JP2016519208A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. プロセスチャンバ用のサセプタ支持シャフトであって、
   支持シャフト、および
   前記支持シャフトに結合される支持本体
   を備え、前記支持本体が、
   中実のディスクと、
   前記中実のディスクから外側に延びる複数の基部と、
   前記複数の基部のいくつかから延びる少なくとも３つの支持腕と、
   前記複数の基部のいくつかから延びる少なくとも３つのダミー腕と
   を備える、サセプタ支持シャフト。
2. 前記支持腕が互いから等間隔で離間され、前記支持腕の各々がエルボーを含む、請求項１に記載のサセプタ支持シャフト。
3. 前記基部の各々の幅が減少するにつれて前記基部の各々の厚さが増加する、請求項１に記載のサセプタ支持シャフト。
4. 前記支持腕の各々がそこを通してリフトピンを受け入れるための開口を含む、請求項１に記載のサセプタ支持シャフト。
5. 前記中実のディスク上に取り外し可能に位置決めされる屈折要素をさらに備え、前記屈折要素が光透過性の材料から形成される、請求項１に記載のサセプタ支持シャフト。
6. 前記屈折要素が第１の側に凸または凹面を、第１と反対の第２の側に凸または凹面を有する、請求項５に記載のサセプタ支持シャフト。
7. 前記屈折要素が一定の厚さを有する、請求項６に記載のサセプタ支持シャフト。
8. 前記屈折要素の前記凹面が約２００ｍｍ〜約１２００ｍｍの曲率半径を有する、請求項６に記載のサセプタ支持シャフト。
9. 基板を加熱するためのプロセスチャンバであって、
   前記プロセスチャンバ内に配設される基板支持体、
   前記基板支持体の下に配設される下部ドーム、
   前記下部ドームに対向して配設される上部ドームであって、
   中央窓部、および
   前記中央窓部の周縁の周りで前記中央窓部と係合する周辺フランジ
   を備え、前記中央窓部および前記周辺フランジが光透明性の材料から形成される、上部ドーム、ならびに
   前記基板支持体に結合される支持シャフトであって、
   シャフト、および
   前記シャフトに結合される支持本体
   を備え、前記支持本体が、
   中実のディスクと、
   前記中実のディスクから外側に延びる複数の基部と、
   前記複数の基部のいくつかから延びる複数の支持腕と、
   前記複数の基部のいくつかから延びる複数のダミー腕と
   を備える支持シャフト
   を備える、プロセスチャンバ。
10. 前記中実のディスクが約６０ミリメートルの半径を有し、前記中実のディスクが前記基板の表面積（片側）よりも約３０％〜８０％少ない表面積（片側）を有する、請求項９に記載のプロセスチャンバ。
11. 前記支持シャフトが、
    前記中実のディスク上に取り外し可能に位置決めされる屈折要素をさらに備え、前記屈折要素が透き通った石英、ガラス、または透明なプラスチックから形成され、前記屈折要素が前記中実のディスクの外周に実質的に一致するようにサイズ決定される、請求項９に記載のプロセスチャンバ。
12. 前記屈折要素が、前記基板支持体の裏側に面する第１の側に凸または凹面を有し、前記屈折要素が、前記基板支持体の裏側から離れる方向に面する第２の側に凸または凹面を有する、請求項１１に記載のプロセスチャンバ。
13. 前記上部ドームの上に配設されるリフレクタをさらに備え、前記リフレクタが、前記リフレクタの外面上に１つまたは複数の筋を付けられた特徴部を有し、前記１つまたは複数の筋を付けられた特徴部が前記リフレクタの周縁の周りを延伸する、請求項９に記載のプロセスチャンバ。
14. プロセスチャンバのためのサセプタ支持シャフトであって、
    支持シャフトと、
    前記支持シャフトに結合される支持本体であって、
    中実のディスクと、
    前記中実のディスクの外側周縁から外側に等間隔で延びる複数の基部と、
    前記複数の基部のいくつかから延びる、互いから等間隔で離間された複数の支持腕と、
    前記複数の基部のいくつかから延びる、互いから等間隔で離間された複数のダミー腕と
    を備える、支持本体と、
    前記中実のディスクによって取り外し可能に支持され、前記中実のディスクの周縁に実質的に一致するようにサイズ決定される、屈折要素と
    を備える、サセプタ支持シャフト。
15. 前記屈折要素が、第１の側に凸または凹面を、第１の側と反対の第２の側に凸または凹面を有する、請求項１４に記載のサセプタ支持シャフト。