JP2016513373A - メモリセル構造 - Google Patents
メモリセル構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016513373A JP2016513373A JP2015559324A JP2015559324A JP2016513373A JP 2016513373 A JP2016513373 A JP 2016513373A JP 2015559324 A JP2015559324 A JP 2015559324A JP 2015559324 A JP2015559324 A JP 2015559324A JP 2016513373 A JP2016513373 A JP 2016513373A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- selection device
- memory cell
- stack
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000015654 memory Effects 0.000 title claims abstract description 106
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 153
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 39
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 7
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 claims description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 claims 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 67
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000003491 array Methods 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004770 chalcogenides Chemical class 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000005247 gettering Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/061—Shaping switching materials
- H10N70/066—Shaping switching materials by filling of openings, e.g. damascene method
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/20—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having two electrodes, e.g. diodes
- H10B63/22—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having two electrodes, e.g. diodes of the metal-insulator-metal type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/20—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having two electrodes, e.g. diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/80—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays
- H10B63/82—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays the switching components having a common active material layer
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/80—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays
- H10B63/84—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays arranged in a direction perpendicular to the substrate, e.g. 3D cell arrays
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Mram Or Spin Memory Techniques (AREA)
Abstract
Description
本開示は、メモリセル構造及び同を形成する方法を含む。1つ又は複数の実施形態では、メモリセルを形成することは、第1の電極と第2の電極との間に形成された選択デバイスを含んだ選択デバイススタックを第1の方向で形成することと、ビアを形成するために選択デバイススタック上に複数の犠牲材料ラインを第2の方向で形成することと、ビア内部にプログラム可能材料スタックを形成することと、複数の犠牲材料ラインを除去し、選択デバイススタックの一部を介してエッチングして選択デバイスを隔離することとを含む。
Claims (31)
- メモリセルを形成する方法であって、
第1の電極と第2の電極との間に形成された選択デバイスを含んだ選択デバイススタックを第1の方向で形成することと、
ビアを形成するために前記選択デバイススタック上に複数の犠牲材料ラインを第2の方向で形成することと、
前記ビア内部にプログラム可能材料スタックを形成することと、
前記複数の犠牲材料ラインを除去し、前記選択デバイススタックの一部を介してエッチングして前記選択デバイスを隔離することと
を含む方法。 - 前記選択デバイススタックの一部を介してエッチングすることが、前記第1の電極を介してエッチングして前記選択デバイスを隔離することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記選択デバイスの一部を介してエッチングすることが、前記第1の電極、前記選択デバイス、及び前記第2の電極を介してエッチングして前記選択デバイスを隔離することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記プログラム可能材料スタックを形成することが、ダマシンプログラム可能材料セルスタックを形成することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記プログラム可能材料スタックの上に第3の電極を形成することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記複数の犠牲材料ラインを除去することが、複数の炭素材料の犠牲材料ラインを除去することを含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記複数の犠牲材料ラインを除去することが、酸素プラズマ材料を活用して前記複数の犠牲材料ラインを除去することを含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
- メモリセルを形成する方法であって、
基板材料の上の第1の電極、前記第1の電極の上の非オーム性選択デバイス、及び前記非オーム性選択デバイスの上の第2の電極を備える選択デバイススタックを形成することと、
前記第2の電極の上に犠牲材料を形成することと、
前記犠牲材料形成によって形成されたビア内部にプログラム可能材料スタックを形成することと、
