JP2016538554A - 単列多層構造に基づく電界式タイムグレーティング直線変位センサ - Google Patents
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Abstract
Description
前記プローブベース上には1列のプローブ電極を有し、前記スケールベース上には、1列のスケール電極を有し、スケール電極の第4n+1電極は1組に繋がってA励磁相を構成し、スケール電極の第4n+2電極は1組に繋がってB励磁相を構成し、スケール電極の第4n+3電極は1組に繋がってC励磁相を構成し、スケール電極の第4n+4電極は1組に繋がってD励磁相を構成し、プローブベースとスケールベースは上下並行に相対して設置され、プローブベースのプローブ電極とスケールベースのスケール電極は正対し、一定間隔δだけ離間して結合コンデンサを形成する。
Uo=KeUmsin(ω+πx/W) (1)
ここで、Keは電界結合係数、xはプローブとスケールの間の相対変位、Wはプローブ電極幅の4倍である。
Claims (7)
- プローブベース(1)とスケールベース(2)の両部分を備え、単列多層構造に基づく電界式タイムグレーティング直線変位センサであって、
前記プローブベース上には1列のプローブ電極(1−1)を有し、
前記スケールベース上には1列のスケール電極(2−1)を有し、スケール電極の第4n+1電極は1組に繋がってA励磁相を構成し、スケール電極の第4n+2電極は1組に繋がってB励磁相を構成し、スケール電極の第4n+3電極は1組に繋がってC励磁相を構成し、スケール電極の第4n+4電極は1組に繋がってD励磁相を構成し、
前記プローブベースと前記スケールベースは上下並行に相対して設置され、前記プローブベースの前記プローブ電極と前記スケールベースの前記スケール電極は正対し、一定間隔δだけ離間して結合コンデンサを形成し、
前記プローブベースと前記スケールベースは相対的に移動し、
前記スケール電極のA、B、C、D4つの励磁相は、それぞれ順に位相差90°の等振幅、等周波数の正弦曲線励磁電圧Ua、Ub、Uc、Udに連結しており、前記プローブ電極上で1経路の進行波信号Uoが生じ、前記進行波信号と1経路の位相に固定した同周波数基準信号Urは、整形回路により整形された後、位相比較回路によって位相を比較し、
両経路の信号の位相差は内挿された高周波のクロックパルスの個数により表示され、スケール変換により前記プローブベースの前記スケールベースに対する直線変位値を得る、
ことを特徴とする単列多層構造に基づく電界式タイムグレーティング直線変位センサ。 - 前記スケールベース上は、4層の誘電体膜に覆われ、第1層は金属膜であり、4本の励磁信号導線(2−2)を構成し、A、B、C、Dの各励磁相に対応する電極を1組に繋げており、
第2層は絶縁膜であり、
第3層は金属膜であって1列のスケール電極(2−1)を構成し、
第4層は絶縁保護膜である、
ことを特徴とする請求項1に記載の単列多層構造に基づく電界式タイムグレーティング直線変位センサ。 - 前記スケール電極(2−1)の形状は、矩形で且つ大きさが同一であり、隣り合う2つの電極の間には、一定の絶縁間隔が保持されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の単列多層構造に基づく電界式タイムグレーティング直線変位センサ。 - 前記プローブ電極(1−1)の形状は、2つの上下対称な正弦曲線で形成される双正弦形であり、隣り合う前記プローブ電極の間は矩形導線により連結され、前記プローブ電極の長さは前記スケール電極の長さよりやや短く、その幅は1つの前記スケール電極の幅と1つの前記絶縁間隔との和であり、隣り合う2つの前記プローブ電極の間隔は前記プローブ電極の幅の3倍である、
ことを特徴とする請求項1に記載の単列多層構造に基づく電界式タイムグレーティング直線変位センサ。 - 前記プローブ電極(1−1)の形状は、[0,π]区間における正弦曲線とx軸で囲まれた領域及び[π,2π]区間における正弦曲線とx軸で囲まれた領域を合わせて構成され、隣り合う前記プローブ電極(1−1)の間は矩形導線により連結され、前記プローブ電極の長さは前記スケール電極の長さよりやや短く、その幅は1つの前記スケール電極の幅と1つの絶縁間隔との和であり、隣り合う2つの前記プローブ電極の間隔は前記プローブ電極の幅の3倍である、
ことを特徴とする請求項1に記載の単列多層構造に基づく電界式タイムグレーティング直線変位センサ。 - 前記スケール電極(2−1)の前記A励磁相電極と前記プローブ電極(1−1)は結合コンデンサC1を形成し、前記B励磁相電極と前記プローブ電極(1−1)は結合コンデンサC2を形成し、前記C励磁相電極と前記プローブ電極(1−1)は結合コンデンサC3を形成し、前記D励磁相電極と前記プローブ電極(1−1)は結合コンデンサC4を形成し、
交替で循環し変化する前記コンデンサC1、C2、C3、C4は2つずつ交互に動作して交番電界の結合路を構成し、前記プローブ電極は進行波信号Uoを出力する、
ことを特徴とする請求項1に記載の単列多層構造に基づく電界式タイムグレーティング直線変位センサ。 - 前記進行波信号Uo及び前記同周波数基準信号Urは、整形回路により矩形波に整形した後、位相を比較する、
ことを特徴とする請求項1に記載の単列多層構造に基づく電界式タイムグレーティング直線変位センサ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021518915A (ja) * | 2019-01-04 | 2021-08-05 | 重慶理工大学 | 交番電界に基づく二次元タイムグレーティング変位センサ |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN106441059B (zh) * | 2016-09-09 | 2018-11-13 | 重庆理工大学 | 一种单列双排式时栅直线位移传感器 |
