JP2016534396A - 金属はんだ接合部を有するコンバーター・冷却体複合体 - Google Patents
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Abstract
Description
・測定1:5.2mm×5.2mmの寸法を有し、Cu担体(T3/T4)にはんだ付けされ、さらにまた二成分系接着剤で接合されているセラミックコンバーター
・測定2:二成分系接着剤で直接接合されたCu担体(T3/T4)。
銅冷却体もしくはニッケル・金層によって腐食防止されている銅冷却体を、はんだ付けする表面が水平になるように、および試料収容部とほぼ同一平面になるようにこの試料収容部に置く。次に、100μmの厚さのはんだマスクをその上に置き、調節ピン(Justagestiften)を使用して配向させる。このはんだマスクにはんだペースト(Heraeus F169 SA40C5−86 D30)を塗布して、開口部をナイフコーティングする。
2 コンバーター
3 接着剤
4 鏡
5 冷却体
6 二次光
7 金属を含む被覆
8 はんだ接合部
9 セラミックコンバーター
10 銀を含む被覆
11 界面
12 孔
13 ガラスのくさび
14 ヒートシンク
15 熱流束
16 SiO2タングステン積層
Claims (27)
- コンバーター・冷却体複合体であって、第一波長の光を第二波長の光に少なくとも部分的に変換するためのセラミックコンバーターと、
金属を含む反射性の被覆と、
冷却体とを含み、ここで、
前記セラミックコンバーターの表面の少なくとも一部は、前記金属を含む被覆で直接被覆されており、
前記金属を含む被覆は、熱を前記コンバーターから前記冷却体に放散し、ならびに
前記冷却体は、金属はんだ接合部を介して前記金属を含む被覆と接合されている、前記コンバーター・冷却体複合体。 - 前記コンバーター・冷却体複合体が、コンバーターの厚さが200μmの場合に少なくとも25000K/Wm2の熱伝達率を有する、請求項1に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- 前記コンバーター・冷却体複合体が、3K/Wより小さい、好ましくは2K/Wより小さい、特に好ましくは1.5K/Wより小さい熱抵抗を有する、請求項1または2に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- 前記金属を含む被覆が、銀、金、白金および/または相応の合金を含む、請求項1から3までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- 前記金属を含む被覆が、銀を含む被覆であり、および銀含有量が、好ましくは少なくとも90質量%、特に好ましくは少なくとも95質量%、殊に好ましくは少なくとも98質量%である、請求項1から4までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- 前記金属を含む被覆が、50nm〜30μm、好ましくは2〜20μm、特に好ましくは8〜12μmの層厚を有する、請求項1から5までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- 前記金属を含む被覆がガラスを含む、および/またはガラス含有量が、0.05〜10質量%、好ましくは0.1〜5質量%、特に好ましくは0.2〜1.5質量%である、請求項1から6までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- 前記ガラスが、300〜600℃、好ましくは400〜560℃の範囲のガラス転移温度を有する、請求項5に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- 前記ガラスが、1.4〜2.0の範囲、好ましくは1.4〜1.6の範囲の屈折率nD20を有する、請求項5または6に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- 前記ガラスが、PbO系ガラス、Bi2O3系ガラス、ZnO系ガラス、SO3系ガラスまたはケイ酸塩系ガラス、好ましくはケイ酸塩系ガラス、特に好ましくは25質量%より多いSiO2の含量を有するガラスである、請求項7から9までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- 金属を含む被覆と冷却体との間の前記金属はんだ接合部が、スズを含む鉛フリーはんだの成分を含む、請求項1から10までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- 前記冷却体が、300W/mKより大きい熱伝導率を有する、および/または該冷却体が、ヒートシンクとして形作られている、請求項1から11までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- 前記コンバーターが透過式で操作され、および前記金属を含む被覆が該コンバーター上で側面に構成されている、請求項1から12までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- 前記コンバーターが拡散反射式で操作され、および該コンバーターの励起光源とは反対の少なくとも1つの側が前記金属を含む被覆で被覆されている、請求項1から12までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- 前記冷却体が、銅を含むコアと、その上に塗布された被覆、好ましくはいわゆるニッケルおよび/または金を含む被覆とを含む複合材料を含む、請求項1から15までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- 前記金属を含む被覆が、焼結した被覆である、請求項1から16までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体。
- コンバーター・冷却体複合体を製造するための方法であって、セラミックコンバーターと、放熱のための金属を含む反射性の被覆と、該金属を含む被覆と金属はんだ接合部を介して接合される、放熱のためのさらなる構成部材である冷却体とを含むコンバーター・冷却体複合体を、少なくとも以下の工程:
a)少なくとも1つの研磨された表面を有するセラミックコンバーターを準備する工程、
b)有機ペースト材料中に金属粉末を含む、金属を含むペーストを準備する工程、
c)前記金属を含むペーストを、前記研磨されたコンバーター表面の少なくとも部分領域に塗布する工程、
d)該塗布したペーストを乾燥させる工程、
e)前記塗布したペーストを450℃より高い温度で焼き付ける工程、
f)前記冷却体と、工程e)で得られた被覆とを金属はんだを使用してはんだ付けすることによって接合する工程