前記犠牲材料の一部を侵食作用で露出させることと、
前記選択デバイススタックの一部を介してエッチングして前記選択デバイスを隔離することと
を含む、方法。 - 前記犠牲材料が炭素材料を備える、請求項8に記載の方法。
- 前記第1の電極、前記第2の電極、及び前記選択デバイスが第1の方向で形成される、請求項8または9に記載の方法。
- 前記犠牲材料が、前記第1の方向に実質的に直交する第2の方向で形成される、請求項10に記載の前記方法。
- 前記メモリセルがダマシンメモリセルを備える、請求項8または9に記載の方法。
- 前記選択デバイススタックを形成することが、金属‐半導体‐金属(MSM)スタック、金属‐絶縁体‐金属(MIM)スタック、及び導体‐半導体‐導体(CSC)スタックの内の少なくとも1つを形成することを含む、請求項8または9に記載の方法。
- 第1の電極と、前記第1の電極上の選択デバイスと、第2の電極とを備えた第1のスタック構造と、
前記第2の電極上のプログラム可能材料と、前記プログラム可能材料上の第3の電極とを備えた第2のスタック構造と
を備え、
前記第2のスタック構造がダマシン構造である
メモリセル。 - 第1のスタック構造が第1の方向で形成される、請求項14に記載のメモリセル。
- 前記第2のスタック構造が、前記第1の方向に実質的に直交する第2の方向で形成される、請求項15に記載のメモリセル。
- 前記選択デバイスが非オーム性選択デバイスである、請求項14〜16のいずれか1項に記載のメモリセル。
- 前記メモリセルが抵抗変化型メモリ(RRAM)セルである、請求項14〜16のいずれか1項に記載のメモリセル。
- 前記第1の電極及び前記第2の電極が下部電極である、請求項14〜16のいずれか1項に記載のメモリセル。
- 前記第3の電極が銅材料を備える、請求項14〜16のいずれか1項に記載のメモリセル。
- 第1の電極と第2の電極との間の隔離された選択デバイスと、
前記第2の電極上のプログラム可能材料と、
前記プログラム可能材料上の第3の電極と
を備える、メモリセル。 - 前記プログラム可能材料及び前記第3の電極を封入する非等角封入材料をさらに備える、請求項21に記載のメモリセル。
- 前記非等角保護材料が、エッチング過程中に前記プログラム可能材料を保護するように構成される、請求項22に記載のメモリセル。
- プログラム可能材料及び前記第3の電極がダマシン構造を備える、請求項21〜23のいずれか1項に記載のメモリセル。
- 前記隔離された選択デバイス、前記第1の電極、及び前記第2の電極が第1の方向で形成される、請求項21〜23のいずれか1項に記載のメモリセル。
- 前記プログラム可能材料及び前記第3の電極が、前記第1の方向に実質的に直交する第2の方向で形成される、請求項25に記載のメモリセル。
- 前記プログラム可能材料及び前記第3の電極が、前記第1の方向に実質的に六十度の角度で第2の方向に形成される、請求項25に記載のメモリセル。
- それぞれが、選択デバイスにより第2の電極から分離された第1の電極を備える複数の第1のスタックと、
前記複数の第1のスタックのそれぞれの間の誘電材料と、
それぞれが、前記第2の電極に形成されたプログラム可能材料を備える複数の第2のスタックであって、前記プログラム可能材料が銅材料で充填されたビアを含む、複数の第2のスタックと
を備えるメモリセルのアレイ。 - 前記メモリセルのアレイがクロスポイントメモリセルアレイで構成される、請求項28に記載のアレイ。
- 前記メモリセルのアレイが三次元セルアレイで構成される、請求項28に記載のアレイ。
- 前記複数の第1のスタックがアクセスライン方向に形成され、前記複数の第2のスタックがデジットライン方向に形成される、請求項28〜30のいずれか1項に記載のアレイ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/899,919 | 2013-05-22 | ||
US13/899,919 US9691981B2 (en) | 2013-05-22 | 2013-05-22 | Memory cell structures |
PCT/US2014/037299 WO2014189686A1 (en) | 2013-05-22 | 2014-05-08 | Memory cell structures |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016513373A true JP2016513373A (ja) | 2016-05-12 |
JP6092431B2 JP6092431B2 (ja) | 2017-03-08 |
Family
ID=51933970
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015559324A Active JP6092431B2 (ja) | 2013-05-22 | 2014-05-08 | メモリセル構造 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US9691981B2 (ja) |
EP (1) | EP3000124B1 (ja) |
JP (1) | JP6092431B2 (ja) |
KR (1) | KR101792379B1 (ja) |
CN (1) | CN105051875B (ja) |
TW (1) | TWI575580B (ja) |
WO (1) | WO2014189686A1 (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9691981B2 (en) | 2013-05-22 | 2017-06-27 | Micron Technology, Inc. | Memory cell structures |
US9806129B2 (en) | 2014-02-25 | 2017-10-31 | Micron Technology, Inc. | Cross-point memory and methods for fabrication of same |
US9263577B2 (en) | 2014-04-24 | 2016-02-16 | Micron Technology, Inc. | Ferroelectric field effect transistors, pluralities of ferroelectric field effect transistors arrayed in row lines and column lines, and methods of forming a plurality of ferroelectric field effect transistors |
US9159829B1 (en) | 2014-10-07 | 2015-10-13 | Micron Technology, Inc. | Recessed transistors containing ferroelectric material |
US9634245B2 (en) | 2015-01-09 | 2017-04-25 | Micron Technology, Inc. | Structures incorporating and methods of forming metal lines including carbon |
US9305929B1 (en) | 2015-02-17 | 2016-04-05 | Micron Technology, Inc. | Memory cells |
US9397145B1 (en) * | 2015-05-14 | 2016-07-19 | Micron Technology, Inc. | Memory structures and related cross-point memory arrays, electronic systems, and methods of forming memory structures |
US9853211B2 (en) * | 2015-07-24 | 2017-12-26 | Micron Technology, Inc. | Array of cross point memory cells individually comprising a select device and a programmable device |
