[第1実施形態]
まず、本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。
図1に、第1実施形態に係るベローズポンプ1の断面図を示す。図2に、前記ベローズポンプ1において吸入行程が開始された時点の第1ポンプ部2Aの断面図を示す。図3に、前記ベローズポンプ1において吸入行程から吐出行程に切り替わった時点の前記第1ポンプ部2Aの断面図を示す。なお、図1において、矢印X1は前記ベローズポンプ1の左右方向左側を指し、矢印X2は前記ベローズポンプ1の左右方向右側を指している。
第1実施形態に係る前記ベローズポンプ1は、その左右方向に並設された前記第1ポンプ部2Aおよび第2ポンプ部2Bを有する複胴型ベローズポンプ(往復動ポンプ)である。前記第1ポンプ部2Aおよび前記第2ポンプ部2Bは、実質的に左右対称構造となっているので、以下では主として前記第1ポンプ部2Aについて説明し、適宜前記第2ポンプ部2Bについて説明する。
図1、図2、図3に示すように、前記ベローズポンプ1においては、第1ポンプ部2Aは、ポンプケース3と、第1ベローズ4と、駆動装置5と、吸入側逆止弁6と、吐出側逆止弁7とを備えている。前記第1ポンプ部2Aは、可動体31も備えている。
前記ポンプケース3は、流体を吸入するための吸入流路11と、流体を吐出するための吐出流路12とを有している。本実施形態において、前記ポンプケース3は、中空の略円柱状の容器であり、軸心方向が左右方向となるように配置されている。詳しくは、前記ポンプケース3は、ポンプボディ13と、中間カバー14と、端部カバー15とを備えている。
前記ポンプボディ13は、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)などのフッ素樹脂から構成されており、円柱状に形成されている。前記ポンプボディ13は、前記第2ポンプ部2Bにおけるポンプボディ13を兼ねるものであり、軸心方向が左右方向となるように配置されている。そして、前記ポンプボディ13の内部に、前記吸入流路11および前記吐出流路12が備えられている。
前記吸入流路11は、一端部が前記ポンプボディ13の外周面に開口しかつ他端部が前記ポンプボディ13の右端面に開口するように設けられ、前記一端部側で流体の貯留タンクなどと接続されている。前記吐出流路12は、一端部が前記ポンプボディ13の外周面に開口しかつ他端部が前記ポンプボディ13の右端面に開口するように設けられ、前記一端部側で流体の移送先である所望の機器に接続されている。
前記中間カバー14は、前記ポンプボディ13と略同一の外径を有する円筒状に形成されている。前記中間カバー14は、軸心方向が左右方向となるように配置されて、前記ポンプボディ13の右方でこれと同軸心上に並設されている。そして、前記中間カバー14は、左端部が前記ポンプボディ13の右端面により左方から閉塞されるように、前記ポンプボディ13に連結されている。
前記端部カバー15は、前記中間カバー14と略同一の外径を有する有底円筒状に形成されている。前記端部カバー15は、軸心方向が左右方向となるように配置されて、前記中間カバー14の右方でこれと同軸心上に並設されている。そして、前記端部カバー15は、開放側の左端面が前記中間カバー14の右端部を右方から閉塞するように、前記中間カバー14に連結されている。
このように連結された前記ポンプボディ13、前記中間カバー14および前記端部カバー15により前記ポンプケース3が構成されて、その内部に前記第1ベローズ4を収容するための収容空間が形成されている。前記収容空間は、前記ポンプボディ13、前記中間カバー14および前記端部カバー15に適宜設けられたシール部材によって、高い気密性を確保されている。
また、前記端部カバー15には、給排気孔20が設けられている。前記給排気孔20は、前記収容空間と前記ポンプケース3の外部とを連通させる連通孔を用いて構成されている。前記給排気孔20は、前記端部カバー15の外面側で配管19などに接続されて、前記ポンプケース3の外部に配置された前記駆動装置5と接続されている。
前記端部カバー15には、近接センサ21を含む検知装置22が設けられている。本実施形態において、前記検知装置22は、後述のように前記第1ベローズ4の伸縮に応じて当該第1ベローズ4の他端部(右端部)と一体的に移動する前記可動体31の接近を前記近接センサ21が検出することで、前記第1ベローズ4の伸縮状態を検知し得るように構成されている。