CN106338234B (zh) * | 2016-09-09 | 2018-11-13 | 重庆理工大学 | 一种双列式时栅直线位移传感器 |
CN106643455B (zh) * | 2016-12-26 | 2018-11-30 | 清华大学 | 一种电容式旋变位移传感器 |
CN107356189B (zh) * | 2017-07-05 | 2019-04-02 | 重庆理工大学 | 一种时栅直线位移传感器 |
CN107844119A (zh) * | 2017-12-14 | 2018-03-27 | 中国计量大学 | 基于时空转换的视觉导引方法及视觉导引车 |
CN108267072B (zh) * | 2018-01-31 | 2019-09-13 | 重庆理工大学 | 一种时栅直线位移传感器 |
CN109211097B (zh) * | 2018-07-05 | 2019-06-14 | 重庆理工大学 | 一种基于交变电场的差极反射型绝对式时栅角位移传感器 |
CN108895970B (zh) * | 2018-07-13 | 2020-07-24 | 重庆理工大学 | 一种基于交变光场的直线位移测量系统 |
CN113008120B (zh) * | 2019-12-19 | 2023-09-22 | 通用技术集团国测时栅科技有限公司 | 一种电容式直线位移传感器及其动尺 |
CN113008119B (zh) * | 2019-12-19 | 2022-11-25 | 通用技术集团国测时栅科技有限公司 | 一种分时复用的绝对式时栅直线位移传感器 |
CN114087970B (zh) * | 2021-11-18 | 2023-10-20 | 重庆理工大学 | 一种分时复用型拼接式绝对直线位移传感器 |
CN114087968B (zh) * | 2021-11-18 | 2023-10-20 | 重庆理工大学 | 一种基于组合调制原理的拼接式绝对直线位移传感器 |
CN114608431B (zh) * | 2022-03-29 | 2023-06-09 | 重庆理工大学 | 一种双层正弦式时栅直线位移传感器 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08278105A (ja) * | 1995-04-03 | 1996-10-22 | Mitsutoyo Corp | 静電容量式センサ |
JP2000146508A (ja) * | 1998-11-13 | 2000-05-26 | Mitsutoyo Corp | 静電容量式変位検出器及び測定装置 |
CN2869768Y (zh) * | 2005-02-24 | 2007-02-14 | 张珂 | 一种基于电场合成原理的电容式线位移传感器 |
CN102288100A (zh) * | 2011-06-01 | 2011-12-21 | 重庆理工大学 | 一种基于交变电场的时栅直线位移传感器 |
CN103822571A (zh) * | 2014-03-19 | 2014-05-28 | 重庆理工大学 | 基于单排多层结构的电场式时栅直线位移传感器 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH550378A (de) * | 1972-09-07 | 1974-06-14 | Maag Zahnraeder & Maschinen Ag | Vorrichtung zur kapazitiven winkel- oder laengenmessung. |
DE3020411C2 (de) * | 1980-05-27 | 1983-09-22 | Hans Ulrich St.Sulpice Waadt Meyer | Vorrichtung zum Messen der Verschiebung zweier Körper |
GB2097128B (en) * | 1981-04-16 | 1984-12-12 | Medwin Albert H | Electrical vernier measuring apparatus |
US4633249A (en) * | 1983-05-18 | 1986-12-30 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Displacement detector utilizing change of capacitance |
JPS6093311A (ja) * | 1983-10-27 | 1985-05-25 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 容量式変位測定機 |
DE3340782C2 (de) * | 1983-11-11 | 1985-12-05 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Kapazitive Längen- und Winkelmeßeinrichtung |
JPS61105421A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-23 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 静電容量型エンコ−ダ |
US4879508A (en) * | 1986-04-04 | 1989-11-07 | Mitutoyo Corporation | Capacitance-type measuring device for absolute measurement of positions |
JPH08327306A (ja) * | 1995-05-29 | 1996-12-13 | Mitsutoyo Corp | 静電容量式変位検出装置 |
