JP2016525224A - リソグラフィ装置、リソグラフィ装置で使用するための位置決めシステム、および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[001] 本出願は、2013年7月2日に出願された米国仮出願第61/842,180号の利益を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
発生し得る。固有振動数は、固有モードに対応する周期の逆関数である。対応周期は、反作用体206が固有モードに従って完全な動きのサイクルを形成するのにかかる時間である。動きのサイクルは、反作用体206が、動きのサイクルの始まりにおける位置および速度と同一の基準体202に対する特定の位置および速度である時に完了し得る。
Claims (10)
- 基準体(202)と位置決めシステム(200)とを有するリソグラフィ装置であって、
前記位置決めシステム(200)は、
主体(204)と、
反作用体(206)と、
アクチュエータ(208)と、
コントローラ(210)と、を備え、
前記主体(204)は、経路に沿って前記基準体(202)に対して第1方向(+z)および第2方向(−z)に可動であり、前記第1方向(+z)は、前記第2方向(−z)と反対であり、
前記反作用体(206)は、さらなる経路に沿って前記主体(204)に対して前記第1方向(+z)および前記第2方向(−z)に可動であり、
前記反作用体(206)は、前記第1方向(+z)および前記第2方向(−z)に前記基準体(202)に対して可動であるように、前記基準体(202)に可動に接続され、
前記コントローラ(210)は、第1信号および第2信号を前記アクチュエータ(208)に提供し、
前記アクチュエータ(208)は、前記第1信号の制御下で、前記主体(204)を前記第1方向(+z)に加速させかつ前記反作用体(206)を前記第2方向(−z)に加速させるように、および、前記第2信号の制御下で、前記主体(204)を前記第2方向(−z)に加速させかつ前記反作用体(206)を前記第1方向(+z)に加速させるように、前記主体(204)と前記反作用体(206)との間に配置され、
前記コントローラ(210)は、前記反作用体(206)が前記さらなる経路に沿って前記第2方向(−z)に動いている時に、前記第1信号の後の前記第2信号を前記アクチュエータ(208)に提供する、リソグラフィ装置。 - 前記基準体(202)および前記基準体(202)に接続された前記反作用体(206)は、固有モードを有する動的システムを形成し、
前記固有モードは、少なくとも部分的に前記第1方向(+z)および前記第2方向(−z)の前記基準体(202)に対する前記反作用体(206)の動きによって特徴付けられ、
前記固有モードは、対応周期を有し、
前記コントローラ(210)は、前記第1信号および前記第2信号を、前記第1信号と前記第2信号との間に所定の時間の長さを有して提供し、前記時間の長さは、前記対応周期によって決定される、請求項1に記載のリソグラフィ装置。 - 前記反作用体(206)は、反作用マス(214)と可撓性エレメント(212)とを備え、前記可撓性エレメント(212)は、前記反作用マス(214)を前記基準体(202)に可動に接続する、請求項1または2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記可撓性エレメント(212)は、前記対応周期を選択するように調整可能である、請求項3に記載のリソグラフィ装置。
- 放射ビーム(B)を基板(W)上に投影する投影システム(PS)を備え、前記主体(204)は、前記投影システム(PS)の一部である、請求項1〜4のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記位置決めシステム(200)は、センサ信号を前記コントローラ(210)に提供するセンサを備え、前記センサ信号は、前記反作用体(206)が前記さらなる経路に沿って前記第2方向(−z)に動いている時を示す、請求項1〜5のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置で使用するための位置決めシステム(200)。
- リソグラフィ装置での反作用体(206)の変位の大きさを制限する方法であって、前記リソグラフィ装置は、基準体(202)と、主体(204)と、反作用体(206)と、を備え、
前記主体(204)は、経路に沿って前記基準体(202)に対して第1方向(+z)および第2方向(−z)に可動であり、前記第1方向(+z)は、前記第2方向(−z)と反対であり、
前記反作用体(206)は、さらなる経路に沿って前記主体(204)に対して前記第1方向(+z)および前記第2方向(−z)に可動であり、
前記反作用体(206)は、前記第1方向および前記第2方向(−z)に前記基準体(202)に対して可動であるように、前記基準体(202)に可動に接続され、
第1信号の制御下で、前記主体(204)を前記第1方向(+z)に加速させかつ前記反作用体(206)を前記第2方向(−z)に加速させることと、
第2信号の制御下で、前記主体(204)を前記第2方向(−z)に加速させかつ前記反作用体(206)を前記第1方向(+z)に加速させることと、
前記反作用体(206)が前記さらなる経路に沿って前記第2方向(−z)に動いている時に、前記第1信号を提供することの後の前記第2信号を提供することと、
を含む、方法。 - 前記基準体(202)および前記基準体(202)に接続された前記反作用体(206)は、固有モードを有する動的システムを形成し、
前記固有モードは、少なくとも部分的に前記第1方向(+z)および前記第2方向(−z)の前記基準体(202)に対する前記反作用体(206)の動きによって特徴付けられ、
前記固有モードは、対応周期を有し、
前記第1信号および前記第2信号を、前記第1信号と前記第2信号との間に所定の時間の長さを有して提供することであって、前記時間の長さは前記対応周期によって決定されることを含む、請求項8に記載の方法。 - センサ信号を提供することであって、前記センサ信号は前記反作用体(206)が前記さらなる経路に沿って前記第2方向(−z)に動いている時を示すことを含む、請求項8に記載の方法。
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