前記第1ベローズ4は、前記ポンプケース3内に設けられて、流体を前記吸入流路11から吸入しかつ前記吐出流路12へ吐出するために伸縮可能に構成されている。本実施形態において、前記第1ベローズ4は、前記吸入流路11および前記吐出流路12と連通するように一端部(左端部)が前記ポンプケース3に連結されて、前記ポンプケース3に対して伸縮可能に構成されている。
前記第1ベローズ4と前記ポンプケース3との間には、気密状の空気室23が形成されている。そして、前記第1ベローズ4は、一端部(左端部)が前記ポンプケース3に対して固定された状態で、他端部(右端部)が前記空気室23を左右方向に移動するように伸縮可能となっている。つまり、本実施形態においては、前記第1ベローズ4の伸縮方向が左右方向となっている。
前記第1ベローズ4は、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)などのフッ素樹脂から構成されており、伸縮方向の一端部である左端部が開放されかつ他端部である右端部が内部にポンプ室を形成し得るように閉塞された蛇腹状に形成されている。詳しくは、前記第1ベローズ4は、ベローズ本体24と、固定フランジ25と、可動フランジ26とを備えている。
前記ベローズ本体24は、実質的に有底筒状に形成されており、左右方向に交互に設けられた山部および谷部を外周部に備えている。前記ベローズ本体24はその内部に所定体積の流体を吸入し得るとともに、前記吸入側逆止弁6の少なくとも一部および前記吐出側逆止弁7の少なくとも一部を収容し得るように構成されている。
前記固定フランジ25は、前記ベローズ本体24の山部のうち隣り合う山部(左端の山部)との間に固定側係合溝が形成されるように、前記ベローズ本体24の左端部から径方向外側に突設されている。前記可動フランジ26は、前記ベローズ本体24の山部のうち隣り合う山部(右端の山部)との間に可動側係合溝が形成されるように、前記ベローズ本体24の右端部から径方向外側に突設されている。
そして、前記ベローズ本体24の左端部と前記固定フランジ25が、前記流入流路11の開口および前記吐出流路12の開口を囲むように前記ポンプボディ13の右端面に取り付けられている。この状態で、前記ポンプケース3の内周面に固定された係合板28が前記固定側係合溝に係合されて、前記第1ベローズ4の左端部が、前記ポンプケース3に対して固定されている。
前記可動体31は、前記第1ベローズ4に連結して、前記第1ベローズ4を伸縮させるべく可動し得るとともに、前記第1ベローズ4との間に密閉空間を形成するように構成されている。本実施形態において、前記可動体31は、前記第1ベローズ4の右方に前記空気室23が区画され得るように、前記第1ベローズ4に連結された状態で前記ポンプケース3内に設けられている。
前記可動体31は、所定の肉厚(左右幅)および前記第1ベローズ4の可動フランジ26よりも大きな外径を有する円柱状部材から構成されている。前記可動体31は、軸心方向が左右方向となるように配置されて、前記第1ベローズ4の右方でこれと同軸心上に並設されている。そして、前記可動体31は、前記第1ベローズ4の右端部を右方から覆うように、これに連結されている。
前記可動体31は、一端面(左端面)に軸心方向に開口する凹状の収容溝33を有している。前記収容溝33は、前記左端面に当接する前記第1ベローズ4の右端部との間に前記密閉空間32が形成されるように設けられている。前記密閉空間32は、前記第1ベローズ4または前記可動体31に設けられたシール部材によって、高い気密性を確保されている。
前記可動体31は、さらに一端面(左端面)に軸心方向に開口する凹状の嵌合溝34を有している。前記嵌合溝34は、前記第1ベローズ4の右端部(特に、前記可動フランジ26)を嵌合し得るように設けられている。前記嵌合溝34は、径方向中央に配置された前記収容溝33を囲むように配置され、前記収容溝33よりも浅く形成されている。
前記可動体31に左方には、前記第1ベローズ4を囲む環状の連結板36が設けられている。前記連結板36は、前記第1ベローズ4の右端部が前記嵌合溝34に嵌合した状態で、前記可動側係合溝に係合されるとともに、前記可動体31に固定されている。これにより、前記可動体31が、前記第1ベローズ4の右端部と一体的に移動し得るように、前記第1ベローズ4に連結されている。
