により形成され、形成法や形成時の設定等により、大気中屈折率が変化する。低屈折率層や高屈折率層は、上述の大気中屈折率を容易に得る観点から、好適にはイオンアシストを行う真空蒸着法（イオンアシスト蒸着法）により形成される。
高屈折率層の上記大気中屈折率が２．１１未満となると、主に耐熱性において比較的に劣ることとなる。低屈折率層の上記大気中屈折率が１．４７６未満となった場合も同様である。
高屈折率層の上記大気中屈折率が２．１８を超えると、通常のジルコニアの上記大気中屈折率から比較的に大きく離れることとなり、膜の形成に多大なコストを要するようになる。低屈折率層の上記大気中屈折率が１．４８４を超えた場合も同様である。
即ち、光学多層膜は、低屈折率層と高屈折率層を交互に積層した５層以上の層を有する構造である。最も基体側の層（基体に最も近い層）を１層目とすると、奇数層目が低屈折率層であり、偶数層目が高屈折率層である。
又、低屈折率層は、シリカ（二酸化ケイ素，ＳｉＯ２）を用いて形成され、高屈折率層は、ジルコニア（二酸化ジルコン，ＺｒＯ２）を用いて形成される。
更に、全ての高屈折率層（ジルコニア）の物理膜厚の合計（高屈折率層の総物理膜厚）のうち、波長５００ナノメートル（ｎｍ）の光に係る大気中屈折率が２．１１以上となっているものの物理膜厚の小計が、総物理膜厚の２割（２０パーセント（％））以上となるように、高屈折率層が形成されている。
又更に、低屈折率層（シリカ）は、波長５００ｎｍにおける大気中屈折率が１．４７６以上となっていることが好ましい。
低屈折率層や高屈折率層は、真空蒸着法やイオンアシスト蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタ法等により形成され、形成法や形成時の設定等により、大気中屈折率が変化する。低屈折率層や高屈折率層は、上述の大気中屈折率を容易に得る観点から、好適にはイオンアシストを行う真空蒸着法（イオンアシスト蒸着法）により形成される。
高屈折率層の上記大気中屈折率が２．１１未満となると、主に耐熱性において比較的に劣ることとなる。低屈折率層の上記大気中屈折率が１．４７６未満となった場合も同様である。
高屈折率層の上記大気中屈折率が２．１８を超えると、通常のジルコニアの上記大気中屈折率から比較的に大きく離れることとなり、膜の形成に多大なコストを要するようになる。低屈折率層の上記大気中屈折率が１．４８４を超えた場合も同様である。
本発明において、光学多層膜と基体の間及び光学多層膜の表面の少なくとも一方に、ハードコート膜や防汚膜（撥水膜・撥油膜）等の別種の膜を付加しても良く、光学多層膜を両面に形成する場合には、付加する別種の膜の種類を互いに変えたり、膜の有無を互いに変えたりして良い。
光学多層膜と基体の間に付加する膜として、ハードコート膜を採用する場合、ハードコート膜は、好適には基体の表面にハードコート液を均一に施すことで形成される。
又、ハードコート膜として、好ましくは無機酸化物微粒子を含むオルガノシロキサン系樹脂を用いることができる。オルガノシロキサン系樹脂は、アルコキシシランを加水分解し縮合させることで得られるものが好ましい。又、オルガノシロキサン系樹脂の具体例として、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、エチルシリケート、又はこれらの組合せが挙げられる。これらアルコキシシランの加水分解縮合物は、当該アルコキシシラン化合物あるいはそれらの組合せを、塩酸等の酸性水溶液で加水分解することにより製造される。
一方、無機酸化物微粒子の材質の具体例として、酸化亜鉛、二酸化ケイ素（シリカ微粒子）、酸化アルミニウム、酸化チタン（チタニア微粒子）、酸化ジルコニウム（ジルコニア微粒子）、酸化スズ、酸化ベリリウム、酸化アンチモン、酸化タングステン、酸化セリウムの各ゾルを単独であるいは何れか２種以上を混晶化したものが挙げられる。無機酸化物微粒子の直径は、ハードコート膜の透明性確保の観点から、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましく、１ｎｍ以上５０ｎｍ以下であるとより好ましい。又、無機酸化物微粒子の配合量（濃度）は、ハードコート膜における硬度や強靱性の適切な度合での確保という観点から、ハードコート膜の全成分中の４０重量％（重量パーセント）以上６０重量％以下を占めることが好ましい。加えて、ハードコート液には、硬化触媒としてアセチルアセトン金属塩、及びエチレンジアミン四酢酸金属塩の少なくとも一方等を付加することができ、更に基体に対する密着性確保や形成の容易化、所望の（半）透明色の付与等の必要に応じて界面活性剤、着色剤、溶媒等を添加することができる。
ハードコート膜の物理膜厚は、０．５μｍ（マイクロメートル）以上４．０μｍ以下とすると好ましい。この膜厚範囲の下限については、これより薄いと充分な硬度を得難いことから定まる。一方、上限については、これより厚くするとクラックや脆さの発生等、物性に関する問題の生ずる可能性が飛躍的に高まることから定まる。
更に、ハードコート膜と基体表面の間に、ハードコート膜の密着性を向上する観点からプライマー膜を付加しても良い。プライマー膜の材質として、例えばポリウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、メタクリル樹脂、有機ケイ素系樹脂、又はこれらの組合せが挙げられる。プライマー膜は、好適には基体の表面にプライマー液を均一に施すことで形成される。プライマー液は、水又はアルコール系の溶媒に上記の樹脂材料と無機酸化物微粒子を混合させた液である。