によって製造するための前記方法。 - 工程b)で使用するペーストが銀粉末を含む、および/または該ペーストの銀含有量が、好ましくは70〜90質量%、特に好ましくは80〜85質量%である、請求項18に記載のコンバーター・冷却体複合体を製造するための方法。
- 工程b)で使用するペーストが、ガラス粉末、好ましくは1〜5μmの範囲のD50値を有するガラス粉末を含む、請求項18または19に記載のコンバーター・冷却体複合体を製造するための方法。
- 工程b)において、ガラス粉末として、PbO系ガラス、Bi2O3系ガラス、ZnO系ガラス、SO3系ガラスもしくはケイ酸塩系ガラス、好ましくはケイ酸塩系ガラス、特に好ましくは25質量%より多いSiO2含量を有するガラスを使用する、および/または前記ペースト中のガラスの割合が0.05〜8質量%、好ましくは0.1〜6質量%、特に好ましくは0.2〜5質量%である、請求項20に記載のコンバーター・冷却体複合体を製造するための方法。
- 前記ペースト中に含まれるガラスが、300〜600℃、好ましくは400〜560℃の範囲のガラス転移温度Tgを有する、請求項20または21に記載のコンバーター・冷却体複合体を製造するための方法。
- 工程c)において、前記ペーストを印刷法、好ましくはスクリーン印刷によって塗布する、請求項18から22までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体を製造するための方法。
- 工程d)において、150〜400℃、好ましくは250〜300℃の範囲の温度で乾燥させる、請求項18から23までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体を製造するための方法。
- 工程e)において、前記金属を含む被覆を700℃〜1000℃の範囲の温度で焼き付ける、請求項18から24までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体を製造するための方法。
- 工程e)において、前記金属を含む被覆を焼結させる、請求項18から25までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体を製造するための方法。
- 工程f)で使用するはんだが、銀を含むスズはんだである、請求項18から26までのいずれか1項に記載のコンバーター・冷却体複合体を製造するための方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016009127A (ja) * | 2014-06-25 | 2016-01-18 | セイコーエプソン株式会社 | 波長変換素子、光源装置、及びプロジェクター |
KR20230029986A (ko) | 2021-01-28 | 2023-03-03 | 니뽄 도쿠슈 도교 가부시키가이샤 | 파장 변환 부재 및 그것을 구비하는 광원 장치 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013013296B4 (de) * | 2013-08-12 | 2020-08-06 | Schott Ag | Konverter-Kühlkörperverbund mit metallischer Lotverbindung und Verfahren zu dessen Herstellung |
CN108139066B (zh) | 2015-08-17 | 2021-01-05 | 肖特股份有限公司 | 用于调准光学转换器上产生的光斑的方法、包括光斑的装置及其用途以及使用金属焊料连接的转换器-冷却体组件 |
DE102015113562B4 (de) | 2015-08-17 | 2017-08-24 | Schott Ag | Konverter-Kühlkörperverbund mit metallischer Lotverbindung |
JP6604473B2 (ja) * | 2015-10-09 | 2019-11-13 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 照明器具、及び、照明装置 |
JP6775177B2 (ja) * | 2016-03-07 | 2020-10-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 照明器具、及び、照明装置 |
EP3390905B1 (en) * | 2015-12-15 | 2022-11-09 | Materion Corporation | Enhanced wavelength conversion device |
JP6852976B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2021-03-31 | 日本特殊陶業株式会社 | 波長変換部材、その製造方法および発光装置 |
CN105716039B (zh) * | 2016-04-12 | 2018-06-15 | 杨阳 | 光转换装置及其制备方法和应用 |
CN105762239B (zh) * | 2016-04-12 | 2018-11-06 | 杨阳 | 光转换装置及其制备方法和应用 |
JP7114489B2 (ja) * | 2016-06-22 | 2022-08-08 | ルミレッズ ホールディング ベーフェー | 光変換パッケージ |
DE102017216079A1 (de) * | 2017-09-12 | 2019-03-14 | Osram Gmbh | Konversionselement in kühlkörper |
KR101984102B1 (ko) * | 2017-11-03 | 2019-05-30 | 엘지전자 주식회사 | 형광체 모듈 |
CN112666780B (zh) | 2019-10-15 | 2022-06-24 | 台达电子工业股份有限公司 | 波长转换装置 |
CN111106509A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-05-05 | 杭州电子科技大学 | 一种激光散热装置及其制备方法、固体激光器 |
WO2023006671A1 (en) | 2021-07-29 | 2023-02-02 | Signify Holding B.V. | A laser lighting device |
DE102022113940A1 (de) | 2022-06-02 | 2023-12-07 | Schott Ag | Verfahren zum Feststellen eines thermischen Qualitätsmaßes eines Probenkörpers |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006086176A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Hitachi Kyowa Engineering Co Ltd | Led用サブマウント及びその製造方法 |