前記第1ベローズ4の周囲には、複数の連結棒37が備えられている。前記複数の連結棒37は、軸心方向が左右方向となるように配置されて、前記第1ベローズ4の周方向に所定間隔ごとに設けられている。前記複数の連結棒37は、一方の端部で前記可動体31に固定されるとともに、前記ポンプボディ13を貫通して前記第2ポンプ部2Bにおける収容空間まで延設されている。
ここで、前記複数の連結棒37は、前記第2ポンプ部2Bにおける複数の連結棒37を兼ねるものであり、前記第1ポンプ部2Aにおける前記可動体31と前記第2ポンプ部2Bにおける可動体31との間にわたって延設されている。そして、前記複数の連結棒37は、左右方向に移動可能なように前記ポンプボディ13にシール軸受け39を介して支持されている。
前記駆動装置5は、前記可動体31を可動させるためのものであり、前記可動体31を用いて前記第1ベローズ4を収縮させ得るように構成されている。本実施形態において、前記駆動装置5は、前記第1ポンプ部2Aにおける前記第1ベローズ4と、前記第2ポンプ部2Bにおける第1ベローズ4とを背反的に伸縮させ得るようになっている。
詳しくは、前記駆動装置5は、コンプレッサ41、切替弁42およびコントローラ43を含む空気供給装置から構成されている。前記コンプレッサ41は、前記第1ポンプ部2Aにおける前記給排気孔20および前記第2ポンプ部2Bにおける給排気孔20に、前記切替弁42を介して接続されている。前記コントローラ43は、前記切替弁42を制御するためのものである。
そして、前記駆動装置5は、前記コンプレッサ41により生成された所定圧力の空気(加圧空気)を、前記コントローラ43を用いて前記切替弁42を制御することで、二つの前記給排気孔20を介して前記第1ポンプ部2Aにおける前記空気室23と前記第2ポンプ部2Bにおける空気室23とに対して交互に供給し得るように構成されている。
前記吸入側逆止弁6は、前記吸入流路11から前記第1ベローズ4内に向かう流体の流れのみを許容するように構成されている。本実施形態において、前記吸入側逆止弁6は、前記吸入流路11と前記第1ベローズ4内とを連通させた状態で前記ポンプボディ13の右端面に固定された弁ケース44と、前記弁ケース44内に収容された弁体45およびコイルばね46とを備えている。
そして、前記吸入側逆止弁6は、前記第1ベローズ4が伸張する際に前記弁体45を弁座から離間させて開放状態となり、前記吸入流路11から前記第1ベローズ4内への流体の吸引を許容し、かつ、前記第1ベローズ4が収縮する際に前記弁体45を弁座に当接させて閉塞状態となり、前記第1ベローズ4内から前記吸入流路11への流体の逆流を阻止し得るように構成されている。
前記吐出側逆止弁7は、前記第1ベローズ4内から前記吐出流路12に向かう流体の流れのみを許容するように構成されている。本実施形態において、前記吐出側逆止弁7は、前記第1ベローズ4内と前記吐出流路12とを連通させた状態で前記ポンプボディ13の右端面に固定された弁ケース47と、前記弁ケース47内に収容された弁体48およびコイルばね49とを備えている。
そして、前記吐出側逆止弁7は、前記第1ベローズ4が収縮する際に前記弁体48を弁座から離間させて開放状態となり、前記第1ベローズ4内から前記吐出流路12への流体の吐出を許容し、かつ、前記第1ベローズ4が伸長する際に前記弁体48を弁座に当接させて閉塞状態となり、前記第1ベローズ4内から前記吐出流路12への流体の逆流を阻止し得るように構成されている。
また、前記ベローズポンプ1は、第2ベローズ52をさらに備えている。前記第2ベローズ52は、前記第1ベローズ4と前記可動体31との間にある前記密閉空間32に設けられ、前記第1ベローズ4に連通するように前記第1ベローズ4と連結されている。
前記第2ベローズ52は、その内部容積が前記第1ベローズ4の内部容積よりも小さく構成されている。また、前記第2ベローズ52は、前記第1ベローズ4の内部圧力の過度な上昇を吸収し得るように前記第1ベローズ4とは独立して伸縮可能に構成されている。本実施形態において、前記第2ベローズ52の伸縮方向は、前記第1ベローズ4の伸縮方向と同一方向(左右方向)である。
詳しくは、前記第2ベローズ52は、軸心方向が左右方向となるように配置されて、前記第1ベローズ4の右方でこれと同軸心上に並設されている。そして、前記第2ベローズ52は、一端部(左端部)が前記第1ベローズ4の右端部に固定された状態で、他端部(右端部)が前記密閉空間32を左右方向に移動するように前記第1ベローズ4の右端部に対して伸縮可能となっている。