光学多層膜と基体の間に付加する膜として、ハードコート膜を採用する場合、ハードコート膜は、好適には基体の表面にハードコート液を均一に施すことで形成される。
又、ハードコート膜として、好ましくは無機酸化物微粒子を含むオルガノシロキサン系樹脂を用いることができる。オルガノシロキサン系樹脂は、アルコキシシランを加水分解し縮合させることで得られるものが好ましい。又、オルガノシロキサン系樹脂の具体例として、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、エチルシリケート、又はこれらの組合せが挙げられる。これらアルコキシシランの加水分解縮合物は、当該アルコキシシラン化合物あるいはそれらの組合せを、塩酸等の酸性水溶液で加水分解することにより製造される。
一方、無機酸化物微粒子の材質の具体例として、酸化亜鉛、二酸化ケイ素（シリカ微粒子）、酸化アルミニウム、酸化チタン（チタニア微粒子）、酸化ジルコニウム（ジルコニア微粒子）、酸化スズ、酸化ベリリウム、酸化アンチモン、酸化タングステン、酸化セリウムの各ゾルを単独であるいは何れか２種以上を混晶化したものが挙げられる。無機酸化物微粒子の直径は、ハードコート膜の透明性確保の観点から、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましく、１ｎｍ以上５０ｎｍ以下であるとより好ましい。又、無機酸化物微粒子の配合量（濃度）は、ハードコート膜における硬度や強靱性の適切な度合での確保という観点から、ハードコート膜の全成分中の４０重量％（重量パーセント）以上６０重量％以下を占めることが好ましい。加えて、ハードコート液には、硬化触媒としてアセチルアセトン金属塩、及びエチレンジアミン四酢酸金属塩の少なくとも一方等を付加することができ、更に基体に対する密着性確保や形成の容易化、所望の（半）透明色の付与等の必要に応じて界面活性剤、着色剤、溶媒等を添加することができる。
ハードコート膜の物理膜厚は、０．５μｍ（マイクロメートル）以上４．０μｍ以下とすると好ましい。この膜厚範囲の下限については、これより薄いと充分な硬度を得難いことから定まる。一方、上限については、これより厚くするとクラックや脆さの発生等、物性に関する問題の生ずる可能性が飛躍的に高まることから定まる。
更に、ハードコート膜と基体表面の間に、ハードコート膜の密着性を向上する観点からプライマー膜を付加しても良い。プライマー膜の材質として、例えばポリウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、メタクリル樹脂、有機ケイ素系樹脂、又はこれらの組合せが挙げられる。プライマー膜は、好適には基体の表面にプライマー液を均一に施すことで形成される。プライマー液は、水又はアルコール系の溶媒に上記の樹脂材料と無機酸化物微粒子を混合させた液である。
上記の光学製品において、好適には基体はプラスチックレンズ基体であり、光学製品はプラスチックレンズである。又、当該プラスチックレンズを用いて、可視域の光の反射を防止しつつ、耐熱性に優れた眼鏡を比較的低廉に作製することができる。
［実施例Ａ１〜Ａ３及び比較例Ａ１〜Ａ２］
次いで、上記実施形態に係る本発明の実施例Ａ１〜Ａ３、及び本発明に属さない比較例Ａ１〜Ａ２を説明する。尚、本発明の実施形態は、以下の実施例に限定されない。
同種のプラスチックレンズ基体及び中間膜に対し、それぞれ異なる種類の光学多層膜を形成して、プラスチックレンズに係る実施例Ａ１〜Ａ３及び比較例Ａ１〜Ａ２を作製した。中間膜や光学多層膜は、各プラスチックレンズ基体の両面に形成し、同じプラスチックレンズ基体においては各面で同じ膜構成とした。
プラスチックレンズ基体は、何れも眼鏡用プラスチックレンズとして標準的な大きさの円形で度数がＳ−２．００である非球面レンズ基体であり、エピスルフィド樹脂製（屈折率１．７６，アッベ数３１）とした。
又、中間膜は、プライマー液の塗布により形成したプライマー膜及びハードコート液の塗布により形成したハードコート膜とした。
次いで、上記実施形態に係る本発明の実施例Ａ１〜Ａ３、及び本発明に属さない比較例Ａ１〜Ａ２を説明する。尚、本発明の実施形態は、以下の実施例に限定されない。
同種のプラスチックレンズ基体及び中間膜に対し、それぞれ異なる種類の光学多層膜を形成して、プラスチックレンズに係る実施例Ａ１〜Ａ３及び比較例Ａ１〜Ａ２を作製した。中間膜や光学多層膜は、各プラスチックレンズ基体の両面に形成し、同じプラスチックレンズ基体においては各面で同じ膜構成とした。
プラスチックレンズ基体は、何れも眼鏡用プラスチックレンズとして標準的な大きさの円形で度数がＳ−２．００である非球面レンズ基体であり、エピスルフィド樹脂製（屈折率１．７６，アッベ数３１）とした。
又、中間膜は、プライマー液の塗布により形成したプライマー膜及びハードコート液の塗布により形成したハードコート膜とした。
プラスチックレンズ基体に接するプライマー膜は、次のように作製した。
まず、容器中でブロック型のポリイソシアネート（日本ポリウレタン工業株式会社製コロネート２５２９）２５ｇ（グラム）、ポリエステルポリオール（同社製ニッポラン１１００）１８ｇ、エチルセロソルブ１００ｇを混合した。