US10134982B2 (en) | 2015-07-24 | 2018-11-20 | Micron Technology, Inc. | Array of cross point memory cells |
US10096612B2 (en) * | 2015-09-14 | 2018-10-09 | Intel Corporation | Three dimensional memory device having isolated periphery contacts through an active layer exhume process |
CN105789218A (zh) * | 2016-03-10 | 2016-07-20 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板、其制作方法及显示装置 |
US9735151B1 (en) | 2016-03-24 | 2017-08-15 | Western Digital Technologies, Inc. | 3D cross-point memory device |
US10269804B2 (en) * | 2016-05-11 | 2019-04-23 | Micron Technology, Inc. | Array of cross point memory cells and methods of forming an array of cross point memory cells |
US10396145B2 (en) | 2017-01-12 | 2019-08-27 | Micron Technology, Inc. | Memory cells comprising ferroelectric material and including current leakage paths having different total resistances |
US10128437B1 (en) * | 2017-08-31 | 2018-11-13 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor structures including memory materials substantially encapsulated with dielectric materials, and related systems and methods |
US10950663B2 (en) | 2018-04-24 | 2021-03-16 | Micron Technology, Inc. | Cross-point memory array and related fabrication techniques |
US10825867B2 (en) * | 2018-04-24 | 2020-11-03 | Micron Technology, Inc. | Cross-point memory array and related fabrication techniques |
US10818729B2 (en) | 2018-05-17 | 2020-10-27 | Macronix International Co., Ltd. | Bit cost scalable 3D phase change cross-point memory |
CN112703592B (zh) * | 2019-02-15 | 2024-03-12 | 铠侠股份有限公司 | 非易失性半导体存储装置及其制造方法 |
US10930849B2 (en) * | 2019-06-28 | 2021-02-23 | Micron Technology, Inc. | Techniques for forming memory structures |
US11170834B2 (en) | 2019-07-10 | 2021-11-09 | Micron Technology, Inc. | Memory cells and methods of forming a capacitor including current leakage paths having different total resistances |
FR3104813A1 (fr) * | 2019-12-16 | 2021-06-18 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Cellule elementaire comportant une memoire resistive et un dispositif destine a former un selecteur, matrice de cellules, procedes de fabrication et d’initialisation associes |
US11626452B2 (en) | 2020-07-28 | 2023-04-11 | Micron Technology, Inc. | Efficient fabrication of memory structures |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007116749A1 (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 不揮発性記憶素子及びその製造方法 |
WO2009110120A1 (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-11 | 株式会社 東芝 | 不揮発性記憶装置及びその製造方法 |
JP2010027753A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Panasonic Corp | 不揮発性記憶素子およびその製造方法 |
US20100207168A1 (en) * | 2009-02-19 | 2010-08-19 | Scott Sills | Cross-Point Memory Structures, And Methods Of Forming Memory Arrays |
JP2010225741A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
WO2012105225A1 (ja) * | 2011-02-01 | 2012-08-09 | パナソニック株式会社 | 抵抗変化型不揮発性記憶装置及びその製造方法 |
JP2012533885A (ja) * | 2009-07-15 | 2012-12-27 | サンディスク スリーディー,エルエルシー | 犠牲材を使用してダマシンダイオードを作る方法 |
WO2013058917A1 (en) * | 2011-10-17 | 2013-04-25 | Micron Technology, Inc. | Memory cells and memory cell arrays |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5497017A (en) * | 1995-01-26 | 1996-03-05 | Micron Technology, Inc. | Dynamic random access memory array having a cross-point layout, tungsten digit lines buried in the substrate, and vertical access transistors |
JP3304754B2 (ja) | 1996-04-11 | 2002-07-22 | 三菱電機株式会社 | 集積回路の多段埋め込み配線構造 |
US6709874B2 (en) | 2001-01-24 | 2004-03-23 | Infineon Technologies Ag | Method of manufacturing a metal cap layer for preventing damascene conductive lines from oxidation |