前記第2ベローズ52は、伸縮方向の一端部である左端部が開放されかつ右端部が端壁部53にて閉塞された蛇腹状に形成されている。本実施形態において、前記第2ベローズ52は、前記第2ベローズ52の内径および左右幅(伸縮幅)が前記第1ベローズ4よりも小さく設定されることで、内部容積が前記第1ベローズ4の内部容積よりも小さくなるように構成されている。
前記第2ベローズ52は、左右方向に交互に設けられた少なくとも一つの山部および少なくとも一つの谷部を外周部54に備えている。前記外周部54は、前記第1ベローズ4の外周部と実質的に同程度の肉厚を有するように形成されている。前記端壁部53は、この外周部54の肉厚よりも厚い肉厚を有するように形成されて、最も伸長した時または所定値まで伸長した時に前記可動体31に当接し得るようになっている。
前記第2ベローズ52は、前記第1ベローズ4の右端部に設けられた開口部56を介して当該第2ベローズ52内と前記第1ベローズ4内とが連通するように、前記連結板36よりも右方で開放側の左端部を前記第1ベローズ4(前記ベローズ本体24)の右端部の外側端面に連結させている。前記第2ベローズ52内と前記第1ベローズ4内は、気密性を確保されている。
本実施形態においては、前記第2ベローズ52は、前記第1ベローズ4と隙間なく連続するように、前記第1ベローズと一体に構成されている。つまり、前記第2ベローズ52は、前記第1ベローズと同じフッ素樹脂から構成されている。ただし、前記第2ベローズ52は、前記第1ベローズ4とは独立して伸縮可能となっている。
前記第2ベローズ52は、前記第1ベローズ4が伸長する際には収縮状態を保持し、この状態で前記第1ベローズ4の内部圧力が所定値以上に上昇した場合に、その内部圧力の上昇を吸収するべく伸長するようになっている。なお、前記内部圧力は、前記第1ベローズ4が伸長状態から収縮状態に切り替わる際に瞬間的に所定値以上となる。
以上のような構成により、前記ベローズポンプ1の駆動時には、前記ベローズポンプ1が図1に示される状態である場合、前記第2ポンプ部2Bにおいて、前記空気室23に前記給排気孔20を介して前記駆動装置5から空気が供給される。これにより、前記可動体31が右方に移動して前記第1ベローズ4が収縮する。この収縮に連動して前記複数の連結棒37も右方に移動し、前記第1ポンプ部2Aにおいて、前記第1ベローズ4が最伸長状態となるまで伸長する。
この際、前記第2ポンプ部2Bにおいては、前記吸入側逆止弁6が閉塞状態となりかつ前記吐出側逆止弁7が開放状態となっており、前記第1ベローズ4内から前記吐出流路12に向かって流体が吐出される(吐出行程)。前記第1ポンプ部2Aにおいては、前記吸入側逆止弁6が開放状態となりかつ前記吐出側逆止弁7が閉弁しており、前記第1ベローズ4内に前記吸入流路11から流体が吸入される(吸入行程)。
その後、前記第1ポンプ部2Aにおいて、前記検知装置22によって前記第1ベローズ4が最伸長状態になったことが検知されると、この検知情報に基づいて前記コントローラ43により前記切替弁42が制御され、前記第1ポンプ部2Aにおいて、前記空気室23に前記給排気孔20を介して前記駆動装置5から空気が供給される。これにより、前記可動体31が左方に移動して前記第1ベローズ4が収縮を開始する。この収縮に連動して前記複数の連結棒37も左方に移動し、前記第2ポンプ部2Bにおいて、前記第1ベローズ4が伸長を開始する。
この際、前記第1ポンプ部2Aにおいては、図3に示すように、前記内部圧力が負圧から正圧に変化することによって前記吸入側逆止弁6が閉塞状態となりかつ前記吐出側逆止弁7が開放状態となって、前記第1ベローズ4内から前記吐出流路12に向かって流体が吐出される(吐出行程)。前記第2ポンプ部2Bにおいては、前記内部圧力が正圧から負圧に変化することによって前記吸入側逆止弁6が開放状態となりかつ前記吐出側逆止弁7が閉弁して、前記第1ベローズ4内に前記吸入流路11から流体が吸入される(吸入行程)。
このように、前記ベローズポンプ1においては、前記第1ポンプ部2Aにおける前記第1ベローズ4および前記第2ポンプ部2Bにおける前記第1ベローズ4が背反的に伸縮するのにともなって、双方の前記第1ベローズ4に関する流体の吸入行程と吐出行程とが交互に行われ、流体が移送され得るようになっている。つまり、前記ベローズポンプ1は、前記第1ポンプ部2Aおよび前記第2ポンプ部2Bを用いて、実質的に連続して流体を吐出できるようになっている。