次いで、酸化スズと酸化タングステンの複合ゾルを１４０ｇ、シリコーン系界面活性剤を０．１５ｇ添加し、十分に攪拌混合してプライマー液を得た。酸化スズと酸化タングステンの複合ゾルは、メタノール分散ゾルであり、平均粒子径が１０ｎｍ以上１５ｎｍ以下の範囲内にあり、重量比率は酸化スズ１００に対して酸化タングステン４０であり、固形分は３０％（パーセント）である。
そして、プラスチックレンズ基体の各面に対し、プライマー液を次のように塗布した。
即ち、スピンコート法によりプライマー液を均一にプラスチックレンズ基体表面に行き渡らせ、１２０℃の環境に０．５時間置くことで、プライマー液を加熱硬化させた。
このようにして形成されたプライマー膜は、何れも物理膜厚が１μｍとなった。
まず、容器中でブロック型のポリイソシアネート（日本ポリウレタン工業株式会社製コロネート２５２９）２５ｇ（グラム）、ポリエステルポリオール（同社製ニッポラン１１００）１８ｇ、エチルセロソルブ１００ｇを混合した。
次いで、酸化スズと酸化タングステンの複合ゾルを１４０ｇ、シリコーン系界面活性剤を０．１５ｇ添加し、十分に攪拌混合してプライマー液を得た。酸化スズと酸化タングステンの複合ゾルは、メタノール分散ゾルであり、平均粒子径が１０ｎｍ以上１５ｎｍ以下の範囲内にあり、重量比率は酸化スズ１００に対して酸化タングステン４０であり、固形分は３０％（パーセント）である。
そして、プラスチックレンズ基体の各面に対し、プライマー液を次のように塗布した。
即ち、スピンコート法によりプライマー液を均一にプラスチックレンズ基体表面に行き渡らせ、１２０℃の環境に０．５時間置くことで、プライマー液を加熱硬化させた。
このようにして形成されたプライマー膜は、何れも物理膜厚が１μｍとなった。
プライマー膜に接するハードコート膜は、次のように作製した。
まず、容器中にメタノール２０６ｇ、メタノール分散チタニア系ゾル（日揮触媒化成株式会社製，固形分３０％）３００ｇ、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン６０ｇ、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン３０ｇ、テトラエトキシシラン６０ｇを混合し、その混合液中に０．０１Ｎ（規定度）の塩酸水溶液を滴下、撹拌して加水分解を行った。次いで、フロー調整剤０．５ｇ及び触媒１．０ｇを加え、室温で十分に撹拌して、ハードコート液を作成した。
ハードコート液は、プライマー膜が形成されたプラスチックレンズ基材の各面に対し、次のように塗布した。
即ち、スピンコート法によりハードコート液を均一に行き渡らせ、１２０℃の環境に１．５時間置くことで、ハードコート液を加熱硬化させた。
このようにして形成されたハードコート膜は、何れも物理膜厚が２．５μｍとなった。
まず、容器中にメタノール２０６ｇ、メタノール分散チタニア系ゾル（日揮触媒化成株式会社製，固形分３０％）３００ｇ、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン６０ｇ、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン３０ｇ、テトラエトキシシラン６０ｇを混合し、その混合液中に０．０１Ｎ（規定度）の塩酸水溶液を滴下、撹拌して加水分解を行った。次いで、フロー調整剤０．５ｇ及び触媒１．０ｇを加え、室温で十分に撹拌して、ハードコート液を作成した。
ハードコート液は、プライマー膜が形成されたプラスチックレンズ基材の各面に対し、次のように塗布した。
即ち、スピンコート法によりハードコート液を均一に行き渡らせ、１２０℃の環境に１．５時間置くことで、ハードコート液を加熱硬化させた。
このようにして形成されたハードコート膜は、何れも物理膜厚が２．５μｍとなった。
光学多層膜は、次の通りに形成した。
実施例Ａ１〜Ａ３及び比較例Ａ１，Ａ２の光学多層膜は、基体に最も近い層を低屈折率層である１層目として、低屈折率層（ＳｉＯ２）と高屈折率層（ＺｒＯ２）を交互に全部で５層蒸着した。これらの光学多層膜における各層の物理膜厚は、何れも次の［表１］に示す通りである。
実施例Ａ１〜Ａ３及び比較例Ａ１，Ａ２の光学多層膜は、基体に最も近い層を低屈折率層である１層目として、低屈折率層（ＳｉＯ２）と高屈折率層（ＺｒＯ２）を交互に全部で５層蒸着した。これらの光学多層膜における各層の物理膜厚は、何れも次の［表１］に示す通りである。
又、これらの光学多層膜において、低屈折率層及び高屈折率層の屈折率を異ならせた。屈折率を上昇させるために、光学多層膜における各層の蒸着時に、イオンアシストを行った。イオンとして、酸素イオン（イオン化した酸素ガス）を用いた。
イオンアシスト照射の有無、ないしイオンアシストの条件を変化させることにより、屈折率が異なることとなる。大要、まずイオンアシストを行った方が屈折率が高くなる。又、イオンアシストを行う場合、例えばイオンアシストの加速電流値を増すと、低屈折率層及び高屈折率層の屈折率が増加する。
これらの光学多層膜におけるイオンアシストの加速電流値並びに低屈折率層及び高屈折率層の波長５００ｎｍの光に係る大気中屈折率は、それぞれ次の［表２］に示す通りである。尚、実施例Ａ１〜Ａ３及び比較例Ａ１，Ａ２の光学多層膜において、同一の例であれば低屈折率層（１，３，５層目）の屈折率は互いに同一であり、高屈折率層（２，４層目）についても同様である。
イオンアシスト照射の有無、ないしイオンアシストの条件を変化させることにより、屈折率が異なることとなる。大要、まずイオンアシストを行った方が屈折率が高くなる。又、イオンアシストを行う場合、例えばイオンアシストの加速電流値を増すと、低屈折率層及び高屈折率層の屈折率が増加する。