US6887792B2 (en) | 2002-09-17 | 2005-05-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Embossed mask lithography |
US7135727B2 (en) * | 2004-11-10 | 2006-11-14 | Macronix International Co., Ltd. | I-shaped and L-shaped contact structures and their fabrication methods |
US7365382B2 (en) | 2005-02-28 | 2008-04-29 | Infineon Technologies Ag | Semiconductor memory having charge trapping memory cells and fabrication method thereof |
US7361586B2 (en) | 2005-07-01 | 2008-04-22 | Spansion Llc | Preamorphization to minimize void formation |
US7449354B2 (en) | 2006-01-05 | 2008-11-11 | Fairchild Semiconductor Corporation | Trench-gated FET for power device with active gate trenches and gate runner trench utilizing one-mask etch |
US7435648B2 (en) | 2006-07-26 | 2008-10-14 | Macronix International Co., Ltd. | Methods of trench and contact formation in memory cells |
US7575973B2 (en) * | 2007-03-27 | 2009-08-18 | Sandisk 3D Llc | Method of making three dimensional NAND memory |
US7800094B2 (en) | 2007-06-11 | 2010-09-21 | Macronix International Co., Ltd. | Resistance memory with tungsten compound and manufacturing |
US7550313B2 (en) * | 2007-07-21 | 2009-06-23 | International Business Machines Corporation | Method for delineation of phase change memory (PCM) cells separated by PCM and upper electrode regions modified to have high film resistivity |
US7742323B2 (en) | 2007-07-26 | 2010-06-22 | Unity Semiconductor Corporation | Continuous plane of thin-film materials for a two-terminal cross-point memory |
US7729161B2 (en) * | 2007-08-02 | 2010-06-01 | Macronix International Co., Ltd. | Phase change memory with dual word lines and source lines and method of operating same |
US8198618B2 (en) | 2007-12-10 | 2012-06-12 | Panasonic Corporation | Nonvolatile memory device and manufacturing method thereof |
US8034655B2 (en) | 2008-04-08 | 2011-10-11 | Micron Technology, Inc. | Non-volatile resistive oxide memory cells, non-volatile resistive oxide memory arrays, and methods of forming non-volatile resistive oxide memory cells and memory arrays |
US8211743B2 (en) | 2008-05-02 | 2012-07-03 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming non-volatile memory cells having multi-resistive state material between conductive electrodes |
US8114468B2 (en) | 2008-06-18 | 2012-02-14 | Boise Technology, Inc. | Methods of forming a non-volatile resistive oxide memory array |
US7932506B2 (en) * | 2008-07-22 | 2011-04-26 | Macronix International Co., Ltd. | Fully self-aligned pore-type memory cell having diode access device |
US7969011B2 (en) | 2008-09-29 | 2011-06-28 | Sandisk 3D Llc | MIIM diodes having stacked structure |
US8193074B2 (en) | 2008-11-21 | 2012-06-05 | Sandisk 3D Llc | Integration of damascene type diodes and conductive wires for memory device |
EP2202816B1 (en) | 2008-12-24 | 2012-06-20 | Imec | Method for manufacturing a resistive switching memory device |
KR101583717B1 (ko) | 2009-01-13 | 2016-01-11 | 삼성전자주식회사 | 저항 메모리 장치의 제조방법 |
US8416609B2 (en) | 2010-02-15 | 2013-04-09 | Micron Technology, Inc. | Cross-point memory cells, non-volatile memory arrays, methods of reading a memory cell, methods of programming a memory cell, methods of writing to and reading from a memory cell, and computer systems |
JP5521612B2 (ja) | 2010-02-15 | 2014-06-18 | ソニー株式会社 | 不揮発性半導体メモリデバイス |
US8437174B2 (en) | 2010-02-15 | 2013-05-07 | Micron Technology, Inc. | Memcapacitor devices, field effect transistor devices, non-volatile memory arrays, and methods of programming |
US20110210306A1 (en) * | 2010-02-26 | 2011-09-01 | Yubao Li | Memory cell that includes a carbon-based memory element and methods of forming the same |