そのうえで、前記ベローズポンプ1においては、吸入行程から吐出行程に切り替わるとき、すなわち前記第1ベローズ4が伸長状態から収縮状態に切り替わるとき、前記内部圧力が前記所定値以上まで瞬間的に急激に上昇しかけると(この内部圧力の急上昇が生じると、急速に閉鎖状態となった前記吸入側逆止弁6の弁体45に前記吸入流路11からの流体が衝突することによってウォータハンマ現象が生じる)、前記第2ベローズ52がその内部容積を増加させるように伸長する(図3参照)。すなわち、前記第2ベローズ52がその内部圧力の過度な上昇を吸収して抑制することとなる。したがって、前記内部圧力の上昇にともなう前記ベローズポンプ1の振動を十分に低減できる。
しかも、前記ベローズポンプ1は、前記内部圧力の上昇を吸収するための手段として前記第2ベローズ52を採用しているので、前記第2ベローズ52の形状および大きさなどを変更して、前記内部圧力の上昇を吸収するために増加させ得る内部容積を広い範囲にわたって調整することが可能となる。したがって、前記第2ベローズ52の内部容積を適宜調整することで、小型のベローズポンプだけでなく、大型のベローズポンプでも、十分な振動低減効果を得ることができる。
つまり、本実施形態に係る前記ベローズポンプ1によれば、前記べローズポンプ1の大きさにかかわらず、吸入行程から吐出行程への切り替わりの際に発生する振動を十分に低減できる。その結果、前記ベローズポンプ1から当該ベローズポンプ1に接続された配管および機器などへ伝播される振動も十分に低減でき、この振動に起因する不具合の発生を極力回避できる。
なお、本実施形態において、前記第2ベローズ52は、前記内部圧力の上昇により伸長した場合、前記可動体31における前記収容溝33の底部により当該第2ベローズ52の伸長が規制され得るようになっている。そして、前記第2ベローズ52は、流体が前記第1ベローズ4内から吐出されている間はその伸長状態が維持され、吐出行程から吸入行程に切り替わって前記内部圧力が変化することで、伸長状態から収縮状態に戻るようになっている。
また、本実施形態に係る前記ベローズポンプ1においては、前記第1ベローズ4および前記第2ベローズ52は一体に構成されている。したがって、前記ベローズポンプ1の組立工程を簡単化できる。また、前記第1ベローズ4と前記第2ベローズ52との連結部に継目が存在しないので、この連結部から流体が漏れることがない。よって、前記第1ベローズ4および前記第2ベローズ52の良好な気密状態を確保できる。
また、本実施形態に係る前記ベローズポンプ1においては、前記第1ベローズおよび前記第2ベローズ52はフッ素樹脂からなる。したがって、前記第1ベローズ4および前記第2ベローズ52として、耐熱性および耐薬品性に優れたベローズを得ることができる。また、前記第1ベローズ4および前記第2ベローズ52を金属溶出を生じないベローズとすることができ、前記第1ベローズ4および前記第2ベローズ52内における流体クリーン度を適切に保つことができる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図4に、第2実施形態に係るベローズポンプ61の断面図を示す。なお、図4において第1実施形態と同一の符号を付した部材は、同一または実質的に同一の部材であることを示し、適宜、その説明を省略する。
第2実施形態に係る前記ベローズポンプ61は、第1実施形態に係る前記ベローズポンプ1が複胴型のベローズポンプであるのに対し、単胴型のベローズポンプである点で、第1実施形態に係る前記ベローズポンプ1と相違している。
前記ベローズポンプ61は、ポンプケース63と、第1ベローズ4と、駆動装置5と、吸入側逆止弁6と、吐出側逆止弁7とを備えるとともに、ポンプ軸65と、移動体66とを備えている。前記ベローズポンプ61は、可動体31と、第2ベローズ52とをさらに備えている。図4では、前記第1ベローズ4が最収縮状態から伸長し始めた(吐出行程から吸入行程に切り替わった)時点の様子が示されている。
前記ポンプケース63は、前記第1ベローズ4を収容するための第1収容空間と、前記移動体66を収容するための第2収容空間とを隔壁64を挟んで隣り合うように備えている。そして、前記ポンプケース63と前記第1ベローズ4との間に気密状の第1空気室67が形成されるとともに、前記ポンプケース63と前記移動体66との間に気密状の第2空気室68が形成されている。