JP2009267040A (ja) * | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Panasonic Corp | 半導体発光装置 |
JP2010509752A (ja) * | 2006-11-06 | 2010-03-25 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 反射エッジを備える波長変換要素 |
WO2010044240A1 (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-22 | 株式会社小糸製作所 | 発光モジュール、発光モジュールの製造方法、および灯具ユニット |
JP2010541221A (ja) * | 2007-09-28 | 2010-12-24 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 1次放射源と発光変換エレメントとを備えた半導体光源 |
WO2011104963A1 (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-01 | 旭硝子株式会社 | 発光素子搭載用基板および発光装置 |
JP2012119407A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 波長変換素子及びそれを備える光源 |
JP2012190628A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Stanley Electric Co Ltd | 光源装置および照明装置 |
JP2012222011A (ja) * | 2011-04-05 | 2012-11-12 | Panasonic Corp | Led発光モジュール及びそれを用いた照明装置 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19546997C2 (de) * | 1995-12-15 | 1997-12-18 | Siemens Ag | Verfahren zum Verbinden von metallischen Teilen mit nichtmetallischen Teilen |
US7361938B2 (en) * | 2004-06-03 | 2008-04-22 | Philips Lumileds Lighting Company Llc | Luminescent ceramic for a light emitting device |
WO2006115976A1 (en) | 2005-04-22 | 2006-11-02 | At & T Corp. | Managing media server resources in a voip network |
DE102007010872A1 (de) | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur Präzisionsbearbeitung von Substraten und dessen Verwendung |
JP2008277438A (ja) | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Ricoh Microelectronics Co Ltd | 電子部品、基板、並びに、電子部品及び基板の製造方法 |
US7700967B2 (en) * | 2007-05-25 | 2010-04-20 | Philips Lumileds Lighting Company Llc | Illumination device with a wavelength converting element held by a support structure having an aperture |
US8575641B2 (en) * | 2011-08-11 | 2013-11-05 | Goldeneye, Inc | Solid state light sources based on thermally conductive luminescent elements containing interconnects |
WO2009115976A1 (en) | 2008-03-20 | 2009-09-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Illumination system comprising a luminescent element with a heat sink |
TW200941659A (en) * | 2008-03-25 | 2009-10-01 | Bridge Semiconductor Corp | Thermally enhanced package with embedded metal slug and patterned circuitry |
CN101728366A (zh) * | 2008-10-22 | 2010-06-09 | 先进开发光电股份有限公司 | 光电元件封装模块及其制造方法 |
CN102339811A (zh) * | 2010-07-27 | 2012-02-01 | 埃派克森微电子(上海)股份有限公司 | 具有cob封装功率器件的电路板 |
KR20130099912A (ko) * | 2010-08-26 | 2013-09-06 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 파장 변환 소자, 광원 및 액정용 백라이트 유닛 |
US8833975B2 (en) | 2010-09-07 | 2014-09-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Light-emitting device, illuminating device, vehicle headlamp, and method for producing light-emitting device |
JP5707885B2 (ja) * | 2010-11-15 | 2015-04-30 | 三菱マテリアル株式会社 | パワーモジュール用基板、冷却器付パワーモジュール用基板、パワーモジュール及びパワーモジュール用基板の製造方法 |
JP2012185980A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 波長変換素子、それを備える光源およびその製造方法 |