これらの光学多層膜におけるイオンアシストの加速電流値並びに低屈折率層及び高屈折率層の波長５００ｎｍの光に係る大気中屈折率は、それぞれ次の［表２］に示す通りである。尚、実施例Ａ１〜Ａ３及び比較例Ａ１，Ａ２の光学多層膜において、同一の例であれば低屈折率層（１，３，５層目）の屈折率は互いに同一であり、高屈折率層（２，４層目）についても同様である。
そして、実施例Ａ１〜Ａ３及び比較例Ａ１，Ａ２について、可視域（例えば波長４００ｎｍ〜７８０ｎｍ）付近の分光反射率分布を測定機により計測すると共に、耐熱性について次に示す耐熱試験により調べた。
即ち、まず６０℃に設定したオーブン内に、実施例Ａ１〜Ａ３及び比較例Ａ１，Ａ２をそれぞれ投入した。投入と共に投入時間の計測を開始し、投入時間が５分間を経過する毎に投入時間の計測を一時停止してオーブンから取り出し、クラックが発生しているか否かを目視で確認した。クラックが発生した時点で、それぞれの耐熱試験を終了した。一方、クラックが発生しない場合には、オーブンに戻して投入時間の計測を再開し、温度毎の投入時間が通算で３０分間に至ると、その温度での投入を終了し、一段階（１０℃）上の温度において、投入時間を最初から計測し直して同様にオーブンに投入した。
即ち、まず６０℃に設定したオーブン内に、実施例Ａ１〜Ａ３及び比較例Ａ１，Ａ２をそれぞれ投入した。投入と共に投入時間の計測を開始し、投入時間が５分間を経過する毎に投入時間の計測を一時停止してオーブンから取り出し、クラックが発生しているか否かを目視で確認した。クラックが発生した時点で、それぞれの耐熱試験を終了した。一方、クラックが発生しない場合には、オーブンに戻して投入時間の計測を再開し、温度毎の投入時間が通算で３０分間に至ると、その温度での投入を終了し、一段階（１０℃）上の温度において、投入時間を最初から計測し直して同様にオーブンに投入した。
実施例Ａ１〜Ａ３の分光反射率分布を［図１］に示し、比較例Ａ１，Ａ２の分光反射率分布を［図２］に示す。又、それぞれの視感反射率を、上記［表２］の右から１番目の列において示す。
何れの例においても、４００〜６９０ｎｍの領域において２％以下の反射率となっている。又、何れの例においても、視感反射率が１．１６％以下と、極めて低くなっている。屈折率の高いエピスルフィド樹脂製の基体（１．７６基体）であっても良好な反射防止性能が付与されている。
又、耐熱試験の結果について、上記［表２］の右から２番目の列において示す。
比較例Ａ１，Ａ２では、９０℃５分，３０分即ち１００℃未満でクラックが入ってしまい、耐熱性が比較的に良好ではない。
これに対し、実施例Ａ１〜Ａ３では、実施例Ａ１で１００℃１０分の結果となり、実施例Ａ２，Ａ３では１００℃３０分，１１０℃３０分の結果となっており、何れも９０℃の試験をクリアして１００℃５分もクリアするという、優れた耐熱性を呈している。
以上によれば、比較例Ａ１，Ａ２は、低屈折率層の大気中屈折率が１．４７６未満であり、高屈折率層の大気中屈折率が２．１１未満であって、十分に反射が防止されるものの、耐熱性能に向上の余地がある。
これに対し、実施例Ａ１〜Ａ３は、低屈折率層の大気中屈折率が１．４７６以上であり、高屈折率層の大気中屈折率が２．１１以上であって、これにより反射が防止されて十分な光学性能を有し、且つ優れた耐熱性能を有するものとなっている。
何れの例においても、４００〜６９０ｎｍの領域において２％以下の反射率となっている。又、何れの例においても、視感反射率が１．１６％以下と、極めて低くなっている。屈折率の高いエピスルフィド樹脂製の基体（１．７６基体）であっても良好な反射防止性能が付与されている。
又、耐熱試験の結果について、上記［表２］の右から２番目の列において示す。
比較例Ａ１，Ａ２では、９０℃５分，３０分即ち１００℃未満でクラックが入ってしまい、耐熱性が比較的に良好ではない。
これに対し、実施例Ａ１〜Ａ３では、実施例Ａ１で１００℃１０分の結果となり、実施例Ａ２，Ａ３では１００℃３０分，１１０℃３０分の結果となっており、何れも９０℃の試験をクリアして１００℃５分もクリアするという、優れた耐熱性を呈している。
以上によれば、比較例Ａ１，Ａ２は、低屈折率層の大気中屈折率が１．４７６未満であり、高屈折率層の大気中屈折率が２．１１未満であって、十分に反射が防止されるものの、耐熱性能に向上の余地がある。
これに対し、実施例Ａ１〜Ａ３は、低屈折率層の大気中屈折率が１．４７６以上であり、高屈折率層の大気中屈折率が２．１１以上であって、これにより反射が防止されて十分な光学性能を有し、且つ優れた耐熱性能を有するものとなっている。
［実施例Ｂ１及び比較例Ｂ１］
実施例Ａ１等に対し、蒸着時のイオンアシストにおけるイオンを酸素ガスに係るものからアルゴンガスと酸素ガスの混合（流量比２：１）に代えた他は、中間膜や物理膜厚含め同様である実施例Ｂ１及び比較例Ｂ１を作成した。
イオンアシストの加速電流値の調整により、次の［表３］に示すように、実施例Ｂ１における低屈折率層の大気中屈折率（波長５００ｎｍ）は１．４８０となり、高屈折率層の大気中屈折率（波長５００ｎｍ）は２．１１となった。又、比較例Ｂ１における低屈折率層の大気中屈折率は１．４７５となり、高屈折率層の大気中屈折率は２．０７となった。
実施例Ａ１等に対し、蒸着時のイオンアシストにおけるイオンを酸素ガスに係るものからアルゴンガスと酸素ガスの混合（流量比２：１）に代えた他は、中間膜や物理膜厚含め同様である実施例Ｂ１及び比較例Ｂ１を作成した。
