JP2016540455A - インピーダンスマッチング方法及びインピーダンスマッチングシステム - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の一実施例において、
本発明の一実施例において、前記可変リアクティブ素子は、第1蓄電器及び第2蓄電器を含み、前記第1蓄電器の第1キャパシタンスC1及び前記第2蓄電器の第2キャパシタンスC2の変化量dC1;dC2は、
本発明の一実施例において、
図2は、図1のRF電力システムを詳しく説明するブロック図である。
図3は、本発明の一実施例によるRF電力システムの制御方法を説明する流れ図である。
図4は、本発明の一実施例によるインピーダンスマッチング方法を説明する流れ図である。
図5は、本発明の一実施例による周波数可変インピーダンスマッチング方法を説明する流れ図である。
本発明の変形した実施例によると、前記周波数可変RF電源は、駆動周波数を前記インピーダンスマッチングネットワークに提供する。また、前記周波数可変RF電源は、測定した電気的特性を前記インピーダンスマッチングネットワークに伝える。これによって、インピーダンスマッチングネットワークは、別途の駆動周波数測定段階及び電気的特性の測定段階を除去する。
120 伝送線
130 インピーダンスマッチングネットワーク
140 負荷
Claims (27)
- 駆動周波数fを変更する周波数可変RF電源と負荷との間に配置される可変リアクタンスインピーダンスマッチングネットワークのインピーダンスマッチング方法において、
前記インピーダンスマッチングネットワークの可変リアクティブ素子のキャパシタンス又はインダクタンスの変化量を目標駆動周波数ftと前記駆動周波数fの違いの関数で制御することを含むことを特徴とするインピーダンスマッチング方法。 - 目標駆動周波数ftと前記駆動周波数fの違いが正の値を有する場合に、可変リアクティブ素子のキャパシタンス又はインダクタンスの変化量は、負の値を有するように制御され、
目標駆動周波数ftと前記駆動周波数fの差が負の値を有する場合に、可変リアクティブ素子のキャパシタンス又はインダクタンスの変化量は、正の値を有するように制御されることを特徴とする請求項1に記載のインピーダンスマッチング方法。 - 前記可変リアクティブ素子のキャパシタンス又はインダクタンスの変化量は、インピーダンスマッチングのための反射係数又はインピーダンスの関数に追加的に依存することを特徴とする請求項1に記載のインピーダンスマッチング方法。
- 前記周波数可変RF電源は、駆動周波数を変更してインピーダンスマッチングを行い、
前記周波数可変RF電源は、反射係数の虚数部が正の値を有する場合、駆動周波数を増加させ、反射係数の虚数部が負の値を有する場合、駆動周波数を減少させることを特徴とする請求項1に記載のインピーダンスマッチング方法。 - 前記周波数可変RF電源は、駆動周波数を変更してインピーダンスマッチングを行い、
前記周波数可変RF電源は、駆動周波数をスキャンしてインピーダンスマッチングを行うことを特徴とする請求項1に記載のインピーダンスマッチング方法。 - 前記可変リアクティブ素子のキャパシタンス又はインダクタンスの変化量は、インピーダンスマッチングのための反射係数又はインピーダンスの関数に依存することは:
特性ベクトルを抽出する段階と、
可変リアクティブ素子のリアクタンスを示す素子ベクトルを所定の変換マトリックスを用いて分析ベクトルに変換し、前記分析ベクトルを座標軸とする分析座標系で特性ベクトルを表示する段階と、
前記分析座標系で前記特性ベクトルを分析してインピーダンスマッチングのための変位ベクトルを抽出する段階と、
前記変位ベクトルを前記変換メトリックスを用いて換算素子ベクトル(transforming the displacement vector)に変換する段階と、
前記換算素子ベクトルを用いてキャパシタンス又はインダクタンスの変化量を抽出する段階と、を含むことを特徴とする請求項5に記載のインピーダンスマッチング方法。 - 周波数可変RF電源の出力で電気的特性を測定し、測定された電気的特性を用いて駆動周波数を変更して第1インピーダンスマッチングを行う段階と、
前記周波数可変RF電源と負荷との間に可変リアクティブ素子を含むインピーダンスマッチングネットワークを配置して、前記可変リアクティブ素子のキャパシタンス又はインダクタンスを変更する段階と、を含み、
前記可変リアクティブ素子のキャパシタンス又はインダクタンスの変化量は、目標駆動周波数ftと前記駆動周波数fの違いの関数に与えられることを特徴とするRFシステム制御方法。 - 予測駆動周波数fpを算出して、前記周波数可変RF電源に提供する段階をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載のRFシステム制御方法。
- 前記可変リアクティブ素子のキャパシタンス又はインダクタンスの変化量は、インピーダンスマッチングのための反射係数又はインピーダンスの関数に依存することを特徴とする請求項11に記載のRFシステム制御方法。
- 前記可変リアクティブ素子のキャパシタンス又はインダクタンスの変化量は、インピーダンスマッチングのための反射係数又はインピーダンスの関数に依存することは:
特性ベクトルを抽出する段階と、
可変リアクティブ素子のリアクタンスを示す素子ベクトルを所定の変換マトリックスを用いて分析ベクトルに変換し、前記分析ベクトルを座標軸とする分析座標系で特性ベクトルを表示する段階と、
前記分析座標系で前記特性ベクトルを分析してインピーダンスマッチングのための変位ベクトルを抽出する段階と、
前記変位ベクトルを前記変換メトリックスを用いて換算素子ベクトルに変換する段階と、