DE102012005654B4 (de) * | 2011-10-25 | 2021-03-04 | Schott Ag | Optischer Konverter für hohe Leuchtdichten |
DE102012005657B4 (de) * | 2012-03-22 | 2020-06-10 | Schott Ag | Weißlichtbeleuchtungsvorrichtung |
CN102936669B (zh) * | 2012-11-28 | 2014-09-10 | 一远电子科技有限公司 | 一种低熔点无铅焊料合金 |
CN103042315B (zh) * | 2013-01-22 | 2015-05-27 | 马莒生 | 耐热耐湿低熔点无铅焊料合金 |
CN103170766A (zh) * | 2013-03-27 | 2013-06-26 | 江苏盛之祥电子科技有限公司 | 一种低熔点高可靠性无铅焊料的制备方法 |
CN106195924B (zh) * | 2013-06-08 | 2019-05-03 | 深圳光峰科技股份有限公司 | 一种波长转换装置及其制作方法、相关发光装置 |
DE102013013296B4 (de) * | 2013-08-12 | 2020-08-06 | Schott Ag | Konverter-Kühlkörperverbund mit metallischer Lotverbindung und Verfahren zu dessen Herstellung |
TWI565108B (zh) * | 2014-08-21 | 2017-01-01 | 錼創科技股份有限公司 | 發光模組 |
-
2013
- 2013-08-12 DE DE102013013296.7A patent/DE102013013296B4/de active Active
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2014
- 2014-07-22 MY MYPI2016700468A patent/MY177307A/en unknown
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- 2014-07-22 JP JP2016533863A patent/JP6320531B2/ja active Active
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-
2016
- 2016-02-11 US US15/041,471 patent/US9982878B2/en active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006086176A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Hitachi Kyowa Engineering Co Ltd | Led用サブマウント及びその製造方法 |
JP2010509752A (ja) * | 2006-11-06 | 2010-03-25 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 反射エッジを備える波長変換要素 |
JP2010541221A (ja) * | 2007-09-28 | 2010-12-24 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 1次放射源と発光変換エレメントとを備えた半導体光源 |
JP2009267040A (ja) * | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Panasonic Corp | 半導体発光装置 |
WO2010044240A1 (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-22 | 株式会社小糸製作所 | 発光モジュール、発光モジュールの製造方法、および灯具ユニット |
WO2011104963A1 (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-01 | 旭硝子株式会社 | 発光素子搭載用基板および発光装置 |
JP2012119407A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 波長変換素子及びそれを備える光源 |
JP2012190628A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Stanley Electric Co Ltd | 光源装置および照明装置 |
JP2012222011A (ja) * | 2011-04-05 | 2012-11-12 | Panasonic Corp | Led発光モジュール及びそれを用いた照明装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016009127A (ja) * | 2014-06-25 | 2016-01-18 | セイコーエプソン株式会社 | 波長変換素子、光源装置、及びプロジェクター |
KR20230029986A (ko) | 2021-01-28 | 2023-03-03 | 니뽄 도쿠슈 도교 가부시키가이샤 | 파장 변환 부재 및 그것을 구비하는 광원 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201518084A (zh) | 2015-05-16 |
MY177307A (en) | 2020-09-11 |
DE102013013296B4 (de) | 2020-08-06 |
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CN105474050A (zh) | 2016-04-06 |
US9982878B2 (en) | 2018-05-29 |
CN105474050B (zh) | 2018-09-25 |
US20160245494A1 (en) | 2016-08-25 |
KR20160043046A (ko) | 2016-04-20 |
JP6320531B2 (ja) | 2018-05-09 |
CA2920697C (en) | 2018-03-20 |
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DE102013013296A1 (de) | 2015-02-12 |
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