前記ポンプケース63には、第1給排気孔71および第2給排気孔72が設けられている。前記第1給排気孔71は、前記第1空気室67と前記ポンプケース63の外部とを連通させる連通孔を用いて構成されている。前記第2給排気孔72は、前記第2空気室68と前記ポンプケース63の外部とを連通させる連通孔を用いて構成されている。
前記駆動装置5は、前記第1給排気孔71および前記第2給排気孔72と接続されている。前記駆動装置5は、コンプレッサ41により生成された所定圧力の空気(加圧空気)を、前記コントローラ43により前記切替弁42を制御することで、前記第1給排気孔71および前記第2給排気孔72を介して前記第1空気室67と、前記第2空気室68に対して交互に供給し得るように構成されている。
前記ポンプ軸65は、軸心方向が左右方向となるように配置され、前記隔壁64を貫通するように設けられている。前記ポンプ軸65は、左右方向に移動可能なように前記隔壁64に支持されている。そして、前記ポンプ軸65は、左端部で前記可動体31と固定され、右端部で前記移動体66と固定されて、前記移動体66とともに前記可動体31と連動して移動し得るようになっている。
前記移動体66には、センシング片74が固定されている。前記ポンプケース63には、前記センシング片74を挟むように配置された左右の近接センサ21からなる検知装置76が設けられている。前記検知装置76は、前記第1ベローズ4の伸縮に応じて左右方向に移動する前記センシング片74の接近を検出することで、前記第1ベローズ4の伸縮状態を検知し得るように構成されている。
以上のような構成により、前記ベローズポンプ61の駆動時には、前記ベローズポンプ61が図4に示される状態である場合、前記第2空気室68に前記第2給排気孔72を介して前記駆動装置5から空気が供給される。これにより、前記移動体66ひいては前記ポンプ軸65が右方に移動するとともに、この移動に連動して前記可動体31も右方に移動して、最収縮状態である、前記可動体31に連結された前記第1ベローズ4が伸長を開始する。
その後、前記検知装置76によって前記第1ベローズ4が最伸長状態になったことが検知されると、この検知情報に基づいて前記コントローラ43により前記切替弁42が制御され、前記第1空気室67に前記第1給排気孔71を介して前記駆動装置5から空気が供給される。これにより、前記第1ベローズ4が収縮を開始する。この収縮により前記可動体31が左方に移動し、この移動に連動して前記ポンプ軸65ひいては前記移動体66も左方に移動する。
そして、前記検知装置76によって前記第1ベローズ4が最収縮状態になったことが検知されると、この検知情報に基づいて前記コントローラ43により前記切替弁42が制御され、再び前記第2空気室68に前記第2給排気孔72を介して前記駆動装置5から空気が供給される。こうして、前記ベローズポンプ61において、前記第1ベローズ4の伸縮に応じて流体の吸入行程と吐出行程とが交互に行われ、当該流体が移送され得るようになっている。
そのうえで、前記ベローズポンプ61においては、吸入行程から吐出行程に切り替わるとき、前記第1ベローズ4の内部圧力が前記所定値以上まで瞬間的に急激に上昇しかけても、前記第2ベローズ52がその内部圧力の上昇を吸収して抑制することとなる。したがって、本実施形態に係る前記ベローズポンプ61によっても、第1実施形態と同様に、前記べローズポンプ61の大きさにかかわらず、吸入行程から吐出行程への切り替わりの際に発生する振動を十分に低減できる。
なお、本発明における第2ベローズは、第1実施形態および第2実施形態においては前記第1ベローズ4と一体とされた前記第2ベローズ52とされているが、これに限定されるものではなく、第1ベローズに後付けされるような当該第1ベローズと別体のものであってもよい。
なお、本発明における第2ベローズは、第1実施形態および第2実施形態においては前記第1ベローズ4に対して一つであるが、合計の内部容積が第1ベローズよりも小さくなるのであれば、複数であってもよい。複数の第2ベローズは、適宜の位置に配置し得るものであり、互いに同一形状としてもよいし、互いに異なる形状としてもよい。
なお、本発明における第2ベローズは、第1実施形態および第2実施形態においては前記第1ベローズ4の外周部と同程度の肉厚および径方向の幅を有する前記外周部54を備えた前記第2ベローズ52とされているが、これに限定されるものではなく、たとえば、第1ベローズよりも薄い肉厚および/または短い径方向の幅を有する外周部を備えた第2ベローズとしてもよい。