JP2017014962A - ベローズポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
該ポンプケース内に配置されたベローズであって、該流体が該吸入流路から吸入用逆止弁を介して吸入されかつ該流体が吐出用逆止弁を介して該吐出流路に吐出され、そして該吸入流路からの該流体の吸入と該吐出流路への該流体の吐出との切換えに応じて伸縮可能である、ベローズ;と
該ベローズを伸縮させるための駆動装置;と
該ポンプケースの内面と該ベローズの底部構造との間の該ポンプケースの内面および/または該ベローズの底部構造に設けられた緩衝体;と
を備え、
該ベローズの伸縮のための切換えが、該緩衝体を介した該ポンプケース内面と該ベローズの該底部構造との衝合後に行われる、ベローズポンプである。
110 空気室
111,211 吸入流路
112,212 吐出流路
113,213 ポンプボディ
114,214 中間カバー
115,215,215’ 端部カバー
116 吸入用逆止弁
118 吐出用逆止弁
119 配管
120,220 ポンプケース
121 給排気孔
130(130a,130b) ベローズ
135 可動フランジ
140 底部構造
141 動作板
142 押え板
143 固定部材
150,250 連結棒
170,270 近接センサ
180,280 緩衝体
181 窪み
221 流路
230 ピストン収容区画
232 センサピース
271 第1給排気孔
272 第2給排気孔
700 駆動装置
710 圧縮供給装置
720 切換弁
740 制御装置
Claims (8)
- 流体を吸入するための吸入流路と該流体を吐出するための吐出流路とを有する、ポンプケース;と
該ポンプケース内に配置されたベローズであって、該流体が該吸入流路から吸入用逆止弁を介して吸入されかつ該流体が吐出用逆止弁を介して該吐出流路に吐出され、そして該吸入流路からの該流体の吸入と該吐出流路への該流体の吐出との切換えに応じて伸縮可能である、ベローズ;と
該ベローズを伸縮させるための駆動装置;と
該ポンプケースの内面と該ベローズの底部構造との間の該ポンプケースの内面および/または該ベローズの底部構造に設けられた緩衝体;と
を備え、
該ベローズの伸縮のための切換えが、該緩衝体を介した該ポンプケース内面と該ベローズの該底部構造との衝合後に行われる、ベローズポンプ。 - 前記緩衝体が、ゴム、発泡樹脂、板バネ、空気ダンパ、油圧ダンパ、およびコイルバネからなる群から選択される少なくとも1種の弾性構造体である、請求項1に記載のベローズポンプ。
- 前記緩衝体が、前記ポンプケースの内面側に設けられている、請求項1または2に記載のベローズポンプ。
- 前記緩衝体が、前記ポンプケースの内面に設けられた窪みの中に、その一部が該窪みから突出するように設けられている、請求項3に記載のベローズポンプ。
- 前記窪みが前記ポンプケース内面において環状に設けられており、そして前記緩衝体が、該環状の窪みに対応するOリングである、請求項4に記載のベローズポンプ。
- 前記緩衝体が、前記ベローズの底部構造側に設けられている、請求項1または2に記載のベローズポンプ。
- 前記緩衝体が、前記ベローズの底部構造に設けられた窪みの中に、その一部が該窪みから突出するように設けられている、請求項6に記載のベローズポンプ。
- 前記窪みが前記ベローズの底部構造において環状に設けられており、そして前記緩衝体が、該環状の窪みに対応するOリングである、請求項7に記載のベローズポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015131261A JP6530981B2 (ja) | 2015-06-30 | 2015-06-30 | ベローズポンプ |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015131261A JP6530981B2 (ja) | 2015-06-30 | 2015-06-30 | ベローズポンプ |
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JP6530981B2 JP6530981B2 (ja) | 2019-06-12 |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6530981B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023139832A1 (ja) * | 2022-01-20 | 2023-07-27 | 日本ピラー工業株式会社 | ベローズポンプ装置 |
Citations (2)
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---|---|---|---|---|
US20080111095A1 (en) * | 2006-11-15 | 2008-05-15 | Ckd Corporation | Vacuum valve |
JP2015113785A (ja) * | 2013-12-12 | 2015-06-22 | 日本ピラー工業株式会社 | ベローズポンプ |
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- 2015-06-30 JP JP2015131261A patent/JP6530981B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2008121859A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Ckd Corp | 真空弁 |
JP2015113785A (ja) * | 2013-12-12 | 2015-06-22 | 日本ピラー工業株式会社 | ベローズポンプ |
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WO2023139832A1 (ja) * | 2022-01-20 | 2023-07-27 | 日本ピラー工業株式会社 | ベローズポンプ装置 |
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JP6530981B2 (ja) | 2019-06-12 |
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