イオンアシストの加速電流値の調整により、次の［表３］に示すように、実施例Ｂ１における低屈折率層の大気中屈折率（波長５００ｎｍ）は１．４８０となり、高屈折率層の大気中屈折率（波長５００ｎｍ）は２．１１となった。又、比較例Ｂ１における低屈折率層の大気中屈折率は１．４７５となり、高屈折率層の大気中屈折率は２．０７となった。
実施例Ｂ１等についても、分光反射率分布の測定と耐熱試験を行った。
実施例Ｂ１の分光反射率分布を［図３］に示し、比較例Ｂ１の分光反射率分布を［図４］に示す。又、実施例Ｂ１等の視感反射率を上記［表３］の右から１番目の列に示し、耐熱試験の結果を、上記［表３］の右から２番目の列に示す。
実施例Ｂ１及び比較例Ｂ１共に、４００〜７２０ｎｍの波長域を通じて反射率が２％であり、視感反射率も１％以下であって、優れた光学性能を呈している。
耐熱性能について、比較例Ｂ１では１００℃５分即ち１００℃の最初のテストでクラックが入ってしまい比較的に劣るが、実施例Ｂ１では１００℃３０分に耐え１１０℃５分でテスト終了となり、優れた耐熱性能を具備している。
そして、実施例Ａ１〜Ａ３と実施例Ｂ１から、成膜時のイオンアシストにおけるイオン（導入ガス）の種類が酸素ガスであっても又アルゴンガスと酸素ガスの混合ガスであっても、光学性能と耐熱性能の両立を図ることができ、導入ガス（イオン）の種類ではなく各層の大気中屈折率の高さが重要であることが分かる。大気中屈折率が所定値以上となると、膜の密度がより高い状態で形成され、光学性能を犠牲にせずに耐熱性が向上しているものと考察される。
実施例Ｂ１の分光反射率分布を［図３］に示し、比較例Ｂ１の分光反射率分布を［図４］に示す。又、実施例Ｂ１等の視感反射率を上記［表３］の右から１番目の列に示し、耐熱試験の結果を、上記［表３］の右から２番目の列に示す。
実施例Ｂ１及び比較例Ｂ１共に、４００〜７２０ｎｍの波長域を通じて反射率が２％であり、視感反射率も１％以下であって、優れた光学性能を呈している。
耐熱性能について、比較例Ｂ１では１００℃５分即ち１００℃の最初のテストでクラックが入ってしまい比較的に劣るが、実施例Ｂ１では１００℃３０分に耐え１１０℃５分でテスト終了となり、優れた耐熱性能を具備している。
そして、実施例Ａ１〜Ａ３と実施例Ｂ１から、成膜時のイオンアシストにおけるイオン（導入ガス）の種類が酸素ガスであっても又アルゴンガスと酸素ガスの混合ガスであっても、光学性能と耐熱性能の両立を図ることができ、導入ガス（イオン）の種類ではなく各層の大気中屈折率の高さが重要であることが分かる。大気中屈折率が所定値以上となると、膜の密度がより高い状態で形成され、光学性能を犠牲にせずに耐熱性が向上しているものと考察される。
［実施例Ｃ１〜Ｃ４及び比較例Ｃ１〜Ｃ４］
実施例Ａ１等と同様に基体及び中間膜を形成し、更に、次の［表４］に示す膜構成１〜４に係る光学多層膜を形成して、実施例Ｃ１〜Ｃ４を作製した。膜構成１は５層構造であって、基体に最も近い側を低屈折率層である１層目として、各層の物理膜厚は［表４］に示す通りである。又、膜構成２〜３も同様に［表４］の物理膜厚の組を有する５層構造である。更に、膜構成４は［表４］の物理膜厚の組を有する７層構造である。実施例Ｃ１〜Ｃ４の低屈折率層及び高屈折率層は実施例Ａ１のイオンアシスト条件と同等の条件下で成膜し、次の［表５］に示す通り、低屈折率層の大気中屈折率は、何れも１．４７６となるようにし、高屈折率層の大気中屈折率は、何れも２．１１となるようにした。
他方、実施例Ｃ１〜Ｃ４に対して、低屈折率層と高屈折率層の大気中屈折率のみ変化させて、比較例Ｃ１〜Ｃ４を作製した。比較例Ｃ１〜Ｃ４の低屈折率層及び高屈折率層は比較例Ａ１のイオンアシスト条件と同等の条件下で成膜し、次の［表６］に示す通り、低屈折率層の大気中屈折率は、何れも１．４６９となるようにし、高屈折率層の大気中屈折率は、何れも２．０４となるようにした。
実施例Ａ１等と同様に基体及び中間膜を形成し、更に、次の［表４］に示す膜構成１〜４に係る光学多層膜を形成して、実施例Ｃ１〜Ｃ４を作製した。膜構成１は５層構造であって、基体に最も近い側を低屈折率層である１層目として、各層の物理膜厚は［表４］に示す通りである。又、膜構成２〜３も同様に［表４］の物理膜厚の組を有する５層構造である。更に、膜構成４は［表４］の物理膜厚の組を有する７層構造である。実施例Ｃ１〜Ｃ４の低屈折率層及び高屈折率層は実施例Ａ１のイオンアシスト条件と同等の条件下で成膜し、次の［表５］に示す通り、低屈折率層の大気中屈折率は、何れも１．４７６となるようにし、高屈折率層の大気中屈折率は、何れも２．１１となるようにした。
他方、実施例Ｃ１〜Ｃ４に対して、低屈折率層と高屈折率層の大気中屈折率のみ変化させて、比較例Ｃ１〜Ｃ４を作製した。比較例Ｃ１〜Ｃ４の低屈折率層及び高屈折率層は比較例Ａ１のイオンアシスト条件と同等の条件下で成膜し、次の［表６］に示す通り、低屈折率層の大気中屈折率は、何れも１．４６９となるようにし、高屈折率層の大気中屈折率は、何れも２．０４となるようにした。
実施例Ｃ１等についても、分光反射率分布の測定と耐熱試験を行った。
実施例Ｃ１〜Ｃ４の分光反射率分布を［図５］に示し、比較例Ｃ１〜Ｃ４の分光反射率分布を［図６］に示す。又、実施例Ｃ１〜Ｃ４，比較例Ｃ１〜Ｃ４の視感反射率を上記［表４］，［表５］の下から１番目の行に示し、耐熱試験の結果を、上記［表４］，［表５］の下から２番目の行に示す。尚、実施例Ｃ１〜Ｃ４及び比較例Ｃ１〜Ｃ４に係る耐熱試験の結果は、１００℃５分においてもクラックが発生しないもの（試験結果が１００℃１０分以上のもの）を「○」として示し、１００℃５分以前にクラックが発生したもの（試験結果が１００℃５分以下のもの）を「×」として示した。