US8409915B2 (en) | 2010-09-20 | 2013-04-02 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming memory cells |
US9065044B2 (en) * | 2010-12-14 | 2015-06-23 | Sandisk 3D Llc | Three dimensional non-volatile storage with connected word lines |
US9691981B2 (en) * | 2013-05-22 | 2017-06-27 | Micron Technology, Inc. | Memory cell structures |
-
2013
- 2013-05-22 US US13/899,919 patent/US9691981B2/en active Active
-
2014
- 2014-05-08 CN CN201480017654.3A patent/CN105051875B/zh active Active
- 2014-05-08 WO PCT/US2014/037299 patent/WO2014189686A1/en active Application Filing
- 2014-05-08 EP EP14800773.5A patent/EP3000124B1/en active Active
- 2014-05-08 KR KR1020157035797A patent/KR101792379B1/ko active IP Right Grant
- 2014-05-08 JP JP2015559324A patent/JP6092431B2/ja active Active
- 2014-05-15 TW TW103117213A patent/TWI575580B/zh active
-
2017
- 2017-02-03 US US15/423,965 patent/US10734581B2/en active Active
-
2020
- 2020-07-13 US US16/926,837 patent/US11730069B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007116749A1 (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 不揮発性記憶素子及びその製造方法 |
WO2009110120A1 (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-11 | 株式会社 東芝 | 不揮発性記憶装置及びその製造方法 |
JP2009218259A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Toshiba Corp | 不揮発性記憶装置及びその製造方法 |
US20110037045A1 (en) * | 2008-03-07 | 2011-02-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile memory device and method for manufacturing the same |
JP2010027753A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Panasonic Corp | 不揮発性記憶素子およびその製造方法 |
US20100207168A1 (en) * | 2009-02-19 | 2010-08-19 | Scott Sills | Cross-Point Memory Structures, And Methods Of Forming Memory Arrays |
JP2010225741A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2012533885A (ja) * | 2009-07-15 | 2012-12-27 | サンディスク スリーディー,エルエルシー | 犠牲材を使用してダマシンダイオードを作る方法 |
WO2012105225A1 (ja) * | 2011-02-01 | 2012-08-09 | パナソニック株式会社 | 抵抗変化型不揮発性記憶装置及びその製造方法 |
WO2013058917A1 (en) * | 2011-10-17 | 2013-04-25 | Micron Technology, Inc. | Memory cells and memory cell arrays |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170148987A1 (en) | 2017-05-25 |
US10734581B2 (en) | 2020-08-04 |
CN105051875B (zh) | 2019-06-07 |
US11730069B2 (en) | 2023-08-15 |
TWI575580B (zh) | 2017-03-21 |
TW201507009A (zh) | 2015-02-16 |
US20140346428A1 (en) | 2014-11-27 |
EP3000124A4 (en) | 2017-01-11 |
KR20160009685A (ko) | 2016-01-26 |
EP3000124A1 (en) | 2016-03-30 |
US20200343449A1 (en) | 2020-10-29 |
EP3000124B1 (en) | 2019-07-10 |
CN105051875A (zh) | 2015-11-11 |
KR101792379B1 (ko) | 2017-10-31 |
WO2014189686A1 (en) | 2014-11-27 |
JP6092431B2 (ja) | 2017-03-08 |
US9691981B2 (en) | 2017-06-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6092431B2 (ja) | メモリセル構造 | |
US9773844B2 (en) | Memory cell array structures and methods of forming the same | |
US10608178B2 (en) | Memory cell structures | |
KR20150133658A (ko) | 저항성 메모리 아키텍처 및 디바이스들 | |
TWI565045B (zh) | 多位元鐵電性記憶體裝置及其製造方法 | |
US8716059B2 (en) | Combined conductive plug/conductive line memory arrays and methods of forming the same | |
US9466795B2 (en) | Memory cells with recessed electrode contacts | |
KR20160110012A (ko) | 저항성 메모리 아키텍처 및 디바이스들 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160809 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160810 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161104 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170117 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170208 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6092431 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |