JP2016515303A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 基板を研磨するための装置であって、
   ヘッドアセンブリと、
   保持リングアセンブリであって、
   内歯車、および
   前記ヘッドアセンブリと前記保持リングアセンブリの間に配設されて、前記保持リングアセンブリを前記ヘッドアセンブリから分離するように構成された、ベアリング
   を備える、保持リングアセンブリと、
   前記保持リングアセンブリを前記ヘッドアセンブリに対して回転させるように構成された、駆動アセンブリと
   を備える、装置。
2. 前記ヘッドアセンブリがさらに、
   ハウジングと、
   キャリア本体と、
   可撓性メンブレンと
   を備える、請求項１に記載の装置。
3. 前記ヘッドアセンブリがさらに、前記駆動アセンブリに結合されたカバープレートを備える、請求項１に記載の装置。
4. 第１の歯車と、
   第２の歯車と、
   シャフトエンコーダと、
   ドライブシャフトと
   を備えるトランスミッション
   をさらに備える、請求項１に記載の装置。
5. 前記第１の歯車が、前記駆動アセンブリに回転可能に結合される、請求項４に記載の装置。
6. 前記第２の歯車が、前記内歯車に回転可能に結合される、請求項４に記載の装置。
7. 前記第１の歯車および前記第２の歯車が、前記ドライブシャフトに結合される、請求項４に記載の装置。
8. 前記駆動アセンブリが、
   アクチュエータと、
   前記アクチュエータに結合されたスピンドルと、
   前記スピンドルに結合されたウォームドライブと
   を備える、請求項１に記載の装置。
9. 前記アクチュエータが空気モータである、請求項８に記載の装置。
10. 前記内歯車が複数の歯を備える、請求項１に記載の装置。
11. 前記保持リングアセンブリの内径が、１１．８３０ｉｎから１１．８７０ｉｎの間である、請求項１に記載の装置。
12. 前記保持リングアセンブリの内径が、１１．８９０ｉｎから１１．９５０ｉｎの間である、請求項１に記載の装置。
13. 研磨ヘッド用の保持リングアセンブリであって、
    上側環状部分および下側環状部分を有する保持リングと、
    前記上側環状部分に結合されたキャリアリングと、
    前記キャリアリングに結合されて、ベアリングを受け取るように構成されたベアリングクランプと、
    前記ベアリングクランプに結合された内歯車と
    を備える、保持リングアセンブリ。
14. 前記ベアリングが、前記保持リングアセンブリを研磨ヘッドアセンブリから分離する、請求項１３に記載の保持リングアセンブリ。
15. 研磨装置を運転する方法であって、
    研磨ヘッドアセンブリ、および前記研磨ヘッドアセンブリから分離されている保持リングアセンブリを準備すること、
    前記研磨ヘッドを第１の速度で回転させること、ならびに
    前記保持リングアセンブリを、前記第１の速度よりも大きな第２の速度で回転させること
    を備える、方法。