実施例Ｃ１〜Ｃ４，比較例Ｃ１〜Ｃ４において、何れも４３５〜６５０ｎｍの波長域で反射率が３％以下であり、視感反射率は１．２３％以下であって、十分な反射防止性能が表われている。
耐熱性能については、比較例Ｃ１〜Ｃ４は何れも１００℃５分をクリアできていない（×）一方、実施例Ｃ１〜Ｃ４は何れも１００℃５分をクリアできている（○）。
よって、比較例Ｃ１〜Ｃ４に対して、実施例Ｃ１〜Ｃ４は、十分な光学性能を有しながら、耐熱性にも優れたものとなる。
比較例Ｃ１〜Ｃ４は、順に膜構成１〜４を有しており、互いに異なる多彩な膜構成を有しているが、低屈折率層の大気中屈折率が何れも１．４６９であり、高屈折率層の大気中屈折率が２．０４であることは共通しており、これによって耐熱性能が比較的に劣る。
これに対し、実施例Ｃ１〜Ｃ４は、順に膜構成１〜４を有しており互いに異なる多彩な膜構成を有しているが、低屈折率層の大気中屈折率が何れも１．４７６であり、高屈折率層の大気中屈折率が２．１１であって、これにより何れの膜構成であっても耐熱性能が向上している。
実施例Ｃ１〜Ｃ４の分光反射率分布を［図５］に示し、比較例Ｃ１〜Ｃ４の分光反射率分布を［図６］に示す。又、実施例Ｃ１〜Ｃ４，比較例Ｃ１〜Ｃ４の視感反射率を上記［表４］，［表５］の下から１番目の行に示し、耐熱試験の結果を、上記［表４］，［表５］の下から２番目の行に示す。尚、実施例Ｃ１〜Ｃ４及び比較例Ｃ１〜Ｃ４に係る耐熱試験の結果は、１００℃５分においてもクラックが発生しないもの（試験結果が１００℃１０分以上のもの）を「○」として示し、１００℃５分以前にクラックが発生したもの（試験結果が１００℃５分以下のもの）を「×」として示した。
実施例Ｃ１〜Ｃ４，比較例Ｃ１〜Ｃ４において、何れも４３５〜６５０ｎｍの波長域で反射率が３％以下であり、視感反射率は１．２３％以下であって、十分な反射防止性能が表われている。
耐熱性能については、比較例Ｃ１〜Ｃ４は何れも１００℃５分をクリアできていない（×）一方、実施例Ｃ１〜Ｃ４は何れも１００℃５分をクリアできている（○）。
よって、比較例Ｃ１〜Ｃ４に対して、実施例Ｃ１〜Ｃ４は、十分な光学性能を有しながら、耐熱性にも優れたものとなる。
比較例Ｃ１〜Ｃ４は、順に膜構成１〜４を有しており、互いに異なる多彩な膜構成を有しているが、低屈折率層の大気中屈折率が何れも１．４６９であり、高屈折率層の大気中屈折率が２．０４であることは共通しており、これによって耐熱性能が比較的に劣る。
これに対し、実施例Ｃ１〜Ｃ４は、順に膜構成１〜４を有しており互いに異なる多彩な膜構成を有しているが、低屈折率層の大気中屈折率が何れも１．４７６であり、高屈折率層の大気中屈折率が２．１１であって、これにより何れの膜構成であっても耐熱性能が向上している。
［実施例Ｄ１〜Ｄ２及び比較例Ｄ１〜Ｄ２］
実施例Ａ１等と同様に基材及び中間膜を形成し、更に各層の大気中屈折率を除き実施例Ａ１等と同様に光学多層膜を形成して、実施例Ｄ１〜Ｄ２及び比較例Ｄ１〜Ｄ２を作成した。
実施例Ｄ１〜Ｄ２ないし比較例Ｄ１〜Ｄ２における１層目から５層目の大気中屈折率（波長５００ｎｍ）につき、以下の［表７］に示す。［表７］において、「○」が付いている層は実施例Ａ１と同様のイオンアシスト条件で成膜を行い、低屈折率層の場合は大気中屈折率が１．４７６であり、高屈折率層の場合は大気中屈折率が２．１１である。「○」が付されていない層は比較例Ａ１と同様のイオンアシスト条件で成膜を行い、低屈折率層の場合は大気中屈折率が１．４６９であり、高屈折率層の場合は大気中屈折率が２．０４である。又、［表７］において、「○」の付された層の物理膜厚の合計を「所定の屈折率を満たしている膜厚」として示し、更にこの膜厚の、１〜５層目を総計した膜厚に対する割合を「所定の屈折率を満たしている膜厚／総膜厚」として示した。
実施例Ａ１等と同様に基材及び中間膜を形成し、更に各層の大気中屈折率を除き実施例Ａ１等と同様に光学多層膜を形成して、実施例Ｄ１〜Ｄ２及び比較例Ｄ１〜Ｄ２を作成した。
実施例Ｄ１〜Ｄ２ないし比較例Ｄ１〜Ｄ２における１層目から５層目の大気中屈折率（波長５００ｎｍ）につき、以下の［表７］に示す。［表７］において、「○」が付いている層は実施例Ａ１と同様のイオンアシスト条件で成膜を行い、低屈折率層の場合は大気中屈折率が１．４７６であり、高屈折率層の場合は大気中屈折率が２．１１である。「○」が付されていない層は比較例Ａ１と同様のイオンアシスト条件で成膜を行い、低屈折率層の場合は大気中屈折率が１．４６９であり、高屈折率層の場合は大気中屈折率が２．０４である。又、［表７］において、「○」の付された層の物理膜厚の合計を「所定の屈折率を満たしている膜厚」として示し、更にこの膜厚の、１〜５層目を総計した膜厚に対する割合を「所定の屈折率を満たしている膜厚／総膜厚」として示した。
実施例Ｄ１は、実施例Ａ１と同等であって、光学多層膜の総膜厚３５０ｎｍ中、全ての層が所定の屈折率を満たしており、所定の屈折率を満たしている膜厚の合計は３５０ｎｍであり、割合は１００％である。
実施例Ｄ２は、高屈折率層の２，４層目が所定の屈折率を満たしており、全低屈折率層が所定の屈折率を満たしておらず、所定の屈折率を満たしている膜厚の合計は７０ｎｍであって、割合は２０％である。
比較例Ｄ１は、低屈折率層の５層目が所定の屈折率を満たしており、１〜４層目は所定の屈折率を満たしておらず、所定の屈折率を満たしている膜厚の合計は９５ｎｍであって、割合は２７％である。