CN1064754C (zh) * | 1998-12-18 | 2001-04-18 | 赵飙 | 改进型电容性位移传感器 |
US6492911B1 (en) * | 1999-04-19 | 2002-12-10 | Netzer Motion Sensors Ltd. | Capacitive displacement encoder |
US6892590B1 (en) * | 2003-11-04 | 2005-05-17 | Andermotion Technologies Llc | Single-balanced shield electrode configuration for use in capacitive displacement sensing systems and methods |
KR100574510B1 (ko) | 2004-05-11 | 2006-04-27 | 삼성전자주식회사 | 멤스 공정을 이용한 자기부상 구조물 및 그 제조방법 |
DE102004052587A1 (de) * | 2004-10-29 | 2006-05-04 | Martin Steffek | Wegaufnehmer |
CN100394143C (zh) | 2006-03-24 | 2008-06-11 | 重庆工学院 | 齿电式时栅传感器 |
JP2009047547A (ja) | 2007-08-20 | 2009-03-05 | Tokai Rika Co Ltd | 回転角度検出装置 |
CN101556138A (zh) | 2008-09-27 | 2009-10-14 | 重庆工学院 | 一种时栅直线位移传感器 |
US20100148802A1 (en) * | 2008-12-15 | 2010-06-17 | Fanuc Ltd | Capacitance-type encoder |
DE102010046778B4 (de) * | 2010-09-28 | 2017-11-02 | Trw Automotive Electronics & Components Gmbh | Kapazitiver Drehgeber |
CN102425987B (zh) | 2011-09-02 | 2013-07-10 | 重庆理工大学 | 一种基于交变电场的时栅角位移传感器 |
JP5956218B2 (ja) | 2012-03-29 | 2016-07-27 | 4Dセンサー株式会社 | 形状計測装置、形状計測方法及び形状計測装置における校正処理方法 |
CN103591896B (zh) | 2013-11-29 | 2016-05-11 | 重庆理工大学 | 一种基于交变光场的时栅直线位移传感器 |
US9714846B2 (en) * | 2013-12-31 | 2017-07-25 | Chicago Dial Indicator Company | Displacement measuring device with capacitive sensing |
CN103968750B (zh) | 2014-05-09 | 2017-01-18 | 重庆理工大学 | 一种电场式时栅角位移传感器 |
-
2014
- 2014-03-19 CN CN201410102437.6A patent/CN103822571B/zh active Active
- 2014-07-28 DE DE112014006476.9T patent/DE112014006476B4/de active Active
- 2014-07-28 JP JP2016533612A patent/JP6086518B2/ja active Active
- 2014-07-28 WO PCT/CN2014/083125 patent/WO2015139403A1/zh active Application Filing
-
2016
- 2016-08-04 US US15/228,733 patent/US10495488B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08278105A (ja) * | 1995-04-03 | 1996-10-22 | Mitsutoyo Corp | 静電容量式センサ |
JP2000146508A (ja) * | 1998-11-13 | 2000-05-26 | Mitsutoyo Corp | 静電容量式変位検出器及び測定装置 |
CN2869768Y (zh) * | 2005-02-24 | 2007-02-14 | 张珂 | 一种基于电场合成原理的电容式线位移传感器 |
CN102288100A (zh) * | 2011-06-01 | 2011-12-21 | 重庆理工大学 | 一种基于交变电场的时栅直线位移传感器 |
CN103822571A (zh) * | 2014-03-19 | 2014-05-28 | 重庆理工大学 | 基于单排多层结构的电场式时栅直线位移传感器 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021518915A (ja) * | 2019-01-04 | 2021-08-05 | 重慶理工大学 | 交番電界に基づく二次元タイムグレーティング変位センサ |
JP7093845B2 (ja) | 2019-01-04 | 2022-06-30 | 通用技術集団国測時柵科技有限公司 | 交番電界に基づく二次元タイムグレーティング変位センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10495488B2 (en) | 2019-12-03 |
JP6086518B2 (ja) | 2017-03-01 |
DE112014006476B4 (de) | 2021-04-01 |
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