前記換算素子ベクトルを用いてキャパシタンス又はインダクタンスの変化量を抽出する段階と、を含むことを特徴とする請求項15に記載のインピーダンスマッチング方法。 - 駆動周波数fを変更する周波数可変RF電源と負荷との間に配置される可変リアクタンスインピーダンスマッチングネットワークのインピーダンスマッチング方法において、
前記インピーダンスマッチングネットワークの可変リアクティブ素子のキャパシタンス又はインダクタンスを変更して、周波数可変RF電源を目標駆動周波数で動作するよう誘導することを特徴とするインピーダンスマッチング方法。 - 前記インピーダンスマッチングネットワークの可変リアクティブ素子のキャパシタンス又はインダクタンスの変化量は、目標駆動周波数ftと前記駆動周波数fの違いの関数で制御されることを含むことを特徴とする請求項19に記載のインピーダンスマッチング方法。
- 前記インピーダンスマッチングネットワークは、予測駆動周波数fpを算出して前記周波数可変RF電源に提供する段階をさらに含むことを特徴とする請求項19に記載のインピーダンスマッチング方法。
- 周波数可変RF電源及び周波数可変RF電源の出力を負荷に伝達するインピーダンスマッチングネットワークを含むRF電力システムのインピーダンスマッチング方法において、
周波数可変RF電源の出力端の第1電気的特性を測定する段階と、
前記周波数可変RF電源で前記第1電気的特性を用いてインピーダンスマッチングの状態を検査する段階と、
前記周波数可変RF電源の駆動周波数を変更する段階と、
前記インピーダンスマッチングネットワークで第2電気的特性を測定する段階と、
前記インピーダンスマッチングネットワークで前記第2電気的特性を用いてインピーダンスマッチングの状態を検査し、駆動周波数が目標駆動周波数であるか否かを検査する段階と、
前記インピーダンスマッチングネットワークでインピーダンスマッチングが行われない場合、インピーダンスマッチングのための可変リアクティブ素子のインダクタンス又はキャパシタンスの第1変化量を算出する段階と、
前記インピーダンスマッチングネットワークで駆動周波数が目標駆動周波数と一致しない場合、駆動周波数変更のための可変リアクティブ素子のインダクタンス又はキャパシタンスの第2変化量を算出する段階と、
前記第1変化量と前記第2変化量に因る総変化量を算出し、前記総変化量を用いて可変リアクティブ素子を制御する段階と、を含むRF電力システムのインピーダンスマッチング方法。 - 周波数可変RF電源及び周波数可変RF電源の出力を負荷に伝達するインピーダンスマッチングネットワークを含むRF電力システムのインピーダンスマッチング方法において、
周波数可変RF電源の出力端の第1電気的特性を測定する段階と、
前記周波数可変RF電源で前記第1電気的特性を用いてインピーダンスマッチングの状態を検査する段階と、
前記周波数可変RF電源の駆動周波数を変更する段階と、
前記駆動周波数が目標駆動周波数であるか否かを検査する段階と、
インピーダンスマッチングが行われない場合、インピーダンスマッチングのための可変リアクティブ素子のインダクタンス又はキャパシタンスの第1変化量を算出する段階と、
駆動周波数が目標駆動周波数と一致しない場合、駆動周波数変更のための可変リアクティブ素子のインダクタンス又はキャパシタンスの第2変化量を算出する段階と、
前記第1変化量と前記第2変化量に因る総変化量を算出し、前記総変化量を用いて可変リアクティブ素子を制御する段階と、を含むRF電力システムのインピーダンスマッチング方法。 - 所定の周波数可変範囲を有してRF電力を出力する周波数可変RF電源と負荷との間に配置されるインピーダンスマッチングネットワークにおいて、
前記インピーダンスマッチングネットワークは、少なくとも2つの可変リアクティブ素子を含み、
前記可変リアクティブ素子のインダクタンス又はキャパシタンスの変化量は、駆動周波数と目標駆動周波数の違いの関数に与えられることを特徴とするインピーダンスマッチングネットワーク。 - 所定の周波数可変範囲を有してインピーダンスマッチングのために駆動周波数を変更する周波数可変RF電源と、
前記周波数可変RF電源から出力を受け取って、負荷に伝達するインピーダンスマッチングネットワークを含み、
前記インピーダンスマッチングネットワークの可変リアクティブ素子のキャパシタンス又はインダクタンスを変更して、前記インピーダンスマッチングネットワークは、前記周波数可変RF電源が目標駆動周波数で動作するよう誘導することを特徴とするRF電力システム。 - 周波数可変RF電源の出力を負荷に伝達する2つ以上の可変リアクティブ素子を含む電気装置において、
前記可変リアクティブ素子のインダクタンス又はキャパシタンスの変化量は、前記周波数可変RF電源の駆動周波数と目標駆動周波数の違いの関数を含み、
前記目標周波数は、前記周波数可変RF電力発生器の前記周波数可変範囲内に存在することを特徴とする電気装置。 - 周波数可変RF電源及び周波数可変RF電源の出力を負荷に伝達するインピーダンスマッチングネットワークを含むRF電力システムのインピーダンスマッチング方法において、
周波数可変RF電源の出力端の第1電気的特性を測定する段階と、
前記周波数可変RF電源で前記第1電気的特性を用いてインピーダンスマッチングの状態を検査する段階と、
前記周波数可変RF電源の駆動周波数を変更する段階と、
前記インピーダンスマッチングネットワークで第2電気的特性を測定する段階と、
前記インピーダンスマッチングネットワークで、前記第2電気的特性を用いてインピーダンスマッチングの状態を検査する段階と、
インピーダンスマッチングのための可変リアクティブ素子のインダクタンス又はキャパシタンスの第1変化量を算出する段階と、
前記第1変化量を用いて可変リアクティブ素子を制御する段階と、を含むRF電力システムのインピーダンスマッチング方法。
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