JP2016538732A5 - 前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ - Google Patents

Claims (11)

1. 前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリであって、
   ベース部、一体状片寄り部および一体状上向きニップル部を有している入口継手と、
   焼結ポリマー管状部およびフレア状下部として構成されている多孔性タワーと、
   を備えており、
   前記フレア状下部が前記上向きニップル部と係合可能であるか、該上向きニップル部と係合している、多孔性タワーディフューザアセンブリ。
2. パージノズルおよび逆止弁と係合するためのエラストマーグロメットをさらに備えており、前記逆止弁が前記グロメットの貫通穴に嵌入される寸法を有している、請求項１に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
3. 追加の入口継手と多孔性タワーとをさらに備えている、請求項１に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
4. 前記フレア状下部よりも先端側の部分と比較して、該フレア状下部に対してパージを増加させる手段をさらに備えている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
5. 前記タワーが、多孔率の異なる少なくとも２つの異なる部分を有している、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
6. 多孔率のより高い部分が、多孔率のより低い部分よりも前記タワーの継手側端部に近い、請求項５に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
7. 前記タワーが、径方向流出に対する抵抗を有する少なくとも２つの異なる部分を有している、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
8. 前記上向きニップル部が複数のかえし部を有している、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
9. 前記上向きニップル部が穴を有し、前記多孔性タワーが前記継手に装着されたときに前記穴に隣接して環状スペースが形成され、前記穴が該環状スペースに隣接していることによって、パージガスが前記フレア状下部から拡散される、請求項８に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
10. 前記上向きニップル部が、前記多孔性タワーと締り嵌めを形成する寸法を有するねじ部または複数のかえし部を有している、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
11. 前記ニップル部に径方向穴を有し、前記ニップル部が、前面開放式ウエハ容器内において上方に延びて最も低い第１ウエハのみにほぼ到達する寸法を有している、請求項１０に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。