比較例Ｄ２は、高屈折率層の４層目が所定の屈折率を満たしており、１，２，３，５層目は所定の屈折率を満たしておらず、所定の屈折率を満たしている膜厚の合計は３０ｎｍであって、割合は１１％である。
実施例Ｄ２は、高屈折率層の２，４層目が所定の屈折率を満たしており、全低屈折率層が所定の屈折率を満たしておらず、所定の屈折率を満たしている膜厚の合計は７０ｎｍであって、割合は２０％である。
比較例Ｄ１は、低屈折率層の５層目が所定の屈折率を満たしており、１〜４層目は所定の屈折率を満たしておらず、所定の屈折率を満たしている膜厚の合計は９５ｎｍであって、割合は２７％である。
比較例Ｄ２は、高屈折率層の４層目が所定の屈折率を満たしており、１，２，３，５層目は所定の屈折率を満たしておらず、所定の屈折率を満たしている膜厚の合計は３０ｎｍであって、割合は１１％である。
実施例Ｄ１〜Ｄ２等についても、分光反射率分布の測定と耐熱試験を行った。
実施例Ｄ１〜Ｄ２の分光反射率分布を［図７］に示し、比較例Ｄ１〜Ｄ２の分光反射率分布を［図８］に示す。又、実施例Ｄ１〜Ｄ２，比較例Ｄ１〜Ｄ２の視感反射率を上記［表７］の下から１番目の行に示し、耐熱試験の結果を、上記［表７］の下から２番目の行に示す。尚、実施例Ｄ１〜Ｄ２，比較例Ｄ１〜Ｄ２に係る耐熱試験の結果は、実施例Ｃ１等と同様に示す。
実施例Ｄ１〜Ｄ２，比較例Ｄ１〜Ｄ２において、何れも４００〜７２０ｎｍの波長域で反射率が２．５％以下であり、視感反射率は１．２３％以下であって、何れも十分な反射防止性能を具備していることが分かる。
耐熱性能については、実施例Ｄ１は総膜厚に対する所定の屈折率を満たした膜厚の割合が１００％であり、１００℃５分をクリアできている（○）。又、実施例Ｄ２は、高屈折率層のみ所定の屈折率を満たし、総膜厚に対する所定の屈折率を満たした膜厚の割合が２０％で、１００℃５分をクリアできている（○）。
他方、比較例１は、低屈折率層の５層目のみ所定の屈折率を満たし、総膜厚に対する所定の屈折率を満たした膜厚の割合が２７％であって２０％以上であるが、１００℃５分をクリアできていない（×）。又、比較例Ｄ２は、高屈折率層の４層目のみ所定の屈折率を満たし、総膜厚に対する所定の屈折率を満たした膜厚の割合が１１％であって２０％未満であり、１００℃５分をクリアできていない（×）。
以上のことから、実施例Ｄ２のように、高屈折率層が所定の屈折率を満たしつつ上記割合が２０％以上となるようにすれば、光学性能と耐熱性能の両立を図ることができる。一方で、比較例Ｄ１のように、低屈折率層が所定の屈折率を満たすようにしつつ上記割合を２０％以上（２７％）としても、十分な耐熱性が得られない。更に、比較例Ｄ２のように、高屈折率層が所定の屈折率を満たすようにしても上記割合が２０％未満（１１％）であれば、十分な耐熱性が得られない。即ち、光学性能と十分な耐熱性との両立には、少なくとも、大気中屈折率が２．１１以上である高屈折率層（ジルコニア）の物理膜厚が、総物理膜厚の２０％以上となるように、高屈折率層が形成されることが必要であり、低屈折率層（シリカ）の大気中屈折率を１．４７６以上とすることは好ましいが必須ではない。
尚、光学性能と十分な耐熱性とが両立している実施例Ａ１〜Ｄ２は、何れも大気中屈折率が２．１１以上である高屈折率層（ジルコニア）の物理膜厚が、光学多層膜の総物理膜厚の２０％以上を占めるように形成されている。
実施例Ｄ１〜Ｄ２の分光反射率分布を［図７］に示し、比較例Ｄ１〜Ｄ２の分光反射率分布を［図８］に示す。又、実施例Ｄ１〜Ｄ２，比較例Ｄ１〜Ｄ２の視感反射率を上記［表７］の下から１番目の行に示し、耐熱試験の結果を、上記［表７］の下から２番目の行に示す。尚、実施例Ｄ１〜Ｄ２，比較例Ｄ１〜Ｄ２に係る耐熱試験の結果は、実施例Ｃ１等と同様に示す。
実施例Ｄ１〜Ｄ２，比較例Ｄ１〜Ｄ２において、何れも４００〜７２０ｎｍの波長域で反射率が２．５％以下であり、視感反射率は１．２３％以下であって、何れも十分な反射防止性能を具備していることが分かる。
耐熱性能については、実施例Ｄ１は総膜厚に対する所定の屈折率を満たした膜厚の割合が１００％であり、１００℃５分をクリアできている（○）。又、実施例Ｄ２は、高屈折率層のみ所定の屈折率を満たし、総膜厚に対する所定の屈折率を満たした膜厚の割合が２０％で、１００℃５分をクリアできている（○）。
他方、比較例１は、低屈折率層の５層目のみ所定の屈折率を満たし、総膜厚に対する所定の屈折率を満たした膜厚の割合が２７％であって２０％以上であるが、１００℃５分をクリアできていない（×）。又、比較例Ｄ２は、高屈折率層の４層目のみ所定の屈折率を満たし、総膜厚に対する所定の屈折率を満たした膜厚の割合が１１％であって２０％未満であり、１００℃５分をクリアできていない（×）。
以上のことから、実施例Ｄ２のように、高屈折率層が所定の屈折率を満たしつつ上記割合が２０％以上となるようにすれば、光学性能と耐熱性能の両立を図ることができる。一方で、比較例Ｄ１のように、低屈折率層が所定の屈折率を満たすようにしつつ上記割合を２０％以上（２７％）としても、十分な耐熱性が得られない。更に、比較例Ｄ２のように、高屈折率層が所定の屈折率を満たすようにしても上記割合が２０％未満（１１％）であれば、十分な耐熱性が得られない。即ち、光学性能と十分な耐熱性との両立には、少なくとも、大気中屈折率が２．１１以上である高屈折率層（ジルコニア）の物理膜厚が、総物理膜厚の２０％以上となるように、高屈折率層が形成されることが必要であり、低屈折率層（シリカ）の大気中屈折率を１．４７６以上とすることは好ましいが必須ではない。
尚、光学性能と十分な耐熱性とが両立している実施例Ａ１〜Ｄ２は、何れも大気中屈折率が２．１１以上である高屈折率層（ジルコニア）の物理膜厚が、光学多層膜の総物理膜厚の２０％以上を占めるように形成されている。
［まとめ等］
実施例Ａ１〜Ｄ２のように、大気中屈折率（波長５００ｎｍ）が２．１１以上である高屈折率層の物理膜厚が光学多層膜の総物理膜厚の２０％以上を占めるように、光学多層膜が形成されていると、光学多層膜において光学性能と耐熱性能を共に高水準となる状態で両立することが可能となる。尚、光学多層膜において、低屈折率層と高屈折率層の合計が５層未満となると、優れた反射防止性能を維持することが困難となる。又、低屈折率層と高屈折率層の合計は、５層でも良いし、６層でも良いし、７層でも良いし、それ以上でも良いが、光学多層膜の形成の容易さやコストの観点から、２０層以下とするのが好ましく、７層以下とするのが更に好ましい。
更に、低屈折率層と高屈折率層について所定の大気中屈折率（低屈折率層の場合１．４７６以上，高屈折率層の場合２．１１以上）を満たすように形成すれば、極めて形成容易な状態で光学性能と耐熱性能が高次元で両立した光学多層膜を有する光学製品を提供することができる。
当該所定の大気中屈折率を低コストで実現するために、低屈折率層や高屈折率層は、イオンアシスト蒸着により形成されていることが好ましい。
又、低屈折率層や高屈折率層の大気中屈折率を上げていくことには、実現困難な蒸着条件若しくは形成手法又はコストの観点から限界が存在し、低屈折率層において１．４８４以下であり、又高屈折率層において２．１８以下であると、実現容易な蒸着条件ないし形成手法となり、コストも現実的なものとなる。
実施例Ａ１〜Ｄ２のプラスチックレンズを用いて、可視域の反射防止性と耐熱性を両立した眼鏡を作製することができる。
実施例Ａ１〜Ｄ２のように、大気中屈折率（波長５００ｎｍ）が２．１１以上である高屈折率層の物理膜厚が光学多層膜の総物理膜厚の２０％以上を占めるように、光学多層膜が形成されていると、光学多層膜において光学性能と耐熱性能を共に高水準となる状態で両立することが可能となる。尚、光学多層膜において、低屈折率層と高屈折率層の合計が５層未満となると、優れた反射防止性能を維持することが困難となる。又、低屈折率層と高屈折率層の合計は、５層でも良いし、６層でも良いし、７層でも良いし、それ以上でも良いが、光学多層膜の形成の容易さやコストの観点から、２０層以下とするのが好ましく、７層以下とするのが更に好ましい。
更に、低屈折率層と高屈折率層について所定の大気中屈折率（低屈折率層の場合１．４７６以上，高屈折率層の場合２．１１以上）を満たすように形成すれば、極めて形成容易な状態で光学性能と耐熱性能が高次元で両立した光学多層膜を有する光学製品を提供することができる。
当該所定の大気中屈折率を低コストで実現するために、低屈折率層や高屈折率層は、イオンアシスト蒸着により形成されていることが好ましい。
又、低屈折率層や高屈折率層の大気中屈折率を上げていくことには、実現困難な蒸着条件若しくは形成手法又はコストの観点から限界が存在し、低屈折率層において１．４８４以下であり、又高屈折率層において２．１８以下であると、実現容易な蒸着条件ないし形成手法となり、コストも現実的なものとなる。
実施例Ａ１〜Ｄ２のプラスチックレンズを用いて、可視域の反射防止性と耐熱性を両立した眼鏡を作製することができる。
Claims (8)
- 基体の片面又は両面に対し、直接又は中間膜を介して形成された光学多層膜を備えており、
前記光学多層膜は、低屈折率層と高屈折率層が交互となるように合わせて５層以上積層されたものであり、
前記高屈折率層は、波長が５００ナノメートルである光に係る大気中屈折率が２．１１以上である二酸化ジルコニウム層を含んでおり、
前記大気中屈折率が２．１１以上である前記二酸化ジルコニウム層の物理膜厚の合計は、前記光学多層膜の総物理膜厚の２０パーセント以上である
ことを特徴とする光学製品。 - 前記低屈折率層は、波長が５００ナノメートルである光に係る大気中屈折率が１．４７６以上である二酸化シリコン層を含んでいる
ことを特徴とする請求項１に記載の光学製品。 - 前記大気中屈折率が２．１１以上である前記二酸化ジルコニウム層の前記大気中屈折率は、２．１８以下である
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学製品。 - 前記大気中屈折率が１．４７６以上である前記二酸化シリコン層の前記大気中屈折率は、１．４８４以下である
ことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の光学製品。 - 前記光学多層膜は、二酸化シリコンと二酸化ジルコニウムのみから成る
ことを特徴とする請求項１ないし請求項４の何れかに記載の光学製品。 - 前記大気中屈折率が２．１１以上である前記二酸化ジルコニウム層及び前記大気中屈折率が１．４７６以上である前記二酸化シリコン層は、イオンアシスト蒸着法により形成されている
ことを特徴とする請求項２ないし請求項５の何れかに記載の光学製品。 - 請求項１ないしは請求項６の何れかに記載の光学製品を用いた
ことを特徴とするプラスチックレンズ。 - 請求項７に記載のプラスチックレンズを用いた
ことを特徴とする眼鏡。
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